книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов
.pdf508 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
эшелона. Как показал Франк, в случае отрицательной производ ной dzqldkz при растворении профиль эшелона ступеней харак теризуется пологим ведущим краем и угловой точкой у хвоста; для положительной производной dzq/dk2 получается обратная картина. В последнем случае, когда угловая точка впереди, об разуется ямка травления с четкой периферией, что благоприят ствует наблюдению ее в микроскопе. И в самом деле, Хьюлетт и Янг убедились в том, что кривым типа I соответствуют ямки травления с размытой периферией; в случае же добавления при месей (тип I I , кривая С на фиг. 39) образуются ямки с резкими контурами.
31.МАКРОСКОПИЧЕСКИЕ ЧАСТИЦЫ
ВКАЧЕСТВЕ П Р И М Е С Е Й
Условия, при которых небольшие инородные частицы с раз мерами, превышающими молекулярные, захватываются или от тесняются фронтом кристаллизации, исследованы, по-видимому, гораздо меньше, чем случай с примесями молекулярных разме ров. Тем не менее эта проблема очень важна; как показали эксперименты Тернбалла [9] по зарождению, в большинстве жидкостей присутствует, по-видимому, множество инородных макроскопических частиц. Джексон [276] предположил, что эти частицы могут быть основной причиной возникновения дислока ций при выращивании кристаллов из расплава.
Ульман и др. [277] провели эксперименты по кристаллизации ряда органических веществ, в том числе салола, в который (преднамеренно) вводились инородные частицы различных ве ществ (Zn, MgO, алмаза и др.) с размерами приблизительно от I до 100 мкм. Макроскопические наблюдения показали, что при достаточно низких скоростях кристаллизации частицы почти всех исследованных материалов оттеснялись фронтом кристал лизации. Если скорость кристаллизации превосходила некото рую критическую величину (в типичном случае несколько ми кронов в секунду), то частицы захватывались кристаллом. Эта критическая скорость зависела от состава примесной частицы и кристаллизуемого вещества, но не зависела от размеров частиц, если они были меньше 15 мкм. По теории, разработанной этими авторами, сила, достаточная для оттеснения частицы, возникает в том случае, когда поверхностная энергия границы кристалл —
частица превосходит сумму энергий границ |
расплав — частица |
и расплав — кристалл. Однако при достаточно |
высокой скорости |
роста жидкость в узком зазоре между частицей и фронтом кри сталлизации не успевает продиффундировать или вытечь, вслед ствие чего частица замуровывается. Тот факт, что зависимость коэффициента захвата от размеров частиц не наблюдается, ав-
VII. ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
509 |
торы объясняют присутствием на поверхности всех твердых ча стиц очень мелких (~0,03 мкм) неоднородностей, которые и определяют размерный масштаб процессов, протекающих на фронте кристаллизации.
Чернов и Мельникова [278, 279] независимо от Ульмана ис следовали с теоретической точки зрения очень близкую задачу роста из раствора и из расплава. Они рассчитали распределение концентрации при росте из раствора в присутствии постороннего шара у фронта кристаллизации. Уменьшение пересыщения в узком промежутке между шаром и фронтом кристаллизации ведет к возникновению на этом месте углубления, которое ча стично сглаживается благодаря анизотропии кинетических коэф фициентов. Но, как правило, существует критическое значение
aJR, |
такое, что при меньших значениях aJR |
образуется глубо |
кая |
ямка или включение (либо происходит |
захват частицы); |
здесь fl4 — расстояние от центра шара до поверхности кристалла,
a R — радиус шара. При |
линейной зависимости |
скорости |
роста |
от пересыщения это критическое значение aJR, |
однако, не |
зави |
|
сит от скорости роста. |
|
|
|
Чернов и Мельникова |
[279] исследовали также ситуацию при |
||
росте из расплава, уделяя основное внимание расчету тепловых потоков. Если температуропроводность шара больше температу ропроводности расплава, то получается такой же результат, как
и |
для роста из раствора. Таким |
образом, как отметили Чернов |
и |
Мельникова [278], полученные ими выводы не согласуются с |
|
наблюдением Ульмана и других |
исследователей. |
|
V I I I
ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ
32. В В Е Д Е Н И Е
Мы уже рассматривали, особенно в гл. I I I , вопросы о том, как на кристаллизацию влияет тепло- и массоперенос, предполагая при этом, что такой перенос к поверхности раздела фаз или от нее осуществляется только посредством теплопроводности и диффузии по отдельности или одновременно. Другой, совершенно иной способ переноса теплоты или вещества — это конвекция, при которой теплота или вещество, содержащиеся в жидкости, переносятся из одной ее точки в другую гидродинамическим по током. Такой поток, вообще говоря, должен влиять на рост кри
сталлов из текучей среды, т. |
е. из раствора, пара и |
расплава. |
В свою очередь жидкую среду |
приводят в движение |
различные |
силы, такие, как: а) разность плотностей кристалла и жидкости, приводящая к конвективному тепло- и массопереносу, сопро вождающему продвижение фазовой границы в жидкость; б) не одинаковая плотность самой жидкости, порожденная градиен тами температуры и концентрации, которая в поле тяжести при водит в свою очередь к возникновению естественного конвек ционного потока; в) принудительная конвекция, когда переме шиванием жидкости создается поток, омывающий кристалл.
Влияние таких конвекционных потоков обычно сводится к разрушению протяженных полей диффузии в маточной среде. Их сменяют диффузионные поля, сосредоточенные в относи тельно узком пограничном слое толщиной б, так что пересыщен ный объем оказывается теперь совсем близко к поверхности раздела. Диффузия идет через этот пограничный слой, поэтому концентрационный и температурный градиенты около поверхно
сти кристалла имеют более высокие значения, чем в |
отсут |
ствие гидродинамического течения. Возрастают и скорости |
роста, |
если только рост лимитируется не одними кинетическими явле ниями на фронте. Другим примером может служить сегрегация примеси на фронте кристаллизации, вызывающая ее накопление в расплаве перед фронтом. Образующаяся из такого загрязнен ного расплава часть кристалла имеет повышенное содержание примеси. Диффузия примеси в расплав от фронта кристаллиза ции может привести к некоторому снижению ее концентрации в этой области, уменьшая тем самым количество примеси в кри сталле. Однако гидродинамическое перемешивание расплава
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
fill |
способно гораздо сильнее снизить концентрацию примеси у фронта кристаллизации, поскольку диффузионный слой при та ком перемешивании становится гораздо тоньше, так как его толщина определяется толщиной гидродинамического погранич ного слоя (см., например, [251, 252]).
Хотя гидродинамические эффекты во многих случаях кристал лизации играют не менее важную роль, чем теплопроводность и диффузия, все же количественных исследований в этой области проведено, по-видимому, несравненно меньше, чем по диффу зионной задаче Стефана и другим аналогичным задачам. [Впро чем, к исследованию влияния перемешивания на некоторые кри сталлизационные процессы часто прибегают в химической про мышленности (см., например,[280, 281]).] Такую недооценку мож но объяснить несколькими причинами. Во-первых, если в опытах жидкая фаза специально не перемешивается, то о возможности естественной конвекции часто забывают. Во-вторых, если суще ствование потоков жидкости при росте кристалла и учитывалось,, то громоздкость дифференциальных уравнений удерживала ис следователей от попыток определить аналитически или хотя бы полуколичественно распределение таких потоков. В-третьих, в опытах по росту кристаллов часто невозможно наблюдать за распределением потоков жидкости, особенно если последняя непрозрачна.
В настоящей главе мы рассмотрим исследования влияния по токов жидкости на тепло- и массоперенос, отдавая предпочте ние при этом количественным результатам. По аналогии с си стематикой задач Стефана разобьем работы, посвященные дан
ной проблеме, на группы, приняв за |
основу классификации |
форму или геометрию системы; такая |
классификация часто |
употребляется в литературе по гидродинамике, теплопроводно сти и диффузии (основная литература: Ландау и Лифшиц [212], Гольдштейн [282], Шлихтинг [283], Эккерт и Дрейк [284]; см. также журнал [285]).
33. ОБТЕКАНИЕ ПЛОСКОЙ ПЛАСТИНЫ
Рассматривая рост кристалла с плоскими гранями либо из перемешиваемого или проточного пересыщенного раствора, либо при его перемещении относительно раствора, ряд исследователей выбрали в качестве приближения гидродинамическую задачу о пограничном слое, возникающем в параллельном потоке при об текании полубесконечной плоской пластины. К исследованиям
подобного |
рода относятся работы Карлсона [286], Беннемы [182] |
и Брайса |
[287]. |
Главным средством исследования распределения потоков |
|
жидкости |
служат в принципе уравнения Навье — Стокса (см. |
512 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
Ландау и Лифшиц [212], Шлихтинг [283]). Это сложные нелиней ные уравнения движения, точные решения которых известны только для особых случаев (потоки в трубе и около вращаю щегося диска, очень медленное обтекание шара). Как показал Прандтль, когда поток жидкости обтекает твердые тела, в слое жидкости, прилегающем к их поверхности и называемом погра ничным слоем, возникают большие градиенты скорости течения. Рассматривая движение жидкости в этом слое, следует учиты вать трение (вязкость); вне пограничного слоя трением можно пренебречь. Такой приближенный анализ позволяет упростить уравнения движения жидкости в пограничном слое, которые все
«со
Ф и г . 40. Гидродинамический пограничный слой при обтекании плоской пластины [283].
еще остаются нелинейными. В случае стационарного двумерного потока несжимаемой жидкости с постоянными характеристиками эти уравнения имеют следующий вид:
|
|
« & + » • & = - < 3 3 1 » |
|||||||
|
|
|
|
& + £ - а |
|
|
|
(зз.2) |
|
Здесь |
и и |
и — составляющие скорости |
потока по |
осям |
х |
и у; |
|||
v — кинематическая вязкость, v — ц1рь\ |
Ц — вязкость; pL |
— плот |
|||||||
ность; считается, что давление р известно из решения для по |
|||||||||
тенциального течения невязкой жидкости. При обтекании пла |
|||||||||
стины |
(фиг. 40) |
dp/dx |
= 0 и граничные |
условия: и = v |
= 0 |
при |
|||
у = 0, |
и = |
Uoo при у |
= оо. Точное решение |
этой задачи |
все |
еще |
|||
сопряжено со значительными трудностями; первым ее решил |
|||||||||
методом разложения |
в ряд Блазиус (см. [283]). Приведем здесь |
||||||||
лишь результат, полученный в [284] более простым методом, |
|||||||||
основанным |
на |
использовании уравнения |
количества |
движе |
|||||
ния пограничного слоя. Распределение |
скоростей |
описывается г- |
|||||||
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
513 |
в этом приближении формулой
и _ 3 |
у |
|
|
(33.3) |
|
2 |
6 |
2 |
16 |
||
|
в которой толщина пограничного слоя б определяется следую щим образом:
|
|
± = -Щг |
|
|
|
(33-4) |
|
(число Рейнольдса Rex = |
UocXJv). |
В этом приближении б — рас |
|||||
стояние от пластины, |
при |
котором |
и = |
и,*,; в действительности |
|||
и приближается к их |
асимптотически. |
В |
точном выражении |
||||
(33.4) для б, при котором |
и = 0,99их, |
стоит |
коэффициент |
~5,0 |
|||
вместо 4,64. По формуле |
(33.4) |
толщина |
пограничного |
слоя |
|||
равна нулю у края пластины, встречающего поток, и возрастает пропорционально х"к с удалением от этого края.
Для определения потока тепла к пластине или от нее сна чала выводится уравнение энергетического баланса для элемен тарного объема жидкости. Это уравнение в принципе следует решать совместно с уравнениями Навье — Стокса. Более простой его вариант в приближении пограничного слоя записывается в следующем виде:
I дТ |
дТ\ |
К, д2Т |
/ди\2 |
|
|
C ^ { u - ^ + V W ! = ~ f W + V \ d y - ) |
' |
( 3 3 - 5 ) |
|||
Здесь K L — теплопроводность |
жидкости, a |
CLP — ее |
удельная |
||
теплоемкость при постоянном давлении. Кроме граничных усло
вий, связанных |
с уравнениями (33.1) |
и (33.2), |
должны |
выпол |
||||
няться еще и |
граничные |
условия, |
связанные |
с уравнением |
||||
(33.5) , а |
именно |
Т = Та.ш |
при у = 0 и Т = |
при у = |
со. Если |
|||
свойства |
жидкости не зависят от температуры, то поле |
скоростей |
||||||
не связано с полем температур, так что можно |
сначала |
найти |
||||||
решение |
уравнений (33.1) |
и (33.2), а |
затем |
решить |
линейное |
|||
уравнение (33.5) относительно Т(х, у). Польхаузен (см. [283]) получил точное решение уравнения (33.5), использовав решения уравнений (33.1) и (33.2). Если тепловой пограничный слой б* тоньше гидродинамического пограничного слоя б, то приближен ное решение имеет вид
|
т-тп.ш |
_ з у |
|
1 / ^ 4 3 |
|
|
где |
Т „ . ш ~ 2 6, |
2 \ 6 , / ' |
( 3 3 ' 6 ) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
— |
= |
|
гг- |
|
(3 3 -7) |
|
6 |
1,026 |
|
( Р г ) / з |
|
|
Здесь число |
Прандтля |
Pr = |
V / X L ; |
температуропроводность |
||
Х-L = KJPLCLP- |
П О Т О К |
тепла |
|
через |
поверхность |
нагретой |
17 Зак. 718 |
|
|
|
|
|
|
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
615 |
где Cs — концентрация на поверхности раздела фаз, С 0 — равно весная концентрация, Q — скорость роста, а А и п суть постоян ные при заданной температуре. С другой стороны,
Q = D С ° ° ~ С з , |
(33.13) |
Ос |
|
[при |
таком |
определении |
б с вместо |
коэффициента |
4,5 в |
выраже |
нии |
(33.11) |
нужно взять |
коэффициент 3,0]; следовательно, |
|||
|
|
^ 7 Г |
+ ( т Г = С ~ - С о . |
|
(33.14) |
|
Для уравнения (33.14) возможны два предельных случая: 1) ко |
||||||
гда |
можно |
пренебречь |
влиянием |
пограничного |
слоя |
( б с — • О ) , |
т. е. когда |
рост кристалла лимитируется поверхностной |
кинети |
||||
кой; 2) когда определяющая роль принадлежит влиянию погра
ничного |
слоя |
( б с — > о о ) . Ясно также, |
что с приближением |
тол |
||||||
щины б с |
к нулю, т. е. с усилением перемешивания, |
наблюдаемая |
||||||||
скорость роста |
Q возрастает, |
асимптотически |
приближаясь к не |
|||||||
которой |
величине (см., например, [281]). Если оба члена в левой |
|||||||||
части |
(33.14) |
одинаковы по |
порядку |
величины, |
то, поскольку |
|||||
толщина |
б с |
пропорциональна |
uZ'1* [см. выражение |
(33.11)], |
ско |
|||||
рость |
роста |
при постоянном |
значении |
( С о — С0 ), записанная в |
||||||
виде произведения Q«~'/ 2 , должна быть пропорциональной |
Q 1 / n |
|||||||||
при некотором |
значении п, |
соответствующем |
показателю |
сте |
||||||
пени в выражении |
зависимости скорости кристаллизации от пе |
|||||||||
ресыщения |
на |
фронте роста |
(33.12). |
(Этот |
вывод основан на |
|||||
предположении, что толщина |
б с постоянна по поверхности, |
хотя |
||||||||
гидродинамический |
анализ показывает, что она меняется, |
при |
||||||||
нимая на краю пластины минимальное значение, равное нулю.) Данные, полученные Мак-Кэйбом и Стивенсом [288] при экспе риментальном исследовании роста CuS04-5H20 из водного рас твора, согласуются с выражением (33.14) при п = 2.
Беннема [182], также пользовавшийся формулой (33.11) для интерпретации измеренных им скоростей роста кристаллов алюмокалиевых квасцов и хлората натрия из растворов, установил, что бс ~ Ю - 2 см. Однако изменение скорости перемешивания раствора не привело к изменению скорости роста, на основании чего Беннема заключил, что рост полностью лимитируется по верхностными процессами в соответствии с моделью поверхност ной диффузии, предложенной Бартоном, Кабрерой и Франком [41], а не объемной диффузией, как это предполагалось в пред ложенной Черновым [17] модели, согласно которой скорость ро
ста зависит от б с . |
толщина пограничного |
|
Как |
отметил Карлсон [286], поскольку |
|
слоя б с |
меняется пропорционально х'/\ скорость массопереноса |
|
у края |
пластины, встречающего поток |
раствора, получится |
1?»
516 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
бесконечно большой (если только роль кинетических явлений на поверхности раздела фаз несущественна). С учетом этого он вы сказал предположение, что более подходящей моделью может служить пластина, температура (или концентрация) в разных точках которой различна, так что скорость переноса тепла (или вещества) будет постоянной. В такой постановке задачу тепло проводности решили Фэйдж и Фолкнер [282]; оказалось, что пре вышение температуры пластины над температурой объема жидкости пропорционально хч\ При росте из раствора отклоне ние концентрации на поверхности пластины от концентрации в объеме также пропорционально х'л . В итоге на некотором рас стоянии х от края пластины концентрация на ее поверхности упадет до равновесной. Карлсон предположил, что при весьма малых скоростях протекания раствора именно на таком расстоя нии от края образуются дефекты в крупных кристаллах ADP («свили»). Существует и другая трудность, состоящая в том, что концентрация на поверхности Cs, входящая в уравнение поверх ностной кинетики [уравнение (33.12)], меняется с движением по поверхности, так что скорость роста также оказывается перемен ной величиной, зависящей от х. Как уже упоминалось, здесь следует брать нелокальное граничное условие.
Полуэмпирические соотношения [подобные уравнению (33.10)] для кристаллизации, растворения и плавления, связы вающие критерии Рейнольдса, Прандтля и Шмидта, с одной сто роны, с критериями Нуссельта и Шервуда (последние два про порциональны скоростям соответственно теплопередачи и диф фузии),— с другой, обсуждаются в монографии Маллина [281] и в работах, на которые он ссылается в этой монографии.
34. В Р А Щ А Ю Щ И Й С Я Д И С К И УСТАНОВКА ЧОХРАЛЬСКОГО
Бартон и др. [254] исследовали влияние потока жидкости на распределение примеси в кристаллах, которые выращивались из расплава с примесью или специально введенной добавкой по ме тоду Чохральского (см. также статью Бартона и Слихтера [289]). Как оказалось [254], задача о потоках, которые возникают в рас плаве при вращении цилиндрического кристалла, погруженного своим концом в расплав, аналогична задаче о вращающемся диске, погруженном в жидкость. Задача о вращающемся диске была исследована Карманом и Кокреном (см. [283]); это одна из тех немногочисленных задач, для которых известно точное решение уравнений Навье — Стокса. Задача о диске в свою оче редь близка к задаче о действии центробежного насоса, в кото ром слой жидкости около диска переносится параллельно его поверхности силами трения, а затем выбрасывается наружу под действием центробежной силы. На место отброшенной жидкости
V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ |
517 |
поступает другая, подтягиваемая к вращающемуся диску вдоль оси системы. Ясно, что поток в данном случае трехмерен и что все три его составляющие (касательная, радиальная и осевая) не равны нулю. Скорость осевого потока, направленного к диску, быстро спадает вблизи него, так как здесь возникают радиаль ное и касательное течения. Толщина гидродинамического погра ничного слоя, соответствующего этой задаче, т. е. слоя жидко сти, который «несет» на себе диск, вращающийся с угловой ско ростью со, приближенно выражается следующим образом [283]:
(34.1)
В этом слое на расстоянии х от диска скорость и осевого потока, направленного по нормали к диску, описывается приближенным выражением
w = 0 , 5 1 c o ' W . |
(34.2) |
Чтобы найти толщину диффузионного пограничного слоя бс для разбавленного раствора с концентрацией С, следует записать уравнение сохранения вещества, которое в системе координат, неподвижной относительно поверхности диска, имеет в стацио нарном состоянии вид
|
D ^ ~ ( |
u + v |
g |
) |
^ = |
0 |
(34.3) |
(vg |
— скорость роста). При этом |
граничные |
условия |
запишутся |
|||
в |
виде |
|
|
|
|
|
|
и |
С->СХ |
при |
|
*~>со |
|
(34.4) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Cs~CT)vg+D^ |
= |
0 |
при |
* = 0. |
(34.5) |
|
Последнее соотношение представляет собой условие сохранения количества растворенного вещества на поверхности раздела фаз, где концентрация равна Cs; Ст — его концентрация в твердой фазе. Решая эту систему для значений и, описываемых форму лой (34.2), получаем, что при х = 0 концентрация С = Cs\ сле довательно,
| e x p { - [ J + BX*]}dX, |
(34.6) |
C s ~ C T
где B = (0,51/3)t)jVJ D2 v Ч г , a X = vgx/D. Чтобы определить бс , предположим, что в пределах слоя толщиной бс полная скорость осевого потока в точности равна скорости роста vg и что С = С» при х = бс . Таким образом, возникает диффузионная задача,
