
книги из ГПНТБ / Полупроводниковые детекторы в дозиметрии ионизирующих излучений
..pdfчается в возможности их использования для дозиметрии излуче ния слабых интенсивностей, начиная с энергии квантов, от 1—2 кэв. Малые размеры этих детекторов позволяют исполь зовать их для измерений in vivo.
Ударное умножение носителей заряда в р — «-переходе
Пусть в слой толщиной dY поступает |
электронов, На рас |
стоянии Хі эти электроны образуют |
пару электрон—дырка, |
которые также движутся в сильном электрическом поле. Если дырки на длине dy не получают энергию, достаточную для обра зования пары электрон—дырка (точнее, их коэффициент умно жения меньше 1), то умножение числа носителей осуществ
ляется только |
электронами. Этот механизм умножения лежит |
в основе работы ППД с пропорциональным усилением. |
|
Если дырки получают энергию, достаточную для ударного- |
|
образования |
пар на длине dY, а коэффициент умножения |
электронов также больше 1, то ток через р—«-переход лавинно, нарастает и наступает так называемый лавинный пробой. Ток пробоя достигает постоянной величины из-за образования
объемных |
зарядов и др. [158J. Длительность |
протекания тока |
в режиме |
пробоя ППД также ограничена. |
Это обусловлено |
флуктуацией коэффициента умножения носителей заряда, число которых (Ne) при токе /а равно
е |
(4.59) |
|
е |
где Гдр — время пролета (дрейфа) носителей заряда через слой толщиной dy.
Очевидно, чем тоньше слой умножения, тем меньшее число носителей заряда одновременно находится в нем. Из-за флук туации коэффициентов умножения в определенный момент вре мени коэффициент усиления падает, становится меньше 1, лавина прекращается. Вероятность этого события достаточно мала, поэтому длительность импульса тока пробоя обычно в ІО5—ІО6 раз превышает время пролета слоя, в котором проис ходит умножение носителей.
Зависимость коэффициента |
умножения М от напряжения |
на р—/г-переходе описывается |
эмпирической формулой [159J |
М = |
(4.60) |
где и п— напряжение пробоя; Up- n= U—Іа(Яц+Яп)— напряже ние на р—/z-переходе в момент пробоя; /а — ток ППД в момент пробоя; RR — последовательное сопротивление детектора; т —
показатель степени, равный 3,4—4 для кремния «-типа и 1,5—2
для кремния р-типа. |
вольт-амперная |
С учетом коэффициента М по формуле (4.60) |
|
характеристика опишется уравнением |
|
W 7o = 1/П - (Up-n/UJ]”, |
(4.61> |
/0 — ток детектора при напряжении, меньшем напряжения лавинообразования.
Максимальное усиление в ППД на основе кремния дости гает ІО4—ІО6, однако отношение сигнала ,<шуму при'этом ниже,, чем при меньшем усилении [160].
Для детекторов пропорционального типа . чувствительный объем может быть в сотни раз больше, чем у ППД, предназна ченных для работы в пробойном режиме, у которых сигнал на выходе не зависит от первоначального числа носителей заряда. Поэтому технология изготовления и характеристики ППД двух указанных типов различны.
Пропорциональный ППД с р — /г-переходом
Схема детектора [161—164] показана на рис. 4.11, а. В ка честве исходного материала использован сравнительно низко омный (30—50 ом-см) кремний «-типа, р—«-переход создан диффузией галлия на глубину 50—100 мкм [162]. Эксперимен тально установлено, что только при таких глубоко расположен ных р—«-переходах удается обеспечить стабильную работу детектора без микропробоев и больших токов утечки.
Усиление происходит размножением неравновесных электронрв, образованных в; p-слое и в следующем за ним слое, тол щина которого не превышает 150 мкм. Поэтому коэффициент усиления зависит от места поглощения кванта. Он достигает ІО3 для излучения поглощаемого в переднем слое и равен 20—50 при равномерном поглощении по всей толще детектора.
Толщина мертвого слоя не превышает 2% глубины распо ложения р—«-перехода [163].
Рассмотренные типы детекторов имеют диаметр около 4—- 8 мм, толщина для различных конструктивных вариантов изме няется от 0,3 до 1,5 мм.
В дозиметрических приборах детектор используют при изме рении числа импульсов [161], так как при этом измерительная схема упрощается, особенно при использовании ППД в сочета нии с туннельным диодом [164].
Чувствительность ориентировочно определяется по фор муле (2.14) числом импульсов в секунду на единицу мощности дозы и по расчетным данным соответствует поглощению в нем около 3,4 квант/мкр при энергии квантов излучения Еу s» 1 Мэе. Экспериментально измеренное значение составляет 0,5—"
101
1,8 квант/мкр [165]. Нижний предел измеряемой мощности дозы ограничен естественным фоном и составляет около 3-10-9 рад/сек. Обычно верхний предел измеряемой мощности дозы составляет 1 —10 мрад/сек [161].
Экспериментально измеренная энергетическая зависимость чувствительности [161] приведена на рис. 4.10, кривая 5. Ее максимум сдвинут в сторону малых энергий, число импуль-
Рис. 4.11. ППД с усилением:
а — пропорциональны й; Т Д — туннельны й днод: L — индуктивность; UT' д — нап ряж ен ие смещ ения туннельного ди ода, б — пробойный,
U — источник нап ряж ен ия смещ ения, Ян — нагрузочны й резистор.
сов в секунду на единицу мощности дозы при £ ѵ =50 кэв всего в четыре раза больше, чем при Е ѵ —1,25 Мэв. Коррекция энер гетической зависимости с помощью фильтров позволяет умень шить ход с жесткостью приблизительно вдвое [166].
В работах [167—170] рассмотрены другие типы ППД с про порциональным усилением.
102
ППД с усилением в пробойном режиме
Геометрия таких ППД приведена на рис. 4.11,6. Он изго товлен по сплавной технологии. Область пробоя диаметром 2—15 мкм локализуется около конусообразной вершины. Высота слоя умножения не превышает 20—30 мкм (диаметр 2—15 мкм,
форма объема — приблизительно |
сферическая). |
уравнением |
|
Вольт-амперная |
характеристика описывается |
||
|
Іл = ( и - и М |
Лп + Я ^ |
(4-62) |
где /а — амплитуда |
обратного тока детектора; Rm — внутреннее |
||
сопротивление ППД в момент пробоя. |
|
||
Экспериментально полученная |
зависимость скорости счета |
||
от напряжения описывается формулой |
|
||
|
ne = AN0(U-U„)*, |
(4.63) |
|
где А — коэффициент, равный 1—1,2; /V0—-число |
неравновес |
ных носителей тока, образуемых излучением.
Чувствительный объем этого детектора незначителен и со ставляет всего 3-10-7 мм3. Поэтому нижний порог измеряемой мощности дозы—-порядка 0,01 рад/сек. Верхний предел изме ряемой мощности дозы определяется мертвым временем детек тора и составляет 0,01—0,1 р/сек.
Поскольку в пробойных ППД каждый носитель, попавший в объем умножения, приводит к появлению импульса на его выходе, число импульсов пропорционально числу быстрых элек тронов и «истинной» длине их пробега [158].
Основное преимущество этого типа детектора — большая амплитуда импульса на нагрузочном резисторе, что позволяет существенно упростить электронную схему счета числа им пульсов.
ГЛАВА 5
КОМБИНИРОВАННЫЕ ДЕТЕКТОРЫ
§ 5.1. ОСОБЕННОСТИ КОМБИНИРОВАННОГО ДЕТЕКТОРА
Основное преимущество комбинированного детектора по сравнению с ППД состоит в существенно большей чувствитель ности за счет увеличения чувствительного объема до несколь ких десятков кубических сантиметров при обеспечении стабиль ности в работе. Одновременно расширяются возможности изме нения хода с жесткостью и изготовления детектора с заданной конфигурацией.
При основном недостатке— меньшей дозовой чувствитель ности— комбинированный детектор обладает некоторыми пре имуществами по сравнению со сцинтмлляционными: а) мень шими габаритами и весом; б) нечувствительностью к магнитным полям; в) не требует источников питания высоким напряже нием; г) прост по конструкции; д) высокой надежностью.
§5.2. ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ЭЛЕМЕНТА И СЦИНТИЛЛЯТОРА
Для выбора компонентов комбинированного детектора не обходимо знать кривые спектральной чувствительности фотоэле ментов. Эти кривые определяются многими факторами: типом полупроводника, видом и количеством введенных примесей, материалом контактов, глубиной залегания р—п-перехода, нару шениями стехиометрии в образцах и др. Значительные измене ния спектральной характеристики для элементов, в зависимости, например, от глубины залегания р—«-перехода, видны из рис. 5.1 (кривые 6, 7, 8) [171]. Влияние напряжения смещения на спектральные характеристики поверхностно-барьерных детек торов представлено на рис. 5.1 (кривые 9, 10) [172]. На рис. 5.1 приведены типичные кривые для полупроводниковых элементов, наиболее часто используемых в сочетании со сцинтилляторами [173, 174, 175]. Все кривые характеризуются одним достаточно широким максимумом, имеющим обычно более крутой спад в длинноволновой части спектра. Характерно, что максимумы кри вых лежат в области длин волн ^>5000 А, что затрудняет их сочетание со многими сцинтилляторами.
104
Из других типов фотоэлементов заслуживают внимания си стемы с р—/г-переходом, включающим область с переменной шириной запрещенной зоны, в частности фотоэлемент на основе GaAs—GaP [176J. Фотоэлемент представляет собой комбина цию двух полупроводников (GaAs и GaP) с разной шириной запрещенной зоны, разделенных узкой областью, в которой ши-
Рис. 5.1. |
Спектры |
люминесценции |
«зеленого» |
пластмассового |
|||||||||||
сцинтиллятора |
(/), |
CsI(Tl) (4) |
и спектральная |
чувствительность |
|||||||||||
фотоэлементов; |
2 — сернистый |
кадмий; |
3 — селен; 5 — ФЭП |
из |
|||||||||||
арсенида галлия с глубиной залегания |
перехода |
d<10~4 см; |
6 — |
||||||||||||
то |
же, для |
d=10~4 слі; |
7 — кремниевый |
ФЭП; |
8 — то |
же, |
для |
||||||||
4>10-4 |
слі; |
9 — кремниевый |
поверхностно-барьерный |
детектор |
|||||||||||
без |
напряжения смещения; 10 — то |
же, при |
напряжении |
смеще |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
ния |
13 в. |
|
|
|
|
|
|
|
|
рина запрещенной |
зоны |
меняется |
от |
Eg= 2,25 эв |
(GaP) до |
||||||||||
£g=l,35 |
эв |
(GaAs). |
В |
зависимости |
|
от |
глубины |
|
залегания |
р—/2-перехода положение максимума спектральной чувстви тельности варьирует в широком диапазоне А,=4500—8500 Â. Отсюда следует возможность направленного изменения спек тральной чувствительности, что принципиально позволяет соче тать такие элементы с различными сцинтилляторами.
Как любую систему, состоящую из источника и приемника светового излучения [159], комбинированный детектор можно
характеризовать |
коэффициентом |
согласования спектральных |
|
характеристик |
|
^макс |
|
|
|
|
|
|
' |
J (iwCICMv<,2KCX^ |
|
„ |
2.МИН |
j |
|
ОС« |
|
Амане
I Ы ІасГ)х^
?.мнн
105
где |
(асц/ а ^ кс)ъ |
(аф/Яфакс)х — относительные спектральные |
|
характеристики сцинтиллятора и элемента |
соответственно; |
||
Лщш, Ямакс — границы спектра, длинноволновая |
граница спектра |
Ямакс определяется соотношением hc/K^Eg, поскольку генера ция носителей возможна только в случае, когда энергия фотона
превышает ширину запрещенной |
зоны. |
Согласование |
можно |
|||||||
считать |
удовлетворительным, |
если |
ас = 0,6. |
Однако |
для ком |
|||||
бинированных |
детекторов |
этого |
трудно |
добиться, |
поскольку |
|||||
у большинства |
сцинтилляторов |
максимум лежит |
в |
области |
||||||
Я = 4500 А и менее. |
|
неорганические |
сцинтилляторы: |
|||||||
Исключение |
составляют |
|||||||||
CsI(Tl) |
с Ямакс= 5800 А, |
CdS(Ag) |
с ЯМПкс= 7600 А, |
Lil(Sn) с |
Ямакс= 5300 А, а также CsI(Sm) с Ямакс= 7000-4-9000 А и У20з(Еи) с Ямакс= 6100 А [178].
Таким образом, выбор сцинтилляторов весьма ограничен. Наиболее подходящим для сочетаний с фотоэлементами на ос нове кремния и арсенида галлия является монокристалл CsI(Tl), а для сочетаний на основе сернистого кадмия и селена, кроме
указанного монокристалла, и пластмассовый |
сцинтиллятор |
(1,2-перинафтиленбензимидазол + паратерфенил в |
полистироле) |
с максимумом свечения в зеленой области спектра |
(см. рис. 5.1). |
Сцинтиллятор CsI(Tl) почти негигроскопичен, и его можно меха нически обрабатывать на открытом воздухе, он устойчив к меха ническим воздействиям (пластичен), обладает значительной плотностью, т. е. высокой эффективностью регистрации у-излу- чения, имеет высокий световой выход, легко выращивается в виде больших монокристаллов [179].
Недостатком пластического сцинтиллятора по сравнению с монокристаллом СэЦТЧ) является меньшая эффективность регистрации излучения, а преимуществом — простота механи ческой обработки. Из рассмотренных полупроводниковых и сцинтилляционных элементов в практике дозиметрических из мерений наибольшее применение получили детекторы на основе сочетания Si- и GaAs-фотопреобразователей со сцинтиллятором CsI(Tl). Их характеристики рассмотрены в § 5.4.
§ 5.3. СВЕТОПЕРЕДАЧА В КОМБИНИРОВАННОМ ДЕТЕКТОРЕ
Выбор элементов конструкции
Если в сцинтилляторе поглотилась энергия излучения Еп,
то в световую энергию преобразуется цЕц, |
где т| — конверсион |
|
ная эффективность сцинтиллятора. Спектр |
сцинтилляций |
прак |
тически не зависит от энергии излучения и определяется |
соста |
вом сцинтиллятора. Полагая среднюю энергию фотона рав ной Еф, получаем число образованных в сцинтилляторе фотонов
Мі> = г ) ^ . |
(5.1) |
•Сф |
|
106
В фотоэлемент попадает только часть фотонов, N$, равная, по определению, УѴф£, где g— эффективность собирания света сцинтиллятора фотоэлементом. Число образованных при этом в фотоэлементе пар электрон—дырка равно
|
V ~ |
ІУ, |
(5-2) |
|
£ Ф |
|
|
где у — квантовый выход |
внутреннего |
фотоэффекта, а число |
|
пар, дошедших до р—и-перехода |
фотоэлемента, — -р (Er/EtiOlyß |
||
(где ß — коэффициент собирания |
носителей тока). Отсюда об |
||
щий фототок |
|
|
|
/ |
= er) |
gyß. |
(5.3) |
Для сцинтиллятора площадью 5 и толщиной dcц (объем которого ѴСц=5-гісц) с учетом соотношения (1.43) и принимая во внимание, что при дозиметрических измерениях используется обычно режим короткого замыкания ФЭП, получаем дозовую чувствительность комбинированного детектора:
|
/к.зIP = |
en -Яш*- • |
Цигг^сц |
l/cuPcu| Yß. |
(5.4) |
|
|
Цптв |
|
|
|
Если |
между |
сцинтиллятором и |
фотопреобразователем |
||
имеется |
световод, |
то в формулу |
(5.4) |
добавляется |
множитель |
тсв — коэффициент светопередачи световода, в этом случае g —эффективность собирания света сцинтиллятора на приемной части световода.
Из-за ограниченного выбора сцинтилляторов и фотоэлемен тов для комбинированного детектора величина ряда множите лей является, по существу, заданной (г), рсц, V, ß). Значения величин Ѵсц, dczx определяются, как правило, решаемыми задачами (например, размеры детектора определяются требо ваниями клинической дозиметрии). В широких пределах при разработке комбинированного детектора можно влиять лишь на величину эффективности собирания света g, зависящую от геометрии детектора, материалов отражателя, качества оптиче ского контакта.
Существует два метода повышения эффективности регистра ции света сцинтиллятора. В первом создаются условия полного внутреннего отражения фотонов за счет выбора формы и поли ровки сцинтиллятора. Такое отражение света легко осуществить у пластмассовых сцинтилляторов из-за простоты их механиче ской обработки. Во втором — поверхность делается шерохова той и покрывается диффузно отражающим материалом. Так упаковывается монокристалл CsI(Tl), используемый в боль шинстве комбинированных детекторов.
Процесс светопередачи в системе сцинтиллятор—фотоэлемент при диффузном отражении рассмотрен Феном [6], устано-
107
вившим, что эффективность £ собирания света фотопреобразо вателем равна
ап^ф |
|
|
1 |
(5.5) |
So |
1 Лот ( |
1 |
|
anS([l \ |
|
So ) |
|||
|
V |
|
|
где ап— вероятность поглощения фотона преобразователем, если он попадает на площадь 5Ф— площадь окна сцинтиллятора, равная площади фотопреобразователя; 50 — полная площадь
Рис. |
5.2. Зависимость тока / ф |
комбинирован |
ного |
детектора от отношения |
диаметра £>сц |
сцинтиллятора к диаметру £>ф фотоэлемента; |
||
кривые 1, 2, 3, 4, 5 рассчитаны при значениях |
||
Лот, |
равных соответственно 0,5; |
0,8; Q.9; 0,95; 1; |
X —■эксперимент.
поверхности сцинтиллятора; т|от — коэффициент диффузного от ражения материала, в который упакован сцинтиллятор.
Формула (5.5) выведена в предположении, что после каж дого внутреннего диффузного отражения вероятность попадания фотона на площадь S<i> равна 5ф/5 0 и поглощением фотонов в сцинтилляторе можно пренебречь. Это предположение осуществ ляется для сцинтилляторов достаточно малых размеров и обыч но на практике выполняется.
На рис. 5.2 приведены кривые зависимости относительных
значений |
тока /ф комбинированного детектора C sI(T l)+ Si |
(/ф=///о, |
где / о — ток детектора, когда диаметр сцинтиллятора |
равен диаметру фотоэлемента) от отношения диаметра сцинтил лятора 0 Сц к диаметру фотоэлемента Дф [181].. Кривые 1^-5 рассчитаны по формуле (5.4) с учетом значений | по формуле (5.5) при величине ап=0,4. Данное значение ап взято из работы [180] и соответствует случаю, когда в качестве материала
108
оптического контакта используется силиконовое масло. Значе ние 5ф при расчете принималось равным 5ф = 5 0/2. Эксперимен тальные точки показаны на рис. 5.2 крестиками (измерения с отражателем).
Расхождение между расчетными и опытными данными не превышает 50—100%. Это можно считать удовлетворительным, учитывая приближенность самой формулы Фена и погрешность в значениях исходных данных (т|, ап) для расчета.
Как видно из рис. 5.2, в условиях полного отражения (■Пот=1) существует параболическая зависимость между током фотоэлемента и диаметром сцинтиллятора (т. е, линейная зави симость между током и площадью сцинтиллятора, обращенной к фотоэлементу). При г|от=?М зависимость /ф= [ (S) близка к линейной лишь до тех пор, пока диаметр сцинтиллятора не превышает диаметр фотопреобразователя. При дальнейшем увеличении размеров сцинтиллятора существенное отклонение от линейности обусловлено уменьшением эффективности соби рания света от периферийных участков сцинтиллятора. Расчет показывает, что при использовании материалов с высоким коэффициентом отражения (цот^ОД) допустимо некоторое увеличение диаметра сцинтиллятора по отношению к диаметру. фотопреобразователя (до 1,3—1,5 раза).
Уменьшение Эффективности собирания света при удалении облучаемого участка сцинтиллятора от края фотоэлемента значительно замедляется с ростом отражательной способности покрытия.
Из анализа формулы (5.5) следует, что при значении коэф фициента диффузного отражения Цот, равном 1, имеет место полное светособирание (£=1), независимо от величины
On (^l)/So) ■
Для улучшения качества оптического контакта необходимо, чтобы между сцинтиллятором и фотоэлементом находился ма териал, коэффициент преломления пм которого был бы проме жуточным между коэффициентом преломления вещества сцин тиллятора «сц и вещества фотоэлемента Пф. Оптимальную величину пм определяют из соотношения [182]
«м = V ЯфЛсд • |
(5 -6 ) |
Коэффициент преломления фотоэлемента на основе кремния или арсенида галлия с ' травленой чувствительной поверх ностью составляет 3,5—4 [171, 183].
В выпускаемых фотоэлементах принимают специальные ме ры для уменьшения световых потерь на отражение нанесением одного или нескольких «просветляющих» слоев на чувствитель ную поверхность фотоэлемента. Коэффициент преломления такого слоя определяется также в соответствии с (5.6), где псц заменяют 1, и составляет около 1,8—2,0. Коэффициент прелом
109