 
        
        книги из ГПНТБ / Сиволобов Н.А. Основы полупроводниковой электроники учеб. пособие
.pdf-20 -
Бравновесном состоянии поверхности диэлектрика оказываются зарг энными противоположны!.;]! по знаку и равными по величине
| зарядами. Возшгкшал разность потенциалов | как в | этом случае, так | 
| и в рассмотренном ранее, компенсируется | за счет | различных кон | 
центрации зарядов на поверхностях соприкасающихся металлов. Тол щина слоя зарядов не превышает 1-й межатомных расстояний. Контакт ные явления на границе двух металлов часто оказывают весьма су щественное влияние на работу приборов.
Контакт металла с полупооводником. Концентрация свободных за рядов в полупроводніше значительно меньше, чем в металлах. При такой низкой концентрации зарядов электрическое поле, созданное за счет контактной разности потенциалов на границе металл - полупроводник, проникает в толщу полупроводника и смещает гра ницы энергетических зон. Толщина приконтактного слоя в этом случае примерно в 100 раз больше, чем при контакте двух метал лов.
Рассмотрим диаграммы энергетических уровней металла и П -по лупроводника до контакта и изменение этих диаграмм при соприкос
| новении | тел | в условиях установившегося равновесия (рис.12). | |
| Работа выхода металла больше работы выхода полупроводника : | |||
| 6 W > | 6 | on | • Поэтому при контакте электроны из зоны проводи- | 
| I о | 1 | 
 | |
мости полупроводника переходят в металл, который заряжается от рицательно по отношению к полупроводнику. В полупроводнике вбли зи граниш образуется приконтактное поле Е, которое препятствует дальнейшему переходу электронов. Это поле отталкивает свободные электроны в зоне проводимости и втягивает в приконтактную область дырки в валентной зоне. В приграничной области образует ся слой--шириной L , обедненный электронами и, следовательно, обладающий повышенным удельным сопротивлением. Этот слой назы вают запирающим , Потенциал этого слоя выше потенциала
| 
 | 
 | - | гі | - | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | г? | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | efoi | 
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | © © © | 
 | </f>ofe»à доноров | |||
| frерми | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | ''Л | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | 
 | 
 | П - /ѴОЛ уПро go <?„ | ||||
| 
 | 1 | 1 _ | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | "ft | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| Уро£е#е | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| Ферми | 
 | / / / / | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | 
 | V | 
 | 
 | 
 | 
 | елей. | 
| 
 | 1п | Ь ш | 11 | /7- | "О* упр> О S О | &MU*r | |
| 
 | 
 | S | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| с.12. Энергетические диаграммы "для" металла | Гл= полупроводника: | ||||||
| 
 | а - до | соприкосновения; | б -. образование запирающего слоя | ||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | при"контакте | 
 | ||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | - | ?.г | - | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| в теле | полупроводника, | 
 | и границы | зон | искривляются | в | сторону | 
 | |||||||
| более | высоких | потенциалов. | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||||
| При равновесии уровни Оерми металла и полупроводника совпа | |||||||||||||||
| дают. | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| В случае контакта металла с р | - | полупроводником (рис.13) | , | ||||||||||||
| работа | выхода | 
 | которого больше, чем у металла , на границе кон | 
 | |||||||||||
| такта также возникает запирающий слой, но границы энергетиче | 
 | ||||||||||||||
| ских зон искривляются в сторону меньших потенциалов. Повышен | 
 | ||||||||||||||
| ное удельное сопротивление этого слоя объясняется уменьшением | 
 | ||||||||||||||
| вблизи него концентрации дырок, определяющих | в основном электро | ||||||||||||||
| проводность | р | - | полупроводника. | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||||
| Рассмотренные случаи образования запирающих слоев широко | 
 | ||||||||||||||
| используются | в | полупроводниковых | приборах. | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||||||
| Случаи контакта | металла | с п | - | полупроводником при уело- | » | ||||||||||
| вин, что G кр / | р UP | 
 | или контакта | металла | с р | - | полупровод- | 
 | |||||||
| 
 | I о | 
 | I | on' | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| никои, | когда | 
 | 
 | > | £? У | встречаются весьма | редко. При этом | 
 | |||||||
| 
 | 
 | 
 | 1 | О | 
 | I Ор) | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
вблизи границы контакта образуется антизапіфаюциіі слой с повышен ной электропроводностью.
Однако уменьшение сопротивления в приграничной зоне по срав нении с сопротивлением всего объема полупроводника практически не изменяет общего сопротивления пары металлл - полупроводніт.
Потенциальные барьеры, рассмотренные выше, могут образо вываться и в отсутствие металлического слоя. Роль последнего может играть поверхность полупроводника, которая богата свобод ными уровнями.
- 23 -
| eft | Запрей^емноя | 
| 
 | |
| *^//////////. | 30 на | 
| Ѳ Ѳ 6 Ѳ огячелтогсе | |
| AtеюсгллiТо ^о/і | ере/>л | 
| ßc/л е/г-тнал jo*o | |
| \* /°- nasi ул^оеоуяЧА- | 
Фврліс/
M Ч толл
Р и с.13. Энергетические диаграммы для металла и рТп^алупроводнтса а - до соприкосновения; б -• образование запирающего слоя
при контакте ~*
- 24 -
Электронно-дырочный переход
Электронно-дырочный переход^или переход р -П , нельзя осу ществить путем простого соприкосновения двух разнородных полу
| проводниковых | пластинок, так | как при этом неизбежен промежуточ | |||||
| ный (хотя бы и очень тонкий) слой воздуха или поверхностных | |||||||
| пленок. | Переход | р - п | получается в единой пластинке полу | ||||
| проводника, в которой тем или | иным способом | получена | резкая | ||||
| граница | между | слоями р и л | , | т . е . в р -п- | переходах | осущест | |
вляется идеальный контакт двух полупроводников с различной про водимостью, но с одинаковыми по величине запрещенными зонами.
Резкость границы играет существенную роль, так как плавный переход не обладает теми вентильными свойствами, которые лежат в основе работы полупроводниковых приборов (диодов и транзисторов). Рассмотрим физические явления вп- р - переходе (рис. 14).
| До соприкосновения (рис. 14,а) | вп - полупроводнике концентрация | ||
| электронов выше концентрации | дырок: !\1п > Рп | . B p - | полупро | 
| воднике концентрация дырок превышает концентрацию электронов. | |||
| При соприкосновении полупроводников Пи Р | градиенты концен | ||
| трации электронов и дырок на границе отличны | от нуля | (рис.14,в). | |
| Существование градиента'плотности частиц вызывает их диффу | |||
| зионный поток в сторону меньшей концентрации, | т . е . движение элек | ||
тронов слева направо и дырок в обратном направлении. Это движем ние не свявано с взаимным отталкиванием одноименно заряженных или взаимным притяжением электронов и дырок. Причиной диффузион ного движения частиц является только различие их концентраций до обе стороны от границы*
-- 25 -
I I
P и С . І Ч - . Образование запиравшего слоя при контакте двух полупроводников с различной проводимостью
-26 -
Врезультате ухода электронов в п - полупроводнике вблизи границу остаются положительно заряженные атомн-ионы, образуттиие область повышенной концентрации положительных неподвижных заря дов (область, обедненную электронами).
По аналогичной причине в р-полупроводнике вознішает область повышенноіі концентрации отрицательных неподвижных зарядов (об ласть, обедненная дырками). Этот двойной слои электрических
| зарядов | создаст | разность потенциалов | \j> | (рис. 14,г). Вблизи | ||
| границы | поле Е! с | (рис.І4,ду | направлено | так, | что | оно препятствует | 
| дальнейшей диффузии электронов и дырок. | 
 | 
 | ||||
| Вследствие | относительно | мало» концентрации | электронов и ды | |||
рок в полупроводнике поле Ек проникает в полупроводник на рас
| стояние L | - I0~G -г І0~^ см. | В пршеоитактной области | образуется | 
| запирающий | слой шириной 2 L | , обеднении)! основными | носителями | 
| и имеющий вследствие этого пониженную электропроводность. | |||
| Из-за | обеднения основным: носителями границы энергетических | ||
зон в запирающем слое смешаются, хотя их относительное положе ние остается неизменным (рис.14,0).
Равновесие при контакте наступит, когда сравняются уровни
| Ферми обоих | полупроводников и поле F,,< достигнет такой величины, | |||||
| при которой | потенциальный барьер у> (рис.14,г) станет непрео | |||||
| долимым для диффундирующих электронов и дырок. | ||||||
| При движении | в | запиравшем слое | электрон | подвергается | ||
| воздействию | поля | Е к | и приобретает | среднюю дреІіФовую скорость | ||
| д Vg | • Зная | Д | , можно определить | время движения элек | ||
| тронов | через | запирающий слоіі шириной 2 L | 
 | |||
- 27 -
Несмотря на то, что диффузионные движения электронов и ды рок происходят в противоположных направлениях, токи, обусловлен ные перемещением этих частиц, текут в одном направлении (вдоль вектора поля Е к ) , так как заряды электронов и дырок противопо ложны по знаку. Следовательно, плотность даффузионного тока
| через р-п - переход | слева | направо | равна: | 
 | 
 | 
 | |||
| 
 | /л | dP | п | d-N | 
 | , | 
 | 
 | |
| ^ди.сГе | (ДР"Зл | + | ' Ц | п ' | dX | J | . г д е Л р И Д п - | 
 | |
| козффициенты диффузии электронов и дырок. | 
 | 
 | 
 | ||||||
| Препятствуя диффузионному | движению основных носителей, | по | 
 | ||||||
| ле Кк является ускоряющим для | неосновных | 
 | носителей: дырок | в п - | по | ||||
| лупроводнике | и электронов в | р | - полупроводнике. Под влиянием | это | |||||
го поля неосновные носители легко перемещаются через границу кон такта (процесс инъекции, или инжекции), образуя дрейфовый ток. Направление дрейфового тока противоположно току диффузионному.
По мере установления равновесия диффузионный ток уменьшает
| ся, а дрейфовый ток растет, пока | они не | уравновесят | друг | друга | ||
| (cM.pHc.It.r | и 15,а): . | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| 
 | jfip | •+ J^AUcp | = 0 • | 
 | 
 | 
 | 
| Анализ | р - | п е р е х о д а | Приложенная Э ; д . с . к | р - | п-пе^- ; | |
| в неравновесном состоянии | реходу | нарушает равновесие в сисѵ | ||||
теме и вызывает протекание тока. При этом высота потенциального
| барьера | изменяетсяна | величину приложенной э . д . с . | 
 | 
| КОхДа э . д . с . Cl | приложена плюсом на слой Р (прямое включе | ||
| ние) , высота барьера | уменьшается 0 ,рис.15,б) и | становится | |
| равной | У к": | 
 | 
 | 
| 
 | ѵ ; = | %-и. | 
 | 
| Вследствие уменьшения потенциального барьера диффузионное | |||
| движение | электронов в | область р и дырок в обратном | направлении | 
V и с. 15." Изменение потенциального барьера и схема движения носителей в л - р - переходе в состоянии равновесия ( а ) і при пряном (б) и обратном (в) включении
напряжения
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | - | 29 | - | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
| увеличится и концентрация этих частиц на границах запирающего | |||||||||||||
| слоя | будет выше: | jsj р^ | > / s j ^ | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | Рпи | 
 | > | Рп. | 
 | 
 | 
 | 
 | |
| Концентрация неосновных носителей -'"дырок в П | - | полупровод | |||||||||||
| нике | неодинакова ; от величины Р п и | у границы запирающего | слоя | ||||||||||
| она уменьшается | до величины Р 0 | в | толще полупроводника на | неко | |||||||||
| тором расстоянии | Lp | от | границы. Концентрация уменьшается | ||||||||||
| вследствие рекомбинации электронов с дырками по мере движения | |||||||||||||
| на длине | L p | 
 | . Величина | LP | называется глубиной | диффузии (неко | |||||||
| торое | среднее расстояние, | проходимое дыркой от момента инъекции | |||||||||||
| в область | р | до | ее | рекомбинации). | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||
| Время движения дырки на длине L p | называется временем | жизни | |||||||||||
| дырки | ( | 'Lp ) . Эти величины связаны | соотношением: | 
 | Lp - | ||||||||
| = (Др . | 'Lp | ) "ТГ | 
 | 
 | , где Др - коэффициент диффузии | ||||||||
| дырок. | Е э | к в | - | напряженность, | соответствующая некоторой | экви | |||||||
| валентной | разности | потенциалов, | под действием которой | дырка приоб | |||||||||
| ретает энергию, равную к • Т - энергии теплового движения. | 
 | ||||||||||||
| Если Е к | > | Еэкв, то | все, неосновные носители, | приближаю | |||||||||
щиеся в результате теплового движения к запирающему слою, втяги ваются полегл Е^ и плотность дрейфового тока постоянна (ток на сыщения). Величина се не зависит от напряженности поля и опреде ляется лишь концентрацией неосновных носителей:
| где | Jsfips | - плотность дрейфового тока насыщения. | |||
| 
 | Зная плотности | дырочного ^др | > электронного | ||
| диффузионных токов | и плотности дырочного Japs | и электрон | |||
| н о г о j a ^ s | дрейфовых токов можно определить соответствующие | ||||
| токи | через | р - п - | переход площадью | S. | 
 | 
