Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Применения лазеров

..pdf
Скачиваний:
49
Добавлен:
22.10.2023
Размер:
15.08 Mб
Скачать

430

Приложение 3

13.Москаленко В. Ф., Савичева Э. А. Применение газовых опти­ ческих квантовых генераторов в микроэлектронике, ЦНИИ «Электроника», 1972.

14.Foster J. D. Ргос. Industr. and Scient. Confer. Management, Chicago, 1971, p. 301.

15. Стельмах M. Ф., Чельный А. А. Лазерная технология, БСЭ

т. 13.

16.Ready J. F. “ Laser Focus” , 1970, p. 38.

17.

Bader

R.

F. “ Solid State

Techn.” , 1972, v. 15,' № 9, p. 44.

18.

Dubbins

G.— “ Microelectronics” , 1972,

v. 4, № 1, p.

55.

19.

Cromer

E.

R.—

“ Electronic Packaging

and Production” ,

1972,

 

V. 12,

11, p.

34.

 

 

 

 

 

20.

“ Electronic Packaging and Production” , 1972, v. 12, №

2,

p. 51.

21.

Longfellow

J.—

“Ceram. B ull.” , 1971,

v. 50,

№ 3, p.

251.

22.

“ Microwave” , 1970, v. 9,

№ 7, p. 93.

 

Левенсон

Г. Р.—

23.

Куликов Ю. П., Мастяев

В. А., Смилга И.,

24.

«Электронная техника», 1970, серия 9, вып. 6, стр. 59.

 

 

“ Optical

Spectra” , 1970,

v. 4, № 8, p.

31.

 

 

 

25.«Электронная промышленность», 1972, № 5, стр. 96.

26.Сергеев В. С., Тычинский В. П., Левинсон Г. Р., Свиридов А. Н., Тюмин Ю. М., Колесников Д. П.— «Обмен опытом в электрон­

27.

ной промышленности», 1962, № 3, стр. 59.

Муратова

Большов В. Ф.,

Гурьянов В. М., Мачулка Г. А.,

28.

Л. П.— «Квантовая электроника», 1971, № 6, стр. 84.

Рубинчик

Бабенко В. П.,

Макаров В. И., Наперстак Ю. А.,

 

Б. Я., Тычинский В. П. «Квантовая электроника», 1973, № 1.

29.

Вейко В. П., Либенсон М.М. Лазерная обработка, Лениздат, 1973.

ПРИЛОЖЕНИЕ 4

ГАЗОЛАЗЕРНАЯ РЕЗКА МАТЕРИАЛОВ

В. П. Тычинский

ВВЕДЕНИЕ

В течение последних лет появились новые сообщения, подтверждающие большое практическое значение газола­ зерной резки для некоторых отраслей промышленности

[1—7].

Рассмотрим специфические особенности газолазерной резки материалов. Благодаря отсутствию механического воздействия при помощи лазеров можно осуществлять раскрой хрупких, вязких и мягких материалов (стекла, резины, тканей и т. п.). Высокая температура в зоне ре­ зания обеспечивает обработку самых прочных и тугоплав­ ких материалов, поддающихся только абразивам и алмаз­ ному инструменту (металлокерамика, стеклоуглерод, ком­ позитные материалы на основе нитей бора и углерода). Ма­ лые затраты энергии и ее высокая плотность позволяют получить параллельные кромки при малой ширине реза и незначительной зоне термического влияния. Лазерные уста­ новки с программным управлением оказались более произ­ водительными и удобными для раскроя листового мате­ риала, чем металлорежущие станки, и позволяют изготав­ ливать детали сложных конфигураций.

Перечисленные особенности в значительной степени связаны с поддувом активного или нейтрального газа в зону резания [8]. В табл. 1 приведены значения скоростей (о) резания металлов и диэлектриков различной толщины (б) С02-лазерами с мощностью от 100 до 850 Вт. Для под­ дува использовался кислород [4, 9, 10, 11].

В табл. 2 приведены некоторые результаты по резке материалов лучом С02-лазера без поддува активного газа при высоком уровне мощности [13]. Зона термического влия­ ния на композитные материалы на основе бора и на метал­ лах (алюминий, нержавеющая и углеродистые стали) при скорости резания 1—2,5 м/мин не превышала 0,25 мм.

432

 

 

Приложение 4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 1

 

Скорости газолазерной резки материалов [5—7, 10]

 

 

 

Мощность

Мощность 250 Вт

 

Мощность 850 Вт

 

 

100 Вт

 

 

 

 

 

 

 

5, мм

V,

8, мм

V, м/мин

 

8, мм

V, м/мин

 

 

м/мин

 

Малоуглеродистая

 

 

 

 

 

 

сталь

 

1,0

1,6

0,5

0,635

 

2,2

1,8

Нержавеющая

 

 

 

 

 

 

 

сталь

 

1,0

0,94

0,5

2,6

 

9

0,36

Титан

 

0,6

0,2 і

 

0,5

3,24

Дерево

 

18—50

0,1—0,2

5

4,5 а

Фанера

 

 

6,5

5,222

Керамика

 

6,5

0,62

Асбоцемент

6,3

0,025і

 

Стекло

 

4,0

0,1і

 

Кварц

 

1,2

0,5

 

Резина

 

2,0

1,9

 

1Д л я

п о д д у в а

и сп ол ьзовал ся в о зд у х .

 

 

 

 

2 Д л я

п о д д у в а

исп ользовал ся ар гон .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица 2

 

 

 

Толщина

Скорость

Ш ирина

Мощность,

 

М атериалы

 

реза

 

 

 

0,

мм

V , м/міш

 

мм

кВт

 

 

 

 

 

 

 

 

Алюминий

 

12

2

 

1

10

Углеродистая сталь

 

6 ,2 5

2

 

1

15

Нержавеющая сталь

 

5

1,25

 

2

20

Композиты (бор, углерод)

 

8

1,65

 

1

15

Композиты (стеклопластик)

12,5

4 ,6

 

0 ,6

20

Фанера

 

 

25

1,5

 

1,5

8

Плексиглас

 

25

1 ,5

 

1,5

8

Стекло

 

 

 

9

1,5

 

1

10

Бетон

 

 

40

0,05

 

6 ,2

8

Теоретические и экспериментальные исследования про­ цесса газолазерной резки находятся пока в начальной ста­ дии. Ниже приводятся основные результаты исследований по данным работы [13].

Газолазерная резка материалов

433

ОСНОВЫ ГАЗОЛАЗЕРНОЙ РЕЗКИ

 

Основные количественные соотношения для газолазер­ ной резки можно получить из анализа следующей модели процесса.Тепловой источник, мощность Wa которого равна поглощенной материалом доли лазерного излучения Рл, движется прямолинейно по поверхности бесконечной плас­ тины толщиной б со скоростью V. Стационарное темпера­ турное поле в подвижной системе координат можно представить семейством изотерм, сгущенных впереди и раз­ реженных позади движущегося источника [14]. При нагре­ вании металла до температуры, превышающей температуру начала интенсивного окисления металла либо температуру разрушения Т0, область пластины, заключенная внутри изотермы Т0, разрушается. При этом дополнительно вы­ деляется или поглощается мощность Wx— Qm, где Q — удельное энерговыделение химических реакций и фазовых переходов в зоне резания (кал/г); m = 2у0р8ѵ — скорость разрушения материала (г/с); 2у0— ширина реза, равная ширине изотермы Т0 (см); р — удельный вес (г/см3).

Мощность эквивалентного теплового источника W мож­ но представить суммой W = Wa+ Wx — АІГ, где WR = = (1 — R) Рл — часть мощности лазерного излучения Рл, поглощенная материалом, коэффициент отражения кото­ рого на рабочей длине волны равен R. Величина R зависит от длины волны, природы материала, состояния поверх­ ности, температуры и т. д.; A W — мощность, отводимая при охлаждении газовой струей.

В расчете приняты допущения: ширина реза равна ши­

рине

полосы материала, подогретого

до температуры

Т

Г0; вторичные тепловые источники,

соответствующие

вкладу энергии химических реакций, а также уносу тепла газовой струей, совмещены с лазерным источником; ки­ нетика химических реакций не ограничивает скорость резания; теплофизические параметры не зависят от тем­ пературы.

Решение уравнения теплопроводности для этого случая может быть записано в виде [14]

( 1)

434

 

 

 

Приложение 4

 

 

 

где К — коэффициент

теплопроводности

материала;

k =

— К/рс — коэффициент

температуропроводности;

с

удельная

теплоемкость;

г = (х2+

у2)'/2 — радиус-вектор;

Ко— модифицированная

функция

Бесселя второго

рода

нулевого

порядка.

 

 

 

 

 

 

 

 

Для удобства анализа используются безразмерные пе­

ременные

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I = ѵх

r l

vy_

r

vr

w —

2

W

 

 

~2k

2k

 

 

lk

 

 

 

w:i

tt^ — Ш

 

 

 

 

 

 

 

2кКЪТ0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Параметр,

пропорциональный

мощности

химических

реакций,

можно представить в виде

 

 

 

 

 

 

w x =

т:

diTj,

 

 

 

(2)

где ф = QIcTq— безразмерный термохимический параметр, который не зависит от условий резки и является характе­ ристикой материала и поддуваемого газа.

Используя выражения (1) и (2), можно получить сле­ дующее выражение для требуемой мощности лазерного луча:

шЛ= ехр Е/СіГ1 ) ---- — фт) л; — г( (1,9 — ф) + 0,3.

т:

тс

Из этого следует, что при ф <1 1,9 dWJdt] > 0, т. е. увеличение ц приводит к росту wJI. Это характеризует устойчивый режим резки. При ф > 1,9 режим становится неустойчивым. Величина шл имеет отрицательные значения, что свидетельствует о возможности резки только за счет энергии химических реакций.

Для анализа процесса при больших значениях скоростей целесообразно рассмотреть более общий случай с тепловым источником, интенсивность которого распределена по гаус­ сову закону

W

г

2

WГ

Г

(3 )

 

 

Газолазерная резка материалов

435

Квазистационарная температура в центре такого ис­

точника равна [14]

 

 

(4)

где U = ѵгЛ/2/г — безразмерный параметр,

пропорцио­

нальный скорости V , Еі — интегрально-показательная функ­ ция.

Положим, что Г(0) > Т0, тогда ширина реза, равная ширине изотермы Т0, будет иметь конечную величину. Это позволяет феноменологически рассмотреть процесс резания и учесть вклад энергии химической реакции, так же как в случае с точечным источником. По аналогии с выражением (2) положим

Теперь, однако, параметр ср зависит от ширины реза. С учетом вклада энергии химических реакций выражение

(4) в безразмерных переменных принимает вид

2

Графики функции wJJU, ср) представлены на фиг. 1. В этом случае также существует область устойчивого (при

ср < 1,9) и неустойчивого

(при ср > 1,9) режимов. В об­

ласти малых значений U (до 0,8) расчеты по модели точеч­

ного и распределенного источников совпадают.

Из фиг. 1

видно, что даже при ср > 1,9 в области больших U неустой­

чивый

режим переходит

в устойчивый. Например, для

<р = 4

устойчивый режим

существует при U >

1,4.

Рассмотрим предельный случай процесса, когда тепло­ проводностью материала можно пренебречь. Это справед­

ливо для металлов при больших скоростях ѵ,

а также для

диэлектриков.

разрушение m граммов вещества

Затраты энергии на

за 1 с можно представить в виде

 

W n - A W

= m (с Т 0 — Q) = m S 0,

(5)

436

Приложение 4

где

So= сТо(1— Ф )— энергия резания (характеристика

материала). Рассчитать ее значение для большинства мате­ риалов пока не удается и наиболее целесообразно ее опре­ делять опытным путем.

Тем не менее можно произвести приближенные оценки

параметра of для различных материалов.

Нижнее его зна­

чение соответствует случаю,

когда энергия

затрачивается

 

 

 

 

 

 

 

 

 

на

испарение

материа­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ла, а вклад энергии эк­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зотермических

реакций

 

 

 

 

 

 

 

 

 

мал (öl5=QHcn/cTHCn). Для

 

 

 

 

 

 

 

 

 

большинства

 

металлов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ф ä; —ІО. Этот режим

 

 

 

 

 

 

 

 

 

обычно

встречается при

 

 

 

 

 

 

 

 

 

резании

или сверлении

 

 

 

 

 

 

 

 

 

отверстий

без

поддува

 

 

 

 

 

 

 

 

 

струей газа.

 

 

когда

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для

 

случая

 

 

 

 

 

 

 

 

 

затраты

 

энергии

свя­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

заны лишь с плавле­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

нием металла

и

энер­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

говложение

химических

 

 

 

 

 

 

 

 

 

реакций

незначительно,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ф =

QnJcTna.

 

скры­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Для

металлов

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тая теплота плавления в

 

 

 

 

 

 

 

 

 

калориях I грамм-ато­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ма вещества равна %пд=

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=2,5 Тпл, а атомарная

Ф и г .

I.

Расчетные кривые wa(U)

теплоемкость

составля­

ет с =

6 кал/г-атом. Сле­

для модели источника

с

гауссо­

довательно,

ф = — 0,4.

вым распределением

интенсивно­

 

 

 

сти.

 

 

 

 

Этот случай

характерен

На пунктирных кривых нанесены

резуль­

для сварки металлов лу­

таты экспериментов

по

сварке

сталей

чом лазера.

 

 

 

X18H1GT (светлые знаки) и Ст.

3 (жир­

 

 

 

ные

знаки)

при

толщине

образцов

При кислородной ре­

0,5

мм

( д ,

I.СО

мм (□ .

■ ) ,

 

1,5

мм (О , • ) ,

3,0

мм (V ,

▼)•

 

зке

 

малоуглеродистой

 

 

 

 

 

 

 

 

 

стали

небольших

тол­

щин

[ 16]

основная

реакция

окисления

имеет вид

 

Fe + 0,5Оа = FeO + 64 кал/моль.

Газолазерная резка материалов

437

Оценки показывают, что в этом случае ф

5,3. Полу­

ченные из эксперимента значения ф при резке сталей изме­ нялись в интервале — 0,4 с ijj <с 5,3.

Химические процессы в диэлектриках сложнее, чем в металлах, и оценки гр еще более затруднены. Для боль­ шинства органических материалов процессы в зоне резания сопровождаются разрывом связей С—С или С—О, как наи­ менее прочных [15]. При этом затрачивается энергия около 80 ккал/моль. Процессы ассоциации в зоне резания могут приводить к образованию С02 с выделением энергии 95 ккал/моль. Оценки значений ар для органических мате­ риалов (пластмасс) дают —5 <а[) < 2.

РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ

Описываемые ниже исследования [13] проводились на установке с лазером мощностью до 500 Вт в многомодовом режиме. Луч фокусировался линзой (F = 150 мм) в пятно диаметром ~0,5 мм. Коническое сопло, через которое луч и газ попадали на образец, имело выходное отверстие диа­ метром 1,5 мм. Давление газа внутри резака достигало 3 атм, при этом расход газа составлял ~0,5 л/с. Рабочий стол обеспечивал перемещение образца относительно не­ подвижного резака со скоростью 0,1—10 м/мин.

Резание металлов

Исследование режимов резания различных материалов показало, что скорость и качество резания существенно за­ висят от параметров газовой струи, в частности от давле­ ния газа в резаке. Обычно резка металлов осуществлялась с поддувом кислорода, за исключением специально огово­ ренных случаев. Скорость существенно изменялась в об­ ласти низких давлений газа и слабо при давлениях, пре­ вышающих 2,5 атм. Качество реза при увеличении расхода газа улучшалось. Рез получался с чистыми кромками и малой зоной термического влияния.

Экспериментальные исследования показали, что каче­ ство и скорость резания повышаются при уменьшении расстояния от сопла среза до поверхности материала.

438

Приложение 4

Удовлетворительные результаты получаются при зазоре меньше 1 мм. Хорошее качество реза с незначительным количеством грата удавалось получать на следующих материалах: малоуглеродистые стали толщиной до 4 мм; нержавеющие высоколегированные стали СН-3, 2X13, ВНС-2, ВНС-4х/к толщиной до 2 мм; титановые сплавы ВТ-5, ВТ-14, ВТ-20М, ОТ-41 толщиной до 1,5 мм (более толстые образцы жаропрочных сталей и титановых спла­ вов не исследовались).

Ф и г . 2. Микроструктура

кромок реза

стали

Х18Н10Т толщиной

 

1,5 мм.

 

 

Ширина реза ~ 0 ,3 мм.

Стрелка указывает направление луча.

Исследование микроструктуры

реза

малоуглеродистых

и нержавеющих сталей показало, что: а) ширина зоны тер­ мического влияния в материале со стороны входа луча меньше, чем со стороны выхода; б) изменение микротвер­ дости материала у выходной кромки реза больше, чем у входной, и на расстоянии от края реза менее 0,1 мм микро­ твердость достигает нормальной величины; в) ширина зоны оплавления при оптимальном режиме резания имеет ве­ личину менее 0,1 мм. Микроструктура кромок реза стали Х18Н10Т показана на фиг. 2. Литая зона на этом образце была менее 0,05 мм при ширине реза около 0,3 мм. Ширина реза обычно не превышала 0,6 мм для металлов и 0,2— 0,8 мм для диэлектриков.

Газолазерная резка материалов

439

Количественные исследования процесса лазерной резки наиболее систематически проводились на образцах сталей Х18Н10Т и СтЗ, поскольку этого было достаточно для выяснения общих закономерностей. На фиг. 3 показана зависимость скорости резания от мощности лазера и тол­ щины материала. Разброс экспериментальных точек в пределах 10—20% связан с неточностью определения поро­ говой скорости, непостоянством зазора между срезом соп­ ла и образцом, а также погрешностью измерения мощно­ сти излучения.

Фи г . 3. Зависимость пороговой скорости резания от мощности лазера (для стали Х18Н10Т).

Для сравнения полученных экспериментальных данных с расчетом необходимо было знать долю поглощенного излучения, охлаждающее действие струи и величину пара­

метра ф.

Согласно работе

[3], для нержавеющей стали

1 — R »

0,7.

рассчитать величину парамет­

Как указывалось выше,

ра (]> пока не представляется возможным. Сопоставляя, эк­ спериментальные и теоретические зависимости, можно сде­ лать некоторые выводы о значении параметра ф. На фиг. 1 приведены результаты обработки экспериментальных дан­

ных

для

сталей Х18Н10Т и

безразмерных переменных

U и

W . При обработке результатов для пересчета исполь­

зовались

следующие значения

[16]: 1 — R — 0,7, йЛ=