
книги из ГПНТБ / Евреинов Э.В. Цифровые автоматы с настраиваемой структурой (однородные среды)
.pdfгде г' — общее |
число вспомогательных тест-наборов, |
ко |
торые с л у ж а т |
для развязывания элементов, если |
не |
может быть подан на соседние группы элементов с не
связанными |
/-ми |
каналами . З а N' тактов обнаруживает |
|||||
ся лишь |
по |
одной |
координате |
каждой |
неисправности. |
||
Д л я определения |
второй координаты неисправного t'-ro |
||||||
канала в ш-й группе |
используется контрольно-диагно |
||||||
стический |
тест. |
Общее число контрольно-диагностиче |
|||||
ских тестов ЛРц.д |
составляет: |
|
|
||||
|
|
MI |
— м |
4 - М ' — / I-£-\ |
|||
|
|
' и к.д — |
ш |
к . д т 1 к |
| 2 |
j ' |
из которых при появлении 5 неисправностей в структуре
ОС используется M ' K + S |
тестов. Д л я ' обнаружения |
|
вто |
|||||||||||
рой координаты неисправного канала требуется |
один |
|||||||||||||
дополнительный такт, т. е. при появлении 5 |
неисправно |
|||||||||||||
стей диагностика их |
осуществляется |
|
за |
|
N' + S |
тактов. |
||||||||
Таким образом, видно, что однородность |
структуры |
|||||||||||||
ОС в сочетании с возможностью |
изменения |
структуры |
||||||||||||
программным |
способом |
позволяет |
|
существенно |
|
упро |
||||||||
|
|
|
|
стить |
процедуру |
поиска |
не |
|||||||
|
|
|
|
исправных |
элементов. |
|
Е щ е |
|||||||
|
|
|
|
большее |
|
значение |
приобре |
|||||||
|
|
|
|
тают особенности |
структуры |
|||||||||
|
|
|
|
ОС при |
необходимости |
|
рез |
|||||||
|
|
|
|
кого |
повышения |
надежности |
||||||||
|
|
|
|
реализуемых в ОС схем. |
|
|||||||||
|
|
|
|
Использование свойства пе- |
||||||||||
|
|
|
|
рестраиваемостн |
О С |
позво |
||||||||
|
|
|
|
ляет |
значительно |
повысить |
||||||||
|
|
|
|
надежность |
|
реализуемых |
||||||||
|
|
|
|
устройств. Под перестройкой |
||||||||||
|
|
|
|
понимается |
программное |
из |
||||||||
Рис. 3-2. Глобальная |
пере- |
менение настройки ОС та |
||||||||||||
ким образом, |
чтобы |
|
исклю |
|||||||||||
стройка |
АНС. |
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
чить |
отказавшие |
элементы. |
||||||||
|
|
|
|
Вопросам |
повышения надеж |
|||||||||
ности |
устройств за |
счет |
перестройки |
посвящен |
|
целый |
||||||||
р я д работ [Л. 3-9—3-12]. Перестройка может |
охватывать |
|||||||||||||
как значительную часть ОС, так и некоторые |
ограничен |
|||||||||||||
ные по числу |
элементов'участки |
ОС. |
В |
первом |
случае |
|||||||||
такие |
методы |
перестройки принято |
|
называть |
глобаль |
|||||||||
ными, |
а во втором — локальными . |
Глобальные |
|
методы |
перестройки значительной части ОС требуют либо боль шего времени перестройки, либо большей сложности.
70
Л о к а л ь н ы е методы перестройки свободны от указанного недостатка. В то ж е время локальные методы без при менения глобальной перестройки структуры ОС не смо гут обеспечить высокую надежность для достаточно больших промежутков времени. По-видимому, сочетание локальных перестроек с проводимыми через определен ные промежутки времени глобальными (полными) пере стройками является наиболее рациональным подходом к обеспечению высокой надежности ОС . Глобальные ме тоды перестройки рассмотрены в работах [Л. 3-11—-3-13].
Одним из простейших примеров глобальных методов « перестройки является перемещение всей схемы по на правлениям координат. Пусть в ОС реализуется некото рая структурная схема и один из работающих элемен тов в этой схеме вышел из строя. Тогда, используя избы точность ОС, можно с помощью перестройкисместить всю схему по координатам так, что на пересечении ко
ординат |
I и /, соответствующих |
неисправному |
элементу, |
в схеме |
не будет использоваться |
этот элемент |
(рис. 3-2). |
При глобальной перестройке (рис. 3-2) происходит
перемещение |
схемы вверх |
и вправо по структуре, так |
что элемент |
на пересечении |
координат / и / не -использу |
ется вообще, а элементы по столбцу / и строке i выпол
няют соединительные |
функции |
пересечения Р. |
|
||||
Л о к а л ь н ы е методы |
перестройки |
рассмотрены |
в рабо |
||||
тах [Л. 3-12, 3-15]. |
|
|
|
|
|
|
|
Суть одного из локальных методов, так называемого |
|||||||
локального |
регулярного |
резервирования, |
заключается |
||||
в том, что |
исходная структура |
ОС |
разбивается |
на оди |
|||
наковые по мощности |
и |
конфигурации непересекающие |
|||||
ся области |
(суперэлементы); в |
к а ж д о м |
суперэлементе |
||||
выбираются |
системы |
подмножеств |
элементов |
( я д р а ) , |
реализующих автоматы из некоторого базиса; дл я к а ж
дого |
ядра определяется подмножество элементов (обо |
||
лочек |
я д е р ) , обеспечивающих |
соединение ядер |
с м е ж н ы х |
суперэлементов. Если система |
ядер и оболочек |
выбрана |
таким образом, что дл я каждой группы элементов опре деленной мощности существуют ядро и оболочка, . не включающие в себя ни один элемент из заданной груп пы, то перестройку можно вести заменой одного ядра другим. При этом предполагается, что программирова ние ведется с учетом структуры соединений ядер суперэлементов, а перестройка сохраняет заданную структуру соединений. В качестве примера простого варианта ре-
71
з е р в и р о в а н ня и |
перестройки |
рассмотрим |
ОС |
в |
виде |
||
плоской среды |
с основным элементом в виде |
квадрата.. |
|||||
Пусть |
к а ж д ы й |
элемент, кроме |
функций из |
автоматного1 |
|||
базиса, |
может |
т а к ж е |
реализовать соединительные |
функ |
|||
ции Р |
и D. Разобьем |
среду на |
суперэлемеиты |
по |
четыре |
+
а)
+
|
8) |
I |
I |
|
I г) |
|
|
|
Рнс. 3-3. Регулярное локальное резервирование. |
|
|
||||||
элемента |
в к а ж д о м . На рис. |
3-3,а,б,е,г |
показаны |
раз |
||||
личные варианты |
локального |
резервирования . |
|
|
||||
В к а ж д о м |
суперэлементе |
д л я |
размещения |
реализу |
||||
емого устройства |
используется по |
одному выделенному |
||||||
элементу |
(ядру) . |
Остальные |
элементы |
с л у ж а т |
для |
сое |
динений ядер и в качестве резерва. Отказ одного произ вольного элемента устраняется по правилам, представ
ленным |
на рис. 3-3, |
где |
крестом |
отмечен |
отказавший |
элемент. |
Отказы двух или более элементов, |
принадле |
|||
ж а щ и х |
суперэлементам, достаточно удаленным друг от |
||||
друга, устраняются |
независимо. |
|
|
||
Д л я |
оценки надежности |
ОС в случае локальной пере |
|||
стройки |
важной характеристикой |
является |
вероятность |
||
72 |
|
|
|
|
|
&(/) появления существенного отказа, под которым пони мается набор отказов элементов такой, что хотя бы в одном суперэлементе нельзя найти ядро, чья оболочка
обеспечивала |
бы |
соединение с |
ядрами |
соседних |
супер |
||
элементов. |
|
|
|
|
|
|
|
Грубая оценка |
и сравнение |
вариантов |
резервирова |
||||
ния производятся по мощности минимального |
набора |
||||||
элементов суперэлемента и его б л и ж а й ш и х |
соседей, |
со |
|||||
вместный отказ которых является существенным. |
|
|
|||||
Если R — мощность такого |
минимального набора, |
т о . |
|||||
|
|
Q(t)~CN{q(t)r, |
|
|
|
|
|
где N—число |
суперэлементов |
в ОС, |
a |
q(t)—вероят |
|||
ность отказа |
одного элемента |
ОС за время I . |
|
|
|||
Д л я я-мерной |
однородной |
среды, |
элементами кото |
рой являются единичные «-мерные кубы, а суперэлемен
тами |
/г-мерные кубы с основанием |
k(k>\), |
|
вероятность |
||||||
9 ( 0 |
при одной |
и той |
ж е |
избыточности |
и |
вероятности |
||||
отказа элементов убывает с ростом |
п. |
|
|
|
|
|
||||
Вероятность |
появления |
существенного |
отказа |
явля |
||||||
ется характеристикой не только метода |
резервирования, |
|||||||||
но и |
алгоритма |
перестройки, так |
как зависит |
от |
числа |
|||||
суперэлементов, |
подвергаемых перестройке, и количест |
|||||||||
ва исследуемых |
вариантов |
размещения |
ядер |
и |
оболочек. |
|||||
Д л я |
простых вариантов |
резервирования |
|
и |
перестройки |
|||||
при |
выполнении |
условия |
Nq(t)<\ |
существуют |
|
методы, |
позволяющие достаточно точно вычислить '0(0- Их суть заключается в вычислении вероятности появления суще
ственного |
отказа в конкретной |
ограниченной |
окрестно |
|
сти одного |
суперэлемента |
и |
исследовании |
вариантов |
взаимного |
расположения |
пар, |
троек и т. д. таких обла |
стей. Результат представляется в виде знакочередующе
гося ряда по степеням q{t). Д л я рассмотренного |
алго |
||||
ритма |
перестройки (рис. |
3-3) |
выражение д л я 0 ( 0 |
имеет |
|
вид: |
|
|
|
|
|
|
9 ( 0 =N[102 92 —4 260 <73 + |
0(<7'0]. |
|
||
Д л я |
определения 9 ( 0 |
при |
более |
сложных алгорит |
мах перестройки целесообразно применять методы ста
тистического |
моделирования [Л. 3-14]. |
В этом |
методе |
|
исследование |
в к а ж д о й |
реализации результатов |
воздей |
|
ствия на ОС |
заданного |
количества |
отказов |
заменено |
исследованием влияния каждого очередного отказа. Это возможно благодаря тому, что при моделировании ло кальной перестройки сложность выявления существенно-
73
i'o |
отказа при |
к одновременных |
отказов о к а з а л а с ь |
одно |
го |
порядка со |
сложностью к |
последовательных |
прове |
рок, осуществляемых после к а ж д о г о очередного отказа. Регулярность перестройки позволяет полностью автома тизировать процесс выявления существенных отказов. Вероятность появления существенного отказа за время /
можно представить |
в следующем |
виде: |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
б ( о |
£ |
|
Pt(k)-R(k), |
|
|
|
|
|
||
где |
Pt{k) |
— в е р о я т н о с т ь того, |
что |
за |
время t |
в |
ОС |
про |
||||||
изойдет |
ровно |
k отказов элементов, а через R— |
вероят |
|||||||||||
ность того, что |
в |
результате |
случайного |
равномерного |
||||||||||
распределения |
в |
среде |
k отказов |
элементов |
произойдет |
|||||||||
существенный |
отказ. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
Таким образом, |
расчет |
надежности |
ОС |
заменяется |
||||||||||
вычислением R |
|
(к). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Пусть |
имеется |
критерий, |
позволяющий |
определить |
||||||||||
д л я |
заданной |
окрестности отказавшего элемента, явля |
||||||||||||
ется |
ли |
отказ |
существенным. Последовательно выбира |
|||||||||||
ются случайным |
образом |
элементы |
ОС |
так, |
чтобы |
их |
координаты были распределены равномерно. После вы бора очередного элемента проверяется, является ли отказ полученного набора элементов существенным. Если отказ существенный, то запоминается число выбранных эле ментов и производится переход к новой реализации . Пос
ле набора т реализаций строится эмпирическая |
функ |
||||||||
ция Fm{k) |
распределения |
вероятности |
того, |
что |
сущест |
||||
венный отказ произойдет |
точно |
на k-м |
шаге. П о |
Fm(k) |
|||||
строится: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
к |
|
|
|
|
|
|
|
|
flm(£) = 2 |
Fm{l), |
|
|
|||
|
|
|
|
1=1 |
|
|
|
|
|
lira Rm |
(k) = |
R (It), |
поэтому |
при |
увеличении числа реализа- |
||||
m->oo |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
п |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ций JJ |
PL(k)Rm(/i) |
стремится |
к |
0(if). |
|
|
|
||
й = 1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Этот метод моделирования может быть |
применен и |
||||||||
при нескольких типах отказов. |
Проведенное |
моделиро |
|||||||
вание |
показало, |
что применение |
локальных |
алгоритмов |
перестройки |
ОС позволяет существенно повысить надеж |
|||
ность схем, |
реализованных |
в ОС . Таким |
образом, |
из |
изложенного |
выше следует, |
что однородные |
среды |
бла- |
74
годаря заложенным в них принципам переменности и однородности структуры позволяют резко увеличить
физическую |
надежность |
элементов, |
существенно упро |
|||||
стить |
процесс |
поиска неисправностей в |
их |
структуре, |
||||
резко |
увеличить логическую надежность |
структуры в це |
||||||
лом з а счет применения методов глобальной |
и |
локаль |
||||||
ной перестроек. |
|
|
|
|
|
|||
3-4. Э К О Н О М И Ч Н О С Т Ь О Д Н О Р О Д Н Ы Х С Р Е Д |
|
|
|
|
||||
Одним |
из |
важнейших и определяющих |
требований |
|||||
к ОС |
являются |
вопросы |
стоимости. |
Как |
у ж е |
указыва |
лось, в ОС можно достигнуть довольно высокой произ
водительности |
при использовании |
физических |
приборов |
с относительно невысокой тактовой частотой. |
Б л а г о д а р я |
||
переменности |
структуры, з а д а н н а я надежность ОС мо |
||
жет -быть обеспечена д а ж е при |
допущении |
известного |
процента выхода элементов. Это достигается использо
ванием избыточности |
элементов в |
ОС. |
Таким |
образом, |
||
к однородным |
средам |
нужно |
подходить |
как к |
системам, |
|
с о д е р ж а щ и м |
очень большое |
число |
элементов. |
Отсюда |
естественным требованием является минимальная стои мость элементов. Стоимость элементов определяется со вокупностью многих факторов: конструкцией, логиче
ской |
структурой, |
выбранным типом |
физических прибо |
|||||
ров, |
технологией |
изготовления |
и т. |
д. Д л я |
выяснения |
|||
особенностей |
подхода |
к оценке |
стоимости |
ОС |
рассмот |
|||
рим |
сначала |
оценки |
стоимости |
обычных |
устройств при |
использовании современных способов технологии микро миниатюризации.
В качестве конструктивной основы построения совре
менных устройств |
используются |
интегральные |
схемы. |
|||
В отличие |
от обычных схем из дискретных |
компонентов |
||||
в интегральной схеме не допускается замена |
вышедших |
|||||
из строя компонентов. Как правило, компоненты |
могут |
|||||
выходить |
из строя |
в процессе изготовления |
интеграль |
|||
ной схемы. Поэтому при выходе из строя |
д а ж е |
одной |
||||
компоненты приходится браковать всю схему. |
В |
инте |
||||
гральных |
схемах различают две |
основные |
разновидно |
|||
сти брака: |
брак, |
обусловленный |
независимыми |
причи |
нами, такими, например, как загрязнение, поломка выво да, пробой и т. д., и брак, обусловленный связанными друг с другом причинами, такими как плохое сырье, влияющее на многие характеристики компонентов, выход
75
из строя аппаратуры и т. д. В этом случае все элементы, входящие в партию, могут быть непригодны или все исправны. На самом деле причины брака представляют собой среднее между этими двумя крайними случаями. Проценты выхода годных интегральных схем при отсут ствии взаимосвязи м е ж д у причинами, вызывающими брак, равны:
Уг% = ( 1 — S)»- 100,
где N — число компонентов в интегральной схеме; 5 — отношение количества негодных компонентов к общему количеству компонентов (процент б р а к а ) .
Процент выхода годных схем, выполненных на ди скретных компонентах, которые можно заменять при выходе из строя, равен:
|
vs% |
= |
(l-S) |
-100. |
|
|
|
|
|
Нетрудно видеть, что выход годных |
интегральных |
||||||||
схем д л я любого |
случая, |
кроме |
малых |
N и |
|
5, |
является |
||
низким. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Д л я характеристики |
возрастания |
стоимости |
вследст |
||||||
вие низкого выхода годных интегральных |
схем |
удобно |
|||||||
ввести коэффициент стоимости F, представляющий собой |
|||||||||
отношение стоимости интегральной |
схемы |
к |
стоимости |
||||||
у з л а из дискретных компонентов |
без |
учета |
затрат на |
||||||
сборку: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
= |
|
^-={{-S)'-N- |
|
|
|
|
||
На практике увеличение стоимости, выраженное через |
|||||||||
коэффициент F, |
следует |
сопоставлять |
со |
|
снижением |
стоимости, связанным с применением интегральных схем. Максимальное число компонентов, которое целесообраз но реализовать в каждой интегральной схеме, растет по мере снижения брака . Непосредственный способ увели чения выхода годных схем сводится к непрерывному улучшению технологии их изготовления.
К а к правило, значительные з а т р а т ы |
на |
изготовление |
||
интегральных |
схем |
более оправданы, |
чем |
з а т р а т ы на |
изготовление |
схем |
из дискретных компонентов. |
||
Стоимость |
к а ж д о г о компонента, |
изготавливаемого |
отдельно или в интегральной схеме, состоит из двух ча
стей:
С = С\ + Сг,
76
где |
Ci — затраты на процесс изготовления, не |
зависящие |
||||
от |
количества изготавливаемых компонентов; |
С2 — стои |
||||
мость обработки, которая |
пропорциональна |
количеству |
||||
изготовленных компонентов. |
|
|
||||
|
Стоимость С2 можно выразить в виде |
|
|
|||
|
|
C2 = C 2 0 ( 1 - S ) -NC |
|
|
||
где |
С2о — стоимость з а т р а т |
на компонент при |
отсутствии |
|||
.брака; Nc — количество интегральных схем. |
|
|
||||
|
Стоимость Ct можно представить как |
|
|
|||
|
|
|
d=€w |
( 5 - 1 - 1 ) , |
|
|
где |
С ю — к о э ф ф и ц и е н т пропорциональности, |
зависящий |
||||
от того, на сколько схем можно распространить |
постоян |
|||||
ную |
стоимость. |
|
|
|
|
|
|
В |
соответствии с |
уравнением уменьшение |
5 веде г |
||
к увеличению затрат |
С\. Увеличение з а т р а т на |
создание |
метода изготовления схем резко уменьшает общую сто
имость интегральной схемы до тех пор, |
пока |
не |
будет |
|||||
достигнута |
минимальная |
стоимость, |
соответствующая |
|||||
оптимальному способу |
изготовления |
интегральных схем. |
||||||
/ Д р у г и м направлением |
в увеличении |
выхода |
годных |
|||||
схем является резервирование, т. е. использование |
допол |
|||||||
нительных |
компонентов, |
что |
обеспечивает |
выполнение |
||||
схемой определенной |
функции |
д а ж е |
при |
отказе |
одного |
|||
или нескольких компонентов. |
В случае |
интегральных |
схем это особенно эффективно, поскольку стоимость до полнительных компонентов довольно незначительна. При пассивном резервировании, когда к а ж д ы й компонент заменяется группой компонентов, соединенных по опре деленной схеме, повышение процента выхода годных схем незначительно при высоком проценте брака и вели ко при небольшом проценте брака . Например, при ре зервировании последовательно - параллельной группой из
четырех |
компонентов |
выход |
годных |
компонентов |
|
повы |
|||||
сится всего в 1,5 раза |
при |
S = 30%! |
и |
в |
40 раз |
при |
|||||
5 = 1 % . |
При |
активном |
резервировании |
|
вместо |
компо |
|||||
нентов, |
о к а з а в ш и х с я |
негодными, |
присоединяются |
|
запас |
||||||
ные компоненты. |
|
|
|
|
|
|
|
п |
|
||
Величина |
выхода |
годных схем, |
с о д е р ж а щ и х |
при |
|||||||
годных |
компонентов |
из |
общего |
числа |
N, |
определяется |
выражением
77
где |
5 — велпчпца |
брака |
при |
изготовлении |
отдельных |
||||
компонентов. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Например, |
прч |
20% |
брака, |
если |
бы |
изготовлялись |
|||
10-компоиептпые |
интегральные |
схемы, |
выход |
годных |
|||||
схем |
составил |
бы |
всего |
11%- Но если |
бы |
требовалось |
|||
изготавливать |
при |
этом |
8-компонснтные |
схемы |
и если |
бы их можно было проверить и присоединить только год ные, то процент выхода годных схем составил бы 69%.
Активное резервирование является средством увели чения выхода годных схем. Однако увеличение выхода годных схем требует дополнительной проверки компо нентов перед подсоединением, а т а к ж е дополнительной работы па их присоединение, что приводит к некоторому увеличению стоимости. Д л я получения точной оценки стоимости интегральных схем необходимо учитывать осо
бенности технологии. В работе [Л. |
3-16] приведены оцен |
|||
ки стоимости интегральных схем с |
учетом |
особенностей |
||
их производства |
на основе |
плапарно-эпитаксиальмой |
||
технологии. Эти |
результаты |
могут |
быть |
использованы |
д л я |
оценки стоимостных показателей интегральных схем |
|
и в |
общем плане. В качестве параметров, |
характеризу |
ющих конструкцию интегральной схемы, |
принимаются |
степень интеграции схемы п (число компонентов в инте
гральной схеме) и коэффициент поражаемостн |
кристал |
|||||||||||
ла |
В |
(число дефектов на |
1 мм2 |
площади пластины) . |
||||||||
|
М е ж д у |
степенью интеграции |
п |
и |
площадью |
занима |
||||||
емой |
интегральной |
схемы |
|
Ас |
существует |
зависимость: |
||||||
|
|
|
|
/ 1 . = |
А |
+ |
л « . |
|
|
|
|
|
где |
А0 |
— площадь |
интегральной |
схемы, не |
з а н я т а я ком |
|||||||
понентами; а — средняя площадь кристалла, |
з а н и м а е м а я |
|||||||||||
одним компонентом |
схемы. |
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
Коэффициент поражаемостн кристалла В равен отно |
|||||||||||
шению той части площади |
кристалла, попадание дефек |
|||||||||||
та на которую выводит его из строя, к полной |
площади |
|||||||||||
кристалла . |
Практически д л я |
широкого класса |
интеграль |
|||||||||
ных |
схем |
В ~ 0,4 ч-0,5. Процесс |
производства |
интеграль |
||||||||
ных |
схем |
можно разделить |
на |
две |
группы |
|
операций: |
|||||
обработки пластины и сборки. |
В |
обработку |
пластины |
|||||||||
включаются все операции, |
относящиеся к |
пластине в це |
лом. Все остальные операции, включая разрезание пла стины на отдельные кристаллы, герметизацию их в кор пусе и окончательные испытания, относятся к сборке.
78
Стоимость одной интегральной схемы С может быть выражена:
где Р±—выход |
годных |
кристаллов |
после |
обработки |
пла |
|||
стины; Р2 — выход годных интегральных |
схем |
из сборка; |
||||||
С м — стоимость обработки |
одной |
пластины |
(включая |
|||||
стоимость самой пластины); N— |
число |
|
кристаллов |
на |
||||
пластине; Сс о — стоимость |
сборки |
одной |
интегральной |
|||||
схемы. |
|
|
|
|
|
|
|
|
При существующем |
уровне технологии наименьшим |
|||||||
оказывается |
выход годных |
кристаллов |
после |
обработки |
||||
пластины. |
|
|
|
|
|
|
|
|
Основной прием, используемый в планарной техноло
гии |
при обработке кремниевой пластины, состоит |
во |
|||
вскрытии при помощи |
фотолитографического |
процесса |
|||
окон |
в заданных местах защитной |
пленки окисла |
д л я |
||
последующей локальной |
обработки |
материала |
пластины |
легирующими примесями. Экспериментальные исследо вания указывают на значительное количество дефектов защитного слоя окисла в виде проколов. Количественной оценкой качества защитного слоя служит плотность проколов d, определяемая средним числом проколов на единицу площади. Конкретный анализ топологии и функ ционального назначения компонентов в интегральной схеме позволяет установить критические участки и вы
числить их |
размеры д л я каждого из процессов при |
про |
изводстве |
данной схемы. Отношение чувствительной |
|
к проколам |
части площади кристалла Ат к полной |
его |
площади As определяет вероятность (1—Pi,m) того, что
один |
прокол |
выводит |
кристалл |
из строя, |
есть вероят |
||||
ность |
выхода |
годного |
кристалла |
на т-н операции, если |
|||||
вокисной |
маске над |
кристаллом |
для этой |
операции |
име |
||||
ется |
один |
прокол. |
|
|
|
|
|
|
|
Вероятность Рт |
выхода годного кристалла |
п о с л е т - н |
|||||||
операции |
р а в н а : |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
со |
|
|
|
|
|
|
|
|
/ • . = 2 |
|
|
|
|
|
|
|
где k — dAs |
— средняя |
плотность |
проколов |
на |
один |
кри |
|||
сталл . |
|
|
|
|
|
|
|
|
79