
книги из ГПНТБ / Монокристаллы молибдена и вольфрама
..pdfНапряжения нулевого рода возникают при изменении темпера туры тела, на которое наложены внешние связи. Они уравновеши ваются внутри взаимосвязанной системы.
Напряжения первого рода обусловливаются неравномерностью температурного поля тела и уравновешиваются в его пределах.
Напряжения второго рода при изменении температуры материа ла вызываются анизотропией коэффициента линейного расшире ния, фазовыми превращениями, происходящими с изменением удельного объема, или анизотропией коэффициента линейного расширения содержащихся в материале фаз. Поскольку упомяну тые напряжения связаны со структурой материала, их называют термоструктурными. Термоструктурные напряжения могут возни кать и при равномерном нагреве (охлаждении) в отсутствие гради ента температуры по телу, а также внешних механических связей. Микроструктурные термические напряжения, имеющие большое значение, уравновешиваются внутри тела в пределах областей фаз или зерен.
Все перечисленные типы напряжений в зависимости от связей, наложенных на тело, структуры, свойств и температурного режима могут возникать одновременно, определяя общее поле напряжений. Количественная оценка суммарного действия указанных напряже ний пока отсутствует. Наибольшие термические напряжения возни кают, когда тело с равномерной температурой погружается в среду с другой температурой, т. е. когда возникает так называемый тер мический удар.
В свободном теле любой формы, поверхность которого практи чески мгновенно охлаждается от температуры Г до Го, в начальный момент возникает двуосное растяжение [139] с напряжением, рав ным
|
. |
яЕ(Т-Т0) |
||
|
|
|
1-НЬ |
’ |
•где |
а — действующее |
напряжение; |
||
|
а — коэффициент |
линейного |
расширения; |
|
|
Н- — коэффициент |
Пуассона; |
|
Е— модуль упругости;
Т— Т0 — разность температур внешних и внутренних частей
тела.
При разности температур порядка нескольких сотен градусов и более напряжения могут разрушать материал, если он не способен •пластически деформироваться [145].
Напряжения, обусловленные анизотропией коэффициента ли нейного расширения, также могут приводить к появлению трещин усталости и изменению формы изделия. Для практически осущест вимых интервалов температур величина термоструктурных напря жений может достигать в уране 137, в цинке 50, в кадмии и теллу ре 12,9, в магнии 1,06 кг/мм2 [139]. Циклические изменения темпе ратуры могут в зависимости от ряда условий вызывать в металлах
•90
различные эффекты. Одно из наиболее изученных при этом явле ний — необратимое формоизменение.
Необратимое формоизменение металлов и сплавов. Сущность эффекта заключается в неполной обратимости деформации образ цов в процессе термоциклирования, что приводит к направленному и необратимому изменению их формы и размеров. Наиболее под робно необратимое формоизменение поликристаллических мате риалов рассмотрено в монографии [54], где дана также формаль ная теория формоизменения.
Основными причинами формоизменения или «роста» металлов в процессе термоциклирования являются анизотропия коэффициен та линейного расширения, температурные градиенты и фазовые превращения. Для описания процесса формоизменения пользуются коэффициентом роста, характеризующим приращение относитель ной деформации образца за один цикл теплосмен.
Коэффициент роста анизотропных металлов в процессе дли тельной циклической тепловой обработки обычно мало изменяется, оставаясь постоянным по порядку величины даже после значи тельных количеств теплосмен [52, 189] и при больших степенях де формации.
В случае анизотропных в отношении коэффициента линейного расширения материалов [189] необратимое формоизменение вызы вается термическими напряжениями второго рода ѵд наиболее силь но проявляется у образцов со слоистым строением или текстурой [52]. Изменение размеров текстурированных материалов может до стигать в процессе термоциклирования 500—600%. Несмотря на это, параметры и симметрия решетки практически остаются неиз менными. У нетекстурированных анизотропных материалов направ ленный рост отсутствует [183].
Наиболее сильное искажение формы и структуры анизотропных образцов наблюдается, когда максимальная температура цикла лежит выше температуры фазовых превращений [23]. Образцы ци линдрической формы, например, даже после незначительного ко личества теплосмен превращаются в бесформенную, как бы вспученную массу.
На коэффициент роста материалов сильное влияние оказывают их кристаллическое состояние и состав [51—53, 189]. Эффект не обратимого формоизменения уменьшается с увеличением размера зерна. Монокристаллы металлов при термоциклировании проявля ют более высокую стабильность структуры и испытывают меньшее необратимое формоизменение, чем соответствующие поликристаллические материалы [150]. Зависимость коэффициента роста от ■состава сплава может быть весьма сложной [11, 54].
Разность между верхней и нижней температурами цикла [54] также оказывает влияние на коэффициент роста. Так, при увели чении разности между верхней и нижней температурами цикла от 100 до 300° коэффициент роста увеличивался в процессе термо циклирования цинка [53] R 35 раз. Аналогичный рост наблюдался
91
на уране [189]. Формоизменение тем больше, чем больше интервал температур. В зависимости от соотношения скоростей нагрева и охлаждения [89] цилиндрические образцы из изотропных материа лов могут и удлиняться и укорачиваться или даже сохранять свою первоначальную форму.
Приложение растягивающей нагрузки к образцам, подвергаю щимся циклическим термическим воздействиям, резко увеличивает эффект формоизменения [22]. Остаточная деформация может в не сколько раз превышать суммарную деформацию от температурных циклов в отсутствие нагрузки. Формоизменение при приложении растягивающей нагрузки направлено в сторону действия внешней силы.
Необратимое формоизменение изотропных материалов опреде ляется в основном величиной термических напряжений первого рода [11, 54]. При незначительных температурных градиентах фор моизменения нет или оно ничтожно мало. С ростом термических напряжений, особенно до величин, равных пределу текучести, фор моизменение наблюдается почти всегда; направление его в зависи мости от конкретных условий может быть различным [89].
Размеры и форма образцов оказывают сильное влияние на эф фект формоизменения [54] вследствие разного характера поля напряжений [52]. Шар является наиболее устойчивой и равновесной формой [69], дае-хе если тепловое воздействие не совсем симмет рично.
Большой экспериментальный материал, накопленный по необ ратимому формоизменению, получен в основном на поликристаллических металлах и сплавах. Всесторонних исследований формо изменения монокристаллов вообще и, в частности, монокристалловтугоплавких металлов, интерес к которым со стороны науки и тех ники в последние годы резко возрос, не проводилось. Слабо изуче ны структурные изменения материалов при теплосменах, их связь с теми или иными параметрами циклической обработки. До сих пор основные закономерности роста исследуются без учета физи ческого состояния материала на том или ином этапе формоизмене ния, вследствие чего невозможно создать достаточно строгую тео рию формоизменения изотропных материалов.
Неполнота микроскопических представлений о формоизменении обусловлена, в частности, отсутствием сведений, касающихся дис локационных изменений и перестроек в процессе формоизменения. Можно допустить, что имеет место и дислокационный механизмформоизменения [58]. Камнем преткновения всех предлагаемых механизмов формоизменения является объяснение направленного роста металлов при циклических термических воздействиях.
Изменения микроструктуры и физико-механических свойств. Изменения микроструктуры в процессе теплосмен весьма разнооб разны и зависят от температурного интервала и числа циклов теплосмен. В анизотропных поликристаллических металлах при циклических теплосменах интенсивно протекают сдвиги зерен по
92
границам, развиваются процессы внутризеренного скольжения по нескольким кристаллографическим плоскостям, двойникования, ре кристаллизации, дробления зерен [23, 40, 183, 189, 227, 262]. При высокотемпературном циклировании обычно наблюдается и мигра ция границ [217], часто со смещением тройных точек. Помимо рав номерной, не зависящей от числа циклов миграции границ как еди ного целого, может возникать прерывистая миграция отдельных участков границ зерен [266].
Интенсивность всех этих процессов сильно зависит от темпера турного интервала последовательных нагревов и охлаждений [213— 216, 217]. Наибольшая деформация анизотропных металлов на блюдается при высокотемпературном циклировании, в частности, увеличение миграции от металла к металлу происходит в порядке снижения их температуры плавления. С нарастанием числа циклов теплосмен все виды пластической деформации становятся более выраженными, а неравномерность распределения деформации бо лее очевидной. Снижение максимальной температуры цикла при водит к заметному уменьшению деформации по границам зерен. При низкотемпературном циклировании миграция границ подав ляется совсем, а скольжение и двойникование, наоборот, усили ваются. В ряде случаев после определенного числа циклов темпе ратурного воздействия в материалах наблюдается образование пор [23, 189, 220] и трещин [11, 254].
Несмотря на большое число работ, не выявлено каких-либо за кономерностей в изменении размера и числа пор в зависимости от состояния материала: текстуры, размеров кристаллитов, микро структуры. Во всех случаях поры располагаются без связи с со ставляющими структуры. Замечено лишь, что появление пор во время циклирования зависит от присутствия примесей (включе ний); например, в чистом уране [183] пустоты не обнаружены. Иногда считают [189], что поры во время термоциклирования обра зуются на существующих уже в материале зародышевых пустотах.
На форму трещин, характер их появления и распространения оказывают влияние такие факторы, как температура материалов, скорость охлаждения и нагревания, наличие концентраторов на пряжения, окружающая среда, стесненность деформации и пр. [1 Г]. Трещины обычно зарождаются на поверхности перпендикулярно направлению наибольших напряжений [144], но могут возникать и внутри образцов [138].
Структурные изменения изотропных поликристаллических ме таллов в процессе термоциклирования во многом аналогичны анизотропным [7, 8, 11, 105, 109, 112, 168, 173, 192, 240].
Под действием циклических термических напряжений в моно кристаллах тугоплавких металлов бурно развиваются такие про цессы, как размножение, аннигиляция и движение дислокаций [149, 150, 152—154]. При высокотемпературном циклировании од новременно с процессами размножения дислокаций наблюдаются обезуглероживание и дробление карбидной фазы, которые умень
93
шают плотность дислокаций и угловую разориентировку блоков. Обезуглероживание замедляется в дальнейшем и преимуществен ное развитие получают процессы размножения и движения дисло каций. В результате плотность дислокаций, угловая разориентировка блоков возрастают и после длительного термоциклировани» монокристаллы фрагментируются вследствие образования новых, субграниц. Дробление исходных субзерен с течением времени за медляется, а разориентация субграниц из-за притока новых дис локаций возрастает и достигает нескольких градусов. Монокри сталличность термоциклируемых кристаллов сильно нарушается, что приводит к заметному изменению его физических свойств.
Легированием монокристаллов можно ускорить или замедлить перечисленные выше процессы [150], а также вызвать дополнитель ные эффекты при циклической термообработке [51]. Например, легирование монокристаллов молибдена и вольфрама рением по зволило резко повысить стабильность их структуры и свойств при высокотемпературном циклировании.
Интересные результаты были получены при термоциклировании монокристаллов алюминия в интервале 180—600°С [74]. После 100 циклов нагрева и охлаждения на воздухе поверхность моно кристаллов покрывалась дефектами в виде точек плотностью ІО7 смг2, возникновение которых объясняется процессом конден сации вакансий на несовершенствах структуры кристаллической решетки, преимущественно на краевых дислокациях [62]. «Точеч ные» дефекты с нарастанием числа циклов теплосмен постепенно укрупнялись и приобретали вид углубленных треугольников (на плоскости (111)) или трапеций и прямоугольников (когда ось монокристалла совпадала с направлением <110>. После 300 циклов поверхность монокристаллов изъязвлялась полосами, как бы стоками для дефектов, пересекавшими весь образец.
Происходящие при термоциклировании структурные изменения оказывают определенное влияние на физико-механические свойст ва материалов. Как правило, после достаточно большого числа теплосмен уменьшаются пластичность и длительная прочность [11, 130, 184]. В некоторых материалах особенно в начале циклирования прочность возрастает [101]. Как показывают многочисленные дан ные, снижение прочности в процессе теплосмен вызывается обра зованием трещин [11, 230] термической усталости. В изменениях механических свойств поликристаллических материалов обычно наблюдается большой разброс. Так, в опытах [230] пластичность образцов в среднем снижалась по мере увеличения числа циклов, однако даже после 8000 циклов обработки некоторые образцы сохранили исходную пластичность.
В монокристаллах изменение свойств: упрочнение или разупроч нение, рост или снижение пластичности,— более однозначно связывается с характером структурных изменений, возникающих вследствие процесса термической усталости [150]. Интенсивность происходящих изменений зависит как от природы материала, со
94
держания в нем примесей и легирующих добавок, так и от темпе ратурного режима и атмосферы термоциклирования.
Наиболее опасным видом повреждений при термоциклировани» являются трещины. Механизм их образования до сих пор не ясен, несмотря на большое количество предложенных схем разрушения [141]. Заманчивым является привлечение к объяснению механизма возникновения трещин в процессе циклических изменений темпе ратуры твердого тела теории дислокаций и вакансий [125—128], Однако до настоящего времени нет исчерпывающих эксперимен тальных данных по зарождению и поведению этих несовершенств в кристаллической решетке при термоциклировании. В связи с этим постановка экспериментов по исследованию поведения дисло каций в процессе длительного термоциклирования кристаллических материалов, особенно монокристаллов, приобретает особое зна чение.
§ 18. Дефекты кристаллической структуры,
возникающие в металлах и сплавах
при однократной закалке
Поскольку процесс термоциклирования складывается из много кратно повторяющихся нагреваний и охлаждений, представляет определенный интерес рассмотреть вопрос о возникновении дефек тов и их природе в процессе только однократной закалки. Для изучения дефектов применяются различные методы: электросопро тивление, электронная микроскопия, рентгеновское малоугловое рассеяние, внутреннее трение. Наибольшую ясность в представле ния о природе дефектов, возникающих при закалке, внесли прямые электронномикроскопические исследования, позволившие выявить, эти дефекты с достаточно большим разрешением.
При быстром охлаждении металла сохраняется большое коли чество вакансий, существующих при тепловом равновесии в усло виях высокой температуры [32]. Вблизи температуры плавления количество вакансий в металлических кристаллах может составить, несколько процентов от общего числа атомов [91]. Вследствие быстрого охлаждения вакансии, пересыщение которыми может достичь ІО10, коагулируют, образуя скопления различных видов. Вакансии конденсируются на плоскостях 1111), (ПО) и даже на (100), образуя вакансионные слои толщиной более одного меж атомного расстояния. Способность вакансий к объединению зависит от величины энергии связи между ними. Наименьшей энергией1 связи обладают бивакансии.
Вопрос о форме вакансионных скоплений, энергетически спо собной существовать в закаленном металле, рассмотрен в [258, 259]. Показано, что энергетически более выгодно существованиё крупного конгломерата вакансий в виде сплющенного диска, чем одиночных вакансий и их скоплений в форме полостей. Такие дис-
95
ки могут захлопываться, сплющиваться и превращаться затем во вторичные дефекты. В веществах с высокой поверхностной энерги ей скопления вакансий остаются после закалки в виде микроскопи ческих пор. Вероятность существования одиночных вакансий уве личивается при закалке с относительно низких температур. При закалке металлов от высоких температур образуются преимущест венно скопления вакансий [268, 272].
Исследования с помощью просвечивающего электронного мик роскопа действительно подтвердили высказанное еще Зейтцем £276] предположение, что в закаленных металлах и сплавах возни кают колонии вакансий и различные дислокации из них.
Дислокации различных видов наблюдаются после закалки в таких металлах, как алюминий, медь, серебро, железо, молибден, в сплавах алюминия с магнием и серебром и др. [136, 137, 203, 228, 235, 237, 248—250, 256, 271, 279, 285, 288]. Образующиеся при захлопывании скоплений вакансий дислокационные петли являют ся, как правило, границами дефектов упаковки. Несовершенства такого рода, как тетраэдры дефектов упаковки [234, 238, 264, 278, 279], образуются в результате захлопывания вакансионных скопле ний на плоскости (111), при этом ребрами тетраэдров служат так называемые вершинные дислокации с вектором Бюргерса типа Ѵв 1110], а гранями — дефекты упаковки.
Другими характерными несовершенствами в закаленных метал лах являются поры [256, 234, 255]. Часто поры имеют правильную огранку [255], принимая, например, форму октаэдра, ограненного плоскостями {111). На плотность и размер пор и дислокаций ока зывают сильное влияние скорость закалки и температура отжига [256]. С увеличением скорости закалки плотность дислокационных петель растет, а плотность пор несколько уменьшается. С повыше нием температуры и времени отжига размеры пор и петель растут, а плотность их снижается; впоследствии остаются только поры. Увеличение толщины образцов при закалке способствует образо ванию дислокационных петель.
Электронномикроскопические исследования закаленных метал лов и сплавов позволили обнаружить и такие источники размно жения и переползания дислокаций, как мелкие включения второй фазы [80, 206, 288]. Причиной зарождения дислокационных петель является релаксация термических напряжений второго рода, возни кающих в процессе нагревания и охлаждения образцов из-за раз ницы в коэффициентах линейного расширения матрицы и включе ния. Концентрация напряжений у включений зависит от многих факторов: перепада температур, параметров включений и их ориен тации относительно действующих сил, а также различий в физиче ских свойствах металлической матрицы и включений. Число испус каемых дислокационных петель в процессе одной закалки варьиру ется обычно от 2 до 18. Петли распространяются всегда вдоль плотноупакованных направлений < 111>. Уже после нескольких закалок вокруг включений образуются клубки дислокаций повы
:96
шенной плотности, что приводит к концентрации локальных напря жений и возможности образования микротрещин. При термоциклировании монокристаллов тугоплавких металлов, содержащих большое количество включений карбидной фазы даже после элект роннолучевой зонной плавки, подобный вид размножения дисло каций должен играть значительную роль. В размножении дисло каций могут принимать участие только те включения, размер кото рых больше некоторого критического [181]. Повышение содержания карбидной фазы в монокристаллах тугоплавких металлов должно резко снизить стабильность структуры при термоциклировании вследствие интенсивного и негомогенного размножения дислока ций, инициируемого включениями.
Электронномикроскопические исследования показали также, что в процессе закалки центрами размножения дислокаций могут быть не только включения второй фазы, но и поры, образованные захлопыванием вакансий [229]. Определенный вклад в размноже ние вносят и сами петли исходных дислокаций, действующие под влиянием термических напряжений как источники Франка—Рида. В условиях сильно напряженного состояния петли дислокаций ге нерируют при закалке большое число-дислокационных колец [290].
Теоретическое рассмотрение поведения дислокаций в поле знакопеременных термических напряжений показывает [172, 174], что дислокации в тонких приповерхностных слоях должны переме щаться преимущественно в одном направлении — к свободным поверхностям образцов, постепенно увеличиваясь при этом в раз мерах. Однако экспериментальных данных о поведении дислока ций различного типа в металлах в поле циклических термонапря жений нет. Лишь на полупроводниках, в частности на монокри сталлах германия, подобные исследования выполнялись с помощью несимметричных съемок [170] по методу Бормана. Наблюдение за поведением дислокационных линий показало [171], что наиболее подвижны в кристалле при возникновении термических напряжений дислокационные линии чисто краевой ориентации [44]. После пер вого же термоцикла дислокации перемещаются на значительные расстояния в своей плоскости скольжения, изменяя при этом ориентацию. Они становятся 60-градусными. Дислокации сложного типа, состоящие из краевых и спиралеобразных участков, в про цессе циклических термических воздействий резко изменяют свою конфигурацию вследствие распрямления геликоидальных участков
иперехода их в винтовые дислокации направления оси геликоида,
атакже сокращения длины винтовых компонент. Ширина изобра жения винтовых компонент сложных дислокаций резко уменьшает ся после первого же цикла теплосмен в связи с перестройкой ядра винтовой дислокации. Дефект упаковки в процессе термоциклирования либо сужается, либо исчезает совсем. Наименее подвижны дислокации ступенчатого строения. Очевидно, подобное поведение присуще дислокациям и при термоциклировании металлов. Экспеірименты по деформированию монокристаллов молибдена [263]
<7—247 |
97 |
показали, например, что подвижность краевых отрезков дислокаций примерно в 10 раз выше винтовых. С повышением температуры это различие уменьшается.
§19. Методики исследования термоциклирования
исубструктура исходных монокристаллов
Образцы |
и режимы циклических термических воздействий. |
В качестве |
объектов исследования были взяты совершенные в |
структурном отношении монокристаллические прутки молибдена (диаметром 14—16 мм) и вольфрама (диаметром 10 мм), полу ченные электроннолучевой зонной плавкой [148]. Монокристаллы, ось прутков которых совпадала с кристаллографическим направле нием [100], ориентированно выращивались по методу [116]. Содер жание примесей внедрения в монокристаллах вольфрама состав ляло 1,5-10—3 вес. % 0 2 и (2-f-4)-10~3 вес. % С, в монокристаллах молибдена —(2-=-3)>10-3 вес. % 0 2 и (5-^6)-ІО-3 вес % С.
Термоциклирование образцов осуществляли без закрепления их
в зажимах по трем режимам: 15 400, 17 700 и 100 |
1900°С, |
По первому режиму цилиндрические образцы из монокристаллов вольфрама длиной 100—130 мм нагревались на воздухе в муфель ной печи до 400 и охлаждались в проточной холодной воде до 15°С. Время нагрева и охлаждения составляло 60 и 13 сек. соответствен но. По второму режиму термоциклирования монокристаллы мо либдена и вольфрама той же длины нагревались на воздухе в муфельной печи до 700 и охлаждались в воде до 17°С. Специаль ных мер против окисления монокристаллов не принималось. Время нагрева и охлаждения составляло 105 и 16 сек.
Для проведения опытов по термоциклированию монокристал лов в интервале 15—400 и 17—700°С смонтирована установка, состоящая из муфельной печи типа Т-40/600, редуктора, электро мотора, термопар и системы контактных пластин.
По третьему режиму образцы монокристаллов молибдена и вольфрама в виде плоских дисков толщиной 1,5—2 мм (с заранее выведенной кристаллографической плоскостью) термоциклировались в интервале 100—1900°С. Термоциклирование велось в вакуу ме ІО-5 тор, образцы помещались на танталовую подложку, разогреваемую пропусканием постоянного тока силой до 50 а. Время нагрева и остывания образцов составляло 30 сек. и 15 мин. соответственно.
Во всех случаях термоциклирования исследовались неотожжен ные образцы монокристаллов в том виде, в каком они обычно посту пают для переработки и использования. Термоциклирование неза крепленных монокристаллов велось с целью исследования влияния только термических напряжений на изменение структуры и свойств.
98
Температура контролировалась в зависимости от условий тер мопарами, отградуированными по реперным точкам, или оптиче ским пирометром ОППИР-017.
Выбор режимов термообработки обусловливался возможностью проследить влияние диффузии, окисления, вакуума и максималь ной температуры цикла на особенности изменения субструктуры монокристаллов в процессе термоциклирования. Так, термоциклирование монокристаллов по первому режиму проходило в условиях пониженных температур (15—400°С), отсутствия интенсивной диф фузии и окисления. При термоциклировании по второму режиму (17 j=t 700°С) диффузионные процессы еще слабы, но уже сказыва ется влияние газов атмосферы; по третьему (100 д± 1900°С) диффузионные процессы развиты сильно, а действие атмосферы окружающего воздуха значительно ослаблено.
В первом и втором режимах термоциклирования для исследо вания происходящих изменений в микроструктуре и свойствах образцов от монокристаллических прутков после определенных количеств термоциклов отрезали цилиндрики длиной '10 мм. Цилиндрики охлаждались до температуры жидкого азота и хруп ко раскалывались. Все последующие микроструктурные исследо вания проводились на раскрытых поверхностях сколов монокри сталлов. Плоскости транскристаллитных сколов всегда совпадали с {100}, что каждый раз подтверждалось снятием рентгенограмм по методу Лауэ. После фрактографических исследований плоскости скола полировали сначала механически, а затем электролитически, после чего изучали их дислокационную структуру, замерялимик ротвердость и снимали лауэграммы.
Электролитическое полирование молибдена проводили в'элект ролите: 20 мл метилового спирта + 80 мл концентрированной серной кислоты [100]. Вольфрам полировали в 2%-ном водном растворе едкого натра.
При термоциклировании монокристаллических дисков по треть ему режиму на них с точностью до 2° рентгенографически выводи ли грани (100), предварительно отполированные механически, а затем электролитически. Электрополировку проводили многократ но, чередуя с травлением, чтобы снять наклепанный слой металла, возникший при приготовлении образцов. Исчезновение наклепа проверяли по значениям микротвердости и по строению рефлексов Лауэ.
В дальнейшем в зависимости от минимальной и максимальной температуры цикла теплосмен термоциклирование монокристаллов
будем условно |
называть низко-, средне- и высокотемпературным |
в интервалах |
0—400°, 0—700° или 0—1900°С соответственно. |
Для исследования изменений структуры и свойств при термоцикли ровании использовали следующие методы.
Дислокационное травление. Разработан ряд методов, позволяю щих обнаруживать дислокации в металлах [4, 107, 164, 175]. Хими ческое или электролитическое травление является наиболее эффек
99