
книги из ГПНТБ / Челноков В.Е. Физические основы работы силовых полупроводниковых приборов
.pdfгерметика р-«-р-п-структуры в открытом состоянии может быть представлена в виде
I = hi { — + |
1 ) е |
• (7-133) |
7-6. СТАТИЧЕСКАЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ОТКРЫТОЙ р-я-р-п-СТРУКТУРЫ ПРИ ВЫСОКОМ УРОВНЕ
ИНЖЕКЦИИ В ОБЕИХ БАЗАХ
У большинства существующих типов тиристоров в об ласти рабочих токов высокий уровень инжекции дости гается только в одной (слаболегированной) базе. Однако, как это будет детально рассмотрено в главах, посвящен ных нестационарным процессам, для повышения быстро действия тиристоров целесообразно, чтобы степень леги рования базовых областей была примерно одинаковой. При этих условиях высокий уровень инжекции может быть достигнут в области рабочих токов в обеих базовых областях. В связи с этим представляет интерес проана лизировать поведение р-п-р-/г-структуры в предположе нии, что высокий уровень инжекции достигается в обеих базах. Такой анализ представляет тем больший интерес, что ведет к совершенно новым выводам относительно условий переключения четырехслойных структур и от крывает ряд новых технологических возможностей для вариаций различных параметров тиристоров [Л. 7-1].
Анализ будем проводить при тех же предположениях, что и выше. При этом уравнение движения дырок в базе «-типа (7-98) остается неизменным. Движение электро
нов в р-базе будет в рассматриваемом |
случае |
описы- |
|||
ватьйя |
уравнением |
|
|
|
|
|
= |
0, |
|
|
(7-134) |
где |
|
|
|
|
|
Аналогично (7-97) ток электронов |
в |
р-базе в |
общем |
||
случае |
равен: |
|
|
|
|
|
л, ( 6 - 1 ) |
|
|
bnj |
|
|
(b+\),h+N2 |
|
(b+l)n,+N2 |
' |
|
где N2— |
концентрация акцепторов |
в |
р-базе. |
(7-135) |
|
|
170
Из (7-135) в случае низкого уровня инжекции полу чаем:
|
|
|
|
|
|
(7-136) |
а при высоком |
уровне инжекции |
|
|
|||
г |
, . |
—2(7/3, йпл |
ft/ |
(7-137) |
||
|
|
b+l |
|
dx 1 |
b+l |
|
|
|
|
|
|||
Так как при |
x= |
— wl |
имеем /, — /, то, следовательно, |
|||
|
1{Х): |
2qD, |
dnx |
|
(7-138) |
|
|
|
|
|
dx |
|
|
Таким образом, электронный ток на |
коллекторном |
|||||
р-я-переходе оказывается |
равным: |
|
|
|||
Л (0) |
= |
|
|
2qD1b |
dn^ |
(7-139) |
ь + 1 |
dx |
Ь + |
l j dx |
Граничное условие при x = w% остается тем же (7-102). Граничным условием при х = —до4 является соотношение, аналогичное (7-138). На коллекторном р-я-переходе так же имеем два граничных условия. Первое записывается на основе того, что сумма электронного и дырочного то ков равна полному току ч'ерез структуру:
2ЬРг |
dn2 |
2D2 |
dn2 |
2bDx |
dn, |
T+l |
~dx |
'b+l |
dx |
b+l |
dx |
|
|
2D, |
drii |
|
(7-140) |
|
|
~ b+l |
dx |
q ' |
|
|
|
|
|||
При помощи |
(7-102) |
и |
(7-138) |
можно записать |
|
(7-140) в более простой форме: |
|
|
|||
|
|
|
dn2 |
|
(7-141) |
|
|
dx |
dx |
|
|
|
|
|
|
Второе граничное условие на коллекторном р-я-пере- ходе в рассматриваемом случае отличается от (7-108). Действительно, поскольку в обеих базовых областях предполагается высокий уровень инжекции, то концен трации как неосновных, так и основных носителей значи тельно выше равновесных и приблизительно равны меж ду собой. При этом напряжение на коллекторном р-я- переходе отличается от контактной разности потенциа-
171
лов на величину порядка kT/q и приближенно можно считать, что
|
|
л 1 ( 0 ) = л 2 ( 0 ) . |
|
|
(7-142) |
||
Решение уравнений (7-98), |
(7-126) |
имеет |
вид: |
||||
п, |
(х) = |
С, sh ±—\-Н, ch |
; |
|
(7-143) |
||
nt{x) |
= |
Ctdi-±—ЬЯ2сЬ/-, |
|
|
(7-144) |
||
|
|
*-2Л |
|
^2h |
|
|
|
Коэффициенты Ci, |
С2, Hi, |
Я 2 |
определяются |
с |
помощью |
||
граничных условий |
(7-102), |
(7-138), |
(7-140) |
и |
(7-142). |
В общем случае эти коэффициенты выражаются через
параметры |
структуры |
следующим |
образом: |
|
||
с-=- |
та |
|
1,1 5- «*ж> 5г) = <7445 |
|||
|
С , = С , |
|
fe-; |
(7-147) |
||
|
|
Я 2 |
= |
Я „ |
|
(7-148) |
где |
|
|
ю > |
I |
|
|
|
1 |
|
1 |
|
||
|
, |
W, |
|
|
, W |
|
|
alh = secnT-1-; |
|
<x2ft = |
secri7- |
|
Соотношения (7-143) — (7-148) позволяют вычислить падения напряжения как на отдельных р-я-переходах, так и на толще базовых областей. Падение напряжения на эмиттерном р-я-переходе, прилегающем к базе р-типа, равно:
U t = * L In L ' L l h u
[ V - th -p- th |
-p-+ |
1 |
Я |
\ 2qD1n0lMsh |
I L ! h |
Lift |
L 2 h |
1 |
|
|
, + - i r ( K f t a 2 / l + l ) ] + |
l } - |
(7-149) |
||
Если |
обе |
базы структуры |
широкие, |
т. е. |
wilLih>\; |
|
WzlUh>\, |
то |
|
|
|
|
|
172
или
I=Jqr^D1_{^ul,kT__^ |
( 7 . I 5 1 ) |
Уравнение (7-151) отличается от подобного |
уравне |
ния Шокли для р-я-перехода с широкой базой удвоенным значением коэффициента диффузии и эффективной диф фузионной длиной. Это уравнение, как и следовало ожи дать, совпадает с соответствующим выражением для то ков через одиночный р-я-переход, полученным В. И. Стафеевым, для случая высокого уровня инжекции.
Падение |
напряжения |
на |
эмиттерном |
р-я-переходе, |
|||||||
прилегающем'к |
базе я-типа, |
равно: |
|
|
|
||||||
' |
|
q |
\ 2qDinnM,h |
[ |
L l |
h |
L l h |
L i h ' |
|
|
|
Если обе базы p-n-p-n |
структуры широкие, |
то |
ана |
||||||||
логично |
(7-150) |
имеем: |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
" з ^ ь ( - ^ + 1 ) . |
|
|
(7-153) |
||||||
Напряжение на коллекторном р-я-переходе в соответ |
|||||||||||
ствии с принятым граничным условием |
(7-142) |
равно |
|||||||||
контактной |
разности потенциалов |
срк- Таким |
образом, |
||||||||
в р-я-р-я-структуре |
могут |
не |
выполняться ни |
условие, |
|||||||
относящееся |
к |
коэффициентам |
передачи |
при |
низком |
||||||
уровне |
инжекции, |
ни условие |
|
(7-127), |
относящееся |
к тому случаю,- когда высокий уровень инжекции имеет место только в слаболегированной базе, и тем не менее она может быть переведена в открытое состояние. Ми нимальный удерживающий ток через структуру в этом состоянии определяется условием tii(0)=N2 (если уро вень легирования р-базы выше), откуда получаем, что ток переключения, равный удерживающему току, выра жается следующим образом:
/уд= |
1 L i h |
L i h |
L i h |
b l L . (7-154)
Для включения подобной структуры требуемый ток может быть создан либо за счет большой скорости на-
173
растания анодного напряжения, либо за счет использо вания коллекторного p-n-перехода с лавинной характе ристикой.
Физический смысл этого явления тот же, что и в рас смотренном выше случае, когда высокий уровень инжек ции достигался только в одной базовой области. Однако если переход к высокому уровню инжекции в одной базе позволял ослабить необходимое условие переключения
таким |
образом, |
что критичным |
оставалось |
отношение |
|
w/L в базе с низким уровнем |
инжекции, то переход к вы |
||||
сокому |
уровню |
инжекции |
в обеих базовых |
областях |
|
делает |
некритичными размеры |
баз. |
|
Для того" чтобы оценить, влияет ли переход к высо кому уровню инжекции в обеих базах на величину паде
ния напряжения |
на их толще, рассмотрим симметричный |
|||||||
случай, |
т. е. |
будем |
полагать, |
что |
Яо1 = Яо2 = "о; W\ = |
|||
= wz = w; |
L i h |
= L2h=Lh, |
но D^DZ. |
|
. |
|
||
При |
этом |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
^ |
г |
— ; |
(7-155) |
|
|
|
|
4qD21 |
ch |
-j— |
|
|
|
|
tf2 |
= |
|
|
tf,= |
(7-156) |
|
|
|
|
|
4qD,2 |
sh - , — |
|
||
где |
1 |
_ |
l |
1 _ . |
1 __ 1 |
|_ l |
||
|
||||||||
|
D2l |
|
Dz |
A • D 1 2 |
|
D2 |
' Dj ' |
так что
(7-157)
Вычисление падения напряжения на толще базовых областей показывает, что в р- и «-базах эти падения одинаковы и выражаются при w/Lh>\ следующим обра зом:
" . ^ ^ ^ a r c t g ^ ' V * ) . |
(7-158) |
т. е. соответствуют формуле (7-132).
174
Вольт-амперная характеристика структуры в этом случае описывается соотношением
/ = 2gn0(Dl |
+ D2) |
ckT |
(U-2V+1P) |
|
|
(7-159) |
|||
L h exp |
|
|
|
|
T 7 |
|
|
|
|
В общем случае напряжение на структуре получается |
||||
в результате суммирования |
£Д, \J2, U3, UTn, |
UTp: |
||
и=и1—и2+ив+и?п+итр+1Як. |
|
(7-159а) |
7-7. СТАТИЧЕСКАЯ ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ОТКРЫТОЙ р-я-р-я-СТРУКТУРЫ ПРИ ВЫСОКОМ УРОВНЕ
ИНЖЕКЦИИ В ОБЕИХ БАЗАХ С УЧЕТОМ РАССЕЯНИЯ НОСИТЕЛЕЙ НА НОСИТЕЛЯХ
Уравнения, описывающие вольт-амперную характеристику от крытой р-я-р-я-структуры, 'были получены выше в аналитической форме при целом ряде ограничивающих предположений. Если учесть такие явления, как рассеяние
носителей |
на носителях, моду |
-На |
|
N* |
|||
ляцию проводимости и зависи |
|
||||||
|
|
|
|||||
мость коэффициентов инжекции |
|
|
|
||||
от плотности' тока, то получить |
/О |
|
|
||||
выражения для вольт-амперной |
|
|
|||||
|
|
|
|||||
характеристики |
в |
аналитиче |
|
|
|
||
ской |
форме |
представляется |
|
|
|
||
весьма |
затруднительным. |
|
|
|
|||
П. А. Кокоза [Л. 7-4] произвел |
|
|
|
||||
численный |
расчет |
и сравнение |
Ю ' |
|
|
||
с экспериментом вольт-ампер |
|
Оц„ |
|
||||
ной |
характеристики р-я-р-я- |
|
|
||||
структуры |
в широком диапазо |
|
|
|
|||
не прямых токов от 1 а/см2 до |
в* |
п' |
р |
||||
1 ООО |
а/см2. В основу расчета |
||||||
была положена следующая мо |
к f |
с/ |
С 6а |
||||
дель р-я-р-я-структуры: |
|||||||
1) |
все |
три р-я-перехода |
J) |
-'г |
J< |
||
одномерны, через них протекает |
|||||||
прямой ток только в одном на |
Рис. 7-6. Схематическое |
изобра |
|||||
правлении; |
|
|
|
жение р-я-р-я-структуры с типич |
|||
2) |
все переходы резкие, ле |
ным распределением легирующих |
|||||
гирование |
областей |
однородно; |
примесей. |
|
|
||
3) |
применима |
статистика |
|
|
|
||
Больцмана; |
напряжения на контактах пренебрегается; |
контакты |
|||||
4) |
падением |
кэмиттерам принимаются омическими;
5)пренебрегается электрическими полями в эмиттерных об
ластях;
6)переходы считаются тонкими;
175
7)величина времени жиаии постоянна по длине каждой области;
8)во всех областях выполняется принцип нейтральности за
рядов;
9)в обеих базах я = р » \ЫЯ—Afa|, т. е. соблюдается высокий уровень инжекции. Этим условием определяется нижний предел при менимости расчета по плотности тока.
Схематическое изображение p-re-p-n-структуры с типичным рас пределением легирующих примесей приведено на рис. 7-6. Если при нять, что изменение подвижности (а следовательно, и коэффици ентов диффузии) носителей вследствие рассеяния носителей на но
сителях вдоль баз структуры незначительно, то |
система уравнений |
|||
для |
каждой из базовых областей |
структуры, |
изображенной |
на |
рис. |
7-6, написанная в общем виде с |
учетом п. 9, превращается |
в |
d*P |
£_. |
|
|
dx2 |
L 2 ' |
|
|
|
|
dp |
|
|
b+ |
1 |
' |
|
|
dp |
|
|
6 + |
1 |
|
qDp |
|
|
|
^r(b+\)p |
|
|
|
где |
( t n 0 |
+ y |
) |
L 2 = 2bDt |
|||
|
6 + 1 |
|
|
Физический смысл первого из этих уравнений, так называемого «уравнения биполярной диффузии», заключается в том, что при вы полнении п. 9 в каждой из базовых областей необходимо учитывать диффузию носителей обоих знаков.
Для базы р-типа (рис. 7-6) распределение носителей получается из решения первого из уравнений (7-160):
п (с) sh |
' 00 |
00 |
|
+ п ф) sh |
(7-161)
где * = 0 в точке с.
176
Йз уравнений (7-160) и (7-161) получаем выражение для элек тронного тока еа границах базы р-тила в точках с и Ъ:
ы + |
—Е- |
п (6) csh |
— п (с) cth |
- |
j |
- |
|
/ „ ( с ) = - |
|
|
b + l |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(7-162) |
|
|
<2qDn |
|
|
|
|
||
Ы-- |
п {b) cth |
— n (с) csh |
|
|
|
||
|
|
|
b + |
|
|
|
|
Аналогично для базы «-типа |
|
|
|
|
|||
|
|
|
ш_ — х |
|
|
х |
|
|
|
|
p(f)sb —\ |
+ |
p{d)sb-r |
||
|
р(х) |
= |
|
sh |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
р (f) cth - £ |
/> (rf) csh |
- |
j |
— |
M f ) = " |
|
|
6 + 1 |
|
|
|
(7-163) |
|
|
|
|
|
|
|
|
/ + - V 1 |
- |
Ь ( О csh-f5 --/>(<*) cth |
- f - |
|
|
||
|
|
|
6 + 1 |
|
|
|
|
где л = 0 в точке f.
В областях эмиттеров я+-типа и р+-типа предполагается малым уровень инжекции, т. е. в уравнении непрерывности (7-160) величины L?n=Dn%no и L2p=DpXpo и подвижность постоянны по всей длине каждой области. В этом случае решение уравнения непрерывности и выражения для соответствующих токов в областях эмиттеров п+- типа и р+-типа будут:
р (a) sh W , — X
р (X): |
|
w |
|
sh |
|
|
(7-164) |
|
|
|
/(a)= ^ L p ( a ) c t h - p
12—44 |
177 |
где х = 0 в точке а;
sh-
п (х) = п (k) |
W |
|
|
|
sh- |
W
где х=0 в точке
Концентрация носителей на каждом из переходов ]\, ]г, /з может быть выражена через соответствующие напряжения на этих перехо дах сЛ, 1)г и Us- Например, для перехода /з [ Л . 7-5]:
n(k) |
= М + |
Р+е |
ьт |
|
|
||||
|
2sh |
|
|
|
|
|
|
|
( 7 - 1 6 5) |
Р(П |
Р+ + |
|
We-"7 |
kT |
= |
|
(Ы-Vi) |
|
|
|
2shq |
|
||
|
kT |
|
||
|
|
|
|
где Р+, N — концентрация легирующих примесей в областях р+ и п соответственно; фкз — контактная разность потенциалов для пере хода /3 .
Аналогичным образом выглядят выражения для концентраций носителей на переходах /2, j i . Вышеприведенная система нелиней ных алгебраических уравнений с учетом 1(7-165) и величин напряже ний на переходах Uu U2 и U3 решалась методом итераций на циф ровой вычислительной машине ( Л . 7-4].*
В каждой точке толстой базы от d до f подвижность и другие,
связанные с ней |
параметры, зависят от |
концентрации носителей. |
Хотя при выводе |
уравнения непрерывности |
в (7-160) было принято, |
что изменение величины подвижности вдоль базы незначительно, при вычисленнии на ЦВМ была учтена зависимость подвижности от кон центрации. Значения подвижпостей электронов и дырок с учетом
рассеяния на |
атомах решетки |
брались из { Л . 7-6], а подвижности |
|||||
с учетом рассеяния на атомах |
примеси — из { Л . 7-7]. Для определе |
||||||
ния подвижности яри малом |
уровне инжекции |
|_i0 была использована |
|||||
[ Л . |
7-8], связывающая |
оба |
вида механизмов |
рассеяния. |
ПОДВИЖ |
||
НОСТИ- ii при |
большом |
уровне |
инжекции определялась по |
формуле |
|||
[ Л . |
7-9] |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, |
|
( 7 - 1 6 6 ) |
где |
величина |
учитывает рассеяние носителей на носителях. |
|||||
|
При расчетах считалось, что отношение времен жизни дырок и |
||||||
электронов и |
соответствующие |
температурные |
зависимости |
опреде- |
178
ляются рекомбинационными процессами на примесных уровнях зо лота согласно {Л. 7-10].
Зная распределение носителей, можно вычислить напряженность электрического поля Е по (7-160). Падение напряжения на базовой области находится методом численного интегрирования величины Е.
Конкретный расчет был произведен для структуры со следующи ми параметрами: Р + = 1 0 1 7 см~3, ЛГ=2 • 101 3 см~\ Р = 5-101 5 см-3.
Рис. 7-7. Распределение концен- |
=100 а/см2, / 4 |
= 1 ООО а/см2. |
|||
трации |
неосновных |
носителей |
|
|
|
в базовых областях р-л-р-я-струк- |
|
|
|
||
туры при Л = 1 а/см2, / |
2 = 1 0 а/см2, |
лг+=101 9 |
см~3, |
а>Р+ = 54 мкм, |
|
/ 3 =100 |
а/см2, / 4 = 1 000 |
а/см2. |
wn = 750 |
мкм, wP— 20 мкм, |
|
|
|
|
я>„+ = 34 мкм и т=12 мксек. |
||
На рис. 7-7 приведено распределение носителей в базовых обла |
|||||
стях такой структуры при 300 °К и при разных |
плотностях прямого |
тока. Видно, что форма распределения слабо зависит от величины тока, причем распределение носителей вдоль базовых областей изме няется также незначительно. Соответствующие распределения на пряженности электрического поля приведены на рис. 7-8. Поскольку ток через я-базу является практически дрейфовым, распределение поля обратно распределению носителей. Распределение потенциала» в рассматриваемой структуре приведено л а рис. 7-9, а полная вольт-
амперная |
характеристика структуры и ее составляющие — на |
рис. 7-Ю. |
|
Из рисунков видно, что падение напряжения на базе р-типа, не смотря на высокий уровень инжекции, мало по сравнению с паде нием напряжения на базе я-типа и с полным падением напряжения. Наибольший вклад в полное падение Напряжения при сверхвысоких уровнях инжекции вносит л-база. Как и следовало ожидать из гра ничных условий, тангенс утла наклона вольт-амперных характери
стик р-л-переходов составляет q/kT или |
qflkT. |
|
Влияние концентрации примеси -в эмиттере р+-типа на падение |
||
напряжения в базовых областях видно |
из рис. 7J 11. Падение |
напря |
жения в базе р-типа практически не |
зависит от величины |
р + , так |
12* |
|
179 |