
книги из ГПНТБ / Власов, А. Г. Методы расчета эмиссионных электронно-оптических систем
.pdfФункцию Ri (Z) представим в виде
|
|
Ri(Z) = |
f0(Z) |
S |
|
(302) |
|
|
|
1 + Е U n{2) |
|||||
где \ п (Z) (п = |
|
|
|
п=1 |
|
|
|
1, |
2, 3, |
. . .) — система функций, |
полная в том же |
||||
пространстве |
L 2 |
(Z0, |
Zx); |
ß„— неизвестные |
коэффициенты; |
||
функции |
могут также совпадать с ф„ |
или срп; / 0 (Z) — некая |
|||||
известная функция, введенная только для |
удобства вычислений, |
о чем подробнее будет сказано в § 17.
Сумма (302), вообще говоря, ни при каких значениях коэф фициентов ß„ не является решением уравнения (230), в котором h (Z) и U (Z) выражены согласно (300) и (301)1.
Формулу (301) можно рассматривать лишь как приближение истинного решения с помощью суперпозиции линейно независи мых функций. Поэтому при подстановке (300), (301) и (302) в (230)
правая |
часть |
уравнения равна не нулю, а некоторой функции |
0. |
(Z, |
ö2, • • 'f ^pi &If б2, ■• 'f ^ijf ßl> ß2» ■• •» ßs)‘ |
Чтобы вычислить коэффициенты аберраций Gk, необходимо знать не только осевое распределение поля и решение Ri (Z) урав нения (230), но и решение R 2 (Z), линейно независимое с первым. Вообще говоря, это второе решение выражается через первое ре шение с помощью вронскиана уравнения (230). При начальных условиях (238) выражение для вронскиана принимает вид
Ri (Z) R3(Z) - Rl (Z) R3(Z) = - |
У |
, |
(303) |
и R 2 (Z) можно найти интегрированием уравнения (303). |
|
||
Введем еще функцию |
|
|
|
/ |
Р |
/і (Z) dz |
(304) |
8(аъ а2, . . ., ар, Ьъ b2, . . . , b q) = a -j- n i l |
— ] |
- — |
|
|
|
1Z u (Z) |
|
' |
І о |
|
|
Теперь условие 4, выраженное формулой (298), сводится к ли нейному алгебраическому уравнению относительно коэффициентов поля ап, а условия 1 и 2 — к системе двух алгебраических урав нений относительно неизвестных ß„.
Условия 3 и 5 записываем в виде
б (аъ а,, . . ., ар, Ьъ |
Ь2, . . ., bq) = |
0, |
(305) |
Gk{au а2, ..., ар, Ьъ Ьъ . .., |
Ьф ßb ß2, ..., |
ßs) = 0. |
(306) |
Таким образом, условия 1, 2 и 4 свелись к линейным алгебраи ческим уравнениям. Уравнения (295) и (296) позволяют предста вить два из коэффициентов ß,- в виде линейной комбинации осталь ных.
1 Так как каждое из слагаемых суммы (302) не является решением урав нения (230), а число слагаемых конечно.
ПО
Уравнение (303) допускает то же самое относительно коэф фициентов at. Значения оставшихся независимыми коэффициен тов определяем из условия минимума функционала
Z,
F = р1 [ Q dZ -|- рф |
-\-рз ^ Gfe) |
(307) |
Іо |
k |
|
где Q — по-прежнему невязка параксиального уравнения; р и р.г |
||
и рз — весовые множители, которые |
выбираются |
в зависимости |
от специфики задачи. Для определения этих значений коэффи циентов поля применим, например, метод нелокального поиска минимума выражения (307), предложенный в работе [24]. В ка честве функций ф„, ф„ и %п в выражениях (300), (301) и (302) удобно принять степенные функции. В этом случае в формуле (302)
/о (Z) = У U0ZIE0, как это следует из (231).
Если известно поле, которое обеспечивает свойства изобра жения, близкие к заданным, то целесообразно принять его за нулевое приближение в решении задачи (294) и линеализовать ее, отыскивая локальный минимум соответствующих функционалов вблизи выбранного, как указано выше, нулевого приближения. Эта постановка задачи, вообще говоря, самая надежная, тоже пред ставляет собой некую регуляризацию некорректной задачи (294) и тоже будет рассмотрена в этой главе.
Если лучи выразить через форму (231), а ошибки изображе ния — через производные поля в центре катода Е {, то функцио нал F станет чисто алгебраической формой этих производных. Если, далее, за функции фг, срг и £г принять степенные функции, то окажется, что в (301) коэффициенты Ьп — п\ Еп. Коэффициенты луча и поля, т. е. а,,, Ьп и ß„ связаны в этом случае системами уравнений (235) и (237).
Таким образом, задача минимизации функционала F сводится
кминимизации алгебраической формы. Наиболее сложен вопрос
оналожении связей и ограничений на коэффициенты (или функции от них) в процессе поиска. Нами используется следующий прием
[52].Если наложена связь
h ( К Ei) § ck,
то в выражение (300) для минимизируемой функции вводится сла
гаемое —J - - —r^-, где е„ — весовой множитель, подбираемый в про-
\fk ' Ek)
цессе решения задачи.
§16. Общие методы расчета источников поля
впроцессе решения обратной задачи
Расчет источников потенциального поля. О том, что задача продолжения поля с оси симметрии неустойчива, было сказано во введении. Наиболее эффективный метод ее регуляризации, хотя
ЛІ
и обладающий ограниченными возможностями, состоит в том, чтобы заранее выбрать систему электродов простой формы, по зволяющую приблизить найденное распределение потенциала. Та кой системой могут быть, например, узкие кольца, соосные с осью симметрии. Выбрав систему из т колец, помещенных между ка тодом и анодом, обозначим через U{ потенциал этой системы элек тродов на оси, когда на t-м кольце задан потенциал, равный единице, а на остальных электродах— равный нулю. Через Uü обо значим потенциал этой системы электродов на оси, когда на аноде потенциал задан равный единице, а на всех остальных электро дах —• равный нулю.
Приняв во внимание линейность уравнения Лапласа, мы мо жем утверждать что функция U (С1; С2, . . ., Ст, Z), которую определим как
т |
|
и{Си Сг....... Cm,Z) = Е е д + СУ«, |
(308) |
/=1 |
|
соответствует осевому потенциалу системы колец, каждое і-е из которых заряжено до потенциала С,-.
С помощью функций Ul можно приближать осевой потенциал, рассчитанный минимизацией F, варьируя Сс по методу наимень ших квадратов.
Вернемся к рис. 4, на котором представлено меридиональное сечение системы электродов, состоящих из набора трех колец описанного выше типа, катода и анода, и к рис. 5, на котором показан уже обсуждавшийся в § 2 результат приближения функ ции U Напомним, что рисунки иллюстрировали методы регу ляризации, о которых говорилось в § 2. Функция U2соответствует единичному потенциалу второго кольца и нулевому потенциалу остальных электродов. Приближение поля, изображенного на рисунке, выполнялось по формуле (19), причем коэффициенты определялись методом наименьших квадратов, а затем поле усред нялось по Фейеру, как это показано в формуле (36), что позволяло одновременно и сглаживать поле и улучшать процесс прибли жения.
На рис. 26 приведены для иллюстрации аналогичные окон чательные результаты, полученные при вычислении функций U1 и U3в этой системе. Пример приближения заданного оптимального поля посредством вычисленных функций і/(. (і = 0, 1, 2, 3, . . .) будет подробно рассмотрен в § 19.
Можно ввести функции U{ в качестве функций ф„ в разложение потенциала (301) и сразу определить коэффициенты С( из условия минимума функционала F. Однако такой процесс усложняет про цесс минимизации, хотя и не требует решения дополнительной задачи о приближении рассчитанного поля. Каждая из функций Ul может быть вычислена одним из методов, рассмотренных в § 5, и введена в программу минимизации функционала в виде таб лицы.
1)2
Расчет магнитных катушек. При этом расчете можно посту пать так же, как при расчете электродов, но приближение магнит ных полей подбором силы источников, каждым из которых является электромагнитная катушка, •— задача более устой чивая.
Большая устойчивость решения в задаче приближения катуш ками заданного магнитного поля объясняется тем, что поле от дельной короткой катушки, даже при наличии ферромагнитной
брони на ней, слабо влияет на распределение поля других кату шек, т. е. источники практически независимы, а поля их почти аддитивны. При наличии брони это свойство катушек неочевидно, но хорошо подтверждается экспериментально и объясняется тем, что в системах, применяемых на практике, зазоры в броне, окру жающей обмотку, малы, и поле быстро затухает вдоль оси при удалении от центра катушки.
В том случае, если электромагнитная обмотка катушек лишена брони, токи отдельных катушек совсем не зависят от поля осталь ных источников, а поле каждой катушки с равномерной по сече нию обмоткой известно в аналитическом виде. Устойчивость ре шения резко падает при очень больших градиентах приближае мого поля.
При этом решение задачи может привести к очень боль шим, не реализуемым на практике, значениям токов в от дельных катушках. Тогда задача требует регуляризации, как из ложено, например, в § 2.
При минимизации накладываются ограничения на величину токов и производных поля.
Пусть, например, имеется М небронированных цилиндриче ских катушек. Поле каждой катушки линейно зависит от плот ности тока в обмотке, которую можно изменять, так что
8 Д. Г . Власов |
113 |
Н , п (z ) = хтАт(/
где Нт (Z) — напряженность на оси поля т-го источника; хт — варьируемый параметр — плотность тока в обмотке; I — длина катушки; г и R — соответственно внутренний и внешний радиусы обмотки.
Выберем на отрезке оси OZnN + 1 точку с координатами 0, Zb Z2, . . ., ZN. Введем обозначение Апт — А т (Zn) и составим функ цию
N М 2 М
Fo (м> -И» ■• Ми) — |
Рп Hti (Zn) |
AmnxlІт?ілт |
|
|
т = 1 |
|
|
(309) |
где а — параметр регуляризации; |
Н 0 (Z) — заданное распреде |
|
ление напряженности; |
рп — весовой множитель, который позво |
ляет приближать напряженность поля к заданной на некоторых
участках |
значительно |
точнее, чем на |
остальных. Параметры |
хт (т = 0, |
1, 2, . . ., |
М) определяются |
из условия мини |
мума (309). Минимизация приводит к системе линейных алгебраи ческих уравнений
м
где
N N
Последняя система симметрична относительно главной диа гонали, что облегчает ее решение, которое осуществляется для последовательности значений параметра а, причем а >0. На пример, за а можно принимать числа последовательности 1/2" (п =
— 1, 2, 3, . . .). При уменьшении а допустимые значения хт воз растают. За окончательное решение принимается решение си стемы (3.10) при том наименьшем значении а, при котором соблю даются условия хт < хтах (т = 1 , 2, 3, . . ., М), где хтах— наибольшее допустимое значение тока.
Изложенный метод позволяет также приближать напряжен ность поля на оси вместе с производной. Это полезно и в тех слу чаях, когда заданное распределение поля должно выдерживаться
114
не только на оси, но и в ее окрестности, в связи с чем желательно сгладить осцилляции вокруг заданной кривой, хотя бы и за счет точности приближения самой функции.
В этих случаях минимизируют выражение
|
|
|
N |
|
|
N |
|
|
|
Р і ( Х і , Х 2, . . |
, , х м ) = |
Ц р п |
Я 0 {^п) |
т=1 |
Аптхт |
+ |
|||
|
|
|
п = О |
|
|
|
|
||
|
|
N |
|
|
М |
|
1 а |
(311) |
|
|
+ |
п=ОРп |
Но (Zn) |
т—1В Птхт |
|
|
|||
где Впт = |
Ат (Z) |
|z=zn\ |
|
|
|
|
|
|
|
р'п, так же, |
как и рп, — |
|
|
|
|
|
|
|
|
весовой множитель. |
|
|
|
|
|
|
|
||
Иллюстрацией |
предло |
|
|
|
|
|
|
|
|
женного метода могут слу |
|
|
|
|
|
|
|
||
жить следующие примеры. |
|
|
|
|
|
|
|
||
В качестве источников |
|
|
|
|
|
|
|
||
поля были |
выбраны семь |
Рис. |
27. |
Система . катушек, приближающая |
|||||
одинаковых |
цилиндриче |
|
|
|
заданное поле |
|
ских катушек, относитель ные размеры которых ясны из рис. 27. Приближали поле, имев
шее заданный характер на отрезке оси длиной 5/7 от длины си стемы. Ниже приведены данные расчета однородного единичного
поля. За единицу длины |
была принята общая длина линзы, |
||
а координату Z отсчитывали от центра линзы, |
относительно кото |
||
рого поле симметрично. |
|
|
|
Z |
Н (Z) |
Z |
H( Z) |
1/42 |
0,998 |
9/42 |
0,997 |
3/42 |
1,000 |
11/42 |
0,997 |
5/42 |
1,000 |
13/42 |
1,000 |
7/42 |
1,000 |
15/42 |
1,000 |
Минимизировали функцию (311), причем рассчитывали случай: Рп = 100, рп — 1. На рис. 28 видны результаты приближения с помощью тех же катушек распределения напряженности, имев шего вид прямоугольного импульса, — случай, наиболее трудный для приближения каким бы то ни было математическим методом. Приведены результаты расчета для двух случаев:
а) рп = 1; р'п = 0; б) рп = 1, р'п = 1.
Предложенный метод может быть применен для расчета маг нито-оптической скамьи, моделирующей заданное распределение поля на оси. Такая скамья должна состоять из системы коакси альных многосекционных катушек. Секции каждой катушки должны иметь различные плотности намотки, подлежащие вы числению. Соединяются секции последовательно.
8* |
115 |
Искомые плотности в k-тк катушке рассчитывают по методу наименьших квадратов так, чтобы поле этой катушки на заданном отрезке оси возможно точнее приближало k-ю функцию из орто гональной системы, например k-й полином Лежандра. Тогда для моделирования любого заданного поля Н (Z) достаточно во всех катушках задать токи, пропорциональные коэффициентам раз ложения Н (Z) по полиномам Лежандра.
Расчет источников поля, содержащих ферромагнетик. Осуще ствить приближение поля катушками без брони значительно труд нее, чем бронированными. Поставим в общем виде задачу расчета
H(z)
1,2г
\
Л7/П
Z
Рис. 28. Распределение точного и приближенного полей
плотности тока (плотности обмотки), обтекающего ферромагнетик заданной формы и обеспечивающего заданное распределение маг нитного поля в определенной области пространства. Рассмотрим задачу в двумерном случае, включающем и осесимметричные за дачи.
Пусть область S заполнена ферромагнетиком (магнитная про
ницаемость р = оо), |
так |
что магнитостатический |
потенциал |
||
Ф (М) (М с S) |
постоянен |
(М — точка области S). |
Считаем за |
||
данными условия U (М) при М |
оо. Задана также гармониче |
||||
ская функция f |
(M'), |
где М' С S 0, |
а 5 0— некая двумерная об |
ласть, не имеющая общих точек с областью 5.
Для решения задачи в области S задаем фиктивную плотность магнитных масс т (М), которая удовлетворяет условию
(312)
5
116
Плотность т (М) определяется вариационным методом, напри мер из условия минимума функции
т (М) |
(313) |
F2 1 [ ц л п Ч\ М — М'\ |
Если функцию т (М ) представить в виде линейной комбинации ортонормированных компонент cpft одной из систем, полных в про странстве непрерывных функций, заданных на S, то
т (М )= £С*ф*(М), |
(314) |
k=l |
|
Рис. 29. Сечение бро |
Рис. 30. Распределение напряженности магнит |
нированной фокуси |
ного поля на оси бронированной фокусирующей |
рующей электромаг |
электромагнитной катушки |
нитной катушки
причем |
коэффициенты Ск определяются из условия минимума |
F 2 (Сь |
С2, . . ., Сдг), где F 2 определяется формулой (313). |
После этого, основываясь на единственности решения задачи Дирихле, на условии (312) и граничном условии для ферромагне
тиков |
|
|
|
|
|
п X V Ф |г = j, |
(315) |
где Г — контур |
области |
S; п — нормаль к контуру; |
j — плот |
ность тока на Г, |
можно, |
вычислив Ѵ|ГФ, найти плотность тока j, |
который, обтекая ферромагнетик, заполняющий S, обеспечит вы полнение условия (313).
При несложных расчетах целесообразно использовать прибли женный подход. Для этого поле отдельной бронированной ка тушки типичной формы (рис. 29) вычисляют на оси по одному из методов, изложенных в § 5.
Как уже было там отмечено, взаимным влиянием катушек, ввиду быстрого убывания поля, можно пренебречь. Характер убывания поля иллюстрируется рис. 30.
Обычно в эмиссионных линзах поле ферромагнетика, как показывает опыт, находится в режиме, далеком от насыщения.
117
При этом поле бронированной катушки линейно зависит от тока в обмотке. Приближение заданного на оси поля осуществляют теми же методами, которые описаны для небронированных ка тушек; коэффициенты Апт в функции F,, или Flt определяемые по формуле (309) или (311) соответственно, используют при расчете
ввиде таблицы.
§17. Примеры расчета эмиссионных систем методом минимизации функционалов
Расчет магнитны х линз. В качестве примера применения ме тодов, изложенных выше, рассмотрим расчет магнитных линз для многокаскадных электронно-оптических преобразователей, применяемых в современных приборах типа «лупа времени». Та кие приборы используются для регистрации быстропротекающих процессов, например при плазменных исследованиях.
Современные электронно-оптические преобразователи, пред назначенные для плазменных исследований, в частности усили тели света для камер сверхскоростного фотографирования, должны обладать рядом особенностей: рабочая часть их фотокатода должна иметь большой диаметр, часто сравнимый с их длиной, поле зре ния должно быть широким, прибор должен обладать высокой разрешающей способностью по всему полю зрения. К электрон ному изображению предъявляются очень высокие требования в от ношении правильности его геометрических пропорций, что дик туется особенностями проводимых на этих приборах измерений. Так, не допускаются линейная и анизотропная дисторсии электрон ного изображения; последнее должно быть четким по всему полю зрения.
В § 12 уже было показано, что дисторсия и средняя кривизна изображения приводят к основным аберрациям катодных линз и поэтому должны исправляться в первую очередь. Ниже приведен расчет одного класса усилителей света, предназначенных для указанных выше целей.
В качестве электростатической камеры, которая в данном случае не рассчитывается, выбрана хорошо разработанная элек тростатическая линза. Она состоит из двух электродов, образую щих рассеивающее электростатическое поле, способное сформиро вать электронное изображение только в магнитном поле. График электростатического потенциала на оси одной камеры линзы при веден на рис. 31.
Рассчитываются только магнитные линзы для камер такого типа, работающих в качестве каскадов усиления света, соединен ных по принципу оптического контакта. Конструирование элек тронной линзы, создающей изображение с заданными свойствами, осуществляют, как указывалось во введении, в три этапа; сначала рассчитывают поле, создающее электронное изображение с задан ными свойствами, затем — источники поля (в данном случае элек
118
тромагниты), которые его реализуют, и, наконец, окончательно проверяют качество изображения, сформированного полученной системой источников.
Первую задачу решают посредством рассмотренного в § 15 метода минимизации функционала, позволяющего по наперед за данным характеристикам электронного изображения рассчитывать формирующее его распределение магнитного поля вдоль оси сим метрии линзы. При этом задаются как геометрические характери стики (увеличение, положение плоскости изображения, угол его
поворота) так и аберрации. |
магнитного |
|
|
|
|
|
||||||||
Искомое |
распределение |
u(Z,0) |
|
|
|
|
||||||||
поля |
записывают |
в |
виде |
(300), |
где за |
|
|
|
|
|
||||
функции |
|
(п = |
0, 1, 2, . |
. ., р) приняты |
|
|
|
|
|
|||||
функции Zn. Такой же вид имеют функ |
|
|
|
|
|
|||||||||
ции |
\ п |
(Z) |
в |
разложении |
луча |
(302). |
|
|
|
|
|
|||
К изображению предъявляются требова |
|
|
|
|
|
|||||||||
ния, |
выраженные уравнениями (295), (296) |
|
|
|
|
|
||||||||
и (299). |
|
|
|
них определяют поло |
|
|
|
|
|
|||||
Первые два из |
|
|
|
|
|
|||||||||
жение плоскости изображения и увеличе |
|
|
|
|
|
|||||||||
ние. |
Положение |
плоскости |
изображения |
|
|
|
|
|
||||||
определяется |
длиной |
электростатической |
Рис. |
31. |
Распределение |
|||||||||
камеры, |
а требуемая |
величина увеличе |
электростатического |
по |
||||||||||
ния |
принята |
равной единице. |
|
тенциала |
на |
оси |
уско |
|||||||
Условие (299) относится к коэффициен |
|
ряющей камеры |
||||||||||||
там |
аберраций. |
Мы |
уже |
отмечали, что |
|
данном |
случае, |
|||||||
главные |
из |
них — коэффициенты |
дисторсий (в |
|||||||||||
анизотропной и изотропной) |
и средней кривизны поля изображе |
ния. К этому требованию полезно добавить, во всяком случае при расчете поля в первом приближении, требования некоторой периодичности поля, и именно
Н (0) = я (0, |
(316) |
где / — длина каскада усиления. Это |
обеспечивает одинаковые |
ускоряющие потенциалы в различных каскадах, что технически наиболее целесообразно.
Как видно из рис. 31, электростатическое поле ускоряющей камеры однородно на протяжении значительной части линзы, примыкающей к катоду.
Выражения (295), (296) и (316) представляют собой линейные алгебраические уравнения относительно коэффициентов луча ß„ в разложении (302). Для записи коэффициентов аберраций дисторсии и кривизны в данном случае не использовались формулы (272) ввиду их громоздкости и трудностей, возникающих при вычисле нии входящих в них интегралов из-за необходимости выделять особенности на нижнем пределе в подынтегральных функциях. Однако класс электромагнитных линз, о котором идет речь,
119