Добавил:

ivanov666 Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.

Вуз:

Башкирский Государственный Аграрный Университет

Предмет:

[НЕСОРТИРОВАННОЕ]

Файл:

книги из ГПНТБ / Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы

..pdf

Скачиваний:

Добавлен:

22.10.2023

Размер:

10.69 Mб

Скачать

☆

<<< < Предыдущая 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 2627 / 2727

239. Beams J. W. «Ann. Tech. Proc. Amer. Electroplat. Soc.», 1956, v. 43,

p.211.

240.Beatty R. J., Bomar E. S. «Nucl. Sei. Engng», 1964, v. 20, p. 182.

241. Beatty R.J. et al. Vapor Deposition Simp. ANS, San Francisco, 1964,

p.560.

242.Berkeley I. F. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1967, v. 114, p. 561.

243.Biet G. C. «Acad. Sei.», 1962. v. 255 (5), p. 972.

244.Blocher J. M. In «Proc. Conf. CVD Refr. Met. Alloys and Comp.»Ed. by Schaffhauser, Gatlinbnrg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 3.

245.Blocher J. M., Jr. «Batt. Techn. Rev.», 1963, v. 12, p. 3.

246.Bösche M. «Mater, in Des. Engng», 1964, v. 60, p. 82.

247.Bozorth R. M. «Phys. Rev.», 1925, v. 26, p. 390.

248.Brayer Me. USP N 3245673 (12.4.1966).

249.Brenner A. «J. Electrochem. Soc.», 1960, v. 107, p. 91.

250.Brenner A. «Metals Finish.», 1961, v. 38, p. 123.

251. Butcher M. M., White E. A. D. «J. Amer. Ceram. Soc.», 1965, v. 49 (9),

p. 492.

252.Canione B. et al. «J. Chem. Phys.», 1966, v. 44, p. 3115.

253.Clough S. J., Hansen J. V. «Metal Progr.», 1960, v. 86, p. 78.

254.Chakravarty К. M. «Ind. Engng Chem.», 1939, v. 31, p. 1059.

255.Carlton H. E, Oxley J. H. In Book {341],'p. 19.

256.Carlton H. E., Goldberger W. M. «J. Metals», 1965, v. 17, p. 611.

257.Childs W. Z. et al. «Trans. Amer. Soc. Met.», 1951, v. 43, p. 105.

258.Christy R. W. «J. Appl. Phys.», 1960, v. 31, p. 1680.

259.Christy R. W. «J. Appl. Phys.», 1962, v. 33, p. 1884.

260.Chu T. L., Gavaler J. R. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v. 113, p. 1289.

261.Chu T. L. et al. «Solid-State Electronics», 1967, v. 10, p. 1023.

262.Chun J. S. «J. Electrochem. Soc.», 1971, v. 118, p. 1492.

263.Chuzhko R. K. et al. «Crystal Growth», 1968, v. 3—4, p. 219.

264.Coutant R. W. et al. «Trans. Met. Soc. AIME», 1965, v. 233, p. 1485.

265.Direct Conversion Project Staff «Vapor Deposition Tungsten», NASA CR-54266, General Atomic Div. Gen. Dynamics Corp., 1964.

266.Donaldson J. W. et al. «J. Less-Common Metals», 1968, v. 14, p. 93.

267. Doo V. D. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v. 113, p. 1279.

268.Dumond F. P., Mauries J. Proc. II Int. Conf. Therm. El. Power Gen., Stresa, May, 1968.

269.Evans D. J. «Trans. Faraday Soc.», 1958, v. 54, p. 1086.

270.Fairchild C. 1. In «Proc, Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp.», Gat-

271.	linburg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 149.		1964,	v. 7,p. 425.
	Federer	J. J., Leitten C. F. «Trans. Amer. Nucl. Soc.»,
272.	Federer	.1. J., Steele R. M. «Nature», 1965, v. 205, p.	4971,	587.
273.	Federer J. J., Leitten C. F. «Nucl. Appl.», 1965, v. 1, p.		575.	v. 21, No. 9,
274.	Federer	J J., Schaffhauser A. C. «Nucl. Sei. Abstr.»,	1967,

p.1560, ref. 14801.

275.Federer J. J., Spruiell J. E. In «Proc. Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp.», Gatlinburg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 443.

276.Festa J. V., Danko J. C. In «Proc. Conf. CVD Refr. Met. Alloys and Comp.», Gatlinburg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 349.

277.Foffani A. et al. «Z. phys. Chem.», 1964, Bd. 42, S. 221.

278.	Foffani	A.,	Pignataro S. «Z. phys. Chem.», 1965,	Bd. 45,	S.	79.
279.	Gaines	G.	B. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1959,	v. 106,	p.	881.

280.Gebhardt E., Eckehard F. «Z. /Metallkunde», 1966, Bd. 57, S. 732.

281.Gillardeau J. et al. «J. of Crystal Growth», 1971, v. 9, p. 255.

282.Gorton C. W. In [341], p. 35.

283.Gretz R., Hirth J. P. In «Proc. Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp.», Gatlinburg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 73.

284.Grossmann J. «J. Electrochem. Soc.», 1963, v. 110, p. 1065.

285.Heestand R. L. et al. In book [341], p. 175.

286.Heestand R. L., Leitten. «Nucl. Appl.», 1965, v. 1, p. 584.

287.Hieber W., Romberg E. «Z. anorg. Chem.», 1935, Bd. 221, S. 332.

260

288.	Hoertel	F. W.,	Donaldson I. C. «Nucl. Sei. Abstr.», 1967 v. 21 No. II,
	p. 1919.
289.	Holland	J. W.,	Koy J. «Thenn. Conf. Spec. Conf.», Palo Alto, California
	30 Oct.— I Nov.		1967, p. 13—15.

290.Holman W. R., Huegel F. J. In [341], p. 127.

291.Holman W. R., Huegel F. J. In «Proc. Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp.», Gatlinburg, Tennessee, Sept. 12—14, 1967, p. 427.

292. Howard R.	C. et al. «Therm. Conv. Spec. Conf.» Palo Alto California,
30 Oct.— 1	Nov. 1967, p. 10—11.

293.Hubermann M. L., Holzt R. A. «J. Appl. Phys.», 1963, v. 34, p. 3187.

294.Hubermann M. L., Holzl R. A. «J. Appl. Phys.», 1964, v. 35, p. 1357.

295. Hudson R.	G., Yang L. «Therm. Conv. Spec. Conf.»	Houston Texas,
Nov. 2—4,	1966, p. 212.	’

296.Hudson R. G. et al. Proc. II Int. Conf. Therm. El. Power, Gen. Stresa, May, 1968.

297.Isserow et al. «Trans. Amer. Nucl. Soc.», 1964, v. 7, p. 426.

298.Jennings V. J. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v 113, p. 728.

299.Joyce B. A,, Bradly. «J. Electrochem, Soc.», 1963, v. 110, p. 1235.

300.Junk G. A., Svec H. J. «Z. Naturforsch.», 1968, Bd. 23B, S. 1.

301.Kraihanzel C. S. et al. «Chem. Communs», 1971, v. 3, p. 159.

302.Knüppel H. et al. «Stahl und Eisen», 1958, Bd. 78, N. 26, S. 1871.

303.Lamptey H., Ripley R. L. «J. Electrochem. Soc.», 1962, v. 109, p. 713.

304.Lander J. J., Germer L. H. «Metals Technology», 1947, v. 14, p. 6.

305.Landsberg A., Campbell J. «J. Metals», 1965, v. 17, p. 856.

306.Lever R. F., Mandel G. «J. Phys. Chem. Sol.», 1962, v. 23, p. 599.

307.Lever R. F. «J. Chem. Phys.», 1962, v. 37, p. 1073.

308.Li C. H. «Phys. Stat. Sol.», 1966, v. 15, p. 4.

309.Litkenhous E. E„ Mann C. A. «Ind. Engng Chem.», 1937, v. 29, p. 934.

310.Macklin B. A., Withers J. C. In book [341], p. 161.

311.Mann H. T. «J. Electrochem. Soc.», 1962, v. 109, p. 63.

312.Handel G. «J. Chem. Phys.», 1962, v. 37, p. 1177.

313. Mayumi Someno, Tashimasa Aoki. «J. Japan Inst. Metals», 1957, v. 21,

p. 579.

314.Merriman J. R. et al. In book [341], p. 229.

315.Miller A., Barnett G. D. «J. Electrochem. Soc.», 1962, v. 109, p. 973.

316.Miller K. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v. 113, p. 957.

317.Moses S., Witt R. K. «Industr. Engng Chem.», 1949, v. 41, p. 2334.

318.	McCarty L. V. et	al.	«Electrochem. Technol.»,	1967, v.	5,	p. 299.
319.	McKenzie J. K. et	al.	«J. Phys. Chem. Solids»,	1962, у.	23,	p. 185.

320.McMurray N. D. et al. «J. Metals», 1965, v. 17, p. 600.

321.Nack H. ÜSP No. 2696335 (3.08.1954).

322.Nevitt M. V. «Trans. AIME», 1958, v. 212, p. 350.

323.Olds L. E., Rengstorff G. W. «J. Metals», 1956, v. 8, p. 150.

324.Orther M. «Plating», 1964, v. 51, p. 885.

325.Ostrofski B. Gem. Pat. No. 10227 (3.11.601).

326.Owen B. B., Webber L. «Metals. Technol.», 1948, No. 2306.

327.Owen Z. W. «Metallurgia», 1959. v. 59, p. 165.

328.Owen Z. W. «Metallurgia», 1959, v. 59, p. 227.

329.	Owen Z. W. «Electroplat. and	Metal. Finish.»,	1963, v.	17,p. 296.
330	Owen Z.W. «Electroplat. and	Metal. Finish.»,	Sept. 1964, p. 296.
331.	Owen Z. W. «Electroplat. and	Metal. Finish.»,Sept. 1964,		p.226.
332	Oxley J. H. et al. «Industr. and Engng Chem.», 1959,			v. 51, p. 1391.

333.Oxley J. H. et al. Vapor Deposition Symp., ANS Winter Meeting, San Francisco, 1964, p. 567.

334 Oxley G. H. et al. «Metalle für die Rautfahrt, R.—T. De re Metallica», 1965, p. 278.

335.Pangarov N. A. «Electrochem. Acta», 1964, v. 9, p. 721.

336.Papke J. A., Stevenson R. D. In [341], p. 193.

337.Patterson R. J. USP No. 3321337 (23.5.67).

261

338.Pechs M., Stehle H. Proc. II Int. Conf. Therm. EI. Power Gen., Stresa, May, 1968.

339.Pignataro S. et al. «Z. Phys. Neue Folge», 1965, Bd. 47, S. 106.

340.Powell C. F. et al. «Vapor plating», N. Y., 1955.

341.Proceedings of the Conference on Chemical Vapor Deposition of Refr. Me

tals,	Allovs	and Comp. Ed. by Schaffhauser, Gatlinburg, Tennessee,
Sept.	12—14,	1967.

342.Rand M. J., Ashworth J. L. «J. Electrochem. Soc.», 1966, v. 113, p. 48.

343.Raymond P. L. «J. Electrochem. Soc.», 1959, v. 106, p. 5.

344. Reid W. E., Brenner A. «Techn. News Bull., Nat. Bur. Standards», 1960,

V.44, p. 32.

345.Renner Th. «Z. anorgan. Chem.», 1959, Bd. 298, S. 22.

346.Robinson W. C. et al. In [341], p. 109.

347.Robinson P. H. «RCA Review». 1961, v. 108, p. 649.

348.Rosi F. D. «RCA Review», 1964, v. 25, p. 333.

349.Rupper W., Schwedler G. Ger. P. No. 1089240, 1967.

350.Saunders E. et al. In book [341], p. 217.

351.Schafer H. et al. «Z. anorg. und Allgem. Chem.», 1957, Bd. 290, S. 279.

352.Schafer H. «Naturwissenschaften». 1963, Bd. 50, S. 53.

353.Schaffer P. S. «J. Amer. Ceram. Soc.», 1965, v. 48 (10), p. 508.

354.Schultze H. W. «Metal Progr.», 1959, v. 76, p. 74.

355. Shroff A. M., Borromee. «Mem Scient. Rev. Metallurgie», 1966, v. 63,

p. 863.

356.Shroff A. M. II Int. Conf. Cherm. El. Power Gen., Stresa, May, 1968.

357.Smiley et al. «J. Metals», 1965, v. 17, p. 605.

358.«Steel Material Report», 1963, v. 44, p. 102.

359.Steinmeier W., Bloem J. «Electrochem. Soc.», 1964, v. Ill, p. 206.

360.	Svec	H.	J., Junk	G.	A.	«J. Amer.	Chem.	Soc.»,	1967,	v.	89, p. 2836.
361.	Svec	H.	T., Junk	G.	A.	«Inorgan.	Chem.»,	1968,	v. 7,	p.	1688.

362.Takabayashi M. «Japan. J. Appl. Phys.», 1962, v. 1, p. 22.

363.Tarui Y. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1963, v. 110, p. 1167.

364.Taylor J. L., Boone D. H. «J. Less-Common Metals», 1964, v. 6, p. 157.

365.Thivellier D. Proc. II Int. Conf. Therm. El. Power Gen., Stresa, May, 1968.

366.Tour S. et al. «J. Metals», 1955. v. 7, p. 291.

367.Vapor Deposition. Ed. by C. F. Powell et al. New York — London — Syd ney, 19b6. (есть перевод «Осаждение из газовой фазы». М., Атомиздат, 1970).

368.Van Hemert R. L. et al. «J. Electrochem. Soc.», 1965, v. 112, p. 3143.

369. Yang	L„	Hudson	R. G. Therm. Conv. Spec. Conf., Houston, Texas,
Nov.	2—4,	1966, p.	395.

370.Yang L., Hudson R. G. Proc. Conf. CVD Refr. Met., Alloys and Comp., Gatlinburg, Tennessee, Sept .12—14, 1967, p. 329.

371.Weissman I., Hinter M. L. «J. Appl. Phys.», 1963, v. 34, p. 3548.

372.Weinberg A. F. Vapor Deposition Symp., ANS Winter Meeting, San Fran cisco, 1964, p. 581.

373.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Inorg. Chem.», 1964, v. 3, p. 699.

374.Winters R. E„ Kiser R. W. «Inorgan. Chem.», 1965, v. 4, p. 157.

375.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Phys. Chem.», 1965, v. 69, p. 1618.

376.Winters R. E., Kiser R. W. «J. Phys. Chem.», 1966, v. 70, p. 1680.

377.Wilson V. C., Lawrence J. «Therm. Conv. Spec. Conf.», Palo Alto, Califor nia, 30 Oct.— 1 Nov., 1967,

378.Wood W. A. «Trans. Faraday Soc.», 1935, v. 31, p. 1218.

379.Wyllie M. «J. Chem. Phys.», 1948, v. 16, p. 52.

Стр. Строка

28Знаменатель ф-лы (2.11)

171Заглавие табл. 5.15

200	9	сн.
203	2	св.
220	10		сн.
222	15		сн.
237	14		сн.

239Табл. 5.25 4-й столбец 2-я строка

23911 сн.

240Табл. 5.26 1-й столбец 1-я строка

240

2 сн.

Замеченные опечатки

Напечатано

Р 4

океслов

(100)

отсутствует

риспропорционирования

!М І + Е \

RT )

циклических

5,42

работы

4,58

поверхности

WF5 и WC15

Следует читать

р 2 г а

окислов

(ПО)

присутствует

диспропорционирования

( —Л Н ~ \- Е \

g~ eXp { RT J

цилиндрических

4,52

работу

4,52

поверхности W при во дородном восстановле нии WF6 и WCU

Зак. 3009/681.

О Г Л А В Л Е Н И Е

П редисловие...........................................................................................................

Глава 1.	в в е д е н	и	е	............................................................................................................................................................
Глава 2.	н е к о т о р	ы	е	в о п р о с ы т	е о р и и	х и м и ч е с к о й к р и с т а л л и з а ц и и
	Термическое разложение карбонилов..............................................
	Влияние	электростатического				поля ..............................................
	Содержание углерода в п о к р ы ти я х ..............................................
	Проблема			газа-носителя..................................................................
	Инертные		газы -носители..................................................................
	Химически активные газы -носители..............................................
	Получение металлических покрытий водородным восстановле
	нием хлоридов металлов ..................................................................
	Получение сплавов................................................................................
Глава 3.	т е х н и к а			э к с п е р и м е н т а		............................................................
	Реакционная камера				.........................................................................
	Испаритель.............................................................................................
	Система очистки газов				.........................................................................	. . . .
	Очистка	газов от кислорода				. . . .
	Очистка газов от окиси и двуокиси углерода.................................
	Очистка газов от водяных паров.....................................................
	Д и с т и л л я ц и я ......................................................................................
	Система конденсирующих устройств..............................................
	Нагрев	о б р а з ц о в ................................................................................
	Измерительный ком плекс..................................................................
Глава 4.	к и н е т и	к а		о с а ж д е н	и я ..................................................................
	Термическое разложение карбонилов тугоплавких металлов .
	Разложение карбонила				м о л и б д е н а ..............................................
	Разложение карбонила				в о л ь ф р а м а ..............................................
	Разложение карбонила				рения............................................................
	Водородное восстановление хлоридов (Mo, W, Та, Nb) .
	Термическая диссоциация хлоридов ..............................................
	Осаждение W, Mo, Nb, Ti, Zr, H f .....................................................
	Осаждение			р е н и я ................................................................................
	Осаждение			и р и д и я	.........................................................................
	Водородное восстановление фторидов тугоплавких металлов
	Осаждение вольфрама				.........................................................................
	Осаждение			р е н и я ................................................................................
	Осаждение			иридия	.........................................................................
	Получение тугоплавких металлов из металлорганических со
	единений			.............................................................................................		•
	И р и д и й .........................................					•
	Вольфрам			..............................................................................................
	Молибден			.............................................................................................

107

108

109

111

263

Методы понижения температуры процесса кристаллизации из

газовой

ф а з ы .........................................................................................

ИЗ-—„

Высокочастотное

п о л е ...........................................................................

114

Электронный

у д а р

..................................................................................

122

Тлеющий р а з р я д

..................................................................................

129

Глава

Влияние поверхности подложки на скоростьосаждения металла

132

н е к о

т о р

с в о й с

т в

т у

г о п л а в

к и х

м е т

а л

л о в

п о

к р

т и и

из

н и х .........................................................................................

134

Примеси

в металлах,

полученных

кристаллизацией

из газовой

ф а з ы

......................................................................................................

свойства

м е т а л л о в

134

Механические

механические

146

Влияние

поверхностной

пленки

на

свойства

м е т а л л о в ................................................................................................

покрытий с о с н о в о й

153

Прочность сцепления

..................................

158

Типы

с ц е п л е н и я

.................................................................................. прочности сцепления

158

Методы измерения .........................................

158

Термические

напряж ....................................................................ения

162

Способы

повышения ..................................прочности с ц е п л е н и я

169

Проблема

п л о т н о ...........................................................................с т и

178

Плотность

м е т а л л ...........................................................................о в

178

Рост

кристаллов

...................................................................................

189

М и к р о стр у к ту р а ..................................................................................

195

Текстуры в тугоплавких ..................................металлах и сплавах

200

Получение

текстурированных ...........................слоев м е т а л л о в

201

Текстуры в сплавах ..................................тугоплавких м е т а л л о в

215

Механизмы образования ......................................................

текстур

тугоплавких

216

Высокотемпературная

стабильность

ме

таллов

......................................................................................................

стабильность микроструктуры

. .

227

Высокотемпературная

231

Эмиссионные характеристики осажденныхметаллов.

236

Глава

п о л у ч е н и

с п л а ...........................................................................в о

241

Получение сплавов при разложении карбонилов и при водород

241

ном восстановлении .........................................хлоридов металлов

Получение вольфрам-рениевых сплавов при водородном вос

становлении WF6 и ....................................................................R e F j

243

Получение тантал-алюминиевых .........................................сплавов

248

Кристаллизация тройных вольфрам-молибден-рениевых сплавов

250

Список л и т е р а т у р ы ...............................................................................................

253

И в а н о в В и к т о р Е в г е н ь е в и ч

Н е ч и п о р е н к о Е в г е н и й П е т р о в и ч

К р и в о р у ч к о В а д и м М и х а й л о в и ч

С а г а л с в и ч В л а д и с л а в В и к т о р о в и ч

Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы

Корректор

О . Р . Х а р л а м о в а

Сдано

набор

4/XII —73

г.

Подписано к

печати

ІЗ/ІІІ 1974

г.

Т-03086

Формат

бОхЭО'/іб

Бумага книжно-журнальная

Уел . печ .

л. 16,5

Уч.-изд.

л.

17,97

Тираж

1700

экз.

Цена

2 р. 03 к.

Зак. изд. 69166

Зак. тип.

681

Атомиздат,

103031,

Москва, К-31.

ул. Жданова, 5.

Московская типография № 6 Союзполиграфпрома при Государственном комитете Совета Министров СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли.

109088, Москва, Ж-88, Южнопортовая ул., 24.

<<< < Предыдущая 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 2627 / 2727

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ

#
27.10.202323.2 Mб20Кривошеев М.И. Световые измерения в телевидении.pdf
#
22.10.202313.65 Mб9Крикун, Е. В. Архитектура Южнобережья.pdf
#
19.10.20233 Mб19Крикунова, И. И. Газовая сварка пластмасс.pdf
#
24.10.202310.95 Mб46Криогенные поршневые детандеры..pdf
#
25.10.202313.67 Mб14Крисс А.Е. Жизненные процессы и гидростатическое давление.pdf
#
22.10.202310.69 Mб20Кристаллизация тугоплавких металлов из газовой фазы..pdf
#
22.10.202310.86 Mб107Кристенсен, Р. Введение в теорию вязкоупругости.pdf
#
19.10.20237.51 Mб6Крицман, В. А. Структурно-кинетические закономерности (исторический очерк).pdf
#
22.10.202315.18 Mб36Кричевский, И. Р. Термодинамика для многих.pdf
#
19.10.20234.06 Mб20Кричевский, М. Е. Химия ремонтирует.pdf
#
29.10.20233.37 Mб17Кричин Д.М. Регулировки механизмов автомобиля и уход за ним в вопросах и ответах.pdf