Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Полупроводниковые детекторы в дозиметрии ионизирующих излучений

..pdf
Скачиваний:
38
Добавлен:
20.10.2023
Размер:
7.88 Mб
Скачать

чается в возможности их использования для дозиметрии излуче­ ния слабых интенсивностей, начиная с энергии квантов, от 1—2 кэв. Малые размеры этих детекторов позволяют исполь­ зовать их для измерений in vivo.

Ударное умножение носителей заряда в р «-переходе

Пусть в слой толщиной dY поступает

электронов, На рас­

стоянии Хі эти электроны образуют

пару электрон—дырка,

которые также движутся в сильном электрическом поле. Если дырки на длине dy не получают энергию, достаточную для обра­ зования пары электрон—дырка (точнее, их коэффициент умно­ жения меньше 1), то умножение числа носителей осуществ­

ляется только

электронами. Этот механизм умножения лежит

в основе работы ППД с пропорциональным усилением.

Если дырки получают энергию, достаточную для ударного-

образования

пар на длине dY, а коэффициент умножения

электронов также больше 1, то ток через р—«-переход лавинно, нарастает и наступает так называемый лавинный пробой. Ток пробоя достигает постоянной величины из-за образования

объемных

зарядов и др. [158J. Длительность

протекания тока

в режиме

пробоя ППД также ограничена.

Это обусловлено

флуктуацией коэффициента умножения носителей заряда, число которых (Ne) при токе /а равно

е

(4.59)

 

е

где Гдр — время пролета (дрейфа) носителей заряда через слой толщиной dy.

Очевидно, чем тоньше слой умножения, тем меньшее число носителей заряда одновременно находится в нем. Из-за флук­ туации коэффициентов умножения в определенный момент вре­ мени коэффициент усиления падает, становится меньше 1, лавина прекращается. Вероятность этого события достаточно мала, поэтому длительность импульса тока пробоя обычно в ІО5—ІО6 раз превышает время пролета слоя, в котором проис­ ходит умножение носителей.

Зависимость коэффициента

умножения М от напряжения

на р—/г-переходе описывается

эмпирической формулой [159J

М =

(4.60)

где и п— напряжение пробоя; Up- n= UІа(Яц+Яп)— напряже­ ние на р—/z-переходе в момент пробоя; /а — ток ППД в момент пробоя; RR — последовательное сопротивление детектора; т

показатель степени, равный 3,4—4 для кремния «-типа и 1,5—2

для кремния р-типа.

вольт-амперная

С учетом коэффициента М по формуле (4.60)

характеристика опишется уравнением

 

W 7o = 1/П - (Up-n/UJ]”,

(4.61>

/0 — ток детектора при напряжении, меньшем напряжения лавинообразования.

Максимальное усиление в ППД на основе кремния дости­ гает ІО4—ІО6, однако отношение сигнала ,<шуму при'этом ниже,, чем при меньшем усилении [160].

Для детекторов пропорционального типа . чувствительный объем может быть в сотни раз больше, чем у ППД, предназна­ ченных для работы в пробойном режиме, у которых сигнал на выходе не зависит от первоначального числа носителей заряда. Поэтому технология изготовления и характеристики ППД двух указанных типов различны.

Пропорциональный ППД с р /г-переходом

Схема детектора [161—164] показана на рис. 4.11, а. В ка­ честве исходного материала использован сравнительно низко­ омный (30—50 ом-см) кремний «-типа, р—«-переход создан диффузией галлия на глубину 50—100 мкм [162]. Эксперимен­ тально установлено, что только при таких глубоко расположен­ ных р—«-переходах удается обеспечить стабильную работу детектора без микропробоев и больших токов утечки.

Усиление происходит размножением неравновесных электронрв, образованных в; p-слое и в следующем за ним слое, тол­ щина которого не превышает 150 мкм. Поэтому коэффициент усиления зависит от места поглощения кванта. Он достигает ІО3 для излучения поглощаемого в переднем слое и равен 20—50 при равномерном поглощении по всей толще детектора.

Толщина мертвого слоя не превышает 2% глубины распо­ ложения р—«-перехода [163].

Рассмотренные типы детекторов имеют диаметр около 4—- 8 мм, толщина для различных конструктивных вариантов изме­ няется от 0,3 до 1,5 мм.

В дозиметрических приборах детектор используют при изме­ рении числа импульсов [161], так как при этом измерительная схема упрощается, особенно при использовании ППД в сочета­ нии с туннельным диодом [164].

Чувствительность ориентировочно определяется по фор­ муле (2.14) числом импульсов в секунду на единицу мощности дозы и по расчетным данным соответствует поглощению в нем около 3,4 квант/мкр при энергии квантов излучения Еу s» 1 Мэе. Экспериментально измеренное значение составляет 0,5—"

101

1,8 квант/мкр [165]. Нижний предел измеряемой мощности дозы ограничен естественным фоном и составляет около 3-10-9 рад/сек. Обычно верхний предел измеряемой мощности дозы составляет 1 —10 мрад/сек [161].

Экспериментально измеренная энергетическая зависимость чувствительности [161] приведена на рис. 4.10, кривая 5. Ее максимум сдвинут в сторону малых энергий, число импуль-

Рис. 4.11. ППД с усилением:

а — пропорциональны й; Т Д — туннельны й днод: L — индуктивность; UT' д — нап ряж ен ие смещ ения туннельного ди ода, б — пробойный,

U — источник нап ряж ен ия смещ ения, Ян — нагрузочны й резистор.

сов в секунду на единицу мощности дозы при £ ѵ =50 кэв всего в четыре раза больше, чем при Е ѵ 1,25 Мэв. Коррекция энер­ гетической зависимости с помощью фильтров позволяет умень­ шить ход с жесткостью приблизительно вдвое [166].

В работах [167—170] рассмотрены другие типы ППД с про­ порциональным усилением.

102

ППД с усилением в пробойном режиме

Геометрия таких ППД приведена на рис. 4.11,6. Он изго­ товлен по сплавной технологии. Область пробоя диаметром 2—15 мкм локализуется около конусообразной вершины. Высота слоя умножения не превышает 20—30 мкм (диаметр 2—15 мкм,

форма объема — приблизительно

сферическая).

уравнением

Вольт-амперная

характеристика описывается

 

Іл = ( и - и М

Лп + Я ^

(4-62)

где /а — амплитуда

обратного тока детектора; Rm — внутреннее

сопротивление ППД в момент пробоя.

 

Экспериментально полученная

зависимость скорости счета

от напряжения описывается формулой

 

 

ne = AN0(U-U„)*,

(4.63)

где А — коэффициент, равный 1—1,2; /V0—-число

неравновес­

ных носителей тока, образуемых излучением.

Чувствительный объем этого детектора незначителен и со­ ставляет всего 3-10-7 мм3. Поэтому нижний порог измеряемой мощности дозы—-порядка 0,01 рад/сек. Верхний предел изме­ ряемой мощности дозы определяется мертвым временем детек­ тора и составляет 0,01—0,1 р/сек.

Поскольку в пробойных ППД каждый носитель, попавший в объем умножения, приводит к появлению импульса на его выходе, число импульсов пропорционально числу быстрых элек­ тронов и «истинной» длине их пробега [158].

Основное преимущество этого типа детектора — большая амплитуда импульса на нагрузочном резисторе, что позволяет существенно упростить электронную схему счета числа им­ пульсов.

ГЛАВА 5

КОМБИНИРОВАННЫЕ ДЕТЕКТОРЫ

§ 5.1. ОСОБЕННОСТИ КОМБИНИРОВАННОГО ДЕТЕКТОРА

Основное преимущество комбинированного детектора по сравнению с ППД состоит в существенно большей чувствитель­ ности за счет увеличения чувствительного объема до несколь­ ких десятков кубических сантиметров при обеспечении стабиль­ ности в работе. Одновременно расширяются возможности изме­ нения хода с жесткостью и изготовления детектора с заданной конфигурацией.

При основном недостатке— меньшей дозовой чувствитель­ ности— комбинированный детектор обладает некоторыми пре­ имуществами по сравнению со сцинтмлляционными: а) мень­ шими габаритами и весом; б) нечувствительностью к магнитным полям; в) не требует источников питания высоким напряже­ нием; г) прост по конструкции; д) высокой надежностью.

§5.2. ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЭЛЕМЕНТА И СЦИНТИЛЛЯТОРА

Для выбора компонентов комбинированного детектора не­ обходимо знать кривые спектральной чувствительности фотоэле­ ментов. Эти кривые определяются многими факторами: типом полупроводника, видом и количеством введенных примесей, материалом контактов, глубиной залегания рп-перехода, нару­ шениями стехиометрии в образцах и др. Значительные измене­ ния спектральной характеристики для элементов, в зависимости, например, от глубины залегания р—«-перехода, видны из рис. 5.1 (кривые 6, 7, 8) [171]. Влияние напряжения смещения на спектральные характеристики поверхностно-барьерных детек­ торов представлено на рис. 5.1 (кривые 9, 10) [172]. На рис. 5.1 приведены типичные кривые для полупроводниковых элементов, наиболее часто используемых в сочетании со сцинтилляторами [173, 174, 175]. Все кривые характеризуются одним достаточно широким максимумом, имеющим обычно более крутой спад в длинноволновой части спектра. Характерно, что максимумы кри­ вых лежат в области длин волн ^>5000 А, что затрудняет их сочетание со многими сцинтилляторами.

104

Из других типов фотоэлементов заслуживают внимания си­ стемы с р—/г-переходом, включающим область с переменной шириной запрещенной зоны, в частности фотоэлемент на основе GaAs—GaP [176J. Фотоэлемент представляет собой комбина­ цию двух полупроводников (GaAs и GaP) с разной шириной запрещенной зоны, разделенных узкой областью, в которой ши-

Рис. 5.1.

Спектры

люминесценции

«зеленого»

пластмассового

сцинтиллятора

(/),

CsI(Tl) (4)

и спектральная

чувствительность

фотоэлементов;

2 — сернистый

кадмий;

3 — селен; 5 — ФЭП

из

арсенида галлия с глубиной залегания

перехода

d<10~4 см;

6

то

же, для

d=10~4 слі;

7 — кремниевый

ФЭП;

8 — то

же,

для

4>10-4

слі;

9 — кремниевый

поверхностно-барьерный

детектор

без

напряжения смещения; 10 — то

же, при

напряжении

смеще­

 

 

 

 

 

 

ния

13 в.

 

 

 

 

 

 

 

 

рина запрещенной

зоны

меняется

от

Eg= 2,25 эв

(GaP) до

£g=l,35

эв

(GaAs).

В

зависимости

 

от

глубины

 

залегания

р—/2-перехода положение максимума спектральной чувстви­ тельности варьирует в широком диапазоне А,=4500—8500 Â. Отсюда следует возможность направленного изменения спек­ тральной чувствительности, что принципиально позволяет соче­ тать такие элементы с различными сцинтилляторами.

Как любую систему, состоящую из источника и приемника светового излучения [159], комбинированный детектор можно

характеризовать

коэффициентом

согласования спектральных

характеристик

 

^макс

 

 

 

 

 

'

J (iwCICMv<,2KCX^

2.МИН

j

ОС«

 

Амане

I Ы ІасГ)х^

?.мнн

105

где

(асц/ а ^ кс)ъ

(аф/Яфакс)х — относительные спектральные

характеристики сцинтиллятора и элемента

соответственно;

Лщш, Ямакс — границы спектра, длинноволновая

граница спектра

Ямакс определяется соотношением hc/K^Eg, поскольку генера­ ция носителей возможна только в случае, когда энергия фотона

превышает ширину запрещенной

зоны.

Согласование

можно

считать

удовлетворительным,

если

ас = 0,6.

Однако

для ком­

бинированных

детекторов

этого

трудно

добиться,

поскольку

у большинства

сцинтилляторов

максимум лежит

в

области

Я = 4500 А и менее.

 

неорганические

сцинтилляторы:

Исключение

составляют

CsI(Tl)

с Ямакс= 5800 А,

CdS(Ag)

с ЯМПкс= 7600 А,

Lil(Sn) с

Ямакс= 5300 А, а также CsI(Sm) с Ямакс= 7000-4-9000 А и У20з(Еи) с Ямакс= 6100 А [178].

Таким образом, выбор сцинтилляторов весьма ограничен. Наиболее подходящим для сочетаний с фотоэлементами на ос­ нове кремния и арсенида галлия является монокристалл CsI(Tl), а для сочетаний на основе сернистого кадмия и селена, кроме

указанного монокристалла, и пластмассовый

сцинтиллятор

(1,2-перинафтиленбензимидазол + паратерфенил в

полистироле)

с максимумом свечения в зеленой области спектра

(см. рис. 5.1).

Сцинтиллятор CsI(Tl) почти негигроскопичен, и его можно меха­ нически обрабатывать на открытом воздухе, он устойчив к меха­ ническим воздействиям (пластичен), обладает значительной плотностью, т. е. высокой эффективностью регистрации у-излу- чения, имеет высокий световой выход, легко выращивается в виде больших монокристаллов [179].

Недостатком пластического сцинтиллятора по сравнению с монокристаллом СэЦТЧ) является меньшая эффективность регистрации излучения, а преимуществом — простота механи­ ческой обработки. Из рассмотренных полупроводниковых и сцинтилляционных элементов в практике дозиметрических из­ мерений наибольшее применение получили детекторы на основе сочетания Si- и GaAs-фотопреобразователей со сцинтиллятором CsI(Tl). Их характеристики рассмотрены в § 5.4.

§ 5.3. СВЕТОПЕРЕДАЧА В КОМБИНИРОВАННОМ ДЕТЕКТОРЕ

Выбор элементов конструкции

Если в сцинтилляторе поглотилась энергия излучения Еп,

то в световую энергию преобразуется цЕц,

где т| — конверсион­

ная эффективность сцинтиллятора. Спектр

сцинтилляций

прак­

тически не зависит от энергии излучения и определяется

соста­

вом сцинтиллятора. Полагая среднюю энергию фотона рав­ ной Еф, получаем число образованных в сцинтилляторе фотонов

Мі> = г ) ^ .

(5.1)

•Сф

 

106

В фотоэлемент попадает только часть фотонов, N$, равная, по определению, УѴф£, где g— эффективность собирания света сцинтиллятора фотоэлементом. Число образованных при этом в фотоэлементе пар электрон—дырка равно

 

V ~

ІУ,

(5-2)

 

£ Ф

 

 

где у — квантовый выход

внутреннего

фотоэффекта, а число

пар, дошедших до р—и-перехода

фотоэлемента, — -р (Er/EtiOlyß

(где ß — коэффициент собирания

носителей тока). Отсюда об­

щий фототок

 

 

 

/

= er)

gyß.

(5.3)

Для сцинтиллятора площадью 5 и толщиной dcц (объем которого ѴСц=5-гісц) с учетом соотношения (1.43) и принимая во внимание, что при дозиметрических измерениях используется обычно режим короткого замыкания ФЭП, получаем дозовую чувствительность комбинированного детектора:

 

/к.зIP =

en -Яш*-

Цигг^сц

l/cuPcu| Yß.

(5.4)

 

 

Цптв

 

 

Если

между

сцинтиллятором и

фотопреобразователем

имеется

световод,

то в формулу

(5.4)

добавляется

множитель

тсв — коэффициент светопередачи световода, в этом случае g —эффективность собирания света сцинтиллятора на приемной части световода.

Из-за ограниченного выбора сцинтилляторов и фотоэлемен­ тов для комбинированного детектора величина ряда множите­ лей является, по существу, заданной (г), рсц, V, ß). Значения величин Ѵсц, dczx определяются, как правило, решаемыми задачами (например, размеры детектора определяются требо­ ваниями клинической дозиметрии). В широких пределах при разработке комбинированного детектора можно влиять лишь на величину эффективности собирания света g, зависящую от геометрии детектора, материалов отражателя, качества оптиче­ ского контакта.

Существует два метода повышения эффективности регистра­ ции света сцинтиллятора. В первом создаются условия полного внутреннего отражения фотонов за счет выбора формы и поли­ ровки сцинтиллятора. Такое отражение света легко осуществить у пластмассовых сцинтилляторов из-за простоты их механиче­ ской обработки. Во втором — поверхность делается шерохова­ той и покрывается диффузно отражающим материалом. Так упаковывается монокристалл CsI(Tl), используемый в боль­ шинстве комбинированных детекторов.

Процесс светопередачи в системе сцинтиллятор—фотоэлемент при диффузном отражении рассмотрен Феном [6], устано-

107

вившим, что эффективность £ собирания света фотопреобразо­ вателем равна

ап^ф

 

 

1

(5.5)

So

1 Лот (

1

 

anS([l \

 

So )

 

V

 

 

где ап— вероятность поглощения фотона преобразователем, если он попадает на площадь 5Ф— площадь окна сцинтиллятора, равная площади фотопреобразователя; 50 — полная площадь

Рис.

5.2. Зависимость тока / ф

комбинирован­

ного

детектора от отношения

диаметра £>сц

сцинтиллятора к диаметру £>ф фотоэлемента;

кривые 1, 2, 3, 4, 5 рассчитаны при значениях

Лот,

равных соответственно 0,5;

0,8; Q.9; 0,95; 1;

X —■эксперимент.

поверхности сцинтиллятора; т|от — коэффициент диффузного от­ ражения материала, в который упакован сцинтиллятор.

Формула (5.5) выведена в предположении, что после каж­ дого внутреннего диффузного отражения вероятность попадания фотона на площадь S<i> равна 5ф/5 0 и поглощением фотонов в сцинтилляторе можно пренебречь. Это предположение осуществ­ ляется для сцинтилляторов достаточно малых размеров и обыч­ но на практике выполняется.

На рис. 5.2 приведены кривые зависимости относительных

значений

тока /ф комбинированного детектора C sI(T l)+ Si

(/ф=///о,

где / о — ток детектора, когда диаметр сцинтиллятора

равен диаметру фотоэлемента) от отношения диаметра сцинтил­ лятора 0 Сц к диаметру фотоэлемента Дф [181].. Кривые 1^-5 рассчитаны по формуле (5.4) с учетом значений | по формуле (5.5) при величине ап=0,4. Данное значение ап взято из работы [180] и соответствует случаю, когда в качестве материала

108

оптического контакта используется силиконовое масло. Значе­ ние 5ф при расчете принималось равным 5ф = 5 0/2. Эксперимен­ тальные точки показаны на рис. 5.2 крестиками (измерения с отражателем).

Расхождение между расчетными и опытными данными не превышает 50—100%. Это можно считать удовлетворительным, учитывая приближенность самой формулы Фена и погрешность в значениях исходных данных (т|, ап) для расчета.

Как видно из рис. 5.2, в условиях полного отражения (■Пот=1) существует параболическая зависимость между током фотоэлемента и диаметром сцинтиллятора (т. е, линейная зави­ симость между током и площадью сцинтиллятора, обращенной к фотоэлементу). При г|от=?М зависимость /ф= [ (S) близка к линейной лишь до тех пор, пока диаметр сцинтиллятора не превышает диаметр фотопреобразователя. При дальнейшем увеличении размеров сцинтиллятора существенное отклонение от линейности обусловлено уменьшением эффективности соби­ рания света от периферийных участков сцинтиллятора. Расчет показывает, что при использовании материалов с высоким коэффициентом отражения (цот^ОД) допустимо некоторое увеличение диаметра сцинтиллятора по отношению к диаметру. фотопреобразователя (до 1,3—1,5 раза).

Уменьшение Эффективности собирания света при удалении облучаемого участка сцинтиллятора от края фотоэлемента значительно замедляется с ростом отражательной способности покрытия.

Из анализа формулы (5.5) следует, что при значении коэф­ фициента диффузного отражения Цот, равном 1, имеет место полное светособирание (£=1), независимо от величины

On (^l)/So) ■

Для улучшения качества оптического контакта необходимо, чтобы между сцинтиллятором и фотоэлементом находился ма­ териал, коэффициент преломления пм которого был бы проме­ жуточным между коэффициентом преломления вещества сцин­ тиллятора «сц и вещества фотоэлемента Пф. Оптимальную величину пм определяют из соотношения [182]

«м = V ЯфЛсд •

(5 -6 )

Коэффициент преломления фотоэлемента на основе кремния или арсенида галлия с ' травленой чувствительной поверх­ ностью составляет 3,5—4 [171, 183].

В выпускаемых фотоэлементах принимают специальные ме­ ры для уменьшения световых потерь на отражение нанесением одного или нескольких «просветляющих» слоев на чувствитель­ ную поверхность фотоэлемента. Коэффициент преломления такого слоя определяется также в соответствии с (5.6), где псц заменяют 1, и составляет около 1,8—2,0. Коэффициент прелом­

109

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ