
книги из ГПНТБ / Утевский, Л. М. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении
.pdf
сверхструктурных рефлексов, которые возникают в ре зультате когерентного рассеяния на атомах кислорода, расположенных упорядочение в междоузлиях основной о. ц. к. решетки тантала. Наиболее яркие из этих реф лексов связаны с наличием в решетке тантала тетраго нальных искажений, вызванных упорядоченным распо ложением атомов кислорода.
Дополнительные (экстра) рефлексы на электронограмме возникают в том случае, когда имеется геомет рическая возможность лучу, дифрагированному на се мействе плоскостей (hikili) с межплоскостным расстоя нием d\, вторично дифрагировать на семействе плоско стей (h2k2l2) с другим межплоскостным расстоянием d2 (рис. 61) или на плоскостях того же семейства, но не сколько иначе ориентированных. Вторая возможность связана, с одной стороны, с малыми значениями брэгговских углов для электронов, а с другой — с наличием ло кальных упругих изгибов образца, увеличивающих ве-
151
роятность одновременного удовлетворения условия Вульфа — Брэггов для различных семейств плоскостей.
Так, экстра-рефлексы возникают на электронограммах от некоторых кристаллов в точках, которые отве чают положениям узлов обратной решетки, запрещен ных структурным множителем (см. с. 118). Последова тельные два (или более) отражения, разрешенные струк турным множителем, дают экстра-рефлекс, положение которого можно поэтому получить сложением подходя щих векторов обратной решетки; эти векторы должны лежать в том ее сечении, которое отображается электронограммой. Иными словами, радиус-вектор экстра рефлекса должен быть векторной суммой радиусов-век торов достаточно сильных разрешенных рефлексов, при сутствующих на электронограмме.
|
Например, вектор g3 обратной решетки гексагональ |
|||||||||
ного |
кристалла, |
отвечающий з а п р е щ е н н о м у |
реф |
|||||||
лексу с индексами |
h3k3l3, |
такими, что h3-j-2k3 |
= 3n и 13 — |
|||||||
= |
2 т + 1 , всегда можно разложить на такие два вектора |
|||||||||
g\ |
и g2 разрешенных отражений, |
для индексов |
которых |
|||||||
выполняются следующие простые |
соотношения: |
|
|
|||||||
|
hy + |
2ky |
= |
Зр + 1, |
1Х = |
2г; |
|
|
|
|
|
h2 + |
2k2 |
= |
3q — 1, |
l2 = 2s + 1, |
|
|
|
|
|
где n, |
m, |
p, |
q, r, s — любые целые числа, |
но |
n — |
p-\-q, |
||||
m — r-\-s. |
|
|
|
|
|
|
|
|
Экстра-рефлексы часто возникают также на электронограммах от двойниковых и двухфазных структур при подходящих геометрических условиях. Поскольку в по давляющем большинстве случаев превращения в твер дом теле приводят к более или менее строгим и более или менее рациональным (кристаллографически) ориентационным соотношениям сосуществующих фаз и к двой никовым соотношениям кристаллов одной и той же фа зы, анализ электронограмм может серьезно осложнить ся из-за возникновения экстра-рефлексов, создающих ложное впечатление о периодичности, в действительно сти не существующей.
Примеры анализа микродифракционных картин от сложных стуктур с интенсивными экстра-рефлексами приведены в гл. 16.
152
Г л а в а 5
ЭФФЕКТЫ ДИФФУЗНОГО РАССЕЯНИЯ НА ЭЛЕКТРОНОГРАММАХ
На электронограммах от монокристаллов часто наблю даются эффекты диффузного (не брэгговского, но коге рентного) рассеяния электронов. Ниже кратко рассмот рим происхождение этих эффектов и их использование при изучении структуры объекта.
1. ФОРМА УЗЛОВ ОБРАТНОЙ РЕШЕТКИ, СВЯЗАННАЯ С РАЗМЕРАМИ КРИСТАЛЛА
В первом приближении форма узла обратной решет ки, определяемая характером распределения в обратном пространстве интенсивности рассеянного когерентного из лучения от соответствующих атомных плоскостей (hkl), может быть аппроксимирована малой сферой. Диаметр сферы прямо пропорционален углу (А0) сходимости электронного пучка на образце и обратно пропорцио нален ghhi — модулю соответствующего вектора обратной решетки. В свою очередь угол сходимости зависит от размера подвижной диафрагмы второй конденсорной линзы и тока в этой линзе. Однако все сказанное отно
сится |
к кристаллу |
достаточно |
больших |
(по |
сравнению |
|
с элементарной ячейкой) |
размеров по всем |
направлени |
||||
ям. В |
противном |
случае |
узел |
обратной |
решетки будет |
размываться в направлении, в котором данный кристалл имеет ограниченные размеры, и потому менее строго вы полняется соответствующее условие Лауэ.
Интенсивность рассеяния в узле g связана с длина ми ti ребер кристалла-параллелепипеда и дифракцион-
153
ными |
условиями |
зависимостью: |
|
|
|
|||
|
sin2 nt1s1 |
sin 2 n^ 2 s 2 |
sin2 |
ntas3 |
|
|
|
|
где s b |
s2 |
и s3 — величины |
отклонения |
от узла обратной |
||||
решетки |
по тем же направлениям, |
но |
в обратном |
про |
||||
странстве. |
|
|
|
|
|
|
||
Максимальное значение I s |
имеет |
место при S i = |
s 2 = |
|||||
= S 3 = 0 — тогда |
оно пропорционально {tit2h)2, |
т. е. |
квадрату рассеивающего объема кристалла. С отклоне
нием точки |
обратного |
пространства |
от |
центра |
|
узла |
|||||||||
(т. е. при Si=f= 0) интенсивность |
рассеяния |
уменьшается |
|||||||||||||
и достигает первого минимума |
при s = ljt, |
второго |
мини |
||||||||||||
мума — при 2/t и т. д., где t — размер |
кристалла |
в |
на |
||||||||||||
правлении |
5 . Зависимость |
интенсивности |
рассеяния |
I g |
|||||||||||
от |
S B |
кинематическом |
приближении |
схематически |
пред |
||||||||||
ставлена |
на рис. 62. Из схемы |
видно, что ширина |
глав |
||||||||||||
ного максимума |
в обратном |
пространстве |
равна |
|
2/t. |
||||||||||
Отсюда |
следует, что по протяженности |
узла |
обратной |
||||||||||||
решетки |
в направлении |
s |
можно |
оценить |
размер |
кри |
|||||||||
сталла в том же направлении. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Сводка основных дифракционных эффектов, связан |
||||||||||||||
ных с размерами и формой кристалла, дана |
на рис. 63. |
||||||||||||||
Следует |
отметить, что для кристалла |
данной |
геометрии |
||||||||||||
и |
размера |
наблюдается |
одинаковое |
изменение |
формы |
||||||||||
всех узлов обратной решетки, включая узел ООО. |
|
|
|
||||||||||||
|
Рассмотрим |
теперь |
более |
подробно |
дифракционные |
||||||||||
эффекты, которые возникают на электронограммах |
в на |
||||||||||||||
иболее важных |
практически |
и |
часто |
встречающихся |
|||||||||||
случаях, |
когда |
кристаллы |
(выделения, |
двойники) |
име |
||||||||||
ют форму тонких пластинок (дисков) |
или игл. |
|
|
|
/in'lnts)
*2/t *Ш |
0 |
-f/t -2/t |
— |
г |
— |
I |
S |
Рис. 62. Р а с п р е д е л е н и е интенсив
ности |
вблизи у з л а обратной |
ре |
|
шетки |
(в |
кинематическом |
при |
б л и ж е н и и ) |
[10] |
|
154
Число направлений |
Реальная |
Дифракционное |
недостаточного |
форма |
изображение обрат |
разрешения |
кристалла |
ного пространства |
|
|
(сечение, нормаль |
|
|
ное к пучку) |
/.Нет (выполняются все три условия Лауэ)
|
|
|
с |
Трехмерное- |
|
|
|
|
Идеальный |
||
|
|
трехмерный |
пятна и круги |
||
|
|
образец (кубик) |
|
|
|
2. Одно |
|
|
|
|
|
(выполняются два |
|
|
|
|
|
условия |
Лауэ) |
|
|
|
|
|
|
Гонкая фольга, |
Мвухмерное- |
||
|
|
только пятна |
|||
|
|
нормальная к пучку |
|
|
|
|
|
|
|
Линейное- |
|
|
|
|
|
ПОЛОСЬ/; |
Линии |
|
|
Тонкая пластинка, |
или стержни |
||
|
|
|
|
||
|
|
параллельная пучку |
|
|
|
J. Два |
|
|
|
|
|
( выполняется одно |
|
|
|
|
|
условие |
Лауэ) |
|
Тонкая игла |
|
|
|
|
|
Плоское |
||
|
|
|
|
||
Случай малого |
Пучок |
|
|
|
|
сферического объема |
** |
|
|
|
|
|
|
|
|
Радиальное размытие |
|
|
|
|
|
(злектронографически |
|
|
|
|
|
не обнаруживается) |
|
Рис. 63. Сводка основных дифракционных эффектов, связанных с раз |
|||||
мерами и ф о р м о й кристаллов |
[10] |
|
|
||
|
а. Тонкие пластинки |
|
|
||
П л а с т и н к а |
р а с п о л о ж е н а |
п е р п е н д и к у |
|||
л я р н о п е р в и ч н о м у |
э л е к т р о н н о м у |
п у ч к у . |
|||
В этом случае все узлы |
обратной решетки вытягивают- |
155
|
|
|
|
|
|
|
|
ся |
|
перпендикулярно |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
плоскости |
|
пластинки |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(например, |
|
|
тонкой |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
фольги, см. гл. 4, с. 145), |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
образуя обратные стер |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
жни, |
|
|
параллельные |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
первичному пучку (рис. |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
64,а). |
В |
результате в |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
той или иной мере уве |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
личивается |
угловой |
ин |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
тервал |
|
отражения |
от |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
всех плоскостей |
данной |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
зоны. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
П л а с т и н к а р а с |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
п о л о ж е н а |
|
п а р а л |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
л е л ь н о п е р в и ч н о |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
м у э л е к т р о н н о м у |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
п у ч к у . |
От |
|
каждого |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
рефлекса |
в |
|
направле |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
нии, |
перпендикулярном |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
плоскости |
|
пластинки, |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
«вырастают» тяжи; дли |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
на тяжа, считая в одну |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
сторону от центра реф |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
лекса, |
|
равна |
\/t, |
где |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
t — толщина |
|
пластинки |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(рис. |
64,6), |
|
и |
когда |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
толщина |
|
становится |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
близкой |
к |
|
размерам |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
атомов, тяжи |
становят |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ся |
непрерывными |
ли |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
ниями, |
|
проходящими |
||||||
Рис. 64. |
Влияние формы у з л о в |
|
обратной |
через |
ряд |
|
рефлексов. |
|||||||||
|
Пример |
для |
|
сплава |
||||||||||||
решетки на п о л о ж е н и е |
пятен |
на |
электроно- |
|
||||||||||||
грамме |
в |
случае, |
когда |
о б р а з е ц |
имеет фор |
Си—Be |
приведен |
на |
||||||||
му тонкой |
пластинки: |
|
|
|
|
|||||||||||
а — пластинка р а с п о л о ж е н а перпендикуляр |
рис. |
65. |
Видны |
сплош |
||||||||||||
но направлению |
п а д а ю щ е г о |
электронного |
ные тяжи |
по |
двум |
на |
||||||||||
пучка; |
б — пластинка |
р а с п о л о ж е н а |
парал |
|||||||||||||
лельно |
пучку; в |
— пластинка |
р а с п о л о ж е н а |
правлениям |
|
[100] |
и |
|||||||||
наклонно |
по отношению к пучку. |
Стрелка |
|
|||||||||||||
[010] |
|
(ориентировка |
||||||||||||||
у к а з ы в а е т направление |
первичного |
пучка. |
|
|||||||||||||
SS — сфера о т р а ж е н и я |
|
|
|
|
фольги |
[001]), что сви |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
детельствует о выделении тонких одноатомных пласти нок бериллия по плоскостям {100} решетки Си. В неко торых случаях сильно вытянутые, но несплошные тяжи
156

_ | |
I |
1 |
|
|
а' |
J,'4 г |
0' |
A,Aj |
|
|
|
Рис. 67. К |
с м е щ е н и ю пятен |
на |
элек |
||
тронограмме |
при |
несимметричной |
|||
ориентировке. |
Кристалл — тонкая |
||||
пластинка — р а с п о л о ж е н |
наклонно |
||||
по отношению |
к |
первичному |
пучку |
Рис . 68. Схема к н а х о ж д е н и ю индексов направления с м е щ е н и я
рефлексов |
на |
электронограмме |
|
при наличии |
обратных стержней, |
||
р а с п о л о ж е н н ы х |
наклонно |
по от |
|
ношению к |
первичному |
пучку. |
|
S S — с ф е р а о т р а ж е н и я |
|
вичному |
лучу. |
При |
симметричной |
ориентировке |
|
(т. е. когда |
для |
всех |
рефлексов s < 0 , |
см. рис. 64,в, |
|
а также |
гл. |
10) все рефлексы оказываются |
смещенными |
в одном направлении; при несимметричной ориентиров
ке рефлексы, |
для которых s > 0 , |
смещены |
в одном на |
||||
правлении, |
а |
рефлексы, для |
которых s < 0 , |
— в |
противо |
||
положном |
направлении, |
как |
показано |
на |
рис. 67: |
||
рефлекс А |
(для него s > 0 ) |
смещается в |
направлении |
||||
ОА[, а рефлекс D(s<zA) |
— в |
противоположном |
направ |
лении ОЦ[ . Эти смещения параллельны проекции об
ратного стержня |
на плоскость электронограммы, |
т. е. |
|
перпендикулярны |
следу |
кристалла — пластинки |
на |
плоскости дифракционной |
картины. Если направление |
следа установить по микрокартине не удается, но извест ны индексы плоскости в кристалле, которой параллель
на пластинка, то направление |
смещения рефлекса — |
|||||
проекции обратного |
стержня — можно |
найти |
следую |
|||
щим образом. |
|
|
|
|
|
|
Находят |
индексы |
плоскости |
(тпр), |
содержащей ось |
||
зоны |
отражающих плоскостей |
и нормаль |
[циш>] |
|||
к плоскости |
пластинки (см. гл. |
3). Нормаль |
к |
найден |
ной плоскости имеет в обратной решетке те же индексы, т. е. [тпр]* и лежит в плоскости дифракционной кар тины (рис. 68). Направление смещения Ag рефлекса — проекция [uvw], — очевидно, перпендикулярно [тпр]*
158
и может |
быть найдено графическим построением или |
|||
аналитически |
как линия пересечения плоскости обратной |
|||
решетки |
(т'п'р')*, |
параллельной (тпр), с плоскостью |
||
(JJVW)* |
электронограммы. |
|
||
Для |
кубического |
кристалла расчет |
упрощается. |
|
П р и м е р . |
Кубический кристалл |
ориентирован на |
правлением [100] параллельно первичному пучку; пла
стинчатые |
тонкие двойники расположены |
параллельно |
|
плоскости |
(111). Индексы плоскости [тпр) |
|
|
0010 |
о |
|
|
п и |
j - |
(on). |
|
Нормаль |
к этой плоскости в обратной |
решетке име |
ет те же индексы т. е. [011]*, а направление, ей перпен дикулярное и лежащее в плоскости (100)*, имеет ин дексы
00101101 I->[01
Следовательно, при небольших наклонах образца рефлексы смещаются в направлении +[011]* . Это на правление перпендикулярно следу (111) на (100), т. е. направлению [0l 1] || [ОП] *.
Большая протяженность обратных стержней может привести к появлению экстра-рефлексов, которые соот ветствуют точкам «прокола» сферы отражения стержня ми, связанными с узлами ненулевой лауэ-зоны. Для слу
чая |
«а» пример приведен на рис. 65. Экстра-рефлексы |
|
на |
электронограмме в положениях |
типа 110 отвечают |
тяжам по кубическому направлению |
[001] (параллель |
ному оси зоны) от рефлексов типа 111, принадлежащих первой лауэ-зоне [001]. Учитывая наличие тяжей по двум другим направлениям < 1 0 0 > * , лежащим в плос кости электронограммы, можно заключить, что на участке образца, от которого получена микроэлектронограмма, присутствуют тонкие, почти одноатомной толщины пла стинки бериллия по всем трем кубическим плоскостям.
Пример для случая «в» приведен на электронограм ме рис. 69 (ориентировка [111]). Экстра-пятна в поло жениях 1/2 < 1 12>* и 1/2<112>* + < 1 Ю > * возникают за счет «проколов» сферы отражения тяжами от тонких двойников превращения по {112} в мартенсите (см.
159