
книги из ГПНТБ / Лодиз, Р. Рост монокристаллов
.pdf438 |
Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ |
модели: если учитывать более дальнодействующие силы, то должно появиться больше острых минимумов; трехмерный слу чай дает 8 сфер (по аналогии с четырьмя сферами для двумер ного случая). Эти выводы следуют из теоремы Херринга, соглас но которой любая теория связи с конечным радиусом действия сил притяжения между парами равноотстоящих атомов в ре шетке должна дать график изменения у, состоящий из сфериче ских участков.
Расчеты |
Кабреры |
и Кольмана |
[13] вслед |
за |
Черновым |
[17]. |
Как уже |
говорилось, |
график |
функции fi(p) |
= |
у(р) (1 + |
p2Yh, |
введенной в рассмотрение Кабрерой, можно использовать для
предсказания устойчивости той или иной грани |
к превращению |
|
ее в структуру с выступами и впадинами. Если |
наклон кристал |
|
лической поверхности р — —dz/дх, |
то отношение |
|
\ = |
Ь |
(16.17) |
представляет собой плотность ступеней на кристаллической по верхности (здесь h — высота ступени). Если $(р) разложить в ряд
Р(р) = 6 0 + 6 , р + - ^ Р 2 + |
(16.18) |
то первый член выражает поверхностную энергию грани малых индексов, Ь{ — энергию образования ступеней, а Ь2 — энергию взаимодействия между ступенями. И Ь0, и Ь\ суть положитель ные величины, тогда как 62 может быть либо положительной, либо отрицательной величиной в зависимости от того, отталки
ваются |
или притягиваются |
ступени. Первые два |
члена |
соответ |
|
ствуют |
графику |
изменения |
у, состоящему, как уже отмечалось, |
||
из сферических |
участков, |
и графику изменения |
$(р) |
в виде |
прямой линии. Причины, вызывающие взаимодействие ступе
ней, рассмотрены Маллинзом |
[12], а также Грубером |
и Маллин- |
||||
зом [152]. Одна |
из них (как мы увидим ниже) состоит в тенден |
|||||
ции ступеней |
образовать |
изломы, |
что понижает |
свободную |
||
энергию ступеней; если ступени |
сближаются, то возможности |
|||||
для образования изломов (если избегать перекрытия) |
|
ограничи |
||||
ваются, что увеличивает свободную энергию в функции |
расстоя |
|||||
ния между ступенями, т. е. вызывает их отталкивание. |
Маллинз |
|||||
рассматривает |
это отталкивание |
как |
аналог силы, |
с |
которой |
молекула высокополимера сопротивляется спрямлению, сопро вождающему ее растяжение (в данном случае ступень сопроти вляется убыли конфигурационной энтропии, вызываемой боко вым сжатием).
Грубер и Маллинз |
[152]. Эти авторы исследовали анизотро |
пию поверхностной |
энергии при температурах выше О К, рассчи- |
V. СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗДЕЛА И ПОВЕРХНОСТНАЯ КИНЕТИКА 439
тывая просто конфигурационный эффект шероховатости ступе ней, т. е. учитывая термически генерируемые изломы на ступе нях. Предполагается, что ступени энергетически не взаимодей ствуют (т. е. что притяжение или отталкивание между ними при О К отсутствует), но они при этом должны быть ограничены по ширине. Результаты расчета для ступени [011] на грани (100)
в, |
град |
Ф и г . 20. Анизотропия поверхностной |
энергии в модели шероховатых сту |
пеней |
[152J^ |
Изменения Ф (отношения свободной энергии одиночной шероховатой ступени к энергии одиночной прямой ступени) в зависимости от ориентации поверхности (угол 9) при раз личных значениях температуры Г (пропорциональной 1/g") для ступени [OlTf на грани (100)
г.ц. к.-кристалла.
г.ц. к. -кристалла, полученные матричным методом, приведены на
фиг. |
20. Здесь 6 — усредненная ориентация поверхности с уче |
том |
террас между ступенями, так что чем больше 8, тем ближе |
ступени друг к другу, тем более они спрямлены и, следова тельно, тем меньше их свободная энергия отличается от энергии прямых (при 0 К) ступеней (т. е. ордината Ф на фиг. 20 приближается к единице). При уменьшении р " — некоторого па раметра, обратно пропорционального температуре, — разность
энергии при 0 К |
и свободной энергии при Тк |
увеличивается |
(т. е. |
при повышении |
температуры возникают |
изломы). Для |
иссле |
дования устойчивости ступеней вычерчивали график зависимо сти CDtgG от tg 6; график получился выпуклым (т. е. ступени отталкиваются). Таким образом, согласно этой модели, разбиения
440 Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ
на грани не происходит, однако на равновесной форме могут
появиться |
округленные |
участки. |
Маккензи |
и др. [153]. |
Эти авторы детально разработали гео |
метрическую теорию числа разорванных связей атомов с сосе дями первого и второго порядка, приходящегося на единичную площадь в кубическом кристалле; рассматривается атомно-глад- кая поверхность, образующаяся при расчленении кристалла. Как отметили эти авторы, график изменения у должен состоять из
участков |
сфер, |
проходящих через начало координат. При учете |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
только |
ближайших |
сосе |
|||||
|
|
|
|
|
|
дей в г.ц.к.-кристалле был |
|||||||
|
|
|
|
|
|
получен |
|
график |
измене |
||||
|
|
|
|
|
|
ния |
у, изображенный на |
||||||
|
|
|
|
|
|
фиг. |
21 |
[показан |
единич |
||||
|
|
|
|
|
|
ный |
стереографический |
||||||
|
|
|
|
|
|
треугольник, |
причем на |
||||||
|
|
|
|
|
|
тяжение |
|
у |
(210) |
счита |
|||
|
|
|
|
|
|
лось равным |
единице]. |
||||||
|
|
|
|
|
|
Бенсон |
а Юн |
[154]. Эти |
|||||
|
|
|
|
|
|
авторы |
дали |
обзор |
расче |
||||
|
|
|
|
|
|
тов |
поверхностной |
энер |
|||||
0,894 |
|
0,95 |
0,99 |
1,00 |
0,949 |
гии |
атомногладких |
гра |
|||||
|
|
|
ней |
кристаллов |
инертных |
||||||||
|
|
|
|
|
|
||||||||
Ф и г. 21. |
Анизотропия |
поверхностной |
газов и |
|
простых |
ионных |
|||||||
энергии для г.ц.к.-кристалла в трехмерной |
кристаллов; |
такие |
расче |
||||||||||
модели |
разорванных |
связей |
с учетом бли |
ты имели в основе моде |
|||||||||
жайших |
соседей |
[значение |
-у (210) принято |
||||||||||
ли |
парных |
взаимодейст |
|||||||||||
|
|
равным |
единице] |
[153]. |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
вий |
между |
атомами или |
|||||
ионами с учетом возможных изменений положения |
поверхност |
||||||||||||
ных атомов относительно й*к положения в объеме |
посредством |
||||||||||||
релаксации. Были |
сформулированы |
различные |
предположения |
о характере сил взаимодействия и учтены взаимодействия со всеми ионами или атомами в решетке. Таким образом, в теорию были введены решеточные суммы, которые оказались весьма сложными. На основе модели атомных колебаний были рассчи таны температурные зависимости поверхностной энергии. На
пример, в случае |
аргона |
при 0 |
К поверхностные |
энергии для |
||||
граней {111}, |
{100} и {110} оказались равными |
соответственно |
||||||
19,70, 20,34 и 21,34 |
эрг/см2 . |
|
|
|
|
|||
Сундквист |
[155]. |
Этот |
автор |
экспериментально |
исследовал |
|||
равновесные |
формы |
небольших ( ~ 1 0 _ 3 |
мм) частиц ряда г.ц.к. |
|||||
металлов при нагревании |
тонких |
пленок |
на инертной |
подложке. |
Эти формы были образованы плоскими гранями, которые соеди нялись округленными участками. Значения у, полученные в за висимости от ориентации, группировались вокруг средних значении с отклонениями порядка 16%. Существуют, однако, не-
V. СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗДЕЛА И ПОВЕРХНОСТНАЯ КИНЕТИКА 443
в котором По имеет порядок поверхностной плотности атомов, a ws — энергия испарения из излома на поверхность (т. е. энер гия, необходимая для перехода атомов из положения адсорбции на изломе в положение адсорбции на поверхности). Время жиз
ни T s адатома определяется |
выражением |
|
± = |
^ - > , |
(16.24) |
T,S |
|
|
где частота попыток преодолеть потенциальную яму при испаре
нии V2 имеет порядок частоты атомных |
колебаний, a ws — энер |
|
гия испарения адатома с поверхности |
(позиция В на |
фиг. 22) |
в паровую фазу. Отметим, что W = w's-\- ws, т. е. общая |
энергия |
испарения представляет собой сумму энергий переходов излом — поверхность и поверхность — пар. Аналогичные соотношения [13] были выведены для концентрации и времени жизни поверхност ных вакансий, причем такие вакансии также могут участвовать в процессах переноса при росте кристаллов, если их подвижность достаточно высока.
Спиральная дислокационная ступень Франка [160]. Франк [160] (см. также [41]) высказал гипотезу, что винтовые дислока ции могут служить существенными источниками ступеней на кристаллических поверхностях. Если дислокация имеет компо ненту вектора Бюргерса, перпендикулярную поверхности, то пе ресечение такой дислокации с поверхностью ведет к возникнове нию ступени. Как оказалось, этот особый источник ступеней очень важен в процессах роста кристаллов. Ступень закреплена в точке пересечения дислокации с поверхностью, однако по мере присоединения адатомов к изломам ступень может переме щаться, образуя (как мы увидим ниже) спираль. В условиях равновесия ступень остается прямой. В остальном модель Франка повторяет модель Косселя.
Модель Странского и Каишева [161]. Эти авторы исследо вали, учитывая соседей первого и второго порядков, равновес ную форму кристаллов, последовательно убирая все атомы, связанные с решеткой слабее, чем в положении полукристалла (позиция А на фиг. 22), или в положении «повторимого хода». Если учитывать только соседей первого порядка, то оказы вается, что у г. ц. к.-кристаллов равновесная форма образуется гранями {111} и {100}, а в о. ц. к.-структуре — только {ПО}. Если к тому же учесть соседей второго порядка, то дополнительно появляются грани {110} для г. ц к.- и {100} для о. ц. к.-решеток.
Теория периодических цепей связи (ПЦС). Эта морфологи ческая теория имеет в своей основе кристаллохимические
V. СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗДЕЛА И ПОВЕРХНОСТНАЯ КИНЕТИКА 4 4 5
тактирующего с собственным паром, присутствуют адсорбиро ванные атомы или молекулы с концентрацией ns и энергией об разования ws<. W, где W — теплота испарения. Благодаря теп ловым колебаниям частиц в их потенциальных ямах существует некоторая вероятность того, что адатомы перейдут в пар; время жизни т8 есть величина, обратная этой вероятности, которая оп ределяется формулой (16.24). Вместе с тем существуют потен циальные барьеры для касательного перемещения частиц по по верхности — наглядно это можно проследить на модели по верхности из пробочных шариков. Следовательно, для перехода частицы из одного «сидячего» положения в другое необходима
|
|
>W |
J. |
, |
Положение |
|
|
поликристалла |
|
|
(излом) |
Ф и г . 23. |
Схематическое |
изображение потенциальной энергии адатома |
в различных позициях на поверхности кристалла [167].
Положение полукристалла —это излом (повторимая позиция на ступени).
энергия активации. На фиг. 23 схематически показаны потен циальные уровни поверхности кристалла. Время т, необходимое для перехода адатома скачком из одной равновесной позиции в другую, выражается следующим образом:
i = , v ' e - ^ * r . |
(17.1) |
где Us есть энергия активации поверхностной диффузии; v'—• некоторая частота, близкая по порядку величины к V2, т. е. ~101 2 —101 3 с - 1 . Формула Эйнштейна для беспорядочного блуж дания записывается в виде
= |
(17.2) |
где Ds есть коэффициент поверхностной диффузии, а а — рас стояние между соседними позициями. (Мы опускаем здесь мно житель XU в формуле Эйнштейна, чтобы обеспечить согласие с расчетами Бартона, Кабреры и Франка.) Таким образом,
D, = a*y'e-U*T. |
(17.3) |
446 Р. ПАРКЕР. МЕХАНИЗМЫ РОСТА КРИСТАЛЛОВ
Среднее перемещение атомов в адсорбированном состоянии оп ределяется соотношением
|
Xl = Dsxs; |
(17.30 |
подставив сюда соотношение (16.24), получим |
|
|
|
XS==A{^) ехр |
(17.4) |
где |
коэффициент (v'/v2)1 / 2 , по-видимому, не слишком |
отличается |
от |
единицы. Грубую оценку Xs в случае (плотноупакованной) |
грани (111) можно получить, учитывая энергию взаимодействия
Ф только между ближайшими соседями; |
тогда |
w's = Зц> = W/2; |
||||||
полагая |
теперь Us малым по сравнению |
с ws, |
получаем Xs « |
|||||
» ае3^12кт, |
что при y/kT |
= 4 дает Xs |
я* 400 с, т. е. около 10~5 см. |
|||||
Отметим, |
что в этом случае Xs « |
100Х0, |
где Хо — среднее рас |
|||||
стояние между изломами на ступени. |
|
|
|
|||||
2. Движение |
одиночной |
прямолинейной |
ступени. |
В модели |
||||
Косселя процесс роста описывается |
следующей схемой: |
|||||||
|
|
пар *-»• адсорбированный |
атом |
|
|
|||
|
|
адсорбированный атом |
ступень |
|
||||
|
|
движение |
|
вдоль ступени-*->• излом. |
|
|||
Вероятность прямой |
конденсации атома из пара |
в излом или |
в ступень мала, поскольку площадь поверхности, приходящаяся на ступени, невелика (имеются в виду относительно малая плот ность ступеней, вицинальные грани). Поскольку плотность из ломов, как уже отмечалось, достаточно велика, диффузия адатомов вдоль ступени к излому не может быть лимитирующей стадией. Диффузионный закон Фика (для одномерного диффу
зионного |
потока вдоль |
оси у, |
перпендикулярной к ступени) |
за |
||||||||
писывается в виде |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
j s |
= |
- |
D s |
^ |
- |
= D s |
n s 0 |
^ - , |
(17.5) |
|
где j s — поток |
по поверхности, |
ns |
— действительная |
и nso — рав |
||||||||
новесная |
поверхностная |
|
концентрация |
адатомов, |
= а—as |
= |
||||||
— а — as |
[здесь а = |
(р/Ро)—относительное |
пересыщение пара, |
|||||||||
р — однородное |
давление |
пара |
над поверхностью, |
р 0 — равно |
||||||||
весное давление], a ( = |
a— 1) — пересыщение пара, |
as = ns/n.i0 |
— |
|||||||||
относительное |
поверхностное |
насыщение, |
o s ( = as —1) — поверх |
ностное пересыщение. Запишем также |
выражение для |
общего |
|
потока атомов /„ из пара |
на поверхность: |
|
|
/D = |
( a - a s ) ^ = - |
^ . |
(17.6) |
Это выражение вытекает из следующих соотношений: число ато мов, покидающих поверхность, равно ns/rs = as nS 0 /TS ; число ато-
V. СТРУКТУРА ПОВЕРХНОСТЕЙ РАЗДЕЛА И ПОВЕРХНОСТНАЯ КИНЕТИКА 447
мов, достигающих поверхности, равно ап80/т;3, т. е. в а раз больше ttso/^s, т. е. числа атомов, попадающих на поверхность или испа ряющихся с нее при равновесии. Если предположить, что дви жением ступени можно пренебречь и что устанавливается ста ционарное состояние, то из условия сохранения адатомов сле дует
div/, = |
/„, |
(17.7) |
или |
|
|
Х 1 ^ = |
^. |
(17.8) |
Если принять, что скорость обмена адатомов с изломами очень велика, то можно ожидать, что относительное поверхностное на сыщение около ступени соответствует равновесию (т. е. as = 1 при у = 0); вдали от ступени as принимает свое максимальное значение (as = ос при у-*оо). С учетом этих граничных значе ний решение уравнения (17.8) имеет вид
|
|
a p ^ a e - ^ ; |
(17.9) |
следовательно, поток |
в направлении ступени |
при у — 0 равен |
|
|
|
js=-Dsns0-£-. |
(17.10) |
Скорость ступени |
равна — j s /n 0 , где 1/п0 — площадь, занимае |
||
мая |
одной частицей. Следовательно, |
|
|
|
|
иво = 2оч2Х3е-™т, |
( 1 7 Л 1 ) |
где |
W — ws + w's, а множитель 2 введен с учетом потоков с двух |
сторон от ступени. Видно, что скорость ступени не зависит от ее кристаллографического направления.
Чтобы предусмотреть случаи, когда предположения, исполь зованные при выводе соотношения (17.11), не выполняются для тех или иных материалов (например, для молекулярных ве ществ в отличие от моноатомных), Бартон, Кабрера и Франк[41] ввели в правую часть формулы (17.11) два дополнительных мно жителя р и Со, каждый из которых меньше или равен единице. Если число изломов на ступени недостаточно велико, т. е. если условие Xs > Х0 не выполняется, то с0 < 1; если же обмен ада томов или молекул между адсорбционным слоем и изломами
происходит недостаточно быстро |
(что возможно, например, когда |
||
существует |
стерическое |
препятствие встраиванию молекулы |
|
в излом), |
в результате |
чего |
равновесная концентрация на |