Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Власов, А. Г. Методы расчета эмиссионных электронно-оптических систем

.pdf
Скачиваний:
20
Добавлен:
19.10.2023
Размер:
6.53 Mб
Скачать

Функцию Ri (Z) представим в виде

 

 

Ri(Z) =

f0(Z)

S

 

(302)

 

 

1 + Е U n{2)

где \ п (Z) (п =

 

 

 

п=1

 

 

1,

2, 3,

. . .) — система функций,

полная в том же

пространстве

L 2

(Z0,

Zx);

ß„— неизвестные

коэффициенты;

функции

могут также совпадать с ф„

или срп; / 0 (Z) — некая

известная функция, введенная только для

удобства вычислений,

о чем подробнее будет сказано в § 17.

Сумма (302), вообще говоря, ни при каких значениях коэф­ фициентов ß„ не является решением уравнения (230), в котором h (Z) и U (Z) выражены согласно (300) и (301)1.

Формулу (301) можно рассматривать лишь как приближение истинного решения с помощью суперпозиции линейно независи­ мых функций. Поэтому при подстановке (300), (301) и (302) в (230)

правая

часть

уравнения равна не нулю, а некоторой функции

0.

(Z,

ö2, • • 'f ^pi &If б2, ■• 'f ^ijf ßl> ß2» ■• •» ßs)‘

Чтобы вычислить коэффициенты аберраций Gk, необходимо знать не только осевое распределение поля и решение Ri (Z) урав­ нения (230), но и решение R 2 (Z), линейно независимое с первым. Вообще говоря, это второе решение выражается через первое ре­ шение с помощью вронскиана уравнения (230). При начальных условиях (238) выражение для вронскиана принимает вид

Ri (Z) R3(Z) - Rl (Z) R3(Z) = -

У

,

(303)

и R 2 (Z) можно найти интегрированием уравнения (303).

 

Введем еще функцию

 

 

 

/

Р

(Z) dz

(304)

8(аъ а2, . . ., ар, Ьъ b2, . . . , b q) = a -j- n i l

— ]

- —

 

 

1Z u (Z)

 

'

І о

 

 

Теперь условие 4, выраженное формулой (298), сводится к ли­ нейному алгебраическому уравнению относительно коэффициентов поля ап, а условия 1 и 2 — к системе двух алгебраических урав­ нений относительно неизвестных ß„.

Условия 3 и 5 записываем в виде

б (аъ а,, . . ., ар, Ьъ

Ь2, . . ., bq) =

0,

(305)

Gk{au а2, ..., ар, Ьъ Ьъ . ..,

Ьф ßb ß2, ...,

ßs) = 0.

(306)

Таким образом, условия 1, 2 и 4 свелись к линейным алгебраи­ ческим уравнениям. Уравнения (295) и (296) позволяют предста­ вить два из коэффициентов ß,- в виде линейной комбинации осталь­ ных.

1 Так как каждое из слагаемых суммы (302) не является решением урав­ нения (230), а число слагаемых конечно.

ПО

Уравнение (303) допускает то же самое относительно коэф­ фициентов at. Значения оставшихся независимыми коэффициен­ тов определяем из условия минимума функционала

Z,

F = р1 [ Q dZ -|- рф

-\-рз ^ Gfe)

(307)

Іо

k

 

где Q — по-прежнему невязка параксиального уравнения; р и р.г

и рз — весовые множители, которые

выбираются

в зависимости

от специфики задачи. Для определения этих значений коэффи­ циентов поля применим, например, метод нелокального поиска минимума выражения (307), предложенный в работе [24]. В ка­ честве функций ф„, ф„ и %п в выражениях (300), (301) и (302) удобно принять степенные функции. В этом случае в формуле (302)

/о (Z) = У U0ZIE0, как это следует из (231).

Если известно поле, которое обеспечивает свойства изобра­ жения, близкие к заданным, то целесообразно принять его за нулевое приближение в решении задачи (294) и линеализовать ее, отыскивая локальный минимум соответствующих функционалов вблизи выбранного, как указано выше, нулевого приближения. Эта постановка задачи, вообще говоря, самая надежная, тоже пред­ ставляет собой некую регуляризацию некорректной задачи (294) и тоже будет рассмотрена в этой главе.

Если лучи выразить через форму (231), а ошибки изображе­ ния — через производные поля в центре катода Е {, то функцио­ нал F станет чисто алгебраической формой этих производных. Если, далее, за функции фг, срг и £г принять степенные функции, то окажется, что в (301) коэффициенты Ьп — п\ Еп. Коэффициенты луча и поля, т. е. а,,, Ьп и ß„ связаны в этом случае системами уравнений (235) и (237).

Таким образом, задача минимизации функционала F сводится

кминимизации алгебраической формы. Наиболее сложен вопрос

оналожении связей и ограничений на коэффициенты (или функции от них) в процессе поиска. Нами используется следующий прием

[52].Если наложена связь

h ( К Ei) § ck,

то в выражение (300) для минимизируемой функции вводится сла­

гаемое —J - - —r^-, где е„ — весовой множитель, подбираемый в про-

\fk ' Ek)

цессе решения задачи.

§16. Общие методы расчета источников поля

впроцессе решения обратной задачи

Расчет источников потенциального поля. О том, что задача продолжения поля с оси симметрии неустойчива, было сказано во введении. Наиболее эффективный метод ее регуляризации, хотя

ЛІ

и обладающий ограниченными возможностями, состоит в том, чтобы заранее выбрать систему электродов простой формы, по­ зволяющую приблизить найденное распределение потенциала. Та­ кой системой могут быть, например, узкие кольца, соосные с осью симметрии. Выбрав систему из т колец, помещенных между ка­ тодом и анодом, обозначим через U{ потенциал этой системы элек­ тродов на оси, когда на t-м кольце задан потенциал, равный единице, а на остальных электродах— равный нулю. Через обо­ значим потенциал этой системы электродов на оси, когда на аноде потенциал задан равный единице, а на всех остальных электро­ дах —• равный нулю.

Приняв во внимание линейность уравнения Лапласа, мы мо­ жем утверждать что функция U (С1; С2, . . ., Ст, Z), которую определим как

т

 

и{Си Сг....... Cm,Z) = Е е д + СУ«,

(308)

/=1

 

соответствует осевому потенциалу системы колец, каждое і-е из которых заряжено до потенциала С,-.

С помощью функций Ul можно приближать осевой потенциал, рассчитанный минимизацией F, варьируя Сс по методу наимень­ ших квадратов.

Вернемся к рис. 4, на котором представлено меридиональное сечение системы электродов, состоящих из набора трех колец описанного выше типа, катода и анода, и к рис. 5, на котором показан уже обсуждавшийся в § 2 результат приближения функ­ ции U Напомним, что рисунки иллюстрировали методы регу­ ляризации, о которых говорилось в § 2. Функция U2соответствует единичному потенциалу второго кольца и нулевому потенциалу остальных электродов. Приближение поля, изображенного на рисунке, выполнялось по формуле (19), причем коэффициенты определялись методом наименьших квадратов, а затем поле усред­ нялось по Фейеру, как это показано в формуле (36), что позволяло одновременно и сглаживать поле и улучшать процесс прибли­ жения.

На рис. 26 приведены для иллюстрации аналогичные окон­ чательные результаты, полученные при вычислении функций U1 и U3в этой системе. Пример приближения заданного оптимального поля посредством вычисленных функций і/(. = 0, 1, 2, 3, . . .) будет подробно рассмотрен в § 19.

Можно ввести функции U{ в качестве функций ф„ в разложение потенциала (301) и сразу определить коэффициенты С( из условия минимума функционала F. Однако такой процесс усложняет про­ цесс минимизации, хотя и не требует решения дополнительной задачи о приближении рассчитанного поля. Каждая из функций Ul может быть вычислена одним из методов, рассмотренных в § 5, и введена в программу минимизации функционала в виде таб­ лицы.

1)2

Расчет магнитных катушек. При этом расчете можно посту­ пать так же, как при расчете электродов, но приближение магнит­ ных полей подбором силы источников, каждым из которых является электромагнитная катушка, •— задача более устой­ чивая.

Большая устойчивость решения в задаче приближения катуш­ ками заданного магнитного поля объясняется тем, что поле от­ дельной короткой катушки, даже при наличии ферромагнитной

брони на ней, слабо влияет на распределение поля других кату­ шек, т. е. источники практически независимы, а поля их почти аддитивны. При наличии брони это свойство катушек неочевидно, но хорошо подтверждается экспериментально и объясняется тем, что в системах, применяемых на практике, зазоры в броне, окру­ жающей обмотку, малы, и поле быстро затухает вдоль оси при удалении от центра катушки.

В том случае, если электромагнитная обмотка катушек лишена брони, токи отдельных катушек совсем не зависят от поля осталь­ ных источников, а поле каждой катушки с равномерной по сече­ нию обмоткой известно в аналитическом виде. Устойчивость ре­ шения резко падает при очень больших градиентах приближае­ мого поля.

При этом решение задачи может привести к очень боль­ шим, не реализуемым на практике, значениям токов в от­ дельных катушках. Тогда задача требует регуляризации, как из­ ложено, например, в § 2.

При минимизации накладываются ограничения на величину токов и производных поля.

Пусть, например, имеется М небронированных цилиндриче­ ских катушек. Поле каждой катушки линейно зависит от плот­ ности тока в обмотке, которую можно изменять, так что

8 Д. Г . Власов

113

Н , п (z ) = хтАт(/

где Нт (Z) — напряженность на оси поля т-го источника; хт — варьируемый параметр — плотность тока в обмотке; I — длина катушки; г и R — соответственно внутренний и внешний радиусы обмотки.

Выберем на отрезке оси OZnN + 1 точку с координатами 0, Zb Z2, . . ., ZN. Введем обозначение Апт — А т (Zn) и составим функ­ цию

N М 2 М

Fo (м> -И» ■• Ми) —

Рп Hti (Zn)

AmnxlІт?ілт

 

 

т = 1

 

 

(309)

где а — параметр регуляризации;

Н 0 (Z) — заданное распреде­

ление напряженности;

рп — весовой множитель, который позво­

ляет приближать напряженность поля к заданной на некоторых

участках

значительно

точнее, чем на

остальных. Параметры

хт (т = 0,

1, 2, . . .,

М) определяются

из условия мини­

мума (309). Минимизация приводит к системе линейных алгебраи­ ческих уравнений

м

где

N N

Последняя система симметрична относительно главной диа­ гонали, что облегчает ее решение, которое осуществляется для последовательности значений параметра а, причем а >0. На­ пример, за а можно принимать числа последовательности 1/2" (п =

— 1, 2, 3, . . .). При уменьшении а допустимые значения хт воз­ растают. За окончательное решение принимается решение си­ стемы (3.10) при том наименьшем значении а, при котором соблю­ даются условия хт < хтах = 1 , 2, 3, . . ., М), где хтах— наибольшее допустимое значение тока.

Изложенный метод позволяет также приближать напряжен­ ность поля на оси вместе с производной. Это полезно и в тех слу­ чаях, когда заданное распределение поля должно выдерживаться

114

не только на оси, но и в ее окрестности, в связи с чем желательно сгладить осцилляции вокруг заданной кривой, хотя бы и за счет точности приближения самой функции.

В этих случаях минимизируют выражение

 

 

 

N

 

 

N

 

 

 

Р і ( Х і , Х 2, . .

, , х м ) =

Ц р п

Я 0 {^п)

т=1

Аптхт

+

 

 

 

п = О

 

 

 

 

 

 

N

 

 

М

 

1 а

(311)

 

+

пРп

Но (Zn)

т—1В Птхт

 

 

где Впт =

Ат (Z)

|z=zn\

 

 

 

 

 

 

 

р'п, так же,

как и рп,

 

 

 

 

 

 

 

весовой множитель.

 

 

 

 

 

 

 

Иллюстрацией

предло­

 

 

 

 

 

 

 

женного метода могут слу­

 

 

 

 

 

 

 

жить следующие примеры.

 

 

 

 

 

 

 

В качестве источников

 

 

 

 

 

 

 

поля были

выбраны семь

Рис.

27.

Система . катушек, приближающая

одинаковых

цилиндриче­

 

 

 

заданное поле

 

ских катушек, относитель­ ные размеры которых ясны из рис. 27. Приближали поле, имев­

шее заданный характер на отрезке оси длиной 5/7 от длины си­ стемы. Ниже приведены данные расчета однородного единичного

поля. За единицу длины

была принята общая длина линзы,

а координату Z отсчитывали от центра линзы,

относительно кото­

рого поле симметрично.

 

 

 

Z

Н (Z)

Z

H( Z)

1/42

0,998

9/42

0,997

3/42

1,000

11/42

0,997

5/42

1,000

13/42

1,000

7/42

1,000

15/42

1,000

Минимизировали функцию (311), причем рассчитывали случай: Рп = 100, рп — 1. На рис. 28 видны результаты приближения с помощью тех же катушек распределения напряженности, имев­ шего вид прямоугольного импульса, — случай, наиболее трудный для приближения каким бы то ни было математическим методом. Приведены результаты расчета для двух случаев:

а) рп = 1; р'п = 0; б) рп = 1, р'п = 1.

Предложенный метод может быть применен для расчета маг­ нито-оптической скамьи, моделирующей заданное распределение поля на оси. Такая скамья должна состоять из системы коакси­ альных многосекционных катушек. Секции каждой катушки должны иметь различные плотности намотки, подлежащие вы­ числению. Соединяются секции последовательно.

8*

115

Искомые плотности в k-тк катушке рассчитывают по методу наименьших квадратов так, чтобы поле этой катушки на заданном отрезке оси возможно точнее приближало k-ю функцию из орто­ гональной системы, например k-й полином Лежандра. Тогда для моделирования любого заданного поля Н (Z) достаточно во всех катушках задать токи, пропорциональные коэффициентам раз­ ложения Н (Z) по полиномам Лежандра.

Расчет источников поля, содержащих ферромагнетик. Осуще­ ствить приближение поля катушками без брони значительно труд­ нее, чем бронированными. Поставим в общем виде задачу расчета

H(z)

1,2г

\

Л7/П

Z

Рис. 28. Распределение точного и приближенного полей

плотности тока (плотности обмотки), обтекающего ферромагнетик заданной формы и обеспечивающего заданное распределение маг­ нитного поля в определенной области пространства. Рассмотрим задачу в двумерном случае, включающем и осесимметричные за­ дачи.

Пусть область S заполнена ферромагнетиком (магнитная про­

ницаемость р = оо),

так

что магнитостатический

потенциал

Ф (М) (М с S)

постоянен

— точка области S).

Считаем за­

данными условия U (М) при М

оо. Задана также гармониче­

ская функция f

(M'),

где М' С S 0,

а 5 0— некая двумерная об­

ласть, не имеющая общих точек с областью 5.

Для решения задачи в области S задаем фиктивную плотность магнитных масс т (М), которая удовлетворяет условию

(312)

5

116

Плотность т (М) определяется вариационным методом, напри­ мер из условия минимума функции

т (М)

(313)

F2 1 [ ц л п Ч\ М — М'\

Если функцию т (М ) представить в виде линейной комбинации ортонормированных компонент cpft одной из систем, полных в про­ странстве непрерывных функций, заданных на S, то

т (М )= £С*ф*(М),

(314)

k=l

 

Рис. 29. Сечение бро­

Рис. 30. Распределение напряженности магнит­

нированной фокуси­

ного поля на оси бронированной фокусирующей

рующей электромаг­

электромагнитной катушки

нитной катушки

причем

коэффициенты Ск определяются из условия минимума

F 2 ь

С2, . . ., Сдг), где F 2 определяется формулой (313).

После этого, основываясь на единственности решения задачи Дирихле, на условии (312) и граничном условии для ферромагне­

тиков

 

 

 

 

 

п X V Ф |г = j,

(315)

где Г — контур

области

S; п — нормаль к контуру;

j — плот­

ность тока на Г,

можно,

вычислив Ѵ|ГФ, найти плотность тока j,

который, обтекая ферромагнетик, заполняющий S, обеспечит вы­ полнение условия (313).

При несложных расчетах целесообразно использовать прибли­ женный подход. Для этого поле отдельной бронированной ка­ тушки типичной формы (рис. 29) вычисляют на оси по одному из методов, изложенных в § 5.

Как уже было там отмечено, взаимным влиянием катушек, ввиду быстрого убывания поля, можно пренебречь. Характер убывания поля иллюстрируется рис. 30.

Обычно в эмиссионных линзах поле ферромагнетика, как показывает опыт, находится в режиме, далеком от насыщения.

117

При этом поле бронированной катушки линейно зависит от тока в обмотке. Приближение заданного на оси поля осуществляют теми же методами, которые описаны для небронированных ка­ тушек; коэффициенты Апт в функции F,, или Flt определяемые по формуле (309) или (311) соответственно, используют при расчете

ввиде таблицы.

§17. Примеры расчета эмиссионных систем методом минимизации функционалов

Расчет магнитны х линз. В качестве примера применения ме­ тодов, изложенных выше, рассмотрим расчет магнитных линз для многокаскадных электронно-оптических преобразователей, применяемых в современных приборах типа «лупа времени». Та­ кие приборы используются для регистрации быстропротекающих процессов, например при плазменных исследованиях.

Современные электронно-оптические преобразователи, пред­ назначенные для плазменных исследований, в частности усили­ тели света для камер сверхскоростного фотографирования, должны обладать рядом особенностей: рабочая часть их фотокатода должна иметь большой диаметр, часто сравнимый с их длиной, поле зре­ ния должно быть широким, прибор должен обладать высокой разрешающей способностью по всему полю зрения. К электрон­ ному изображению предъявляются очень высокие требования в от­ ношении правильности его геометрических пропорций, что дик­ туется особенностями проводимых на этих приборах измерений. Так, не допускаются линейная и анизотропная дисторсии электрон­ ного изображения; последнее должно быть четким по всему полю зрения.

В § 12 уже было показано, что дисторсия и средняя кривизна изображения приводят к основным аберрациям катодных линз и поэтому должны исправляться в первую очередь. Ниже приведен расчет одного класса усилителей света, предназначенных для указанных выше целей.

В качестве электростатической камеры, которая в данном случае не рассчитывается, выбрана хорошо разработанная элек­ тростатическая линза. Она состоит из двух электродов, образую­ щих рассеивающее электростатическое поле, способное сформиро­ вать электронное изображение только в магнитном поле. График электростатического потенциала на оси одной камеры линзы при­ веден на рис. 31.

Рассчитываются только магнитные линзы для камер такого типа, работающих в качестве каскадов усиления света, соединен­ ных по принципу оптического контакта. Конструирование элек­ тронной линзы, создающей изображение с заданными свойствами, осуществляют, как указывалось во введении, в три этапа; сначала рассчитывают поле, создающее электронное изображение с задан­ ными свойствами, затем — источники поля (в данном случае элек­

118

тромагниты), которые его реализуют, и, наконец, окончательно проверяют качество изображения, сформированного полученной системой источников.

Первую задачу решают посредством рассмотренного в § 15 метода минимизации функционала, позволяющего по наперед за­ данным характеристикам электронного изображения рассчитывать формирующее его распределение магнитного поля вдоль оси сим­ метрии линзы. При этом задаются как геометрические характери­ стики (увеличение, положение плоскости изображения, угол его

поворота) так и аберрации.

магнитного

 

 

 

 

 

Искомое

распределение

u(Z,0)

 

 

 

 

поля

записывают

в

виде

(300),

где за

 

 

 

 

 

функции

 

(п =

0, 1, 2, .

. ., р) приняты

 

 

 

 

 

функции Zn. Такой же вид имеют функ­

 

 

 

 

 

ции

\ п

(Z)

в

разложении

луча

(302).

 

 

 

 

 

К изображению предъявляются требова­

 

 

 

 

 

ния,

выраженные уравнениями (295), (296)

 

 

 

 

 

и (299).

 

 

 

них определяют поло­

 

 

 

 

 

Первые два из

 

 

 

 

 

жение плоскости изображения и увеличе­

 

 

 

 

 

ние.

Положение

плоскости

изображения

 

 

 

 

 

определяется

длиной

электростатической

Рис.

31.

Распределение

камеры,

а требуемая

величина увеличе­

электростатического

по­

ния

принята

равной единице.

 

тенциала

на

оси

уско­

Условие (299) относится к коэффициен­

 

ряющей камеры

там

аберраций.

Мы

уже

отмечали, что

 

данном

случае,

главные

из

них — коэффициенты

дисторсий (в

анизотропной и изотропной)

и средней кривизны поля изображе­

ния. К этому требованию полезно добавить, во всяком случае при расчете поля в первом приближении, требования некоторой периодичности поля, и именно

Н (0) = я (0,

(316)

где / — длина каскада усиления. Это

обеспечивает одинаковые

ускоряющие потенциалы в различных каскадах, что технически наиболее целесообразно.

Как видно из рис. 31, электростатическое поле ускоряющей камеры однородно на протяжении значительной части линзы, примыкающей к катоду.

Выражения (295), (296) и (316) представляют собой линейные алгебраические уравнения относительно коэффициентов луча ß„ в разложении (302). Для записи коэффициентов аберраций дисторсии и кривизны в данном случае не использовались формулы (272) ввиду их громоздкости и трудностей, возникающих при вычисле­ нии входящих в них интегралов из-за необходимости выделять особенности на нижнем пределе в подынтегральных функциях. Однако класс электромагнитных линз, о котором идет речь,

119

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ