Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов

.pdf
Скачиваний:
43
Добавлен:
23.10.2023
Размер:
35.03 Mб
Скачать

498

 

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

 

 

Вслед за

Лоритценом

и др. [260, 261] определим

числа

запол­

нения

Nv+i

и Pv+i как

числа цепей в системе длиной в

(v + 1)

частиц, оканчивающихся

соответственно частицей / и частицами

1 и /

в последней и предпоследней позициях. Тогда для

скоро­

стей

изменения этих чисел во времени

dNl+ijdt

и

dPlJ+ijdt

можно записать дифференциальные уравнения вида

 

 

 

>

»

ft

ft

 

 

Уравнение (26.1) дает суммарную скорость изменения числа

цепей, состоящих

(в длину) из v +

1 частиц и имеющих

на

конце

частицу

/. Член

2 a''iV*v представляет

собой скорость

образова-

 

 

 

 

 

i

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ния

таких цепей

путем

присоединения частицы /

ко

всем

цепям

с длиной

v, в том числе к тем, которые оканчиваются

на

i — 1

и на

i =

 

2. Член

2 pt ; Pv+i

выражает убыль таких

цепей пу-

 

 

 

 

 

i

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тем

отрыва

концевой

частицы /

от

всех

цепей

длиной

v +

1,

у которых предпоследнее место

на

конце

занимает

частица

i,

причем

 

суммирование

проводится

опять-таки

по

L

Член

— Nv+i 2

а ' к

характеризует

убыль таких

цепей

вследствие

их

роста,

k

е. добавления новой частицы любого'

типа.

Член

т.

2 $'кР1+2

представляет

собой скорость образования

таких

цепей

k

путем отрыва частиц k (обоих сортов 1 и 2) от всех цепей с длиной v + 2, у которых предпоследнюю на конце позицию за­ нимает частица /. Аналогичное дифференциальное уравнение записывается для Pj+\.

Решая эти зацепляющиеся уравнения для стационарных условий, определяют числа заполнения. Затем находят парциаль­ ные потоки Slv и S'J через а, (5 и искомые числа заполнения. На­ конец, определяют общий поток, или скорость роста, Sr = S SlJ

и состав цепей fj, т. е. долю частиц / в цепи.

Для распространения этого расчета на конкретную систему необходимо знать константы ali и Лоритцен и др. [260] сде­ лали это для идеального раствора из парафиновых молекул двух сортов — С 2 4 Н 5 0 и С2бН5 4 , для которых член свободной энергии, учитывающий поверхностную энергию у твердой фазы, обуслов­ лен различием длин молекул, которые образуют полоски или цепи материала, кристаллизующегося на подложке промежуточ­ ной толщины. На фиг. 36 приведены полученные машинным рас­

четом кривые зависимости ST

от температуры для значения по-'

верхностной энергии 8• 10- 3

Д ж / м 2 и различных концентраций

 

VII. ВЛИЯНИЕ

ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ

РОСТА

КРИСТАЛЛОВ

499

раствора

(от 0 до

1,0). Видно, что общий

поток

меняется с тем­

пературой

 

почти

линейно, причем наклон

кривых практически

не зависит от состава, т. е. скорость роста

пропорциональна

кон­

центрации

и зависит

только

 

 

 

от степени

переохлаждения,

 

 

 

соответствующей

этой

кон­

 

 

 

центрации.

Рассчитывался

 

 

 

также состав цепей / для

 

 

 

всех

концентраций

раство­

 

 

 

ра и для ST = 0

(равновес­

 

 

 

ная диаграмма состояния) и

 

 

 

ST Ф 0 (кинетическая «диа­

 

 

 

грамма

состояния»).

Для

 

 

 

выбранных

условий

 

и ве­

 

 

 

ществ

значения f

оказались

 

 

 

очень

близкими.

 

 

 

 

 

 

Теорию многокомпонент­ ных цепей развивали Лоритцен и др. [261], а также Чер­ нов [262, 263]. К тому же Чернов и Льюис [264] прове­ ли очень интересное моде­ лирование (или имитацию) роста бинарных одно-, дву-

и

трехмерных

кристаллов

Ф и г . 36.

Изменение

полного

потока

на

вычислительной машине.

в кристаллическую фазу ST в зависи­

Моделирование

одномерных

мости от

температуры

для

шести кон­

кристаллов

подтвердило

центраций

С 2 б Н 6 4

в

С 2 4 Н 5 0

по

теории

правильность

проведенного

бинарных

цепей

(у = 8 • Ю - 3

Дж/м";

Черновым [259]

анализа ро­

 

Ф =

1) [260].

 

 

ста одномерной цепочки в разбавленном бинарном растворе. Для двумерного случая был

исследован порядок распределения

частиц по узлам решетки

в зависимости от пересыщения для

кристалла с составом 50/50.

27.ОТРАВЛЕНИЕ И З Л О М О В В ПРОЦЕССЕ СЛОИСТО - СПИРАЛЬНОГО РОСТА

Как уже отмечалось в гл. V, теория Бартона, Кабреры и Франка [41] предполагает наличие достаточного числа изломов ступени, куда встраиваются продиффундировавшие по поверхно­ сти адатомы. Если эти изломы, адсорбируя, например, молекулы примесей, перестают быть активными точками роста, то суммар­ ная скорость движения ступеней, а следовательно, и скорость роста кристалла могут уменьшаться. Чернов [17, 265, 266] полу-

500

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

чил полуколичественные оценки для этого эффекта; с этой целью рассчитывалась изотерма адсорбции лэнгмюровского типа для примесей, адсорбируемых изломами, и затем использовались формулы Бартона, Кабреры и Франка для «множителя эффек­ тивности» с0 [см. рассуждения при выводе формул (17.12) и (17.13)]. Оказалось, что скорость движения ступени снижается, когда среднее расстояние между (активными) изломами Х0 пре­ восходит среднюю длину диффузионного пробега Xs.

Пусть среднее расстояние между изломами на ступени в чи­ стой системе составляет Хо (в типичном случае 5—10 периодов решетки) ' ) . Тогда для роста из паровой фазы в присутствии примеси с парциальным давлением pi изотерма лэнгмюровской адсорбции в одномерном варианте описывается формулой

Xt = X0 + Zplt

(27.1)

где | — постоянная, Х{— среднее расстояние между активными («неотравленными») изломами. Формулу (27.1) можно вывести, если учесть, что одномерное «покрытие» B I D = (1—X0 /Xi) = = \pi\ (\pi + X0). Чернов с помощью статистической механики выразил приближенно | через энергию адсорбции w" в изломе и через другие параметры в виде [266]

a{kT)^jf"lkT

S

где т и V i соответственно масса и колебательная частота при­ месной молекулы в изломе. При а;" = 4,18-104 Дж/моль и Vi fa 1012 с - 1 получаем оценочное значение

£ п а р = 0,075а (Н/м 2 ) - 1 .

(27.3)

Следовательно, при давлении примесного газа

133 Н/м2 (1 мм

рт. ст.) отравление будет уже значительным. Аналогичные вы­

ражения

можно получить и для

идеального раствора:

Х\ =

= Хо + ЕрастС и |раст Ю5 а . Таким

образом, концентрации

при­

меси С fa

10~4

уже достаточно для

существенного отравления

изломов.

Ясно,

что при достаточно

высоких давлениях парооб­

разной примеси или высоких концентрациях ее в растворе ско­ рость роста может снизиться до нуля; при изотермах адсорбции другого типа и результат может быть иным.

Если число изломов на ступени недостаточно велико, то нор­ мальная скорость роста в окрестности винтовой дислокации от­ личается от идеального случая (когда изломов много) множите-

') См. примечание на стр. 442. — Прим. ред.

V I I . ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

501

лем

с0

( 0 ^ с 0 ^ 1 ) ;

теория

Бартона, Кабреры и Франка [41]

для со1

дает

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1_

1 + 2 6

4 t h

Уо

In

4 * Д а / °

+

2XS

arctg64

.

(27.4)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

l + O +

ft?)1''

Уо

 

 

 

 

 

где

b4

= X/2nXs,

а г / о ( = 4 я р к р ) — р а с с т о я н и е

 

между

витками

спирали при стационарном росте. Если

теперь

заменить

Х0

на

Xo +

lp

 

ИЛИ Х0 +

ЕС

и вспомнить,

что

р к р

~

 

\ea/kTo

и

Oi

=

Ф и г .

37. Кривые

зависимости приведенной скорости роста от

пересыщения

при

Xs

= 400 а и о, =

5 • 10~2

с учетом

отравления

изломов

примесями

 

 

при росте

из пара по механизму

винтовых дислокаций

[235].

 

 

t — Xi <XS

(отсутствие

примесей); 2 — Х. = Ш а; 3- - Х ; = 400 а.

=

2пуеа/кТХв,

то из формулы (17.18) получим

искомое выраже­

ние для скорости роста. Не станем выписывать здесь это выра­ жение, а обратимся к графику фиг. 37, иллюстрирующему ос­ новной вывод [265]: скорость роста снижается и сильно расши­

ряется участок

нелинейности (который

для чистых

условий

лежит у начала

координат между 0 и oi).

 

 

Родственную модель отравления ступеней предложил Сире

[267]. Он предположил следующее: чтобы

отравление

приводило

к существенному снижению скорости роста, примесью должна покрываться вся ступень; в противном случае на неотравленных участках ступени должны возникнуть (посредством статистиче­ ских флуктуации) свежие изломы, к которым будут присоеди­ няться скорее молекулы кристаллизуемого материала, нежели примеси, поскольку первых значительно больше, чем вторых. Расчеты Сирса (хотя и не строго количественные) наводят на

502

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

мысль о том, что изложенную теорию Чернова можно усовер­ шенствовать, если учесть динамические эффекты конкуренции молекул двух упоминавшихся компонентов за изломы; однако расчет Чернова должен быть справедлив для предельного слу­ чая малых скоростей роста, когда установилось адсорбционное равновесие.

Чтобы объяснить снижение скоростей роста в разбавленных растворах под действием примесей, Близнаков [268] также поль­ зовался изотермой Лэнгмюра. Только он рассматривал нор­

мальный, а не ступенчатый механизм

роста.

Предполагалось,

что

нормальная

скорость роста

складывается

из

двух

частей:

1)

нормальной

скорости роста для тех участков

кристаллической

поверхности,

которые целиком

свободны от

примесей,

причем

эта

скорость

помножается

на

долю

свободной

поверхности

(1 — 8); 2) скорости роста

«примесных»участков,

помноженной

на степень покрытия 6. При этом предполагается, что коэффи­ циент 8 относится к факторам лэнгмюровского типа. Оказалось, что для ряда систем эта модель дает результаты, согласующиеся (по нормальным скоростям роста) с экспериментом. Однако, как отметил Чернов [17], при таком анализе не учитывается факт слоистого роста граней путем движения ступеней.

28.РОСТ КРИСТАЛЛОВ САХАРОЗЫ ИЗ РАСТВОРА,

ТО Р М О Ж Е Н И Е СТУПЕНЕЙ

Элбон и Даннинг [269] изучали влияние малых добавок рафинозы на скорость движения ступеней при росте кристаллов

сахарозы из водного раствора.

При

концентрациях

~

10~3 рафи-

ноза вдвое снижает скорость

роста

грани

(100)

сахарозы

при

малых ( ~ 1 % )

пересыщениях

раствора,

однако этот

эффект

по­

степенно сходит

на нет и скорость роста

в

функции

концентра­

ции примеси приближается к нулю, по-видимому, лишь асимпто­ тически. По предположению этих авторов, молекулы рафинозы адсорбируются на ступенях (по-видимому, на изломах, хотя концентрация изломов для чистого кристалла в этой теории не фигурирует); если длина участка ступени между двумя адсор­ бированными молекулами сахарозы меньше диаметра критиче­

ского зародыша

dK p( 2 р К р ) , то

участок ступени будет затормо­

жен и не должен

перемещаться

(речь об этом еще пойдет ниже

[204]). Предполагается, что в этом случае суммарная, или сред­ няя, скорость движения ступени пропорциональна доле незатор­

моженного участка

(сумме всех отрезков ступени

с длинами

Г5>с?кр), помноженной на соответствующую вероятность, т. е.

4-

= (dKP-pdKp-r-p)pd*p,

(28.1)

V I I . ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

503"

где R и Ro суть скорости роста соответственно в присутствии примесей и без примесей; р — отнесенная к межатомному рас­ стоянию вероятность того, что на ступени нет адсорбированной молекулы рафинозы, так что Са = 1р — концентрация адсор­ бированных молекул, отнесенная к межузельному расстоянию на ступени. Число адсорбированных молекул Са и, следовательно,

2,0

а=1,0065

а=1,013

а=1,020

 

 

 

 

-IffP

 

1,0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф и г . 38.

Данные об изменении приведенной скорости роста в зависимости

от — lg р

при различных коэффициентах пересыщения а, иллюстрирующие-

влияние

примеси

рафинозы на рост кристаллов сахарозы из водного рас­

твора

(случаю

отсутствия примесей

соответствует — ig р=0)

[269].

вероятность р связаны с количеством С0 рафинозы

в

растворе

изотермой адсорбции

Фрейндлиха

 

 

 

 

 

 

 

 

Са = АСЦп.

 

 

(28.2)

Было установлено, что формула

(28.2) согласуется

с

экспери­

ментом,

если предположить, что концентрация Са

пропорцио­

нальна

измеренному

в опыте снижению скорости роста

AR =

= Ro — R. Согласно

соотношению (28.1), график

зависимости

lg {RIRo)

от \gр

должен быть приблизительно прямой

линией с

наклоном dKp

(фиг. 38). Полученные таким образом

значения

dKp колеблются в пределах от 1,6 до 11,8 долей диаметра

моле­

кул в зависимости от а или о. Пользуясь соотношением

р к р ==

,= y2 dK p = yea/kTo,

можно рассчитать энергии ступеней.

 

 

504

Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

Даннинг и др. [270] связывали сильно различающуюся эффек­ тивность уменьшения разными примесями скорости ступеней при росте кристаллов сахарозы с молекулярной структурой той или иной примеси. Наиболее эффективны, по-видимому, моле­ кулы тех примесей, структура которых, как можно ожидать, обеспечивает им более прочную адсорбцию.

29. Т О Р М О Ж Е Н И Е СТУПЕНЕЙ ( П Р О Д О Л Ж Е Н И Е )

Эффект торможения (закрепления) ступеней примесями был исследован также Кабрерой и Вермили [204]. По их модели на поверхности кристалла существуют крупные неподвижные ча­ стицы примесей, которые, встречаясь со ступенью, закрепляют ее, т. е. останавливают ее движение. Незакрепленные части сту­ пени выгибаются и могут соединиться позади примеси (т. е. пройти по другую сторону от нее) лишь в том случае, когда (ло­ кальный) радиус кривизны ступени р равен или превосходит ра­ диус кривизны критического зародыша р к р в данных условиях. Если непосредственно перед фронтом ступени примесные мо­

лекулы распределены

равномерно со средним промежутком

z ( z > 2 p K p ) , то

ступени

могут

протискиваться сквозь

примесный

барьер. Если

же z < 2р к р , то

ступень закрепляется.

По теории

Бартона, Кабреры и Франка [41], скорость роста для искривлен­

ной ступени меньше, чем для прямой [см. формулу

(17.4)]:

Следовательно, для полукруглой ступени радиусом

г/2 получим

и = 1)00(1 — 2 p K p / z ) . Чтобы узнать точное значение

средней ско­

рости, необходимо проинтегрировать по всем радиусам р сту­ пеней, протискивающихся сквозь барьер («частокол») из приме­

сей. Кабрера и Вермили дали

(без доказательства) приближен­

ную

формулу

 

которая дает правильный ход

изменения при z = 2 р к р и z — 00 .

Если

непосредственно перед

фронтом ступени примеси обра­

зуют двумерную решетку с межатомным промежутком z и плот­ ностью d, то z = d~1/2 и, следовательно,

и =

Ооо(1 - 2 р к / / 2 ) ' / 2 -

(29.20

Предположим далее,

что примеси оказываются

«захоронен­

ными» (т.е. перестают быть эффективными), если ступень про­ ходит сквозь частокол, и что на поверхность поступают из окру­ жающей среды новые примеси с плотностью потока Тогда

V I I . В Л И Я Н И Е ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

505

непосредственно перед ступенью, движущейся со скоростью v, имеем

 

d =

± ,

 

 

(29.3)

где k — плотность ступеней.

Объединив

уравнения

(29.3) и

(29.2'), получим

уравнение 5-го порядка

относительно

vfv^, ко­

торое имеет решение (т. е. ступени

будут двигаться) лишь в том

случае, когда 2

р к р (JJkvoo)1/s < 0,54,

т. е. когда поток

ступеней

в беспримесной

системе

 

 

 

 

 

kvoo>l4plpJl.

 

 

(29.4)

Для малых значений о радиус р к р пропорционален 1/а, a kvco определяется линейным или параболическим законом; следова­ тельно, существует минимальное пересыщение для роста, опре­ деляемое условием

~J7~ const или ~f = const.

(29.5)

Прайс и др. [271] исследовали влияние крупных молекул

примеси

на рост нитевидных кристаллов серебра при электролизе. Кри­ сталлы росли с вершины. Как оказалось, при каждой концентра­ ции С, примеси желатины, введенной в электролит, существует критическая движущая сила, ниже которой нитевидные кристал­ лы не образуются. В этих экспериментах критическая движущая сила пропорциональна плотности тока /с . В рамках простой диффузионной теории предполагалось, что поток примесей к

вершине

нитевидного

кристалла

пропорционален

концентрации

примеси

в объеме раствора

CV Экспериментальные

результаты

удовлетворяли

формуле Ic =

const С'/\

которая совпадает с ус­

ловием

(29.5),

в котором роль

о и

играют

соответственно

/ с и CV Таким

образом, теория Кабреры и Вермили

подтверж­

дается экспериментально.

 

 

 

 

 

 

Ван

Дамме

[272] исследовала

влияние

ионов

ферроцианида

на растворение

NaCl и интерпретировала

эти результаты в рам­

ках несколько

видоизмененной теории

Кабреры — Вермили. Для

разных концентраций

примеси С{ было измерено критическое не-

досыщение а к р , ниже

которого растворение NaCl

прекращается.

Предполагалось, что малые

добавки

ферроцианида

не влияют

на

растворимость основного вещества и что процесс описы­

вается равновесной

(лэнгмюровской)

изотермой адсорбции, а

не

формулой

(29.3), в которой поток примеси учитывается как

существенный

фактор. Таким

образом, при нулевой скорости ро­

ста формула

(29.2')

дает a2Kpjd

= const,

т. е.

506

 

 

Т . ПАРКЕР . МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

 

где

а К р,

оо критическое

недосыщение

для максимального

по­

крытия

(0 =

1). В случае лэнгмюровской изотермы 9

=

=

Ci/(1//Ca +

С,), ГДе Ка — ПОСТОЯННЭЯ,

Получаем

 

 

 

 

°кр

А а°кр, оо

°кр, оо

 

эта формула согласуется с экспериментами. Кроме того, адсорб­ ция ферроцианида на очень малых кристаллах NaCl была изме­ рена непосредственным образом. Измеренные таким путем по­ крытия не более чем в 10 раз отличались от тех, которые сле­ дуют из формулы (29.6') при известной растворимости.

30. КИНЕМАТИЧЕСКИЕ В О Л Н Ы И Р О Л Ь П Р И М Е С Е Й ПРИ РАСТВОРЕНИИ; ОБРАЗОВАНИЕ ЯМОК Т Р А В Л Е Н И Я

Хьюлетт и Янг [273] обнаружили, что их наблюдения за обра­ зованием ямок травления в кристаллах меди допускают удовлет­ ворительное истолкование на основе кинематической теории [13, 203, 204, 274]. Поверхности высокосовершенных кристаллов (плотность дислокаций 2-102—103 с м - 2 ) с ориентацией вблизи (111) подвергали анодному травлению в растворах НС1 при плотностях тока от 5 до 30 мА/см2 , причем растворы содержали примесь НВг в концентрациях от 0,03 до 1,0 М. Ямки травления образовывались на выходах дислокаций (это уже было хорошо известно [275]). Профили ямок травления в зависимости от вре­ мени измеряли с помощью интерференционного микроскопа. По построенным профилям ступеней у(х) определяли плотности ступеней k(x) = (-\-l/h)dy/dx, где h — высота элементарной сту­ пени. Из семейства кривых k(x), построенных для разных мо­ ментов времени, авторам удалось вывести (при постоянном зна­ чении k) зависимости х от времени, т. е. определить траектории движения точки с постоянной плотностью ступеней. Экспери­ менты показали, что такие траектории представляют собой пря­ мые линии, как того требует теорема Франка из теории кинема­ тических волн (см. гл. V) .

Затем на основе кинематической теории [см. уравнение (20.5)] определяли наклон dx/dt траектории точки с плотностью ступеней k в виде

ди

dx

= c(k).

(30.1)

dk

(Это и есть скорость кинематической волны.) Здесь q[ — q(k)] — поток ступеней, выражающийся как число ступеней, проходящих за секунду через некоторую точку, где число ступеней на санти­ метр составляет k. По графику зависимости измеренных напло­

VII. ВЛИЯНИЕ

ПРИМЕСЕЙ НА МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ

507

 

 

 

 

к

 

 

 

нов от k

определяется

интеграл q = |

с dk,

откуда получают

 

 

 

 

и,

 

 

 

основную

(искомую)

кривую

зависимости

поток — плотность-

ступеней

q = q(k).

Это

было

проведено

при

трех содержаниях

примеси Вг~ (фиг. 39). Видно, что на характер кривых поток —

плотность сильно

влияет

концентрация

примеси

в растворе.

60 |

1

1

1

1

1

1

1

1

 

 

О

100

200

300

Ш

500

600

700

800

 

 

 

 

 

 

к, 1С'<'ступ/см

 

 

 

 

Ф и г .

39.

График

зависимости

потока

ступеней

q от

плотности ступеней k

при

анодном растворении

кристалла

Си

в 6М

НС1

с плотностью тока

 

 

5мА/см2 , иллюстрирующий влияние примеси

НВг [273].

 

 

 

 

А — 0,03 М; В — 0,25 М; С —1,0

М.

 

 

 

Форма этих кривых хорошо согласуется с предсказаниями

Фран­

ка [203] и Кабреры [274]. Кабрера [274] (см. также

[13])

отнес

кривую

А к типу I и отметил, что эта кривая

имеет

фактически

форму, предсказанную теорией винтовых дислокаций для пре­

дельного

случая высокой чистоты. Кривая

С, отнесенная к

типу

I I , была

предсказана Франком [203]

и Кабрерой

[274]. Для

нее

характерна положительная кривизна

(dzq/dk2

> 0)

при малых к.

Указанная форма кривой объясняется тем, что число частиц, ад­ сорбированных непосредственно перед ступенью, зависит от времени и, следовательно, сопротивление движению этой сту­

пени зависит от интервала времени после прохождения

предыду­

щей ступени. Таким

образом, чем больше

разнесены

ступени

(т. е. чем меньше к),

тем меньше

скорость ступеней qjk,

и наобо­

рот; следовательно, производная

d2q/dk2 есть

положительная ве­

личина.

 

 

 

 

Другое следствие из кривой q(k) [273] состоит в образовании разрывов плотности ступеней у ведущего и хвостового краев

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ