книги из ГПНТБ / Сиволобов Н.А. Основы полупроводниковой электроники учеб. пособие
.pdf-20 -
Бравновесном состоянии поверхности диэлектрика оказываются зарг энными противоположны!.;]! по знаку и равными по величине
зарядами. Возшгкшал разность потенциалов |
как в |
этом случае, так |
и в рассмотренном ранее, компенсируется |
за счет |
различных кон |
центрации зарядов на поверхностях соприкасающихся металлов. Тол щина слоя зарядов не превышает 1-й межатомных расстояний. Контакт ные явления на границе двух металлов часто оказывают весьма су щественное влияние на работу приборов.
Контакт металла с полупооводником. Концентрация свободных за рядов в полупроводніше значительно меньше, чем в металлах. При такой низкой концентрации зарядов электрическое поле, созданное за счет контактной разности потенциалов на границе металл - полупроводник, проникает в толщу полупроводника и смещает гра ницы энергетических зон. Толщина приконтактного слоя в этом случае примерно в 100 раз больше, чем при контакте двух метал лов.
Рассмотрим диаграммы энергетических уровней металла и П -по лупроводника до контакта и изменение этих диаграмм при соприкос
новении |
тел |
в условиях установившегося равновесия (рис.12). |
|
Работа выхода металла больше работы выхода полупроводника : |
|||
6 W > |
6 |
on |
• Поэтому при контакте электроны из зоны проводи- |
I о |
1 |
|
мости полупроводника переходят в металл, который заряжается от рицательно по отношению к полупроводнику. В полупроводнике вбли зи граниш образуется приконтактное поле Е, которое препятствует дальнейшему переходу электронов. Это поле отталкивает свободные электроны в зоне проводимости и втягивает в приконтактную область дырки в валентной зоне. В приграничной области образует ся слой--шириной L , обедненный электронами и, следовательно, обладающий повышенным удельным сопротивлением. Этот слой назы вают запирающим , Потенциал этого слоя выше потенциала
|
|
- |
гі |
- |
|
|
|
|
г? |
|
|
|
|
|
efoi |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
© © © |
|
</f>ofe»à доноров |
|||
frерми |
|
|
|
|
|
|
|
|
''Л |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П - /ѴОЛ уПро go <?„ |
||||
|
1 |
1 _ |
|
|
|
|
|
|
"ft |
|
|
|
|
|
|
Уро£е#е |
|
|
|
|
|
|
|
Ферми |
|
/ / / / |
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
елей. |
|
1п |
Ь ш |
11 |
/7- |
"О* упр> О S О |
&MU*r |
|
|
|
S |
|
|
|
|
|
с.12. Энергетические диаграммы "для" металла |
Гл= полупроводника: |
||||||
|
а - до |
соприкосновения; |
б -. образование запирающего слоя |
||||
|
|
|
|
при"контакте |
|
|
|
|
|
|
|
|
- |
?.г |
- |
|
|
|
|
|
|
в теле |
полупроводника, |
|
и границы |
зон |
искривляются |
в |
сторону |
|
|||||||
более |
высоких |
потенциалов. |
|
|
|
|
|
|
|
||||||
При равновесии уровни Оерми металла и полупроводника совпа |
|||||||||||||||
дают. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
В случае контакта металла с р |
- |
полупроводником (рис.13) |
, |
||||||||||||
работа |
выхода |
|
которого больше, чем у металла , на границе кон |
|
|||||||||||
такта также возникает запирающий слой, но границы энергетиче |
|
||||||||||||||
ских зон искривляются в сторону меньших потенциалов. Повышен |
|
||||||||||||||
ное удельное сопротивление этого слоя объясняется уменьшением |
|
||||||||||||||
вблизи него концентрации дырок, определяющих |
в основном электро |
||||||||||||||
проводность |
р |
- |
полупроводника. |
|
|
|
|
|
|
||||||
Рассмотренные случаи образования запирающих слоев широко |
|
||||||||||||||
используются |
в |
полупроводниковых |
приборах. |
|
|
|
|
||||||||
Случаи контакта |
металла |
с п |
- |
полупроводником при уело- |
» |
||||||||||
вин, что G кр / |
р UP |
|
или контакта |
металла |
с р |
- |
полупровод- |
|
|||||||
|
I о |
|
I |
on' |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
никои, |
когда |
|
|
> |
£? У |
встречаются весьма |
редко. При этом |
|
|||||||
|
|
|
1 |
О |
|
I Ор) |
|
|
|
|
|
|
|
вблизи границы контакта образуется антизапіфаюциіі слой с повышен ной электропроводностью.
Однако уменьшение сопротивления в приграничной зоне по срав нении с сопротивлением всего объема полупроводника практически не изменяет общего сопротивления пары металлл - полупроводніт.
Потенциальные барьеры, рассмотренные выше, могут образо вываться и в отсутствие металлического слоя. Роль последнего может играть поверхность полупроводника, которая богата свобод ными уровнями.
- 23 -
eft |
Запрей^емноя |
|
|
*^//////////. |
30 на |
Ѳ Ѳ 6 Ѳ огячелтогсе |
|
AtеюсгллiТо ^о/і |
ере/>л |
ßc/л е/г-тнал jo*o |
|
\* /°- nasi ул^оеоуяЧА- |
Фврліс/
M Ч толл
Р и с.13. Энергетические диаграммы для металла и рТп^алупроводнтса а - до соприкосновения; б -• образование запирающего слоя
при контакте ~*
- 24 -
Электронно-дырочный переход
Электронно-дырочный переход^или переход р -П , нельзя осу ществить путем простого соприкосновения двух разнородных полу
проводниковых |
пластинок, так |
как при этом неизбежен промежуточ |
|||||
ный (хотя бы и очень тонкий) слой воздуха или поверхностных |
|||||||
пленок. |
Переход |
р - п |
получается в единой пластинке полу |
||||
проводника, в которой тем или |
иным способом |
получена |
резкая |
||||
граница |
между |
слоями р и л |
, |
т . е . в р -п- |
переходах |
осущест |
вляется идеальный контакт двух полупроводников с различной про водимостью, но с одинаковыми по величине запрещенными зонами.
Резкость границы играет существенную роль, так как плавный переход не обладает теми вентильными свойствами, которые лежат в основе работы полупроводниковых приборов (диодов и транзисторов). Рассмотрим физические явления вп- р - переходе (рис. 14).
До соприкосновения (рис. 14,а) |
вп - полупроводнике концентрация |
||
электронов выше концентрации |
дырок: !\1п > Рп |
. B p - |
полупро |
воднике концентрация дырок превышает концентрацию электронов. |
|||
При соприкосновении полупроводников Пи Р |
градиенты концен |
||
трации электронов и дырок на границе отличны |
от нуля |
(рис.14,в). |
|
Существование градиента'плотности частиц вызывает их диффу |
|||
зионный поток в сторону меньшей концентрации, |
т . е . движение элек |
тронов слева направо и дырок в обратном направлении. Это движем ние не свявано с взаимным отталкиванием одноименно заряженных или взаимным притяжением электронов и дырок. Причиной диффузион ного движения частиц является только различие их концентраций до обе стороны от границы*
-- 25 -
I I
P и С . І Ч - . Образование запиравшего слоя при контакте двух полупроводников с различной проводимостью
-26 -
Врезультате ухода электронов в п - полупроводнике вблизи границу остаются положительно заряженные атомн-ионы, образуттиие область повышенной концентрации положительных неподвижных заря дов (область, обедненную электронами).
По аналогичной причине в р-полупроводнике вознішает область повышенноіі концентрации отрицательных неподвижных зарядов (об ласть, обедненная дырками). Этот двойной слои электрических
зарядов |
создаст |
разность потенциалов |
\j> |
(рис. 14,г). Вблизи |
||
границы |
поле Е! с |
(рис.І4,ду |
направлено |
так, |
что |
оно препятствует |
дальнейшей диффузии электронов и дырок. |
|
|
||||
Вследствие |
относительно |
мало» концентрации |
электронов и ды |
рок в полупроводнике поле Ек проникает в полупроводник на рас
стояние L |
- I0~G -г І0~^ см. |
В пршеоитактной области |
образуется |
запирающий |
слой шириной 2 L |
, обеднении)! основными |
носителями |
и имеющий вследствие этого пониженную электропроводность. |
|||
Из-за |
обеднения основным: носителями границы энергетических |
зон в запирающем слое смешаются, хотя их относительное положе ние остается неизменным (рис.14,0).
Равновесие при контакте наступит, когда сравняются уровни
Ферми обоих |
полупроводников и поле F,,< достигнет такой величины, |
|||||
при которой |
потенциальный барьер у> (рис.14,г) станет непрео |
|||||
долимым для диффундирующих электронов и дырок. |
||||||
При движении |
в |
запиравшем слое |
электрон |
подвергается |
||
воздействию |
поля |
Е к |
и приобретает |
среднюю дреІіФовую скорость |
||
д Vg |
• Зная |
Д |
, можно определить |
время движения элек |
||
тронов |
через |
запирающий слоіі шириной 2 L |
|
- 27 -
Несмотря на то, что диффузионные движения электронов и ды рок происходят в противоположных направлениях, токи, обусловлен ные перемещением этих частиц, текут в одном направлении (вдоль вектора поля Е к ) , так как заряды электронов и дырок противопо ложны по знаку. Следовательно, плотность даффузионного тока
через р-п - переход |
слева |
направо |
равна: |
|
|
|
|||
|
/л |
dP |
п |
d-N |
|
, |
|
|
|
^ди.сГе |
(ДР"Зл |
+ |
' Ц |
п ' |
dX |
J |
. г д е Л р И Д п - |
|
|
козффициенты диффузии электронов и дырок. |
|
|
|
||||||
Препятствуя диффузионному |
движению основных носителей, |
по |
|
||||||
ле Кк является ускоряющим для |
неосновных |
|
носителей: дырок |
в п - |
по |
||||
лупроводнике |
и электронов в |
р |
- полупроводнике. Под влиянием |
это |
го поля неосновные носители легко перемещаются через границу кон такта (процесс инъекции, или инжекции), образуя дрейфовый ток. Направление дрейфового тока противоположно току диффузионному.
По мере установления равновесия диффузионный ток уменьшает
ся, а дрейфовый ток растет, пока |
они не |
уравновесят |
друг |
друга |
||
(cM.pHc.It.r |
и 15,а): . |
|
|
|
|
|
|
jfip |
•+ J^AUcp |
= 0 • |
|
|
|
Анализ |
р - |
п е р е х о д а |
Приложенная Э ; д . с . к |
р - |
п-пе^- ; |
|
в неравновесном состоянии |
реходу |
нарушает равновесие в сисѵ |
теме и вызывает протекание тока. При этом высота потенциального
барьера |
изменяетсяна |
величину приложенной э . д . с . |
|
КОхДа э . д . с . Cl |
приложена плюсом на слой Р (прямое включе |
||
ние) , высота барьера |
уменьшается 0 ,рис.15,б) и |
становится |
|
равной |
У к": |
|
|
|
ѵ ; = |
%-и. |
|
Вследствие уменьшения потенциального барьера диффузионное |
|||
движение |
электронов в |
область р и дырок в обратном |
направлении |
V и с. 15." Изменение потенциального барьера и схема движения носителей в л - р - переходе в состоянии равновесия ( а ) і при пряном (б) и обратном (в) включении
напряжения
|
|
|
|
|
- |
29 |
- |
|
|
|
|
|
|
увеличится и концентрация этих частиц на границах запирающего |
|||||||||||||
слоя |
будет выше: |
jsj р^ |
> / s j ^ |
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
Рпи |
|
> |
Рп. |
|
|
|
|
|
Концентрация неосновных носителей -'"дырок в П |
- |
полупровод |
|||||||||||
нике |
неодинакова ; от величины Р п и |
у границы запирающего |
слоя |
||||||||||
она уменьшается |
до величины Р 0 |
в |
толще полупроводника на |
неко |
|||||||||
тором расстоянии |
Lp |
от |
границы. Концентрация уменьшается |
||||||||||
вследствие рекомбинации электронов с дырками по мере движения |
|||||||||||||
на длине |
L p |
|
. Величина |
LP |
называется глубиной |
диффузии (неко |
|||||||
торое |
среднее расстояние, |
проходимое дыркой от момента инъекции |
|||||||||||
в область |
р |
до |
ее |
рекомбинации). |
|
|
|
|
|
||||
Время движения дырки на длине L p |
называется временем |
жизни |
|||||||||||
дырки |
( |
'Lp ) . Эти величины связаны |
соотношением: |
|
Lp - |
||||||||
= (Др . |
'Lp |
) "ТГ |
|
|
, где Др - коэффициент диффузии |
||||||||
дырок. |
Е э |
к в |
- |
напряженность, |
соответствующая некоторой |
экви |
|||||||
валентной |
разности |
потенциалов, |
под действием которой |
дырка приоб |
|||||||||
ретает энергию, равную к • Т - энергии теплового движения. |
|
||||||||||||
Если Е к |
> |
Еэкв, то |
все, неосновные носители, |
приближаю |
щиеся в результате теплового движения к запирающему слою, втяги ваются полегл Е^ и плотность дрейфового тока постоянна (ток на сыщения). Величина се не зависит от напряженности поля и опреде ляется лишь концентрацией неосновных носителей:
где |
Jsfips |
- плотность дрейфового тока насыщения. |
|||
|
Зная плотности |
дырочного ^др |
> электронного |
||
диффузионных токов |
и плотности дырочного Japs |
и электрон |
|||
н о г о j a ^ s |
дрейфовых токов можно определить соответствующие |
||||
токи |
через |
р - п - |
переход площадью |
S. |
|