Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Атамалян Э.Г. Методы и средства измерения электрических величин учеб. пособие

.pdf
Скачиваний:
183
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
8.26 Mб
Скачать

J c b s — начальный ток коллектора, по величине которого можно судить об отсутствии пробоя между эмиттером и коллектором, базой и коллектором;

Рсmax — максимально допустимая мощность на коллекторе;

fh21b — предельная

частота

коэффициента

передачи

тока

в схеме

с общей базой;

 

 

 

 

 

f„2U — предельная

частота

коэффициента

передачи

тока

в схеме

с общим эмиттером; Сс — емкость коллекторного перехода; F — фактор шума.

А м п е р в о л ь то м м е тр ы , п р е д н а зн а ч е н н ы е д л я и с п ы т а н и й тр а н зи с то р о в .

Эти приборы (см. § 2-5) обладают достаточно большим входным сопро­ тивлением (16000 -г- 17000 Ом/В при измерении постоянного напря­ жения и 3000 ч- 4000 Ом/В при измерении переменного напряжения). Большое их входное сопротивление позволяет во многих случаях

производить измерение

без заметных нарушений режима схемы.

 

Ампервольтомметры можно

использовать

также

 

для измерения обратного тока коллекторного

/ св0

 

и эмнттерного Iево переходов, начального тока

 

коллектора I c b s> а также для

измерения

коэффи­

 

циента передачи тока 1и1Ь.

 

 

 

 

 

 

И з м е р е н и е о б р а т н о г о т о к а к о л ­

 

л е к т о-p н о г о

п е р е х о д а .

Обратный

ток

 

коллекторного перехода

1сво — ток через переход

Рис. 9-4. Схема из­

коллектор — база

при

отключенном

эмиттере и

мерения I с в 0

заданном напряжении на коллекторе.

Схема

изме­

 

рения

дана для

транзистора

типа

р п р

(рис. 9-4). При измерении тока 1Сво для транзистора типа прп

полярность источника

и микроамперметра изменяют на обратную.

В зависимости от типа

транзистора ток I q b o У маломощных тран­

зисторов при температуре

20° С не должен превышать 10—20 мкА.

Величину' I q bo задают для

определенной величины напряжения на

коллекторе. Формула пересчета для другого.напряжения (несколько отличного от паспортного значения в пределах линейности) следующая:

I c b o^

Ic b o ( Uc b/U 'c b),

(9-9)

где 1сво> Uсв — паспортные

величины; Гсво,

У ев— данные при ис­

пытании .

 

 

И з м е р е н и е о б р а т н о г о т о к а э м н т т е р н о г о п е ­ р е х о д а . Ток 1Ево — начальный температурный ток обратно сме­ щенного эмнттерного перехода — измеряется при разомкнутой цепи коллектора и определенном заданном напряжении на эмиттере (рис.9-5). Схема измерения, показанная на этом рисунке, дана для транзистора типа рп. Для транзисторов типа прп полярность источника и прибора-изменяют на обратную. Ток 1е в о> как и ток 1сво> увеличи­ вается примерно вдвое при повышении температуры окружающей среды на 10° С.

И з м е р е н и е н а ч а л ь н о г о т о к а к о л л е к т о р н о г о п е р е х о д а . Ток Jobs — начальный ток коллекторного перехода —

170

измеряется в схеме с общим эмиттером при нулевом напряжении между

базой и эмиттером (UBE =

0), т. е. при базе,

соединенной с эмиттером

(рис. 9-6). Для

некоторых типов маломощных транзисторов ток I Cbs

имеет величину

10 ч- 30

мкА, для транзисторов средней и большой

мощности — 3 -г- 10 мА.

 

 

И з м е р е н и е к о э ф ф и ц и е н т а

п е р е д а ч и т о к а

в с х е м е с о б щ и м э м и т т е р о м в в и д е п а р а м е т р а

Рис. 9-5. Схема из-

Рис. 9-6. Схема из­

мерения I Е Е 0

мерения I CES

б о л ь ш о г о с и г н а л а

h2lB (рис. 9-7). Коэффициент передачи

h.llE тока для транзисторов,

работающих в импульсных схемах, изме­

ряют при больших постоянных и импульсных сигналах, напряжении питания 3,7 ч- 4,7 В и сопротивлении 500 Ом в цепи коллектора. При

заданном

значении обратного тока коллектора /сво> равном

2 ч-

ч- 20 мкА,

коэффициент передачи тока h2lE составляет величину,

ле­

жащую в пределах 300 ч- 100; параметр к21е измеряют на переменном токе при малом сигнале.

Испытателем транзисторов, выполненным по вышеописанным схе­ мам, является, например, авометр типа 4341. Погрешность измерения

напряжения и силы постоян­

 

ного тока составляет±2,5%,

 

а

силы

переменного

тока

 

. ±

4%

от конечного значения

 

шкалы.

 

вход-

-i

 

Измерители полных

+

ных и выходных проводимо­

 

стей

низкочастотных

тран­

Рис- 9'7' Схема измерения 1ц1Е

зисторов.

Полные входные

проводимости транзисторов измеряют в схемах с общей базой упЬ и общим эмиттером уие при ко­

ротком замыкании на выходе; полные выходные проводимости — в схе­ мах с общей базой у22Ь, при коротком замыкании на входе транзистора и с общими эмиттером 1и2е и базой h22b при холостом ходе входной цепи [уравнения (9-2) и (9-3)]. Измерение проводимостей осуществляют по схеме моста с индуктивно-связанными плечами (рис. 9-8). Два плеча моста образованы секциями вторичной обмотки w1и w2трансформатора напряжения Тр„, два других плеча — измеряемым объектом ух и отсчетными активно-реактивными элементами g0 и С0. Питание моста осуществляется посредством напряжения высокой частоты. Индикато­

7*

171

ром равновесия служат электронно-световые индикаторы (грубый и более чувствительный) с соответствующими каскадами усиления. До начала измерения параметров ух осуществляется начальный ба­ ланс схемы с помощью образцовых активно-реактивных элементов g0, С0. Поскольку входные (измерительные) зажимы и соединительные провода имеют некоторую паразитную емкость и активную проводи­ мость, то на чувствительной шкале прибор дает некоторые показания. Изменением образцовых составляющих g0 и С0 добиваются нулевых показаний индикатора. Условия начального баланса моста описывают уравнениями:

g«.6 = 8oi(wJw^-,

(9-10)

Cn.6 = C01(w1/w2),

(9-11)

гДе Sou Со1 — значения соответственно активной и реактивной соста­ вляющих в отсчетном плече при на­ чальном балансе; g„-6, С„ б — зна­ чения соответственно активной и реактивной составляющих в измери­ тельном плече при начальном балансе.

Затем к измерительным зажимам п и з подсоединяют измеряемый объект Ух = gx + ]®сх и, изменяя go и С0, вновь добиваются нулевых показаний индикатора. Условия баланса сле­ дующие:

Рис. 9-8. Схема моста с индуктивно­ связанными плечами для измерения

£ч.б + gx = g0o (wjwo)]

(9-12)

Cn.6JrCx = C02(w1/w2),

(9-13)

Ух

гДе

goo,

Co2 — значения

отсчетных

Вычитая из

элементов при измерительном балансе.

уравнения (9-12)

уравнение (9-10), а из

уравнения

(9-13) уравнение (9-11), получают:

 

 

 

 

gx = ( £ 0 2 - £ o i) К / ®

2);

( 9 - 1 4 )

 

Cx = (C0S- C aJ(w Jw J.

( 9 - 1 5 )

Приняв g0l и Со1 за условные нули, можно производить непосред­ ственный отсчет активных составляющих проводимостей в милли­ сименсах, а реактивных — в пикофарадах. Реальная схема моста по­ зволяет после подключения входной или выходной цепи измеряемой? транзистора к зажимам п и з установить режимы транзистора как по высокой частоте, так и по постоянному току. Мост обеспечивает воз­ можность подведения к измеряемому транзистору регулируемого кол­ лекторного напряжения (до 100 В) при измерении любого параметра, а также регулируемого тока эмиттера (до 30 мА) при измерении уп и у.22 и до 10 мА — при измерении Л22.

Для обеспечения режимов холостого хода и короткого замыкания в схеме предусмотрены специальное сопротивление /?хд и конденса­ тор Ск>3.

172

По мостовой схеме, показанной на рис. 9-8, выполнен измеритель полных проводимостей Л2-7, осуществляющий измерение проводи­ мостей на частотах 0,4 ч- 10 МГц (активные составляющие полных проводимостей составляют величины 0,01 ч- 1000 мСим, реактивные — 0,5 ч- 10000 пФ на частотах до 0,5 МГц и до 500 пФ на частотах до

10МГц).

Измеритель основных высокочастотных параметров транзисторов

типов р пр и п—р п. Одним из важнейших параметров транзи­ сторов является коэффициент передачи тока h21b. Величина h21b всегда меньше единицы и при низких частотах имеет значение порядка 0,95 ч- ч- 0,998. С повышением частоты усиление, даваемое транзистором, снижается, т. е. /г21й уменьшается. Предельно допустимое уменьшение величины/г216 — на 30% по срав­ нению со значением /г23й0 на низ­

ких частотах, т. e.h21b 0,7/г22*о- Частота, на которой соблюдается приведенное выше соотношение, называется граничной или пре­ дельной частотой коэффициента передачи тока.

Другим

важнейшим

высоко­

 

частотным

параметром

транзи­

 

стора является постоянная вре­

 

мени цепи обратной связи rb>bCz.

 

Нежелательное действие обрат­

 

ной связи, осуществляемое через

 

цепочку rb-bCc (см. рис. 9-3), при­

Рис. 9-9. Схема для измерения h 21b

водит к ограничению частотного

 

диапазона высокочастотных усилителен и повышению опасности их самовозбуждения. В зависимости от особенностей транзисторов значе­ ния rb'bCc могут находиться в пределе от десятков до тысяч пикосе­ кунд (пФ-Ом).

И з м е р е н и е к о э ф ф и ц и е н т а п е р е д а ч и т о к а h2lb. Измерение 1г21Ьосуществляется по схеме, изображенной на рис. 9-9. Чтобы определить h2lb, необходимо измерить ток эмиттера и ток кол­ лектора. Для этого используют резисторы с равными сопротивлениями Rx и Ro, падение напряжения на которых измеряют при помощи электронного вольтметра, состоящего из усилителя низкой частоты УНЧ и измерительного прибора ИП. Высокочастотные модулирован­ ные (например, меандром) сигналы с резисторов Иг и R2 подают в де­ текторы Д. С выхода Д низкочастотные сигналы через переключатель П подают на УНЧ.

Если переключатель находится в положении 1, то изменением на­ пряжения генератора высокой частоты ГВЧ падение напряжения до­ водят до величины, соответствующей отклонению стрелки ИП на всю

шкалу.

Так как напряжение на резисторе R.2 будет примерно в h21b раз меньше, чем на резисторе Rlt то при положении 2 переключателя П показания ИП уменьшатся и соответствуют коэффициенту передачи

173

тока/г21б (измерение производится на малом сигнале, поэтому шкала ИП имеет квадратичный характер).

И з м е р е н и е г р а н и ч н о й ч а с т о т ы к о э ф ф и ц и ­

е н т а п е р е д а ч и

т о к а fb21b• Указанное измерение осуществляют

 

методом балансировки по схеме,

 

показанной на рис. 9-10. Напря­

 

жения, снимаемые с измеритель­

 

ных резисторов Rx и Rа, после

 

детекторов Д попадают на схему

 

вычитания СВ и через усили­

 

тель низкой частоты УНЧ — на

 

измерительный прибор ИП. На

 

низкой частоте при закорочен­

 

ном сопротивлении Rs (ключ П

 

замкнут), изменяя

напряжение

 

после Д (подключенного к R x в

 

эмиттерной

цепи),

добиваются

 

нуля на выходе СВ (отсчетный

 

прибор показывает нуль). Раз­

которого равна 0,41

мыкая резистор Яз, величина

R2, увеличением частоты

генератора высокой

частоты ГВЧ вновь добиваются нуля на выходе СВ. Полученная частота и будет граничной для данного транзистора, так как общее

измерительное

сопротивление в цепи коллектора увеличилось на

3 дБ (R2 +

R3 = }Д2R2). Увеличение сопротивления в коллекторной

цепи компенсирует

умень­

шение

коллекторного тока

из-за снижения h21b.

И з м е р е н и е

п о ­

с т о я н н о й

в р е м е ­

н и ц е п и о б р а т н о й

с в я з и н а в ы с о к о й

ч а с т о т е

rb'bCc.

Ука­

занное

измерение

выпол­

няют по схеме, данной на

рис. 9-11. Наибольшее рас­

пространение

получил ме­

тод измерения

постоянной

времени rb'bCc путем срав­ нения с постоянной време­ ни эталонной ЯС-цепочки.

Подключая к зажимам ЕВС эталонные цепи с разной величиной про­ изведения ЯэтСэт, электронным вольтметром измеряются напряжения, пропорциональные R3C3r (градуировку шкалы электронного вольт­ метра выполняют в пФ-Ом). Затем вместо цепочки R31C3-, к зажимам ЕВС подключают транзистор и по шкале вольтметра отсчитывают величину гуьСс. Назначение генератора высокочастотного модули­

рованного сигнала, детектора Д и усилителя низкой частоты

УНЧ

то же, что и в схемах измерения h21b и /А . Прибор типа Л2-9

пред-

174

Т и п

Д и а п а з о н ч а с т о т

п р и б о р а

 

Л2-22 800 Гд ± 20%

Л2-23

760 Гц ± 5%

Л2-12

10-5-100 МГц

 

1,5 кГп

СП

 

 

 

П о г р е ш н о с т ь

П р е д е л ы и з м е р е н и я

и з м е р е н и я , %

hn b 3 -5- 300 Ом

5

>h2b (0,1 -5- 3) 10-3

 

h2ib 0,1-5-10

мкСим

 

(1 — Л21й) 0,003-5-0,3

 

hn e 0,1 -5- 10

кОм

 

Н12е (0,1 -5- 3) Ю-з

 

h22e (0,1 -5т 3) 10-1 Q im

 

№н е -И )

Ю-5-1000

 

^СйO' * ЕВО’

^CBS 0>03 -=- 1®®

МК^

h21b 0,9 -5- 1,0

 

5

h 22b 0,4-5-'4,0

мкСим

5

1СВО 5

50

мкА

5

Параметры диодов:

 

/0бр. 20 -5- 300 мкА

5

t V 0,5-5-2,0

В

5

Измеритель параметров высокочастотных транзисторов

| ^21и 10,5

y^MA/i,2

15

h21e 10 -5- 1000

10

ICB0 2-5- 100

мкА

2,5

Т а б л и ц а 9-1

Ре ж и м и з м е р е н и я

ис (2 -5- 99 В)

(0,03 4-29,9 мА)

/ Е 1 мА

^обр. = (Ю -^ ЮО В) + 3%

50 -5- 400 В ± 3%

Упр. = (3-5-100 мА) ± 3%

20 -5- 300 мА ±

3%

U c (2 -5- 100

В) ± 3%

 

/ £ (0,5 -5- 30

мА) ± 3

%

—о

oi

Т и п п р и б о р а

Л2-13

Л2-32

Л2-31

Л2-26

Л2-33

 

 

 

Продолжение табл. 9-1

Д и а п а з о н ч а с т о т

П р е д е л ы и з м е р е н и я

П о г р е ш н о с т ь

 

и з м е р е н и я , %

Р е ж и м и з м е р е н и я

 

На постоянном

токе

10, 20, 50, 100 МГц

На постоянном токе

Токи

0,1 ч - 120 мА

 

Измеритель

параметров

мощных транзисторов

 

 

h21E 3

1000

 

 

 

 

10 1

 

 

У21£ 100 мА/В 4 - 30 А/В

 

 

10 /

 

 

^ CBS'

U BESat 0'*

-г- 10 В

 

 

10

 

 

/ Св о .

! ЕВО

 

мкА -V- 100 мА

 

5

 

 

1CBS 10 мкА ч- 300 мА

 

 

5

 

 

Измерители

параметров

полевых

транзисторов

 

 

g fs 0,5 Ч- 30

мА/В

 

 

10; 15

 

 

/ GSS 0 , 3 * 10_1' +

| 0 _ 6 А

 

 

10

 

 

/О 50,1 4 -5 0

мА

 

 

 

5

 

 

U a s ith) ^,3

 

30

В

 

 

5

 

 

g /s 2 ч- 1000

мкСим

 

 

10

 

 

Измеритель статических параметров туннельных диодов

 

и г и 2 30 Ч- 700

мВ;

 

 

 

 

 

U-, 300 ч- 1500

мВ

 

 

для токов

1,5

 

 

 

 

 

 

 

Uii

£/2 5% -{-5 мВ

 

 

 

 

 

 

 

 

и 3 3

 

 

Измеритель

временных

параметров интегральных логических схем

I

3 4 - 1000 нс

 

 

 

 

I ±

15% + 1

нс I

и с (2 Ч- 20

В),

(0,1 Ч- 10

А)

/ с (0,1 Ч- 10

А),

(0,01 Ч-

1 А)

^ a s i ’ V a s i i О’3 "г- 50 В,

U DS 0,3

4 -5 0

В,

/ DS до 50 мА

 

 

U o s r ^ G S//0,3 4 -5 0

В

UDS 0,3 Ч- 50 В

 

 

-

назначен для измерения !гглЬ, fh

в диапазоне частот 5 н- 100 МГц;

погрешность

измерения

составляет

не более ±15% ; частота измере­

ния Гь'ьСс — 5

МГц; пределы измерения постоянной времени цепи

коллектора

150

1500

пФ Ом; погрешность измерения гь>ьСс не бо­

лее ± 10%.

В приборе

предусматривается

возможность установки и

контроля режима по постоянному току.

 

Прибор типа Л2-12

измеряет параметры

|/j2ie|, /i2ie0> I cbo высоко­

частотных транзисторов.

 

 

Технические данные приборов для измерения параметров полу­ проводниковых приборов даны в табл. 9-1.

Литература

ГОСТ 15172—70; 15605—70.

Радиоизмерительные приборы. Каталог — проспект. ВНИИТЭИР, 1971, 1972. Справочник по полупроводниковым диодам и транзисторам. Под ред. Горю­

нова Н. Н. «Энергия», 1968, 1969.

С т е п а н е н к о И. П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем. «Энергия», 1967.

Транзисторы, Параметры, методы измерений и испытаний. Под ред. Бергель­ сона И. Г. «Советское радио», 1968.

Глава 10

ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

§ 10-1. Общие сведения

Развитие современных ЭВМ основывается на прогрессе электрон­ ной техники; так, на смену первому поколению ЭВМ (ламповым ЭВМ) с появлением транзисторов пришло второе поколение, полупроводни­ ковые элементы которого работают с меньшим потреблением мощности и превосходят ламповые элементы по быстродействию в 10 раз, а по надежности в 100 раз (это позволило расширить функциональные за­ дачи ЭВМ). Расширение функциональных задач ЭВМ привело к рез­ кому усложнению аппаратуры, увеличению ее веса и габаритов, росту стоимости и значительному снижению надежности. Решение возник­ шей на пути развития ЭВМ «проблемы больших количеств» элементов потребовало создания групповых технологических методов производ­ ства радиоэлектронной аппаратуры. Работы по микроминиатюризации радиоэлектронной аппаратуры привели в начале 60-х годов к появле­ нию нового направления — микроэлектроники, занимающейся со­ зданием функционально законченных элементов радиоэлектронной аппаратуры в виде интегральных схем (ИС).

Интегральной схемой (микросхемой) называют микроминиатюр­ ный функциональный узел радиоэлектронной аппаратуры, в котором элементы и соединительные проводники, входящие в схему узла, изготовляются в едином технологическом цикле на поверхности (или в объеме) материала основания (подложки) и имеют общую гермети­ зацию и защиту от механических воздействий. Первые ИС были при­ менены в ЭВМ. Опыт показал, что использование ИС в ЭВМ влечет за собой не только уменьшение веса и габаритов последних, но и резко улучшает их основные параметры: надежность, быстродействие, стои­ мость. С созданием ИС связано появление третьего поколения ЭВМ.

§ 10-2. Классификация интегральных схем

Интегральные схемы классифицируют по методу изготовления (тех­ нологии); степени интеграции элементов; характеру применения.

Классификация интегральных схем по методу изготовления. Су­ ществуют два основных технологических метода изготовления ИС: пленочный и полупроводниковый. Используя различные сочетания базовых технологических методов, реализуют следующие виды ИС

(рис. 10-1).

Полупроводниковой интегральной схемой называют микросхему,

элементы которой выполнены в объеме или на поверхности полупро­ водниковой подложки методами полупроводниковой технологии. По­ лупроводниковые ИС дают возможность реализовать схемы с повы­ шенным’ количеством активных элементов и эффективно защищать их от влияния внешней среды; являются наиболее перспективными для цифровой аппаратуры (на их основе в настоящее время создаются

178

большие интегральные схемы, которые характеризуются высокой плотностью упаковки: свыше 100 элементов в одном монокристалле).

Пленочной интегральной схемой называют микросхему, элементы и соединения которой выполнены в виде пленок различных материа­ лов, нанесенных на диэлектрическую подложку в определенной по­ следовательности. Пленочные ИС применяют в:

а) схемах, где пассивных элементов (резисторов, конденсаторов и т. п.) значительно больше, чем активных;

б) устройствах, где требуется высокая точность изготовления пас­ сивных элементов (генераторах, фазочувствительных схемах и т. п.).

Тонкопленочной интегральной схемой называют пленочную микро­ схему с толщиной пленок до 1 •10~в м.

Рис. 10-1. Классификация интегральных схем по ме­ тоду технологии

Толстопленочной интегральной схемой называют пленочную микро­ схему с толщиной пленок свыше 1 -1(Г6 м.

Гибридной интегральной схемой называют микросхему, часть элементов которой имеет самостоятельное -конструктивное оформле­ ние. Пассивные элементы и соединения гибридной ИС реализуют методами пленочной технологии, а в качестве активных элементов используют навесные бескорпусные полупроводниковые приборы.

Классификация интегральных схем по степени интеграции элемен­ тов. Со времени своего появления ИС прошли путь от схем с малым уровнем интеграции (1—2 транзистора и 2—3 резистора в корпусе) до схем, включающих в себя многоразрядные регистры, счетчики, запоминающие устройства. Подобная эволюция стала возможной благодаря резко возросшему уровню технологии и производства ИС.

Именно многообразие различных по функциональной насыщен­ ности ИС требует проведения классификации по степени интеграции элементов в пределах корпуса.

Если степень интеграции не превышает 20—40 элементов, то схема является малой, маломасштабной интегральной схемой (МИС).

Микросхемы со степенью интеграции около 50—100 элементов от­ носят к средним, среднемасштабным интегральным схемам (СИС).

179