Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов

.pdf
Скачиваний:
43
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
35.03 Mб
Скачать

508

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

эшелона. Как показал Франк, в случае отрицательной производ­ ной dzqldkz при растворении профиль эшелона ступеней харак­ теризуется пологим ведущим краем и угловой точкой у хвоста; для положительной производной dzq/dk2 получается обратная картина. В последнем случае, когда угловая точка впереди, об­ разуется ямка травления с четкой периферией, что благоприят­ ствует наблюдению ее в микроскопе. И в самом деле, Хьюлетт и Янг убедились в том, что кривым типа I соответствуют ямки травления с размытой периферией; в случае же добавления при­ месей (тип I I , кривая С на фиг. 39) образуются ямки с резкими контурами.

31.МАКРОСКОПИЧЕСКИЕ ЧАСТИЦЫ

ВКАЧЕСТВЕ П Р И М Е С Е Й

Условия, при которых небольшие инородные частицы с раз­ мерами, превышающими молекулярные, захватываются или от­ тесняются фронтом кристаллизации, исследованы, по-видимому, гораздо меньше, чем случай с примесями молекулярных разме­ ров. Тем не менее эта проблема очень важна; как показали эксперименты Тернбалла [9] по зарождению, в большинстве жидкостей присутствует, по-видимому, множество инородных макроскопических частиц. Джексон [276] предположил, что эти частицы могут быть основной причиной возникновения дислока­ ций при выращивании кристаллов из расплава.

Ульман и др. [277] провели эксперименты по кристаллизации ряда органических веществ, в том числе салола, в который (преднамеренно) вводились инородные частицы различных ве­ ществ (Zn, MgO, алмаза и др.) с размерами приблизительно от I до 100 мкм. Макроскопические наблюдения показали, что при достаточно низких скоростях кристаллизации частицы почти всех исследованных материалов оттеснялись фронтом кристал­ лизации. Если скорость кристаллизации превосходила некото­ рую критическую величину (в типичном случае несколько ми­ кронов в секунду), то частицы захватывались кристаллом. Эта критическая скорость зависела от состава примесной частицы и кристаллизуемого вещества, но не зависела от размеров частиц, если они были меньше 15 мкм. По теории, разработанной этими авторами, сила, достаточная для оттеснения частицы, возникает в том случае, когда поверхностная энергия границы кристалл —

частица превосходит сумму энергий границ

расплав — частица

и расплав — кристалл. Однако при достаточно

высокой скорости

роста жидкость в узком зазоре между частицей и фронтом кри­ сталлизации не успевает продиффундировать или вытечь, вслед­ ствие чего частица замуровывается. Тот факт, что зависимость коэффициента захвата от размеров частиц не наблюдается, ав-

VII. ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

509

торы объясняют присутствием на поверхности всех твердых ча­ стиц очень мелких (~0,03 мкм) неоднородностей, которые и определяют размерный масштаб процессов, протекающих на фронте кристаллизации.

Чернов и Мельникова [278, 279] независимо от Ульмана ис­ следовали с теоретической точки зрения очень близкую задачу роста из раствора и из расплава. Они рассчитали распределение концентрации при росте из раствора в присутствии постороннего шара у фронта кристаллизации. Уменьшение пересыщения в узком промежутке между шаром и фронтом кристаллизации ведет к возникновению на этом месте углубления, которое ча­ стично сглаживается благодаря анизотропии кинетических коэф­ фициентов. Но, как правило, существует критическое значение

aJR,

такое, что при меньших значениях aJR

образуется глубо­

кая

ямка или включение (либо происходит

захват частицы);

здесь fl4 — расстояние от центра шара до поверхности кристалла,

a R — радиус шара. При

линейной зависимости

скорости

роста

от пересыщения это критическое значение aJR,

однако, не

зави­

сит от скорости роста.

 

 

 

Чернов и Мельникова

[279] исследовали также ситуацию при

росте из расплава, уделяя основное внимание расчету тепловых потоков. Если температуропроводность шара больше температу­ ропроводности расплава, то получается такой же результат, как

и

для роста из раствора. Таким

образом, как отметили Чернов

и

Мельникова [278], полученные ими выводы не согласуются с

наблюдением Ульмана и других

исследователей.

V I I I

ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

32. В В Е Д Е Н И Е

Мы уже рассматривали, особенно в гл. I I I , вопросы о том, как на кристаллизацию влияет тепло- и массоперенос, предполагая при этом, что такой перенос к поверхности раздела фаз или от нее осуществляется только посредством теплопроводности и диффузии по отдельности или одновременно. Другой, совершенно иной способ переноса теплоты или вещества — это конвекция, при которой теплота или вещество, содержащиеся в жидкости, переносятся из одной ее точки в другую гидродинамическим по­ током. Такой поток, вообще говоря, должен влиять на рост кри­

сталлов из текучей среды, т.

е. из раствора, пара и

расплава.

В свою очередь жидкую среду

приводят в движение

различные

силы, такие, как: а) разность плотностей кристалла и жидкости, приводящая к конвективному тепло- и массопереносу, сопро­ вождающему продвижение фазовой границы в жидкость; б) не­ одинаковая плотность самой жидкости, порожденная градиен­ тами температуры и концентрации, которая в поле тяжести при­ водит в свою очередь к возникновению естественного конвек­ ционного потока; в) принудительная конвекция, когда переме­ шиванием жидкости создается поток, омывающий кристалл.

Влияние таких конвекционных потоков обычно сводится к разрушению протяженных полей диффузии в маточной среде. Их сменяют диффузионные поля, сосредоточенные в относи­ тельно узком пограничном слое толщиной б, так что пересыщен­ ный объем оказывается теперь совсем близко к поверхности раздела. Диффузия идет через этот пограничный слой, поэтому концентрационный и температурный градиенты около поверхно­

сти кристалла имеют более высокие значения, чем в

отсут­

ствие гидродинамического течения. Возрастают и скорости

роста,

если только рост лимитируется не одними кинетическими явле­ ниями на фронте. Другим примером может служить сегрегация примеси на фронте кристаллизации, вызывающая ее накопление в расплаве перед фронтом. Образующаяся из такого загрязнен­ ного расплава часть кристалла имеет повышенное содержание примеси. Диффузия примеси в расплав от фронта кристаллиза­ ции может привести к некоторому снижению ее концентрации в этой области, уменьшая тем самым количество примеси в кри­ сталле. Однако гидродинамическое перемешивание расплава

V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

fill

способно гораздо сильнее снизить концентрацию примеси у фронта кристаллизации, поскольку диффузионный слой при та­ ком перемешивании становится гораздо тоньше, так как его толщина определяется толщиной гидродинамического погранич­ ного слоя (см., например, [251, 252]).

Хотя гидродинамические эффекты во многих случаях кристал­ лизации играют не менее важную роль, чем теплопроводность и диффузия, все же количественных исследований в этой области проведено, по-видимому, несравненно меньше, чем по диффу­ зионной задаче Стефана и другим аналогичным задачам. [Впро­ чем, к исследованию влияния перемешивания на некоторые кри­ сталлизационные процессы часто прибегают в химической про­ мышленности (см., например,[280, 281]).] Такую недооценку мож­ но объяснить несколькими причинами. Во-первых, если в опытах жидкая фаза специально не перемешивается, то о возможности естественной конвекции часто забывают. Во-вторых, если суще­ ствование потоков жидкости при росте кристалла и учитывалось,, то громоздкость дифференциальных уравнений удерживала ис­ следователей от попыток определить аналитически или хотя бы полуколичественно распределение таких потоков. В-третьих, в опытах по росту кристаллов часто невозможно наблюдать за распределением потоков жидкости, особенно если последняя непрозрачна.

В настоящей главе мы рассмотрим исследования влияния по­ токов жидкости на тепло- и массоперенос, отдавая предпочте­ ние при этом количественным результатам. По аналогии с си­ стематикой задач Стефана разобьем работы, посвященные дан­

ной проблеме, на группы, приняв за

основу классификации

форму или геометрию системы; такая

классификация часто

употребляется в литературе по гидродинамике, теплопроводно­ сти и диффузии (основная литература: Ландау и Лифшиц [212], Гольдштейн [282], Шлихтинг [283], Эккерт и Дрейк [284]; см. также журнал [285]).

33. ОБТЕКАНИЕ ПЛОСКОЙ ПЛАСТИНЫ

Рассматривая рост кристалла с плоскими гранями либо из перемешиваемого или проточного пересыщенного раствора, либо при его перемещении относительно раствора, ряд исследователей выбрали в качестве приближения гидродинамическую задачу о пограничном слое, возникающем в параллельном потоке при об­ текании полубесконечной плоской пластины. К исследованиям

подобного

рода относятся работы Карлсона [286], Беннемы [182]

и Брайса

[287].

Главным средством исследования распределения потоков

жидкости

служат в принципе уравнения Навье — Стокса (см.

512

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

Ландау и Лифшиц [212], Шлихтинг [283]). Это сложные нелиней­ ные уравнения движения, точные решения которых известны только для особых случаев (потоки в трубе и около вращаю­ щегося диска, очень медленное обтекание шара). Как показал Прандтль, когда поток жидкости обтекает твердые тела, в слое жидкости, прилегающем к их поверхности и называемом погра­ ничным слоем, возникают большие градиенты скорости течения. Рассматривая движение жидкости в этом слое, следует учиты­ вать трение (вязкость); вне пограничного слоя трением можно пренебречь. Такой приближенный анализ позволяет упростить уравнения движения жидкости в пограничном слое, которые все

«со

Ф и г . 40. Гидродинамический пограничный слой при обтекании плоской пластины [283].

еще остаются нелинейными. В случае стационарного двумерного потока несжимаемой жидкости с постоянными характеристиками эти уравнения имеют следующий вид:

 

 

« & + » • & = - < 3 3 1 »

 

 

 

 

& + £ - а

 

 

 

(зз.2)

Здесь

и и

и — составляющие скорости

потока по

осям

х

и у;

v — кинематическая вязкость, v — ц1рь\

Ц — вязкость; pL

— плот­

ность; считается, что давление р известно из решения для по­

тенциального течения невязкой жидкости. При обтекании пла­

стины

(фиг. 40)

dp/dx

= 0 и граничные

условия: и = v

= 0

при

у = 0,

и =

Uoo при у

= оо. Точное решение

этой задачи

все

еще

сопряжено со значительными трудностями; первым ее решил

методом разложения

в ряд Блазиус (см. [283]). Приведем здесь

лишь результат, полученный в [284] более простым методом,

основанным

на

использовании уравнения

количества

движе­

ния пограничного слоя. Распределение

скоростей

описывается г-

V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

513

в этом приближении формулой

и _ 3

у

 

 

(33.3)

2

6

2

16

 

в которой толщина пограничного слоя б определяется следую­ щим образом:

 

 

± = -Щг

 

 

 

(33-4)

(число Рейнольдса Rex =

UocXJv).

В этом приближении б — рас­

стояние от пластины,

при

котором

и =

и,*,; в действительности

и приближается к их

асимптотически.

В

точном выражении

(33.4) для б, при котором

и = 0,99их,

стоит

коэффициент

~5,0

вместо 4,64. По формуле

(33.4)

толщина

пограничного

слоя

равна нулю у края пластины, встречающего поток, и возрастает пропорционально х"к с удалением от этого края.

Для определения потока тепла к пластине или от нее сна­ чала выводится уравнение энергетического баланса для элемен­ тарного объема жидкости. Это уравнение в принципе следует решать совместно с уравнениями Навье — Стокса. Более простой его вариант в приближении пограничного слоя записывается в следующем виде:

I дТ

дТ\

К, д2Т

/ди\2

 

 

C ^ { u - ^ + V W ! = ~ f W + V \ d y - )

'

( 3 3 - 5 )

Здесь K L — теплопроводность

жидкости, a

CLP — ее

удельная

теплоемкость при постоянном давлении. Кроме граничных усло­

вий, связанных

с уравнениями (33.1)

и (33.2),

должны

выпол­

няться еще и

граничные

условия,

связанные

с уравнением

(33.5) , а

именно

Т = Та.ш

при у = 0 и Т =

при у =

со. Если

свойства

жидкости не зависят от температуры, то поле

скоростей

не связано с полем температур, так что можно

сначала

найти

решение

уравнений (33.1)

и (33.2), а

затем

решить

линейное

уравнение (33.5) относительно Т(х, у). Польхаузен (см. [283]) получил точное решение уравнения (33.5), использовав решения уравнений (33.1) и (33.2). Если тепловой пограничный слой б* тоньше гидродинамического пограничного слоя б, то приближен­ ное решение имеет вид

 

т-тп.ш

_ з у

 

1 / ^ 4 3

 

где

Т „ . ш ~ 2 6,

2 \ 6 , / '

( 3 3 ' 6 )

 

 

 

 

 

 

 

=

 

гг-

 

(3 3 -7)

 

6

1,026

 

( Р г ) / з

 

 

Здесь число

Прандтля

Pr =

V / X L ;

температуропроводность

Х-L = KJPLCLP-

П О Т О К

тепла

 

через

поверхность

нагретой

17 Зак. 718

 

 

 

 

 

 

514

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

пластины

единичной площади выражается

в виде

 

Q = 4 4 f O . - T V J ;

(33.8)

Воспользовавшись выражениями (33.7) и (33.4), можно записать

Q = 0,332^ ( Г м - Г„.ш ) (Рг)'/ з ( ^ ) ' / 2 ,

(33.9)

т. е. поток Q обратно пропорционален корню квадратному из расстояния от данной точки до края, встречающего поток. Заме­ тим, что, согласно (33.7), в вязкой жидкости, т. е. при Рг 1000, толщина теплового пограничного слоя составляет меньше '/ю толщины гидродинамического пограничного слоя. Для воды при комнатной температуре Рг « 7; для многих газов критерий Рг близок к единице. Для жидких металлов Рг <С 1 (например, для ртути при комнатной температуре Рг « 0,02), но тогда формула (33.9) уже неприменима.

Если происходит перенос вещества, например при росте из разбавленного раствора или при растворении, то [282] поток ве­ щества <3вещ выражается формулой [286]

Фвещ - 0.332D (С„ - Св) (Sc)7 ' ( - ^ ) ' / ! ,

(33.10)

где Sc = v/D — число Шмидта; D — коэффициент диффузии рас­ творенного вещества; С3 — концентрация на поверхности; — концентрация на бесконечности. В случае диффузии простых молекул в воде критерий Sc есть число порядка единицы. Тогда толщина диффузионного пограничного слоя бс запишется в соот­ ветствии с формулами (33.7) и (33.4) в виде

 

^ = w ( S c r ' / s f e ) " ' / 2 -

( З З Л 1 >

или

бс = 4,5D'l3v'uuZ'l2x'h.

Брайс [287],

Карлсон

[286] и Беннема

[182]

пользовались этими

формулами

для толщины диффузион­

ного пограничного слоя около плоской пластины при истолкова­ нии результатов измерения скоростей роста кристаллов в пере­ мешиваемом растворе с известной скоростью протекания иж.

Брайс [287] проанализировал роль диффузионного погранич­ ного слоя при росте кристаллов из раствора и, в частности, во­ прос о том, каким образом следует учитывать существование этого слоя при определении зависимостей скорости роста кри­ сталла от пересыщения из экспериментальных данных. Зависи­ мость скорости роста от пересыщения можно записать, по край­ ней мере при линейной и квадратичной кинетике, в виде

Q =

A(CS-C0)n,

(33.12)

V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

615

где Cs — концентрация на поверхности раздела фаз, С 0 равно­ весная концентрация, Q — скорость роста, а А и п суть постоян­ ные при заданной температуре. С другой стороны,

Q = D С ° ° ~ С з ,

(33.13)

Ос

 

[при

таком

определении

б с вместо

коэффициента

4,5 в

выраже­

нии

(33.11)

нужно взять

коэффициент 3,0]; следовательно,

 

 

^ 7 Г

+ ( т Г = С ~ - С о .

 

(33.14)

Для уравнения (33.14) возможны два предельных случая: 1) ко­

гда

можно

пренебречь

влиянием

пограничного

слоя

( б с — • О ) ,

т. е. когда

рост кристалла лимитируется поверхностной

кинети­

кой; 2) когда определяющая роль принадлежит влиянию погра­

ничного

слоя

( б с > о о ) . Ясно также,

что с приближением

тол­

щины б с

к нулю, т. е. с усилением перемешивания,

наблюдаемая

скорость роста

Q возрастает,

асимптотически

приближаясь к не­

которой

величине (см., например, [281]). Если оба члена в левой

части

(33.14)

одинаковы по

порядку

величины,

то, поскольку

толщина

б с

пропорциональна

uZ'1* [см. выражение

(33.11)],

ско­

рость

роста

при постоянном

значении

( С о С0 ), записанная в

виде произведения Q«~'/ 2 , должна быть пропорциональной

Q 1 / n

при некотором

значении п,

соответствующем

показателю

сте­

пени в выражении

зависимости скорости кристаллизации от пе­

ресыщения

на

фронте роста

(33.12).

(Этот

вывод основан на

предположении, что толщина

б с постоянна по поверхности,

хотя

гидродинамический

анализ показывает, что она меняется,

при­

нимая на краю пластины минимальное значение, равное нулю.) Данные, полученные Мак-Кэйбом и Стивенсом [288] при экспе­ риментальном исследовании роста CuS04-5H20 из водного рас­ твора, согласуются с выражением (33.14) при п = 2.

Беннема [182], также пользовавшийся формулой (33.11) для интерпретации измеренных им скоростей роста кристаллов алюмокалиевых квасцов и хлората натрия из растворов, установил, что бс ~ Ю - 2 см. Однако изменение скорости перемешивания раствора не привело к изменению скорости роста, на основании чего Беннема заключил, что рост полностью лимитируется по­ верхностными процессами в соответствии с моделью поверхност­ ной диффузии, предложенной Бартоном, Кабрерой и Франком [41], а не объемной диффузией, как это предполагалось в пред­ ложенной Черновым [17] модели, согласно которой скорость ро­

ста зависит от б с .

толщина пограничного

Как

отметил Карлсон [286], поскольку

слоя б с

меняется пропорционально х'/\ скорость массопереноса

у края

пластины, встречающего поток

раствора, получится

1?»

516

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

бесконечно большой (если только роль кинетических явлений на поверхности раздела фаз несущественна). С учетом этого он вы­ сказал предположение, что более подходящей моделью может служить пластина, температура (или концентрация) в разных точках которой различна, так что скорость переноса тепла (или вещества) будет постоянной. В такой постановке задачу тепло­ проводности решили Фэйдж и Фолкнер [282]; оказалось, что пре­ вышение температуры пластины над температурой объема жидкости пропорционально хч\ При росте из раствора отклоне­ ние концентрации на поверхности пластины от концентрации в объеме также пропорционально х'л . В итоге на некотором рас­ стоянии х от края пластины концентрация на ее поверхности упадет до равновесной. Карлсон предположил, что при весьма малых скоростях протекания раствора именно на таком расстоя­ нии от края образуются дефекты в крупных кристаллах ADP («свили»). Существует и другая трудность, состоящая в том, что концентрация на поверхности Cs, входящая в уравнение поверх­ ностной кинетики [уравнение (33.12)], меняется с движением по поверхности, так что скорость роста также оказывается перемен­ ной величиной, зависящей от х. Как уже упоминалось, здесь следует брать нелокальное граничное условие.

Полуэмпирические соотношения [подобные уравнению (33.10)] для кристаллизации, растворения и плавления, связы­ вающие критерии Рейнольдса, Прандтля и Шмидта, с одной сто­ роны, с критериями Нуссельта и Шервуда (последние два про­ порциональны скоростям соответственно теплопередачи и диф­ фузии),— с другой, обсуждаются в монографии Маллина [281] и в работах, на которые он ссылается в этой монографии.

34. В Р А Щ А Ю Щ И Й С Я Д И С К И УСТАНОВКА ЧОХРАЛЬСКОГО

Бартон и др. [254] исследовали влияние потока жидкости на распределение примеси в кристаллах, которые выращивались из расплава с примесью или специально введенной добавкой по ме­ тоду Чохральского (см. также статью Бартона и Слихтера [289]). Как оказалось [254], задача о потоках, которые возникают в рас­ плаве при вращении цилиндрического кристалла, погруженного своим концом в расплав, аналогична задаче о вращающемся диске, погруженном в жидкость. Задача о вращающемся диске была исследована Карманом и Кокреном (см. [283]); это одна из тех немногочисленных задач, для которых известно точное решение уравнений Навье — Стокса. Задача о диске в свою оче­ редь близка к задаче о действии центробежного насоса, в кото­ ром слой жидкости около диска переносится параллельно его поверхности силами трения, а затем выбрасывается наружу под действием центробежной силы. На место отброшенной жидкости

V I I I . ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ

517

поступает другая, подтягиваемая к вращающемуся диску вдоль оси системы. Ясно, что поток в данном случае трехмерен и что все три его составляющие (касательная, радиальная и осевая) не равны нулю. Скорость осевого потока, направленного к диску, быстро спадает вблизи него, так как здесь возникают радиаль­ ное и касательное течения. Толщина гидродинамического погра­ ничного слоя, соответствующего этой задаче, т. е. слоя жидко­ сти, который «несет» на себе диск, вращающийся с угловой ско­ ростью со, приближенно выражается следующим образом [283]:

(34.1)

В этом слое на расстоянии х от диска скорость и осевого потока, направленного по нормали к диску, описывается приближенным выражением

w = 0 , 5 1 c o ' W .

(34.2)

Чтобы найти толщину диффузионного пограничного слоя бс для разбавленного раствора с концентрацией С, следует записать уравнение сохранения вещества, которое в системе координат, неподвижной относительно поверхности диска, имеет в стацио­ нарном состоянии вид

 

D ^ ~ (

u + v

g

)

^ =

0

(34.3)

(vg

— скорость роста). При этом

граничные

условия

запишутся

в

виде

 

 

 

 

 

 

и

С->СХ

при

 

*~>со

 

(34.4)

 

 

 

 

 

 

 

 

(Cs~CT)vg+D^

=

0

при

* = 0.

(34.5)

Последнее соотношение представляет собой условие сохранения количества растворенного вещества на поверхности раздела фаз, где концентрация равна Cs; Ст — его концентрация в твердой фазе. Решая эту систему для значений и, описываемых форму­ лой (34.2), получаем, что при х = 0 концентрация С = Cs\ сле­ довательно,

| e x p { - [ J + BX*]}dX,

(34.6)

C s ~ C T

где B = (0,51/3)t)jVJ D2 v Ч г , a X = vgx/D. Чтобы определить бс , предположим, что в пределах слоя толщиной бс полная скорость осевого потока в точности равна скорости роста vg и что С = С» при х = бс . Таким образом, возникает диффузионная задача,

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ