Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Челноков В.Е. Физические основы работы силовых полупроводниковых приборов

.pdf
Скачиваний:
34
Добавлен:
24.10.2023
Размер:
9.71 Mб
Скачать

герметика р-«-р-п-структуры в открытом состоянии может быть представлена в виде

I = hi { — +

1 ) е

• (7-133)

7-6. СТАТИЧЕСКАЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ОТКРЫТОЙ р-я-р-п-СТРУКТУРЫ ПРИ ВЫСОКОМ УРОВНЕ

ИНЖЕКЦИИ В ОБЕИХ БАЗАХ

У большинства существующих типов тиристоров в об­ ласти рабочих токов высокий уровень инжекции дости­ гается только в одной (слаболегированной) базе. Однако, как это будет детально рассмотрено в главах, посвящен­ ных нестационарным процессам, для повышения быстро­ действия тиристоров целесообразно, чтобы степень леги­ рования базовых областей была примерно одинаковой. При этих условиях высокий уровень инжекции может быть достигнут в области рабочих токов в обеих базовых областях. В связи с этим представляет интерес проана­ лизировать поведение р-п-р-/г-структуры в предположе­ нии, что высокий уровень инжекции достигается в обеих базах. Такой анализ представляет тем больший интерес, что ведет к совершенно новым выводам относительно условий переключения четырехслойных структур и от­ крывает ряд новых технологических возможностей для вариаций различных параметров тиристоров [Л. 7-1].

Анализ будем проводить при тех же предположениях, что и выше. При этом уравнение движения дырок в базе «-типа (7-98) остается неизменным. Движение электро­

нов в р-базе будет в рассматриваемом

случае

описы-

ватьйя

уравнением

 

 

 

 

 

=

0,

 

 

(7-134)

где

 

 

 

 

 

Аналогично (7-97) ток электронов

в

р-базе в

общем

случае

равен:

 

 

 

 

 

л, ( 6 - 1 )

 

 

bnj

 

 

(b+\),h+N2

 

(b+l)n,+N2

'

где N2

концентрация акцепторов

в

р-базе.

(7-135)

 

170

Из (7-135) в случае низкого уровня инжекции полу­ чаем:

 

 

 

 

 

 

(7-136)

а при высоком

уровне инжекции

 

 

г

, .

—2(7/3, йпл

ft/

(7-137)

 

 

b+l

 

dx 1

b+l

 

 

 

 

Так как при

x=

— wl

имеем /, — /, то, следовательно,

 

1{Х):

2qD,

dnx

 

(7-138)

 

 

 

 

dx

 

 

Таким образом, электронный ток на

коллекторном

р-я-переходе оказывается

равным:

 

 

Л (0)

=

 

 

2qD1b

dn^

(7-139)

ь + 1

dx

Ь +

l j dx

Граничное условие при x = w% остается тем же (7-102). Граничным условием при х = —до4 является соотношение, аналогичное (7-138). На коллекторном р-я-переходе так­ же имеем два граничных условия. Первое записывается на основе того, что сумма электронного и дырочного то­ ков равна полному току ч'ерез структуру:

2ЬРг

dn2

2D2

dn2

2bDx

dn,

T+l

~dx

'b+l

dx

b+l

dx

 

 

2D,

drii

 

(7-140)

 

 

~ b+l

dx

q '

 

 

 

При помощи

(7-102)

и

(7-138)

можно записать

(7-140) в более простой форме:

 

 

 

 

 

dn2

 

(7-141)

 

 

dx

dx

 

 

 

 

 

Второе граничное условие на коллекторном р-я-пере- ходе в рассматриваемом случае отличается от (7-108). Действительно, поскольку в обеих базовых областях предполагается высокий уровень инжекции, то концен­ трации как неосновных, так и основных носителей значи­ тельно выше равновесных и приблизительно равны меж­ ду собой. При этом напряжение на коллекторном р-я- переходе отличается от контактной разности потенциа-

171

лов на величину порядка kT/q и приближенно можно считать, что

 

 

л 1 ( 0 ) = л 2 ( 0 ) .

 

 

(7-142)

Решение уравнений (7-98),

(7-126)

имеет

вид:

п,

(х) =

С, sh ±\-Н, ch

;

 

(7-143)

nt{x)

=

Ctdi-±—ЬЯ2сЬ/-,

 

 

(7-144)

 

 

*-2Л

 

^2h

 

 

Коэффициенты Ci,

С2, Hi,

Я 2

определяются

с

помощью

граничных условий

(7-102),

(7-138),

(7-140)

и

(7-142).

В общем случае эти коэффициенты выражаются через

параметры

структуры

следующим

образом:

 

с-=-

та

 

1,1 5- «*ж> 5г) = <7445

 

С , = С ,

 

fe-;

(7-147)

 

 

Я 2

=

Я „

 

(7-148)

где

 

 

ю >

I

 

 

 

1

 

1

 

 

,

W,

 

 

, W

 

 

alh = secnT-1-;

 

<x2ft =

secri7-

 

Соотношения (7-143) — (7-148) позволяют вычислить падения напряжения как на отдельных р-я-переходах, так и на толще базовых областей. Падение напряжения на эмиттерном р-я-переходе, прилегающем к базе р-типа, равно:

U t = * L In L ' L l h u

[ V - th -p- th

-p-+

1

Я

\ 2qD1n0lMsh

I L ! h

Lift

L 2 h

1

 

 

, + - i r ( K f t a 2 / l + l ) ] +

l } -

(7-149)

Если

обе

базы структуры

широкие,

т. е.

wilLih>\;

WzlUh>\,

то

 

 

 

 

 

172

или

I=Jqr^D1_{^ul,kT__^

( 7 . I 5 1 )

Уравнение (7-151) отличается от подобного

уравне­

ния Шокли для р-я-перехода с широкой базой удвоенным значением коэффициента диффузии и эффективной диф­ фузионной длиной. Это уравнение, как и следовало ожи­ дать, совпадает с соответствующим выражением для то­ ков через одиночный р-я-переход, полученным В. И. Стафеевым, для случая высокого уровня инжекции.

Падение

напряжения

на

эмиттерном

р-я-переходе,

прилегающем'к

базе я-типа,

равно:

 

 

 

'

 

q

\ 2qDinnM,h

[

L l

h

L l h

L i h '

 

 

Если обе базы p-n-p-n

структуры широкие,

то

ана­

логично

(7-150)

имеем:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

" з ^ ь ( - ^ + 1 ) .

 

 

(7-153)

Напряжение на коллекторном р-я-переходе в соответ­

ствии с принятым граничным условием

(7-142)

равно

контактной

разности потенциалов

срк- Таким

образом,

в р-я-р-я-структуре

могут

не

выполняться ни

условие,

относящееся

к

коэффициентам

передачи

при

низком

уровне

инжекции,

ни условие

 

(7-127),

относящееся

к тому случаю,- когда высокий уровень инжекции имеет место только в слаболегированной базе, и тем не менее она может быть переведена в открытое состояние. Ми­ нимальный удерживающий ток через структуру в этом состоянии определяется условием tii(0)=N2 (если уро­ вень легирования р-базы выше), откуда получаем, что ток переключения, равный удерживающему току, выра­ жается следующим образом:

/уд=

1 L i h

L i h

L i h

b l L . (7-154)

Для включения подобной структуры требуемый ток может быть создан либо за счет большой скорости на-

173

растания анодного напряжения, либо за счет использо­ вания коллекторного p-n-перехода с лавинной характе­ ристикой.

Физический смысл этого явления тот же, что и в рас­ смотренном выше случае, когда высокий уровень инжек­ ции достигался только в одной базовой области. Однако если переход к высокому уровню инжекции в одной базе позволял ослабить необходимое условие переключения

таким

образом,

что критичным

оставалось

отношение

w/L в базе с низким уровнем

инжекции, то переход к вы­

сокому

уровню

инжекции

в обеих базовых

областях

делает

некритичными размеры

баз.

 

Для того" чтобы оценить, влияет ли переход к высо­ кому уровню инжекции в обеих базах на величину паде­

ния напряжения

на их толще, рассмотрим симметричный

случай,

т. е.

будем

полагать,

что

Яо1 = Яо2 = "о; W\ =

= wz = w;

L i h

= L2h=Lh,

но D^DZ.

 

.

 

При

этом

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

^

г

— ;

(7-155)

 

 

 

 

4qD21

ch

-j—

 

 

 

tf2

=

 

 

tf,=

(7-156)

 

 

 

 

4qD,2

sh - , —

 

где

1

_

l

1 _ .

1 __ 1

|_ l

 

 

D2l

 

Dz

A • D 1 2

 

D2

' Dj '

так что

(7-157)

Вычисление падения напряжения на толще базовых областей показывает, что в р- и «-базах эти падения одинаковы и выражаются при w/Lh>\ следующим обра­ зом:

" . ^ ^ ^ a r c t g ^ ' V * ) .

(7-158)

т. е. соответствуют формуле (7-132).

174

Вольт-амперная характеристика структуры в этом случае описывается соотношением

/ = 2gn0(Dl

+ D2)

ckT

(U-2V+1P)

 

 

(7-159)

L h exp

 

 

 

T 7

 

 

 

В общем случае напряжение на структуре получается

в результате суммирования

£Д, \J2, U3, UTn,

UTp:

и=и1—и2в+и?птр+1Як.

 

(7-159а)

7-7. СТАТИЧЕСКАЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ОТКРЫТОЙ р-я-р-я-СТРУКТУРЫ ПРИ ВЫСОКОМ УРОВНЕ

ИНЖЕКЦИИ В ОБЕИХ БАЗАХ С УЧЕТОМ РАССЕЯНИЯ НОСИТЕЛЕЙ НА НОСИТЕЛЯХ

Уравнения, описывающие вольт-амперную характеристику от­ крытой р-я-р-я-структуры, 'были получены выше в аналитической форме при целом ряде ограничивающих предположений. Если учесть такие явления, как рассеяние

носителей

на носителях, моду­

-На

 

N*

ляцию проводимости и зависи­

 

 

 

 

мость коэффициентов инжекции

 

 

 

от плотности' тока, то получить

 

 

выражения для вольт-амперной

 

 

 

 

 

характеристики

в

аналитиче­

 

 

 

ской

форме

представляется

 

 

 

весьма

затруднительным.

 

 

 

П. А. Кокоза [Л. 7-4] произвел

 

 

 

численный

расчет

и сравнение

Ю '

 

 

с экспериментом вольт-ампер­

 

Оц„

 

ной

характеристики р-я-р-я-

 

 

структуры

в широком диапазо­

 

 

 

не прямых токов от 1 а/см2 до

в*

п'

р

1 ООО

а/см2. В основу расчета

была положена следующая мо­

к f

с/

С 6а

дель р-я-р-я-структуры:

1)

все

три р-я-перехода

J)

-

J<

одномерны, через них протекает

прямой ток только в одном на­

Рис. 7-6. Схематическое

изобра­

правлении;

 

 

 

жение р-я-р-я-структуры с типич­

2)

все переходы резкие, ле­

ным распределением легирующих

гирование

областей

однородно;

примесей.

 

 

3)

применима

статистика

 

 

 

Больцмана;

напряжения на контактах пренебрегается;

контакты

4)

падением

кэмиттерам принимаются омическими;

5)пренебрегается электрическими полями в эмиттерных об­

ластях;

6)переходы считаются тонкими;

175

7)величина времени жиаии постоянна по длине каждой области;

8)во всех областях выполняется принцип нейтральности за­

рядов;

9)в обеих базах я = р » Я—Afa|, т. е. соблюдается высокий уровень инжекции. Этим условием определяется нижний предел при­ менимости расчета по плотности тока.

Схематическое изображение p-re-p-n-структуры с типичным рас­ пределением легирующих примесей приведено на рис. 7-6. Если при­ нять, что изменение подвижности (а следовательно, и коэффици­ ентов диффузии) носителей вследствие рассеяния носителей на но­

сителях вдоль баз структуры незначительно, то

система уравнений

для

каждой из базовых областей

структуры,

изображенной

на

рис.

7-6, написанная в общем виде с

учетом п. 9, превращается

в

d*P

£_.

 

dx2

L 2 '

 

 

 

dp

 

 

b+

1

'

 

 

dp

 

 

6 +

1

 

qDp

 

 

 

^r(b+\)p

 

 

где

( t n 0

+ y

)

L 2 = 2bDt

 

6 + 1

 

 

Физический смысл первого из этих уравнений, так называемого «уравнения биполярной диффузии», заключается в том, что при вы­ полнении п. 9 в каждой из базовых областей необходимо учитывать диффузию носителей обоих знаков.

Для базы р-типа (рис. 7-6) распределение носителей получается из решения первого из уравнений (7-160):

п (с) sh

' 00

00

 

+ п ф) sh

(7-161)

где * = 0 в точке с.

176

Йз уравнений (7-160) и (7-161) получаем выражение для элек­ тронного тока еа границах базы р-тила в точках с и Ъ:

ы +

Е-

п (6) csh

— п (с) cth

-

j

-

/ „ ( с ) = -

 

 

b + l

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(7-162)

 

<2qDn

 

 

 

 

Ы--

п {b) cth

n (с) csh

 

 

 

 

 

 

b +

 

 

 

 

Аналогично для базы «-типа

 

 

 

 

 

 

 

ш_ — х

 

 

х

 

 

 

p(f)sb —\

+

p{d)sb-r

 

р(х)

=

 

sh

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

р (f) cth - £

/> (rf) csh

-

j

M f ) = "

 

 

6 + 1

 

 

 

(7-163)

 

 

 

 

 

 

 

/ + - V 1

-

Ь ( О csh-f5 --/>(<*) cth

- f -

 

 

 

 

 

6 + 1

 

 

 

 

где л = 0 в точке f.

В областях эмиттеров я+-типа и р+-типа предполагается малым уровень инжекции, т. е. в уравнении непрерывности (7-160) величины L?n=Dn%no и L2p=DpXpo и подвижность постоянны по всей длине каждой области. В этом случае решение уравнения непрерывности и выражения для соответствующих токов в областях эмиттеров п+- типа и р+-типа будут:

р (a) sh W , X

р (X):

 

w

 

sh

 

(7-164)

 

 

/(a)= ^ L p ( a ) c t h - p

12—44

177

где х = 0 в точке а;

sh-

п (х) = п (k)

W

 

 

sh-

W

где х=0 в точке

Концентрация носителей на каждом из переходов ]\, ]г, /з может быть выражена через соответствующие напряжения на этих перехо­ дах сЛ, 1)г и Us- Например, для перехода /з [ Л . 7-5]:

n(k)

= М +

Р+е

ьт

 

 

2sh

 

 

 

 

 

 

 

( 7 - 1 6 5)

Р

Р+ +

 

We-"7

kT

=

 

(Ы-Vi)

 

 

2shq

 

 

kT

 

 

 

 

 

где Р+, N — концентрация легирующих примесей в областях р+ и п соответственно; фкз — контактная разность потенциалов для пере­ хода /3 .

Аналогичным образом выглядят выражения для концентраций носителей на переходах /2, j i . Вышеприведенная система нелиней­ ных алгебраических уравнений с учетом 1(7-165) и величин напряже­ ний на переходах Uu U2 и U3 решалась методом итераций на циф­ ровой вычислительной машине ( Л . 7-4].*

В каждой точке толстой базы от d до f подвижность и другие,

связанные с ней

параметры, зависят от

концентрации носителей.

Хотя при выводе

уравнения непрерывности

в (7-160) было принято,

что изменение величины подвижности вдоль базы незначительно, при вычисленнии на ЦВМ была учтена зависимость подвижности от кон­ центрации. Значения подвижпостей электронов и дырок с учетом

рассеяния на

атомах решетки

брались из { Л . 7-6], а подвижности

с учетом рассеяния на атомах

примеси — из { Л . 7-7]. Для определе­

ния подвижности яри малом

уровне инжекции

|_i0 была использована

[ Л .

7-8], связывающая

оба

вида механизмов

рассеяния.

ПОДВИЖ­

НОСТИ- ii при

большом

уровне

инжекции определялась по

формуле

[ Л .

7-9]

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

,

 

( 7 - 1 6 6 )

где

величина

учитывает рассеяние носителей на носителях.

 

При расчетах считалось, что отношение времен жизни дырок и

электронов и

соответствующие

температурные

зависимости

опреде-

178

ляются рекомбинационными процессами на примесных уровнях зо­ лота согласно {Л. 7-10].

Зная распределение носителей, можно вычислить напряженность электрического поля Е по (7-160). Падение напряжения на базовой области находится методом численного интегрирования величины Е.

Конкретный расчет был произведен для структуры со следующи­ ми параметрами: Р + = 1 0 1 7 см~3, ЛГ=2 • 101 3 см~\ Р = 5-101 5 см-3.

Рис. 7-7. Распределение концен-

=100 а/см2, / 4

= 1 ООО а/см2.

трации

неосновных

носителей

 

 

 

в базовых областях р-л-р-я-струк-

 

 

 

туры при Л = 1 а/см2, /

2 = 1 0 а/см2,

лг+=101 9

см~3,

а>Р+ = 54 мкм,

/ 3 =100

а/см2, / 4 = 1 000

а/см2.

wn = 750

мкм, wP20 мкм,

 

 

 

я>„+ = 34 мкм и т=12 мксек.

На рис. 7-7 приведено распределение носителей в базовых обла­

стях такой структуры при 300 °К и при разных

плотностях прямого

тока. Видно, что форма распределения слабо зависит от величины тока, причем распределение носителей вдоль базовых областей изме­ няется также незначительно. Соответствующие распределения на­ пряженности электрического поля приведены на рис. 7-8. Поскольку ток через я-базу является практически дрейфовым, распределение поля обратно распределению носителей. Распределение потенциала» в рассматриваемой структуре приведено л а рис. 7-9, а полная вольт-

амперная

характеристика структуры и ее составляющие — на

рис. 7-Ю.

 

Из рисунков видно, что падение напряжения на базе р-типа, не­ смотря на высокий уровень инжекции, мало по сравнению с паде­ нием напряжения на базе я-типа и с полным падением напряжения. Наибольший вклад в полное падение Напряжения при сверхвысоких уровнях инжекции вносит л-база. Как и следовало ожидать из гра­ ничных условий, тангенс утла наклона вольт-амперных характери­

стик р-л-переходов составляет q/kT или

qflkT.

 

Влияние концентрации примеси -в эмиттере р+-типа на падение

напряжения в базовых областях видно

из рис. 7J 11. Падение

напря­

жения в базе р-типа практически не

зависит от величины

р + , так

12*

 

179

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ