Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Комов, А. Н. Физические основы микроэлектроники учеб. пособие

.pdf
Скачиваний:
25
Добавлен:
19.10.2023
Размер:
5.88 Mб
Скачать

/Р с энергией Е) находится п — 7ФФ''

частиц. В случае фоно

нов Е= Ігш и. £ и = 0, тогда

 

п - ~ к А ------■

\ П I

е " - 1

Таким же соотношением описывается и число фотонов. Это со­ отношение называется распределением Планка.

§ 5. Теория теплоемкости кристаллов

Классическая теория теплоемкости твердых тел

'Закон Дюлснга-Пти

Вклассической теории теплоемкости однородное твердое тело рассматривается как совокупность совершенно независимых друг от друга частиц, совершающих колебания с одной и той же часто­

той.

Каждая

такая частица обладает тремя

степенями свободы.

На

каждую

степень свободы приходится в

среднем Ѵг&Т кинети­

ческой энергии, где ft=l,38 • ІО16 эрг/град—постоянная Больцмана. Рассмотрим гармонический осциллятор, находящийся в тепловом равновесии со средой при температуре Т. Средняя кинетическая энергия этого оциллятора равна его средней потенциальной энер­ гии. На самом деле, координата х, определяющая отклонение осцил­ лятора от положения равновесия, зависит, от времени по гармони­ ческому закону

X А sin (wt фа).

Ранее было показано (§ 8, гл. I), что кинетическая и потенци­ альная энергии соответственно равны:

Еки1

тх2 ---

mw2A2 cos2

(wt ф a),

Е нот = -у-

т w2 X 2

- і -

fx2

- -

~

tnw2A4\n2 (wt Ф a),

где w 2тгѵ и

1

 

' ~F

 

 

 

V- —лI/

-i-.

 

 

 

 

2г.

I

 

m

 

 

 

Так как средние значения

cos2 (wt фа) = sin2 (wt фа) = ~,

TO

 

 

 

 

 

 

 

Plan " Kn0T - - - niw2A 2.

Отсюда следует, что в классической статистике средняя полная

энергия

осциллятора Е = К К1ШфЕпот-::21фи„

k0T.

Для

атомов кристалла общее колебание

может быть представ­

лено суперпозицией 3N нормальных колебаний. Так как каждое

60

нормальное колебание представляет собой с механической точки зрения гармонический осциллятор, то полая внутренняя энергия кристалла при температуре Т равна

E = 3Nk0T.

Теплоемкость твердого тела при постоянном объеме равна сѵ—

- - - \>т=З.Мк0. Пели рассматриваемая область кристалла содержит

один грамм-моль вещества, то /Ѵ= ,¥0 = 6,023-ІО23 г - моль-1 число Авогадро. Таким образом, грамм-молекулярная теплоемкость всех кристаллов при высоких температурах равна

сѵ ~-3N0k0 -- 3Ra ^5,96 град, моль

2,5 • 104

дж

град, кмоль '

Этот закон был установлен экспериментально в 1819 году Дюлонгом и Пти. В таблице приведены атомные теплоемкости ряда веществ при обычных температурах.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Таблица

 

Вещество

Na Al

Fe

Ni

Cu

Zn

Pb

Gd

В

 

 

дж

1

1

 

2,35

2,4

2,47

2,47

1,42

С.,-IO4

2 ,7j2,35.2,47

2,47

J

кмоль град

 

 

 

 

 

 

 

 

Табличные результаты говорят о том, что для большинства эле­ ментов закон Дюлонга и Пти выполняется. Отступление наблюдает-

Рис. 2С. Зависимость теплоемкости от температуры.

61

ся у бора (В) и алмаза. Однако, при исследовании температурной зависимости теплоемкости в широком температурном диапазоне обнаружилось несоответствие с законом Дюлонга и Пти в области низких температур для всех веществ (рис. 26). Она резко уменьша­ ется при низких температурах, согласно же классической теории теплоемкость не должна зависеть от температуры.

Такое расхождение обусловлено тем, что атомы в твердом теле колеблются не независимо друг от друга, а обладают широким спек­ тром собственных частот колебаний. Кроме того, колеблющиеся атомы в кристалле уподобляются не классическому, а квантовому осциллятору, имеющему дискретный набор энергий. Поэтому для нормальных колебаний кристалла мы должны приписать им, со­

гласно (1—57) энергию Е = (гі-\- -у-^/іѵ.

Динамические модели решетки Эйнштейна и Дебая

Основные положения теории Эйнштейна заключались в следую­ щем:

а) как и в классической теории, атомы в кристалле совершают независимые упругие колебания;

б) энергия колеблющегося атома может быть представлена в форме энергии квантового осциллятора, средняя величина которой может быть вычислена по формуле

 

 

----- •

 

 

(III

12)

Если в кристалле N атомов и каждый имеет 3 степени свободы,

то полная внутренняя энергия равна

 

 

 

 

£ = 3 t f K „ = - J ^ —3Nk

 

-----.

(Ill — 13)

Обозначив

ekT -

1

 

 

 

ekT - 1

 

 

получим

 

 

 

 

 

 

 

 

 

E -

3Nk

---- .

 

(111 — 14)

 

 

eT

 

,1

 

 

 

 

В области высоких температур-

т. е.

когда kT ^h v,, а следова-

0

формулу

*

можно

преобразовать. Для

этого

тельно, -у < 0 ,

III—14

разложим

 

 

 

 

... == ѲТ_'

 

 

ет в ряд ет =' 1+

+

 

 

 

62

Тогда получим E = 3NkT, c = 3Nk = 3R0-

Отсюда следует, что теория Эйнштейна дает хорошее совпаде­ ние с классическим законом Дюлонга и Пти в этой области темпе­ ратур.

Для

анализа

(III—14) в области

низких температур продиф­

ференцируем это соотношение по температуре:

 

 

 

 

 

 

И

 

 

 

 

 

 

 

 

I — Г

 

 

,

(III — 15)

 

 

 

 

 

-------..

 

 

 

 

 

 

( Д '- 1)S

 

 

 

ѳ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

В низкотемпературной области 7<^0,

а следовательно е т )§>1.

Пренебрегая в знаменателе единицей,

получим

 

 

 

 

 

 

И

 

 

 

 

 

 

 

с,,-- 3

( ~ 2е ~ Г .

 

 

 

(III- 1 6 )

 

 

/ 0 \

 

__ Ѳ

 

__ Н

 

При Т

> 0

X,

а е

Ф

 

е

рр

значитель-

{-у)

->0, но

убывает

но быстрее,

чем

растет

(-y j

, тогда

с,

в

пределе

0.

Таким образом, теория Эйнштейна отражает качественно пра­ вильную картину, но количественное расхождение, особенно, в об­ ласти низких температур, осталось, Дебай усовершенствовал тео­ рию Эйнштейна.

Предположение Эйнштейна о том, что все атомы колеблются с одной частотой, являются сильно упрощённым. Между атомами существует такая сильная связь, что весь кристалл можно пред­ ставить, как упругий континуум. Дебай пренебрег атомной струк­ турой твердого тела и считал, что число частот колебаний такого тела бесконечно. Частоты можно определить, если известны: плот­ ность вещества, его упругость и геометрические размеры, т. е. как и в случае упругой струны. В результате мы получим собственные частоты колебаний тела, имеющего основную частоту и бесконеч­ ное число обертонов.

В изотропном теле объемом V число собственных частот коле­

баний, лежащих в пределах от v=

до v + dv (v —•.

достаточно

большее), равно

 

 

 

d n ^ 4ТГ

+

1/ѵ^ѵ,

( І И - 1 7 )

где і>і — скорость распространения поперечных колебаний. ѵ2 — скорость продольных колебаний.

Если принять, что кристалл состоит из N атомов, каждый из них имеет 3 степени свободы, то число собственных частот колебаний будет не более 3N.

63

Дебай предположил, что для каждого тела существует макси­ мальная частота, выше которой уравнение (III —17) несправедливо. Максимальную частоту для кристалла можно определить из

• III —17);

ѵіпах

1

I/v2dv = 4лУ

2

1

v3

 

 

(III —18)

о

V,3

 

3

у,3

Vn

max

 

 

 

 

 

 

 

 

Средняя энергия одного колебания, имеющего

частоту ѵ, опреде­

ляется соотношением III—12. Для определения энергии всего тела

необходимо (III—12) проинтегрировать по всем

собственным ча­

стотам, меньшим ѵтах:

 

 

 

 

 

 

Е --- ^ Е„ dn = ^

Av dn

 

\ 4 Ч т ѵ

 

 

/іѵ3 dv

 

/IV

 

 

 

Іи

 

 

„И1— 1

 

 

 

Л Т

 

Вводя новую переменную

и учитывая

(III —18),

получим

 

 

 

Й

 

 

 

 

£ --Д

 

 

 

 

(III -1 9 )

 

 

 

о

 

 

 

 

где Ѳ —'JLEüsi—температура Дебая.

 

 

 

 

Теплоемкость получим, продифференцировав (III—19) по Т:

 

c = 3 N kD (^r -y

 

 

(III—20)

-ЗѲ

где £> (-^-) = 12

^ ~е*— І-------

ѳ~^--------

функция Дебая.

Анализ выражения (III—20) показал, что в области низких температур ГСѲ, с стремится к пределу ßP (ß—постоянная для каждого твердбго тела). В области высоких температур формула Дебая приводит к закону Дюлонпа и Пти.

 

 

 

 

Л И Т Е Р А Т У Р А

 

 

 

1.

Г.

К и т т е л ь. «Введение в физику твердого

тела».

Госиздат,

Ф. М. Л.,

1962.

А.

И. А н с е л ь м .

«Введение

в теорию

полупроводников».

Госиздат,

2.

Ф. М. Л., 1962.

 

«Физика

твердого тела». Изд-во

«Высшая

школа».

3.

Г.

И. Е п и ф а и о в.

1965.

 

 

 

 

 

 

 

 

4.

Г.

И. Е п и ф а н о в .

«Физические основы1микроэлектроники». Изд-во «Со­

ветское радио», 1971.

 

 

 

 

 

5.

Д. З а й м а м .

«Принципы теории твердого тела». Изд-во «Мир»,

1966.

6.

Д.

П а й н с.

«Элементарные возбуждения в твердых телах». Изд-во «Мир»,

1965.

 

 

 

 

 

 

'

 

64

Гл а в а IV. ЗОННАЯ ТЕО РИЯ ТВЕРДОГО ТЕЛА

§1. Модель свободных электронов

Основываясь на модели свободных электронов, можно' объяс­ нить ряд важных физических свойств металлов и в особенности простых одновалентных. Согласно этой модели валентные электро­ ны атомов металла могут почти свободно перемещаться в пределах объема образца. Положительный заряд, компенсирующий заряд электронов, распределен в металле с равномерной плотностью и создает поле с постоянным положительным потенциалом Ѵ0. У по­ верхности потенциал резко падает от Ѵ0до 0, а потенциальная энер­ гия электрона увеличивается с U0 = еѴ0 до 0. (Рис. 27). Это позво­ ляет рассматривать движение электронов в потенциальном ящике конечной величины, ограниченном поверхностью кристалла, при­ чем потенциал внутри ящика всюду постоянен. Тогда энергия лю­ бого электрона системы, находящегося в поле остальных электронов кристалла, будет одной и той же функцией координат ■для всех электронов. В таком случае движение каждого электрона можно считать независимым от остальных. Такая модель, впервые была предложена "Зоммерфельдом. Во многих задачах этот потенциал полагается равным нулю, и свободные электроны наделяются лишь кинетической энергией. В этом случае движение электрона описывается уравнением Шредингера.

где

Ѵ 2ф + £ 2ф

=0,

 

k2

8л2т

(IV— 1)

 

 

 

 

Так как электрон не может свободно покидать металл, . то волно­ вая функция на его границах (в точке х = 0 и x = L) должна обра­ щаться в нуль. Поэтому краевыми условиями задачи являются

 

 

Ф (0) —0, ф (L) —0,

(IV —2)

и решение уравнения Шредингера будет иметь вид

 

 

 

■§k ~ A s \n k x ,

(IV —3)

где k—-

-J- (IV—4), причем п — любое положительное

число.

Поэтому волновые функции электрона, можно записать

в виде

-=Ап sin

L ",

где постоянная Ап определяется из условия нор­

мировки. Энергия Еп, соответствующая состоянию, описываемому волновой функцией фп, дается выражением

р

n2h2

ѣп~~ ш и -

(IV —5)

 

Совокупность значений Еп представляет собой спектр разре­ шенных уравней энергии системы. Спектр энергии получился

5-2876

65

дискретным, однако, поскольку L — большая величина по сравне­ нию с атомными размерами, то уровни энергии расположены очень близко друг к другу, и во многих приложениях допустимо считать, что они образуют континуум (непрерывную совокупность) состоя­ ний.

 

 

 

 

В этом

случае

энер­

 

 

 

 

гия,

определяемая

выра­

 

 

 

 

жением

(IV—I), является

 

 

 

 

непрерывной функцией.

 

 

 

 

Соотношение

(IV—4)

 

 

 

 

представляет

собой

пра­

 

1

 

 

вило отбора

разрешенных

 

 

 

значений к, равенство (IV

 

 

 

 

—5)

определяет

соответ­

 

 

 

 

ствующие

им

 

величины

 

' iS

/

энергии.

При

рассмотре­

м е-пал/і

 

 

нии вопроса о распределе­

 

 

 

 

нии электронов

твердого

іяись»

 

 

'x

тела по системе разрешен­

 

 

 

ных уровней

необходимо

 

 

----и—

учесть дискретность спект­

 

 

ра энергий

и конечноегь

1

'

с

У

числа

содержащихся , в

1U y - e V 0

 

системе уровней. Для мно­

 

 

гих

целей

 

конкретная

 

 

 

 

форма волновой

функции

 

 

 

 

(IV—3)

неудобна,

т. к.

 

 

 

 

она зависит от граничных

 

 

 

условий

слишком частно­

 

 

 

го вида. В теории твердо­

Рис. 27. Внутренний потенциал метал­

го тела

широко использу­

ла Ѵо и потенциальная

энергия

в

ется метод,

позволяющий

 

металле Ua.

 

 

обойти эту трудность. Для этой цели обычно вводят так называемые периодические гра­ ничные условия. При этом предполагается, что мы имеем дело с твердым телом бесконечных размеров, характеристики которого, рассматриваемые как функции координат, периодичны с периодом L. Волновая функция, соответствующая бесконечному твердому те­ лу, имеет вид

фк = И ехр[ІІгх]

Щ

и должна удовлетворять условию периодичности

ф -j- L) = ф (л) (IV —6)

. ли Aeikix+L) = A ëkx. Отсюда находим ë-k t = l. Это уравнение удов­ летворяется лишь при следующих значениях k:

k„ = n ^ - , П= 0, ± 1, ± 2...

66

Значение энергии будет определяться выражением Еп = п 2 2 т/Т-

Таким образом, периодические граничные условия приводят также к дискретному энергетическому спектру свободных электронов в металле.

Несмотря на то, что теория свободных электронов Зоммерфельда дала ряд новых результатов, освещающих, в частности, важ­ ный вопрос о движении электронов в металлах, вскоре была дока­ зана ее недостаточность. Она не учитывает структуры твердого те­ ла, заменяя реальные силы взаимодействия электронов с узлами решетки идеальном полем с постоянным потенциалом.

§ 2. Движение электронов в периодическом поле кристалла

Одним из основных недостатков теории Зоммерфельда являет­ ся то, что она не учитывает периодичности электрического поля внутри кристаллической решетки. Идеальный кристалл представ­ ляет собой периодическую структуру, характеризуемую простран­ ственной решеткой, в узлах которой расположены атомы. Рассмот­ ренное выше предположение о том, что потенциал постоянен и ра­ вен усредненному значению поля атомов, применительно к кристал­ лу представляет собой весьма грубое приближение. Более пра­ вильно считать, что для идеального кристалла потенциал имеет пе­ риодический характер. При движении в кристалле электрон будет притягиваться ядрами и отталкиваться другими электронами. Будем считать, что все электроны в кристалле находятся под воздействи­ ем одного и того же потенциала Ѵ(г). Основной особенностью этого потенциала является свойство симметрии, обусловленное симметри­ ей самого кристалла. В частности, потенциал Ѵ(г) должен сохра­ нять инвариантность при любой операции трансляции. Поэтому можно написать

V(r) = V(r+ d),

где d—любой вектор простой решетки вида d = «іаП + M2a2j + Оз^зк3, П\, п2, п3— любые целые числа, аь а2, а3— постоянные элементарней решетки,

j, i, k — единичные векторы по осям х, у, г.

Модель Кронига-Пенни. Эта модель весьма искусственна, но она дает возможность определить энергетические состояния элек­ тронов в кристалле.

Рассмотрим сначала одномерный периодический потенциал V (х) с периодом d, (рис. 28) V (х) = V(x + rd), где г—любое целое число.

Каждый атом представлен прямоугольной потенциальной ямой шириной а. На протяжении всей ямы потенциальная энергия элект­ рона Uо^О.*

5* 67

*

Атомы разделены потенциальным барьером высотой V и шири­ ной Ь. Амплитудное1уравнение Шредингера, описывающее движе­ ние электрона в таком поле, запишется как

d2ii

 

 

 

 

 

 

d x2

+

 

 

 

 

 

 

 

 

Ьп'!т (£ —К) Ч

-0.

(IV —8)

 

 

 

 

 

Как показано Блохом, урав­

 

 

 

 

 

нение имеет решение

 

 

 

 

 

 

 

ф (*)

-u{x)eikx.

(IV —9)

 

 

 

 

 

Волновая функция Ч(Х)

 

 

 

 

 

представляет собой произведе­

 

 

 

 

 

ние уравнения

плоской бегу­

 

 

 

 

 

щей волны еікх, описывающей

 

 

 

 

 

движение свободного

электро­

 

 

 

 

 

на в поле с постоянным потен­

 

 

 

 

 

циалом,

на

периодическую

 

 

 

 

 

функцию и(х),

зависящую

от

 

 

 

 

 

волнового числа k

и имеющую

Рис. 28. Простейшая линейная модель

тот же период,

что

период по­

тенциала Ѵ(х)

—период решет­

 

кристалла.

 

 

 

 

,

d2l>

 

ки d. Дифференцируя

(IV—9)

дважды по X

 

в уравнение (IV—8),

получим

и подставляя Чя~^т

следующее дифференциальное уравнение для и(х):

 

 

 

 

d 2u ,

d u

. 8 л 2т

, п

п

...

 

 

/ ТЛ7

1ПЧ

+

 

 

 

 

~°-

 

 

(IV —ІО)

Здесь £ й= -8д2—•

В области 0 < х < а , в которой Ѵ= 0, уравнение

(IV—ІО) имеет решение

 

 

 

 

 

 

 

 

 

и Ае‘^ - кР + Ве~‘^

к]х,

 

 

 

(IV — II)

где

 

 

 

 

I

 

 

 

 

 

 

 

( 8п*тЕ

 

 

 

 

 

 

 

 

\2

 

 

 

 

 

В области а< х< а + Ь. в которой Ѵ=£0 и £< Ѵ

(высота барьера

выше кинетической энергии электрона), уравнение (IV—ІО) имеет решение

иг=Се(?-ік>х-y b e - ^ ik)x,

t

(IV — 12)

при этом

 

 

г

 

 

„ Г8я2т (V Е) ' 2

 

 

V - - - -і - - hi- - - - - - - - - - - J- -

- - - •

 

Поста; иные Л, В, С, D выбираются так, чтобы функция и и ее

68

производная

были непрерывны при х = 0 и х = а и чтобы в силу

требования периодичности значение функции и(х) при х = а было равно ее значению при х Ь, т. е. u\ (0 ) = « 2 (0) и и^(а) = и2(а). Для определения А, В, С, D мы имеем, таким образом, систему из четырех линейных и однородных уравнений:

A + B = C+ D,

 

i k) А — і (я + А) В

С (Р— ik)—D (ß~i*).

A e ‘l*~ k)a B e ~ ‘<»+fc)a

.Cg—{ '—ik)b_^_ßeO-Hk)t

 

i (sc — k) Aei(a~k)ai (x-\-k) Be~i{r ' k)a iß—ik)

ik'>0

(¥>-\-ik) De^+W'.

 

Нетривиальные значения решений этой системы

существуют

лишь в том случае, если детерминант, составленный из коэффици­ ентов при неизвестных, равен нулю.

Из этих же уравнений можно установить связь .между и и вол­ новым числом k. Если ввести упрощающее допущение, что ширина барьера b—*0 в то время, как высота V ->сг так, что произведение [>2Ь остается конечной величиной, т. е. ѴЬ — постоянны, то эта связь будет выражаться следующим уравнением

— —-----j-cos аа =-cos ka,

(IV — 13)

где

 

Р = -~™ V-b.

(IV—14)

I

 

Здесь P — всёгда положительно и определяет высоту

барьера,

разделяющего ямы; при b—"0 расстояние а равно параметру решет­ ки. На рис. 29 приведен график величины, стоящей в левой части (IV—13), как функции аа для произвольно выбранного значения

Р =-|-- Поскольку cos ka, стоящий в правой части (IV—13), мо­

жет принимать значения только в интервале от +1 до —1, то аа может принимать только те значения, для которых левая часть (IV—13) не выходит из указанных пределов. Эти возможные значе­ ния аа показаны на рис. 29 жирными линиями.

В соответствии с соотношением а = (— ) они дают дополни­

тельные значения энергии Е. Из приведенного рисунка видно, что с увеличением аа длина отрезков А увеличивается. Это означает, что чем выше расположена энергетическая зона, тем она шире. Зо­ ны разрешенных энергий отделены друг от друга полосами запре­ щенных энергий. Эти полосы соответствуют областям аа, в кото­ рых левая часть уравнения (IV—13) больше +1 и меньше —1. Вследствие того, что ни при каких вещественных значениях k cos ka, стоящий в правой части уравнения (IV—13), не может быть больше +1 и меньше —1, то значения аа, при которых левая часть

69

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ