книги из ГПНТБ / Атамалян Э.Г. Методы и средства измерения электрических величин учеб. пособие
.pdfJ c b s — начальный ток коллектора, по величине которого можно судить об отсутствии пробоя между эмиттером и коллектором, базой и коллектором;
Рсmax — максимально допустимая мощность на коллекторе;
fh21b — предельная |
частота |
коэффициента |
передачи |
тока |
в схеме |
с общей базой; |
|
|
|
|
|
f„2U — предельная |
частота |
коэффициента |
передачи |
тока |
в схеме |
с общим эмиттером; Сс — емкость коллекторного перехода; F — фактор шума.
А м п е р в о л ь то м м е тр ы , п р е д н а зн а ч е н н ы е д л я и с п ы т а н и й тр а н зи с то р о в .
Эти приборы (см. § 2-5) обладают достаточно большим входным сопро тивлением (16000 -г- 17000 Ом/В при измерении постоянного напря жения и 3000 ч- 4000 Ом/В при измерении переменного напряжения). Большое их входное сопротивление позволяет во многих случаях
производить измерение |
без заметных нарушений режима схемы. |
||||||||
|
Ампервольтомметры можно |
использовать |
также |
||||||
|
для измерения обратного тока коллекторного |
/ св0 |
|||||||
|
и эмнттерного Iево переходов, начального тока |
||||||||
|
коллектора I c b s> а также для |
измерения |
коэффи |
||||||
|
циента передачи тока 1и1Ь. |
|
|
|
|
|
|||
|
И з м е р е н и е о б р а т н о г о т о к а к о л |
||||||||
|
л е к т о-p н о г о |
п е р е х о д а . |
Обратный |
ток |
|||||
|
коллекторного перехода |
1сво — ток через переход |
|||||||
Рис. 9-4. Схема из |
коллектор — база |
при |
отключенном |
эмиттере и |
|||||
мерения I с в 0 |
заданном напряжении на коллекторе. |
Схема |
изме |
||||||
|
рения |
дана для |
транзистора |
типа |
р — п — р |
||||
(рис. 9-4). При измерении тока 1Сво для транзистора типа п—р—п
полярность источника |
и микроамперметра изменяют на обратную. |
|
В зависимости от типа |
транзистора ток I q b o У маломощных тран |
|
зисторов при температуре |
20° С не должен превышать 10—20 мкА. |
|
Величину' I q bo задают для |
определенной величины напряжения на |
|
коллекторе. Формула пересчета для другого.напряжения (несколько отличного от паспортного значения в пределах линейности) следующая:
I c b o^ |
Ic b o ( Uc b/U 'c b), |
(9-9) |
где 1сво> Uсв — паспортные |
величины; Гсво, |
У ев— данные при ис |
пытании . |
|
|
И з м е р е н и е о б р а т н о г о т о к а э м н т т е р н о г о п е р е х о д а . Ток 1Ево — начальный температурный ток обратно сме щенного эмнттерного перехода — измеряется при разомкнутой цепи коллектора и определенном заданном напряжении на эмиттере (рис.9-5). Схема измерения, показанная на этом рисунке, дана для транзистора типа р—п—-р. Для транзисторов типа п—р—п полярность источника и прибора-изменяют на обратную. Ток 1е в о> как и ток 1сво> увеличи вается примерно вдвое при повышении температуры окружающей среды на 10° С.
И з м е р е н и е н а ч а л ь н о г о т о к а к о л л е к т о р н о г о п е р е х о д а . Ток Jobs — начальный ток коллекторного перехода —
170
измеряется в схеме с общим эмиттером при нулевом напряжении между
базой и эмиттером (UBE = |
0), т. е. при базе, |
соединенной с эмиттером |
|
(рис. 9-6). Для |
некоторых типов маломощных транзисторов ток I Cbs |
||
имеет величину |
10 ч- 30 |
мкА, для транзисторов средней и большой |
|
мощности — 3 -г- 10 мА. |
|
|
|
И з м е р е н и е к о э ф ф и ц и е н т а |
п е р е д а ч и т о к а |
||
в с х е м е с о б щ и м э м и т т е р о м в в и д е п а р а м е т р а
Рис. 9-5. Схема из- |
Рис. 9-6. Схема из |
мерения I Е Е 0 |
мерения I CES |
б о л ь ш о г о с и г н а л а |
h2lB (рис. 9-7). Коэффициент передачи |
h.llE тока для транзисторов, |
работающих в импульсных схемах, изме |
ряют при больших постоянных и импульсных сигналах, напряжении питания 3,7 ч- 4,7 В и сопротивлении 500 Ом в цепи коллектора. При
заданном |
значении обратного тока коллектора /сво> равном |
2 ч- |
ч- 20 мкА, |
коэффициент передачи тока h2lE составляет величину, |
ле |
жащую в пределах 300 ч- 100; параметр к21е измеряют на переменном токе при малом сигнале.
Испытателем транзисторов, выполненным по вышеописанным схе мам, является, например, авометр типа 4341. Погрешность измерения
напряжения и силы постоян |
|
||||
ного тока составляет±2,5%, |
|
||||
а |
силы |
переменного |
тока |
|
|
. ± |
4% |
от конечного значения |
|
||
шкалы. |
|
вход- |
-i |
||
|
Измерители полных |
+ |
|||
ных и выходных проводимо |
|
||||
стей |
низкочастотных |
тран |
Рис- 9'7' Схема измерения 1ц1Е |
||
зисторов. |
Полные входные |
||||
проводимости транзисторов измеряют в схемах с общей базой упЬ и общим эмиттером уие при ко
ротком замыкании на выходе; полные выходные проводимости — в схе мах с общей базой у22Ь, при коротком замыкании на входе транзистора и с общими эмиттером 1и2е и базой h22b при холостом ходе входной цепи [уравнения (9-2) и (9-3)]. Измерение проводимостей осуществляют по схеме моста с индуктивно-связанными плечами (рис. 9-8). Два плеча моста образованы секциями вторичной обмотки w1и w2трансформатора напряжения Тр„, два других плеча — измеряемым объектом ух и отсчетными активно-реактивными элементами g0 и С0. Питание моста осуществляется посредством напряжения высокой частоты. Индикато
7* |
171 |
ром равновесия служат электронно-световые индикаторы (грубый и более чувствительный) с соответствующими каскадами усиления. До начала измерения параметров ух осуществляется начальный ба ланс схемы с помощью образцовых активно-реактивных элементов g0, С0. Поскольку входные (измерительные) зажимы и соединительные провода имеют некоторую паразитную емкость и активную проводи мость, то на чувствительной шкале прибор дает некоторые показания. Изменением образцовых составляющих g0 и С0 добиваются нулевых показаний индикатора. Условия начального баланса моста описывают уравнениями:
g«.6 = 8oi(wJw^-, |
(9-10) |
Cn.6 = C01(w1/w2), |
(9-11) |
гДе Sou Со1 — значения соответственно активной и реактивной соста вляющих в отсчетном плече при на чальном балансе; g„-6, С„ б — зна чения соответственно активной и реактивной составляющих в измери тельном плече при начальном балансе.
Затем к измерительным зажимам п и з подсоединяют измеряемый объект Ух = gx + ]®сх и, изменяя go и С0, вновь добиваются нулевых показаний индикатора. Условия баланса сле дующие:
Рис. 9-8. Схема моста с индуктивно связанными плечами для измерения
£ч.б + gx = g0o (wjwo)] |
(9-12) |
Cn.6JrCx = C02(w1/w2), |
(9-13) |
Ух |
гДе |
goo, |
Co2 — значения |
отсчетных |
Вычитая из |
элементов при измерительном балансе. |
|||
уравнения (9-12) |
уравнение (9-10), а из |
уравнения |
||
(9-13) уравнение (9-11), получают: |
|
|
|
|
|
gx = ( £ 0 2 - £ o i) К / ® |
2); |
( 9 - 1 4 ) |
|
|
Cx = (C0S- C aJ(w Jw J. |
( 9 - 1 5 ) |
||
Приняв g0l и Со1 за условные нули, можно производить непосред ственный отсчет активных составляющих проводимостей в милли сименсах, а реактивных — в пикофарадах. Реальная схема моста по зволяет после подключения входной или выходной цепи измеряемой? транзистора к зажимам п и з установить режимы транзистора как по высокой частоте, так и по постоянному току. Мост обеспечивает воз можность подведения к измеряемому транзистору регулируемого кол лекторного напряжения (до 100 В) при измерении любого параметра, а также регулируемого тока эмиттера (до 30 мА) при измерении уп и у.22 и до 10 мА — при измерении Л22.
Для обеспечения режимов холостого хода и короткого замыкания в схеме предусмотрены специальное сопротивление /?хд и конденса тор Ск>3.
172
По мостовой схеме, показанной на рис. 9-8, выполнен измеритель полных проводимостей Л2-7, осуществляющий измерение проводи мостей на частотах 0,4 ч- 10 МГц (активные составляющие полных проводимостей составляют величины 0,01 ч- 1000 мСим, реактивные — 0,5 ч- 10000 пФ на частотах до 0,5 МГц и до 500 пФ на частотах до
10МГц).
Измеритель основных высокочастотных параметров транзисторов
типов р —п—р и п—р —п. Одним из важнейших параметров транзи сторов является коэффициент передачи тока h21b. Величина h21b всегда меньше единицы и при низких частотах имеет значение порядка 0,95 ч- ч- 0,998. С повышением частоты усиление, даваемое транзистором, снижается, т. е. /г21й уменьшается. Предельно допустимое уменьшение величины/г216 — на 30% по срав нению со значением /г23й0 на низ
ких частотах, т. e.h21b —0,7/г22*о- Частота, на которой соблюдается приведенное выше соотношение, называется граничной или пре дельной частотой коэффициента передачи тока.
Другим |
важнейшим |
высоко |
|
частотным |
параметром |
транзи |
|
стора является постоянная вре |
|
||
мени цепи обратной связи rb>bCz. |
|
||
Нежелательное действие обрат |
|
||
ной связи, осуществляемое через |
|
||
цепочку rb-bCc (см. рис. 9-3), при |
Рис. 9-9. Схема для измерения h 21b |
||
водит к ограничению частотного |
|
||
диапазона высокочастотных усилителен и повышению опасности их самовозбуждения. В зависимости от особенностей транзисторов значе ния rb'bCc могут находиться в пределе от десятков до тысяч пикосе кунд (пФ-Ом).
И з м е р е н и е к о э ф ф и ц и е н т а п е р е д а ч и т о к а h2lb. Измерение 1г21Ьосуществляется по схеме, изображенной на рис. 9-9. Чтобы определить h2lb, необходимо измерить ток эмиттера и ток кол лектора. Для этого используют резисторы с равными сопротивлениями Rx и Ro, падение напряжения на которых измеряют при помощи электронного вольтметра, состоящего из усилителя низкой частоты УНЧ и измерительного прибора ИП. Высокочастотные модулирован ные (например, меандром) сигналы с резисторов Иг и R2 подают в де текторы Д. С выхода Д низкочастотные сигналы через переключатель П подают на УНЧ.
Если переключатель находится в положении 1, то изменением на пряжения генератора высокой частоты ГВЧ падение напряжения до водят до величины, соответствующей отклонению стрелки ИП на всю
шкалу.
Так как напряжение на резисторе R.2 будет примерно в h21b раз меньше, чем на резисторе Rlt то при положении 2 переключателя П показания ИП уменьшатся и соответствуют коэффициенту передачи
173
тока/г21б (измерение производится на малом сигнале, поэтому шкала ИП имеет квадратичный характер).
И з м е р е н и е г р а н и ч н о й ч а с т о т ы к о э ф ф и ц и
е н т а п е р е д а ч и |
т о к а fb21b• Указанное измерение осуществляют |
||
|
методом балансировки по схеме, |
||
|
показанной на рис. 9-10. Напря |
||
|
жения, снимаемые с измеритель |
||
|
ных резисторов Rx и Rа, после |
||
|
детекторов Д попадают на схему |
||
|
вычитания СВ и через усили |
||
|
тель низкой частоты УНЧ — на |
||
|
измерительный прибор ИП. На |
||
|
низкой частоте при закорочен |
||
|
ном сопротивлении Rs (ключ П |
||
|
замкнут), изменяя |
напряжение |
|
|
после Д (подключенного к R x в |
||
|
эмиттерной |
цепи), |
добиваются |
|
нуля на выходе СВ (отсчетный |
||
|
прибор показывает нуль). Раз |
||
которого равна 0,41 |
мыкая резистор Яз, величина |
||
R2, увеличением частоты |
генератора высокой |
||
частоты ГВЧ вновь добиваются нуля на выходе СВ. Полученная частота и будет граничной для данного транзистора, так как общее
измерительное |
сопротивление в цепи коллектора увеличилось на |
|||
3 дБ (R2 + |
R3 = }Д2R2). Увеличение сопротивления в коллекторной |
|||
цепи компенсирует |
умень |
|||
шение |
коллекторного тока |
|||
из-за снижения h21b. |
||||
И з м е р е н и е |
п о |
|||
с т о я н н о й |
в р е м е |
|||
н и ц е п и о б р а т н о й |
||||
с в я з и н а в ы с о к о й |
||||
ч а с т о т е |
rb'bCc. |
Ука |
||
занное |
измерение |
выпол |
||
няют по схеме, данной на |
||||
рис. 9-11. Наибольшее рас |
||||
пространение |
получил ме |
|||
тод измерения |
постоянной |
|||
времени rb'bCc путем срав нения с постоянной време ни эталонной ЯС-цепочки.
Подключая к зажимам ЕВС эталонные цепи с разной величиной про изведения ЯэтСэт, электронным вольтметром измеряются напряжения, пропорциональные R3C3r (градуировку шкалы электронного вольт метра выполняют в пФ-Ом). Затем вместо цепочки R31C3-, к зажимам ЕВС подключают транзистор и по шкале вольтметра отсчитывают величину гуьСс. Назначение генератора высокочастотного модули
рованного сигнала, детектора Д и усилителя низкой частоты |
УНЧ |
то же, что и в схемах измерения h21b и /А . Прибор типа Л2-9 |
пред- |
174
Т и п |
Д и а п а з о н ч а с т о т |
|
п р и б о р а |
||
|
Л2-22 800 Гд ± 20%
Л2-23 |
760 Гц ± 5% |
Л2-12 |
10-5-100 МГц |
|
1,5 кГп |
СП
|
|
|
П о г р е ш н о с т ь |
П р е д е л ы и з м е р е н и я |
и з м е р е н и я , % |
||
hn b 3 -5- 300 Ом |
5 |
||
>h2b (0,1 -5- 3) 10-3 |
|
||
h2ib 0,1-5-10 |
мкСим |
|
|
(1 — Л21й) 0,003-5-0,3 |
|
||
hn e 0,1 -5- 10 |
кОм |
|
|
Н12е (0,1 -5- 3) Ю-з |
|
||
h22e (0,1 -5т 3) 10-1 Q im |
|
||
№н е -И ) |
Ю-5-1000 |
|
|
^СйO' * ЕВО’ |
^CBS 0>03 -=- 1®® |
МК^ |
|
h21b 0,9 -5- 1,0 |
|
5 |
|
h 22b 0,4-5-'4,0 |
мкСим |
5 |
|
1СВО 5 |
50 |
мкА |
5 |
Параметры диодов: |
|
||
/0бр. 20 -5- 300 мкА |
5 |
||
t V 0,5-5-2,0 |
В |
5 |
|
Измеритель параметров высокочастотных транзисторов |
|||
| ^21и 10,5 |
y^MA/i,2 |
15 |
|
h21e 10 -5- 1000 |
10 |
||
ICB0 2-5- 100 |
мкА |
2,5 |
|
Т а б л и ц а 9-1
Ре ж и м и з м е р е н и я
ис (2 -5- 99 В)
1Е (0,03 4-29,9 мА)
/ Е 1 мА
^обр. = (Ю -^ ЮО В) + 3%
50 -5- 400 В ± 3%
Упр. = (3-5-100 мА) ± 3%
20 -5- 300 мА ± |
3% |
|
U c (2 -5- 100 |
В) ± 3% |
|
/ £ (0,5 -5- 30 |
мА) ± 3 |
% |
—о
oi
Т и п п р и б о р а
Л2-13
Л2-32
Л2-31
Л2-26
Л2-33
|
|
|
Продолжение табл. 9-1 |
|
Д и а п а з о н ч а с т о т |
П р е д е л ы и з м е р е н и я |
П о г р е ш н о с т ь |
|
|
и з м е р е н и я , % |
Р е ж и м и з м е р е н и я |
|||
|
На постоянном
токе
10, 20, 50, 100 МГц
На постоянном токе
Токи
0,1 ч - 120 мА
|
Измеритель |
параметров |
мощных транзисторов |
|
|||||
|
h21E 3 |
1000 |
|
|
|
|
10 1 |
|
|
|
У21£ 100 мА/В 4 - 30 А/В |
|
|
10 / |
|
||||
|
^ CBS' |
U BESat 0'* |
-г- 10 В |
|
|
10 |
|
||
|
/ Св о . |
! ЕВО |
|
мкА -V- 100 мА |
|
5 |
|
||
|
1CBS 10 мкА ч- 300 мА |
|
|
5 |
|
||||
|
Измерители |
параметров |
полевых |
транзисторов |
|
||||
|
g fs 0,5 Ч- 30 |
мА/В |
|
|
10; 15 |
|
|||
|
/ GSS 0 , 3 * 10_1' + |
| 0 _ 6 А |
|
|
10 |
|
|||
|
/О 50,1 4 -5 0 |
мА |
|
|
|
5 |
|
||
|
U a s ith) ^,3 |
|
30 |
В |
|
|
5 |
|
|
|
g /s 2 ч- 1000 |
мкСим |
|
|
10 |
|
|||
|
Измеритель статических параметров туннельных диодов |
||||||||
|
и г и 2 30 Ч- 700 |
мВ; |
|
|
|
|
|||
|
U-, 300 ч- 1500 |
мВ |
|
|
для токов |
1,5 |
|||
|
|
|
|
|
|
|
Uii |
£/2 5% -{-5 мВ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
и 3 3 |
|
|
Измеритель |
временных |
параметров интегральных логических схем |
||||||
I |
3 4 - 1000 нс |
|
|
|
|
I ± |
15% + 1 |
нс I |
|
и с (2 Ч- 20 |
В), |
1с (0,1 Ч- 10 |
А) |
/ с (0,1 Ч- 10 |
А), |
1ь (0,01 Ч- |
1 А) |
^ a s i ’ V a s i i О’3 "г- 50 В,
U DS 0,3 |
4 -5 0 |
В, |
/ DS до 50 мА |
|
|
U o s r ^ G S//0,3 4 -5 0 |
В |
|
UDS 0,3 Ч- 50 В |
|
|
-
назначен для измерения !гглЬ, fh |
в диапазоне частот 5 н- 100 МГц; |
||||
погрешность |
измерения |
составляет |
не более ±15% ; частота измере |
||
ния Гь'ьСс — 5 |
МГц; пределы измерения постоянной времени цепи |
||||
коллектора |
150 |
1500 |
пФ Ом; погрешность измерения гь>ьСс не бо |
||
лее ± 10%. |
В приборе |
предусматривается |
возможность установки и |
||
контроля режима по постоянному току. |
|
||||
Прибор типа Л2-12 |
измеряет параметры |
|/j2ie|, /i2ie0> I cbo высоко |
|||
частотных транзисторов. |
|
|
|||
Технические данные приборов для измерения параметров полу проводниковых приборов даны в табл. 9-1.
Литература
ГОСТ 15172—70; 15605—70.
Радиоизмерительные приборы. Каталог — проспект. ВНИИТЭИР, 1971, 1972. Справочник по полупроводниковым диодам и транзисторам. Под ред. Горю
нова Н. Н. «Энергия», 1968, 1969.
С т е п а н е н к о И. П. Основы теории транзисторов и транзисторных схем. «Энергия», 1967.
Транзисторы, Параметры, методы измерений и испытаний. Под ред. Бергель сона И. Г. «Советское радио», 1968.
Глава 10
ИЗМЕРЕНИЕ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
§ 10-1. Общие сведения
Развитие современных ЭВМ основывается на прогрессе электрон ной техники; так, на смену первому поколению ЭВМ (ламповым ЭВМ) с появлением транзисторов пришло второе поколение, полупроводни ковые элементы которого работают с меньшим потреблением мощности и превосходят ламповые элементы по быстродействию в 10 раз, а по надежности в 100 раз (это позволило расширить функциональные за дачи ЭВМ). Расширение функциональных задач ЭВМ привело к рез кому усложнению аппаратуры, увеличению ее веса и габаритов, росту стоимости и значительному снижению надежности. Решение возник шей на пути развития ЭВМ «проблемы больших количеств» элементов потребовало создания групповых технологических методов производ ства радиоэлектронной аппаратуры. Работы по микроминиатюризации радиоэлектронной аппаратуры привели в начале 60-х годов к появле нию нового направления — микроэлектроники, занимающейся со зданием функционально законченных элементов радиоэлектронной аппаратуры в виде интегральных схем (ИС).
Интегральной схемой (микросхемой) называют микроминиатюр ный функциональный узел радиоэлектронной аппаратуры, в котором элементы и соединительные проводники, входящие в схему узла, изготовляются в едином технологическом цикле на поверхности (или в объеме) материала основания (подложки) и имеют общую гермети зацию и защиту от механических воздействий. Первые ИС были при менены в ЭВМ. Опыт показал, что использование ИС в ЭВМ влечет за собой не только уменьшение веса и габаритов последних, но и резко улучшает их основные параметры: надежность, быстродействие, стои мость. С созданием ИС связано появление третьего поколения ЭВМ.
§ 10-2. Классификация интегральных схем
Интегральные схемы классифицируют по методу изготовления (тех нологии); степени интеграции элементов; характеру применения.
Классификация интегральных схем по методу изготовления. Су ществуют два основных технологических метода изготовления ИС: пленочный и полупроводниковый. Используя различные сочетания базовых технологических методов, реализуют следующие виды ИС
(рис. 10-1).
Полупроводниковой интегральной схемой называют микросхему,
элементы которой выполнены в объеме или на поверхности полупро водниковой подложки методами полупроводниковой технологии. По лупроводниковые ИС дают возможность реализовать схемы с повы шенным’ количеством активных элементов и эффективно защищать их от влияния внешней среды; являются наиболее перспективными для цифровой аппаратуры (на их основе в настоящее время создаются
178
большие интегральные схемы, которые характеризуются высокой плотностью упаковки: свыше 100 элементов в одном монокристалле).
Пленочной интегральной схемой называют микросхему, элементы и соединения которой выполнены в виде пленок различных материа лов, нанесенных на диэлектрическую подложку в определенной по следовательности. Пленочные ИС применяют в:
а) схемах, где пассивных элементов (резисторов, конденсаторов и т. п.) значительно больше, чем активных;
б) устройствах, где требуется высокая точность изготовления пас сивных элементов (генераторах, фазочувствительных схемах и т. п.).
Тонкопленочной интегральной схемой называют пленочную микро схему с толщиной пленок до 1 •10~в м.
Рис. 10-1. Классификация интегральных схем по ме тоду технологии
Толстопленочной интегральной схемой называют пленочную микро схему с толщиной пленок свыше 1 -1(Г6 м.
Гибридной интегральной схемой называют микросхему, часть элементов которой имеет самостоятельное -конструктивное оформле ние. Пассивные элементы и соединения гибридной ИС реализуют методами пленочной технологии, а в качестве активных элементов используют навесные бескорпусные полупроводниковые приборы.
Классификация интегральных схем по степени интеграции элемен тов. Со времени своего появления ИС прошли путь от схем с малым уровнем интеграции (1—2 транзистора и 2—3 резистора в корпусе) до схем, включающих в себя многоразрядные регистры, счетчики, запоминающие устройства. Подобная эволюция стала возможной благодаря резко возросшему уровню технологии и производства ИС.
Именно многообразие различных по функциональной насыщен ности ИС требует проведения классификации по степени интеграции элементов в пределах корпуса.
Если степень интеграции не превышает 20—40 элементов, то схема является малой, маломасштабной интегральной схемой (МИС).
Микросхемы со степенью интеграции около 50—100 элементов от носят к средним, среднемасштабным интегральным схемам (СИС).
179
