книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов
.pdf498 |
|
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
|
|
||
Вслед за |
Лоритценом |
и др. [260, 261] определим |
числа |
запол |
||
нения |
Nv+i |
и Pv+i как |
числа цепей в системе длиной в |
(v + 1) |
||
частиц, оканчивающихся |
соответственно частицей / и частицами |
|||||
1 и / |
в последней и предпоследней позициях. Тогда для |
скоро |
||||
стей |
изменения этих чисел во времени |
dNl+ijdt |
и |
dPlJ+ijdt |
||
можно записать дифференциальные уравнения вида |
|
|
||||
|
> |
» |
ft |
ft |
|
|
Уравнение (26.1) дает суммарную скорость изменения числа
цепей, состоящих |
(в длину) из v + |
1 частиц и имеющих |
на |
конце |
|||||||||||
частицу |
/. Член |
2 a''iV*v представляет |
собой скорость |
образова- |
|||||||||||
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ния |
таких цепей |
путем |
присоединения частицы / |
ко |
всем |
цепям |
|||||||||
с длиной |
v, в том числе к тем, которые оканчиваются |
на |
i — 1 |
||||||||||||
и на |
i = |
|
2. Член |
— 2 pt ; Pv+i |
выражает убыль таких |
цепей пу- |
|||||||||
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
тем |
отрыва |
концевой |
частицы / |
от |
всех |
цепей |
длиной |
v + |
1, |
||||||
у которых предпоследнее место |
на |
конце |
занимает |
частица |
i, |
||||||||||
причем |
|
суммирование |
проводится |
опять-таки |
по |
L |
Член |
||||||||
— Nv+i 2 |
а ' к |
характеризует |
убыль таких |
цепей |
вследствие |
их |
|||||||||
роста, |
k |
е. добавления новой частицы любого' |
типа. |
Член |
|||||||||||
т. |
|||||||||||||||
2 $'кР1+2 |
представляет |
собой скорость образования |
таких |
цепей |
|||||||||||
k
путем отрыва частиц k (обоих сортов 1 и 2) от всех цепей с длиной v + 2, у которых предпоследнюю на конце позицию за нимает частица /. Аналогичное дифференциальное уравнение записывается для Pj+\.
Решая эти зацепляющиеся уравнения для стационарных условий, определяют числа заполнения. Затем находят парциаль ные потоки Slv и S'J через а, (5 и искомые числа заполнения. На конец, определяют общий поток, или скорость роста, Sr = S SlJ
и состав цепей fj, т. е. долю частиц / в цепи.
Для распространения этого расчета на конкретную систему необходимо знать константы ali и Лоритцен и др. [260] сде лали это для идеального раствора из парафиновых молекул двух сортов — С 2 4 Н 5 0 и С2бН5 4 , для которых член свободной энергии, учитывающий поверхностную энергию у твердой фазы, обуслов лен различием длин молекул, которые образуют полоски или цепи материала, кристаллизующегося на подложке промежуточ ной толщины. На фиг. 36 приведены полученные машинным рас
четом кривые зависимости ST |
от температуры для значения по-' |
верхностной энергии 8• 10- 3 |
Д ж / м 2 и различных концентраций |
|
VII. ВЛИЯНИЕ |
ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ |
РОСТА |
КРИСТАЛЛОВ |
499 |
||||
раствора |
(от 0 до |
1,0). Видно, что общий |
поток |
меняется с тем |
|||||
пературой |
|
почти |
линейно, причем наклон |
кривых практически |
|||||
не зависит от состава, т. е. скорость роста |
пропорциональна |
кон |
|||||||
центрации |
и зависит |
только |
|
|
|
||||
от степени |
переохлаждения, |
|
|
|
|||||
соответствующей |
этой |
кон |
|
|
|
||||
центрации. |
Рассчитывался |
|
|
|
|||||
также состав цепей / для |
|
|
|
||||||
всех |
концентраций |
раство |
|
|
|
||||
ра и для ST = 0 |
(равновес |
|
|
|
|||||
ная диаграмма состояния) и |
|
|
|
||||||
ST Ф 0 (кинетическая «диа |
|
|
|
||||||
грамма |
состояния»). |
Для |
|
|
|
||||
выбранных |
условий |
|
и ве |
|
|
|
|||
ществ |
значения f |
оказались |
|
|
|
||||
очень |
близкими. |
|
|
|
|
|
|
||
Теорию многокомпонент ных цепей развивали Лоритцен и др. [261], а также Чер нов [262, 263]. К тому же Чернов и Льюис [264] прове ли очень интересное моде лирование (или имитацию) роста бинарных одно-, дву-
и |
трехмерных |
кристаллов |
Ф и г . 36. |
Изменение |
полного |
потока |
|||
на |
вычислительной машине. |
||||||||
в кристаллическую фазу ST в зависи |
|||||||||
Моделирование |
одномерных |
||||||||
мости от |
температуры |
для |
шести кон |
||||||
кристаллов |
подтвердило |
центраций |
С 2 б Н 6 4 |
в |
С 2 4 Н 5 0 |
по |
теории |
||
правильность |
проведенного |
бинарных |
цепей |
(у = 8 • Ю - 3 |
Дж/м"; |
||||
Черновым [259] |
анализа ро |
|
Ф = |
1) [260]. |
|
|
|||
ста одномерной цепочки в разбавленном бинарном растворе. Для двумерного случая был
исследован порядок распределения |
частиц по узлам решетки |
в зависимости от пересыщения для |
кристалла с составом 50/50. |
27.ОТРАВЛЕНИЕ И З Л О М О В В ПРОЦЕССЕ СЛОИСТО - СПИРАЛЬНОГО РОСТА
Как уже отмечалось в гл. V, теория Бартона, Кабреры и Франка [41] предполагает наличие достаточного числа изломов ступени, куда встраиваются продиффундировавшие по поверхно сти адатомы. Если эти изломы, адсорбируя, например, молекулы примесей, перестают быть активными точками роста, то суммар ная скорость движения ступеней, а следовательно, и скорость роста кристалла могут уменьшаться. Чернов [17, 265, 266] полу-
V I I . ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
501 |
лем |
с0 |
( 0 ^ с 0 ^ 1 ) ; |
теория |
Бартона, Кабреры и Франка [41] |
|||||||||||
для со1 |
дает |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
1_ |
1 + 2 6 |
4 t h |
Уо |
In |
4 * Д а / ° |
+ |
2XS |
arctg64 |
. |
(27.4) |
|||
|
|
|
|
— |
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
l + O + |
ft?)1'' |
Уо |
|
|
|
|
|
||
где |
b4 |
= X/2nXs, |
а г / о ( = 4 я р к р ) — р а с с т о я н и е |
|
между |
витками |
|||||||||
спирали при стационарном росте. Если |
теперь |
заменить |
Х0 |
на |
|||||||||||
Xo + |
lp |
|
ИЛИ Х0 + |
ЕС |
и вспомнить, |
что |
р к р |
~ |
|
\ea/kTo |
и |
Oi |
= |
||
Ф и г . |
37. Кривые |
зависимости приведенной скорости роста от |
пересыщения |
|||||
при |
Xs |
= 400 а и о, = |
5 • 10~2 |
с учетом |
отравления |
изломов |
примесями |
|
|
|
при росте |
из пара по механизму |
винтовых дислокаций |
[235]. |
|||
|
|
t — Xi <XS |
(отсутствие |
примесей); 2 — Х. = Ш а; 3- - Х ; = 400 а. |
||||
= |
2пуеа/кТХв, |
то из формулы (17.18) получим |
искомое выраже |
|||||
ние для скорости роста. Не станем выписывать здесь это выра жение, а обратимся к графику фиг. 37, иллюстрирующему ос новной вывод [265]: скорость роста снижается и сильно расши
ряется участок |
нелинейности (который |
для чистых |
условий |
лежит у начала |
координат между 0 и oi). |
|
|
Родственную модель отравления ступеней предложил Сире |
|||
[267]. Он предположил следующее: чтобы |
отравление |
приводило |
|
к существенному снижению скорости роста, примесью должна покрываться вся ступень; в противном случае на неотравленных участках ступени должны возникнуть (посредством статистиче ских флуктуации) свежие изломы, к которым будут присоеди няться скорее молекулы кристаллизуемого материала, нежели примеси, поскольку первых значительно больше, чем вторых. Расчеты Сирса (хотя и не строго количественные) наводят на
502 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
мысль о том, что изложенную теорию Чернова можно усовер шенствовать, если учесть динамические эффекты конкуренции молекул двух упоминавшихся компонентов за изломы; однако расчет Чернова должен быть справедлив для предельного слу чая малых скоростей роста, когда установилось адсорбционное равновесие.
Чтобы объяснить снижение скоростей роста в разбавленных растворах под действием примесей, Близнаков [268] также поль зовался изотермой Лэнгмюра. Только он рассматривал нор
мальный, а не ступенчатый механизм |
роста. |
Предполагалось, |
|||||||
что |
нормальная |
скорость роста |
складывается |
из |
двух |
частей: |
|||
1) |
нормальной |
скорости роста для тех участков |
кристаллической |
||||||
поверхности, |
которые целиком |
свободны от |
примесей, |
причем |
|||||
эта |
скорость |
помножается |
на |
долю |
свободной |
поверхности |
|||
(1 — 8); 2) скорости роста |
«примесных»участков, |
помноженной |
|||||||
на степень покрытия 6. При этом предполагается, что коэффи циент 8 относится к факторам лэнгмюровского типа. Оказалось, что для ряда систем эта модель дает результаты, согласующиеся (по нормальным скоростям роста) с экспериментом. Однако, как отметил Чернов [17], при таком анализе не учитывается факт слоистого роста граней путем движения ступеней.
28.РОСТ КРИСТАЛЛОВ САХАРОЗЫ ИЗ РАСТВОРА,
ТО Р М О Ж Е Н И Е СТУПЕНЕЙ
Элбон и Даннинг [269] изучали влияние малых добавок рафинозы на скорость движения ступеней при росте кристаллов
сахарозы из водного раствора. |
При |
концентрациях |
~ |
10~3 рафи- |
||||
ноза вдвое снижает скорость |
роста |
грани |
(100) |
сахарозы |
при |
|||
малых ( ~ 1 % ) |
пересыщениях |
раствора, |
однако этот |
эффект |
по |
|||
степенно сходит |
на нет и скорость роста |
в |
функции |
концентра |
||||
ции примеси приближается к нулю, по-видимому, лишь асимпто тически. По предположению этих авторов, молекулы рафинозы адсорбируются на ступенях (по-видимому, на изломах, хотя концентрация изломов для чистого кристалла в этой теории не фигурирует); если длина участка ступени между двумя адсор бированными молекулами сахарозы меньше диаметра критиче
ского зародыша |
dK p( — 2 р К р ) , то |
участок ступени будет затормо |
жен и не должен |
перемещаться |
(речь об этом еще пойдет ниже |
[204]). Предполагается, что в этом случае суммарная, или сред няя, скорость движения ступени пропорциональна доле незатор
моженного участка |
(сумме всех отрезков ступени |
с длинами |
Г5>с?кр), помноженной на соответствующую вероятность, т. е. |
||
4- |
= (dKP-pdKp-r-p)pd*p, |
(28.1) |
V I I . ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
503" |
где R и Ro суть скорости роста соответственно в присутствии примесей и без примесей; р — отнесенная к межатомному рас стоянию вероятность того, что на ступени нет адсорбированной молекулы рафинозы, так что Са = 1—р — концентрация адсор бированных молекул, отнесенная к межузельному расстоянию на ступени. Число адсорбированных молекул Са и, следовательно,
2,0
а=1,0065
а=1,013
а=1,020
|
|
|
|
-IffP |
|
1,0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Ф и г . 38. |
Данные об изменении приведенной скорости роста в зависимости |
|||||||
от — lg р |
при различных коэффициентах пересыщения а, иллюстрирующие- |
|||||||
влияние |
примеси |
рафинозы на рост кристаллов сахарозы из водного рас |
||||||
твора |
(случаю |
отсутствия примесей |
соответствует — ig р=0) |
[269]. |
||||
вероятность р связаны с количеством С0 рафинозы |
в |
растворе |
||||||
изотермой адсорбции |
Фрейндлиха |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
Са = АСЦп. |
|
|
(28.2) |
|
Было установлено, что формула |
(28.2) согласуется |
с |
экспери |
|||||
ментом, |
если предположить, что концентрация Са |
пропорцио |
||||||
нальна |
измеренному |
в опыте снижению скорости роста |
AR = |
|||||
= Ro — R. Согласно |
соотношению (28.1), график |
зависимости |
||||||
lg {RIRo) |
от \gр |
должен быть приблизительно прямой |
линией с |
|||||
наклоном dKp |
(фиг. 38). Полученные таким образом |
значения |
||||||
dKp колеблются в пределах от 1,6 до 11,8 долей диаметра |
моле |
|||||||
кул в зависимости от а или о. Пользуясь соотношением |
р к р == |
|||||||
,= y2 dK p = yea/kTo, |
можно рассчитать энергии ступеней. |
|
|
|||||
504 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
Даннинг и др. [270] связывали сильно различающуюся эффек тивность уменьшения разными примесями скорости ступеней при росте кристаллов сахарозы с молекулярной структурой той или иной примеси. Наиболее эффективны, по-видимому, моле кулы тех примесей, структура которых, как можно ожидать, обеспечивает им более прочную адсорбцию.
29. Т О Р М О Ж Е Н И Е СТУПЕНЕЙ ( П Р О Д О Л Ж Е Н И Е )
Эффект торможения (закрепления) ступеней примесями был исследован также Кабрерой и Вермили [204]. По их модели на поверхности кристалла существуют крупные неподвижные ча стицы примесей, которые, встречаясь со ступенью, закрепляют ее, т. е. останавливают ее движение. Незакрепленные части сту пени выгибаются и могут соединиться позади примеси (т. е. пройти по другую сторону от нее) лишь в том случае, когда (ло кальный) радиус кривизны ступени р равен или превосходит ра диус кривизны критического зародыша р к р в данных условиях. Если непосредственно перед фронтом ступени примесные мо
лекулы распределены |
равномерно со средним промежутком |
|||
z ( z > 2 p K p ) , то |
ступени |
могут |
протискиваться сквозь |
примесный |
барьер. Если |
же z < 2р к р , то |
ступень закрепляется. |
По теории |
|
Бартона, Кабреры и Франка [41], скорость роста для искривлен
ной ступени меньше, чем для прямой [см. формулу |
(17.4)]: |
Следовательно, для полукруглой ступени радиусом |
г/2 получим |
и = 1)00(1 — 2 p K p / z ) . Чтобы узнать точное значение |
средней ско |
рости, необходимо проинтегрировать по всем радиусам р сту пеней, протискивающихся сквозь барьер («частокол») из приме
сей. Кабрера и Вермили дали |
(без доказательства) приближен |
|
ную |
формулу |
|
которая дает правильный ход |
изменения при z = 2 р к р и z — 00 . |
|
Если |
непосредственно перед |
фронтом ступени примеси обра |
зуют двумерную решетку с межатомным промежутком z и плот ностью d, то z = d~1/2 и, следовательно,
и = |
Ооо(1 - 2 р к / / 2 ) ' / 2 - |
(29.20 |
Предположим далее, |
что примеси оказываются |
«захоронен |
ными» (т.е. перестают быть эффективными), если ступень про ходит сквозь частокол, и что на поверхность поступают из окру жающей среды новые примеси с плотностью потока Тогда
V I I . В Л И Я Н И Е ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
505 |
непосредственно перед ступенью, движущейся со скоростью v, имеем
|
d = |
± , |
|
|
(29.3) |
где k — плотность ступеней. |
Объединив |
уравнения |
(29.3) и |
||
(29.2'), получим |
уравнение 5-го порядка |
относительно |
vfv^, ко |
||
торое имеет решение (т. е. ступени |
будут двигаться) лишь в том |
||||
случае, когда 2 |
р к р (JJkvoo)1/s < 0,54, |
т. е. когда поток |
ступеней |
||
в беспримесной |
системе |
|
|
|
|
|
kvoo>l4plpJl. |
|
|
(29.4) |
|
Для малых значений о радиус р к р пропорционален 1/а, a kvco определяется линейным или параболическим законом; следова тельно, существует минимальное пересыщение для роста, опре деляемое условием
~J7~ const или ~f = const. |
(29.5) |
Прайс и др. [271] исследовали влияние крупных молекул |
примеси |
на рост нитевидных кристаллов серебра при электролизе. Кри сталлы росли с вершины. Как оказалось, при каждой концентра ции С, примеси желатины, введенной в электролит, существует критическая движущая сила, ниже которой нитевидные кристал лы не образуются. В этих экспериментах критическая движущая сила пропорциональна плотности тока /с . В рамках простой диффузионной теории предполагалось, что поток примесей к
вершине |
нитевидного |
кристалла |
пропорционален |
концентрации |
|||||
примеси |
в объеме раствора |
CV Экспериментальные |
результаты |
||||||
удовлетворяли |
формуле Ic = |
const С'/\ |
которая совпадает с ус |
||||||
ловием |
(29.5), |
в котором роль |
о и |
играют |
соответственно |
||||
/ с и CV Таким |
образом, теория Кабреры и Вермили |
подтверж |
|||||||
дается экспериментально. |
|
|
|
|
|
|
|||
Ван |
Дамме |
[272] исследовала |
влияние |
ионов |
ферроцианида |
||||
на растворение |
NaCl и интерпретировала |
эти результаты в рам |
|||||||
ках несколько |
видоизмененной теории |
Кабреры — Вермили. Для |
|||||||
разных концентраций |
примеси С{ было измерено критическое не- |
||||||||
досыщение а к р , ниже |
которого растворение NaCl |
прекращается. |
|||||||
Предполагалось, что малые |
добавки |
ферроцианида |
не влияют |
||||||
на |
растворимость основного вещества и что процесс описы |
||||
вается равновесной |
(лэнгмюровской) |
изотермой адсорбции, а |
|||
не |
формулой |
(29.3), в которой поток примеси учитывается как |
|||
существенный |
фактор. Таким |
образом, при нулевой скорости ро |
|||
ста формула |
(29.2') |
дает a2Kpjd |
= const, |
т. е. |
|
506 |
|
|
Т . ПАРКЕР . МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
|
|||
где |
а К р, |
оо — критическое |
недосыщение |
для максимального |
по |
||
крытия |
(0 = |
1). В случае лэнгмюровской изотермы 9 |
= |
||||
= |
Ci/(1//Ca + |
С,), ГДе Ка — ПОСТОЯННЭЯ, |
Получаем |
|
|||
|
|
|
°кр |
^гА а°кр, оо |
°кр, оо |
|
|
эта формула согласуется с экспериментами. Кроме того, адсорб ция ферроцианида на очень малых кристаллах NaCl была изме рена непосредственным образом. Измеренные таким путем по крытия не более чем в 10 раз отличались от тех, которые сле дуют из формулы (29.6') при известной растворимости.
30. КИНЕМАТИЧЕСКИЕ В О Л Н Ы И Р О Л Ь П Р И М Е С Е Й ПРИ РАСТВОРЕНИИ; ОБРАЗОВАНИЕ ЯМОК Т Р А В Л Е Н И Я
Хьюлетт и Янг [273] обнаружили, что их наблюдения за обра зованием ямок травления в кристаллах меди допускают удовлет ворительное истолкование на основе кинематической теории [13, 203, 204, 274]. Поверхности высокосовершенных кристаллов (плотность дислокаций 2-102—103 с м - 2 ) с ориентацией вблизи (111) подвергали анодному травлению в растворах НС1 при плотностях тока от 5 до 30 мА/см2 , причем растворы содержали примесь НВг в концентрациях от 0,03 до 1,0 М. Ямки травления образовывались на выходах дислокаций (это уже было хорошо известно [275]). Профили ямок травления в зависимости от вре мени измеряли с помощью интерференционного микроскопа. По построенным профилям ступеней у(х) определяли плотности ступеней k(x) = (-\-l/h)dy/dx, где h — высота элементарной сту пени. Из семейства кривых k(x), построенных для разных мо ментов времени, авторам удалось вывести (при постоянном зна чении k) зависимости х от времени, т. е. определить траектории движения точки с постоянной плотностью ступеней. Экспери менты показали, что такие траектории представляют собой пря мые линии, как того требует теорема Франка из теории кинема тических волн (см. гл. V) .
Затем на основе кинематической теории [см. уравнение (20.5)] определяли наклон dx/dt траектории точки с плотностью ступеней k в виде
ди |
dx |
= c(k). |
(30.1) |
1Г |
dk
(Это и есть скорость кинематической волны.) Здесь q[ — q(k)] — поток ступеней, выражающийся как число ступеней, проходящих за секунду через некоторую точку, где число ступеней на санти метр составляет k. По графику зависимости измеренных напло
VII. ВЛИЯНИЕ |
ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
507 |
|||||
|
|
|
|
к |
|
|
|
нов от k |
определяется |
интеграл q = | |
с dk, |
откуда получают |
|||
|
|
|
|
и, |
|
|
|
основную |
(искомую) |
кривую |
зависимости |
поток — плотность- |
|||
ступеней |
q = q(k). |
Это |
было |
проведено |
при |
трех содержаниях |
|
примеси Вг~ (фиг. 39). Видно, что на характер кривых поток —
плотность сильно |
влияет |
концентрация |
примеси |
в растворе. |
||||
60 | |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
1 |
|
|
О |
100 |
200 |
300 |
Ш |
500 |
600 |
700 |
800 |
|
|
|
|
|
|
к, 1С'<'ступ/см |
|
|
|
|
||
Ф и г . |
39. |
График |
зависимости |
потока |
ступеней |
q от |
плотности ступеней k |
||||
при |
анодном растворении |
кристалла |
Си |
в 6М |
НС1 |
с плотностью тока |
|||||
|
|
5мА/см2 , иллюстрирующий влияние примеси |
НВг [273]. |
|
|||||||
|
|
|
А — 0,03 М; В — 0,25 М; С —1,0 |
М. |
|
|
|
||||
Форма этих кривых хорошо согласуется с предсказаниями |
Фран |
||||||||||
ка [203] и Кабреры [274]. Кабрера [274] (см. также |
[13]) |
отнес |
|||||||||
кривую |
А к типу I и отметил, что эта кривая |
имеет |
фактически |
||||||||
форму, предсказанную теорией винтовых дислокаций для пре
дельного |
случая высокой чистоты. Кривая |
С, отнесенная к |
типу |
||
I I , была |
предсказана Франком [203] |
и Кабрерой |
[274]. Для |
нее |
|
характерна положительная кривизна |
(dzq/dk2 |
> 0) |
при малых к. |
||
Указанная форма кривой объясняется тем, что число частиц, ад сорбированных непосредственно перед ступенью, зависит от времени и, следовательно, сопротивление движению этой сту
пени зависит от интервала времени после прохождения |
предыду |
|||
щей ступени. Таким |
образом, чем больше |
разнесены |
ступени |
|
(т. е. чем меньше к), |
тем меньше |
скорость ступеней qjk, |
и наобо |
|
рот; следовательно, производная |
d2q/dk2 есть |
положительная ве |
||
личина. |
|
|
|
|
Другое следствие из кривой q(k) [273] состоит в образовании разрывов плотности ступеней у ведущего и хвостового краев
