Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

книги из ГПНТБ / Волчкевич, А. И. Высоковакуумные адсорбционные насосы

.pdf
Скачиваний:
22
Добавлен:
19.10.2023
Размер:
5.93 Mб
Скачать

платины при 78°К доступны для хемосорбции водорода. В работах [2, 3] приведены данные по адсорбции во­ дорода палладированными силикагелями (рис. 40). Для некоторых марок палладированных силикагелей, содер­ жащих от 2 до 5% палладия, адсорбция водорода дости-

Л'ММрТ.СТ.

 

Рис. 40.

Изотермы

адсорбции

 

водорода

на

палладированных

 

силикагелях

при 78°К

[2, 3]

 

и различном

содержании Pd;

 

/ — 0,8% Pd; 2 - 4 , 5 %

Pd;

3 — 5%

 

 

Pd; 4 — 3,8% Pd

 

10~6 I0'S

Ю"* p, ммрт.ст

 

 

 

 

гает

10 л-мм рт. ст./г в диапазоне давлений 10~5

Ю - 4

мм рт. ст. Предадсорбцня водорода не снижает ад­

сорбционную способность силикагелей по другим газам. Начальные скорости откачки насосом водорода [15] при использовании платинированных силикагелей не­ сколько выше, чем для палладированных, хотя адсорб­ ционная емкость последних заметно больше. Это объяс­

няется лучшими кинетическими

характеристиками

ад­

сорбентов с чрезвычайно мелко

дисперсными

«слоями»

платины.

 

 

 

Скоростная характеристика

по водороду

насоса

с

палладированным силикагелей в большой степени зави­ сит [15] от натекания: до некоторой критической величи­ ны натекания скорость откачки хотя и уменьшается, но достаточно стабильна, во времени, а после достижения критического значения скорость резко падает (рис. 41).

Изотерма адсорбции водорода на платине (.адсор­ бент — активный уголь СКТ) очень сильно зависит от

давления

(рис. 42) и при коэффициенте заполнения по­

верхности

6 = 0,14-0,7

удовлетворительно

описывается

уравнением Темкина

(7) Q = k\g(A0p)

при &=0,26 и Л 0 =

= 3,55-109

1/мм рт. ст. Кинетические

кривые

адсорбции

водорода платинированным углем (рис. 43) характеризу­ ются постепенным ростом относительного давления с уве­ личением количества предадсорбированного водорода 0о

122

 

 

 

 

 

 

S, л/сек

 

Рис. 41. График

изменения во

500

 

времени скорости откачки ад­

 

 

сорбционного насоса с паллади-

400\

 

рованным

силикагелем при по­

 

 

стоянном

натекании

Q

водо­

300

2-

 

рода:

 

 

ч

 

У — 0 = 1,75 • Ю - 4

 

л • мм

рт.

ст./с;

гоо

 

2 — Q=0,35 • Ю - 4

л • мм

рт.

ст./с;

100 ч

3

3 — Q=6,9 • 10-4

л • мм

рт.

ст./с;

4 <Э=2,3 • Ю - 3

л • мм

рт. ст./с

 

 

 

 

 

 

1

г 3 4 5 t,4

р,

ммрт.ст.

Рис. 42. Изотерма адсорбции водорода платинированным

углем

при 78°К

 

Рис. 43. Кинетические кривые адсорбции водорода платинированным углем:

а — при натекашнг

Q = 3 , 7 - !

0 - 6

л • мм рт. ст./с и различном

количестве

Э

предварительно

адсорбированного водорода

(/—0'о=О; 2 — Р0

=0,125; 3—0о=

=0,245;

4—'0о=О,34О);

б — при различных Q и

близких

значениях

Эо (/—

0>о=

=0,340

и Q = 3 , 9

- 1 0 - °

л • мм

рт.

ст./с; 2—

0О =О,385 и

Q=2,2 - 10 - 4

л • мм

рт.

 

 

 

ст./с; 3

— 00= 0,460 и

Q=3,4 • Ю - 4 )

 

 

 

 

и достаточно быстрым увеличением давления с возраста­ нием натекания, особенно, когда величина адсорбции при­ ближается к предельному значению as. При относительно малых натеканиях, когда сохраняется высокая доля сво-

 

 

 

 

 

 

Рис. 44. График изменения во време­

 

 

 

 

 

ни скорости

откачки

водорода

адсор­

 

 

 

 

 

 

бционным

насосом

с

платинирован­

 

 

 

 

 

ным

углем

при

постоянном

натека­

 

 

 

 

 

 

нии

(o s =1 3 л,-мм рт. ст.)

в диапа­

 

 

 

 

 

зоне

давления р = 1 0 - 9

(кривые

1—3)

 

 

 

 

 

 

 

и /??«10~8

(кривые 4,

 

5):

 

 

 

 

 

 

 

1 00=0,

Q=4,9 - 10 - 9

л • мм

рт.

ст./с;

 

 

 

 

 

2~6о=О,0О23,

Q=7,6 - 10 - e

л • мм

рт.

ст./с;

 

 

 

 

 

3 — б 0 =0,067,

Q=5,3 • 10-<" л - м м

рт.

ст./с;

 

 

 

 

 

4— 6„=0,01,

Q=3.8 • Ш - 5

л • мм

 

рт.

ст../с;

 

 

 

 

6t,4

5 — 9>о=0,164,

< Э = 3 , 2 - 1 0 - с

л • мм

рт. ст./с

 

 

 

 

 

Г, //ммрт.ст

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 45. Зависимость

ста­

10"

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тической

расчетной

(по

Ю1

 

 

 

 

 

 

 

 

смг/сек

уравнению Темкина

(кри­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

вая / ) , статической экс­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

периментальной

(кривая

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2) , динамической

(кривая

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10 ~8

3) адсорбируемости

Г во­

 

 

 

 

 

 

 

 

 

дорода

платинированным

 

 

 

 

*

3

 

 

 

 

•з

углем,

а

также

коэффи­

10'

 

 

 

 

 

 

 

 

—°гО

 

 

 

 

 

 

циента

 

диффузии

De

 

 

 

 

 

 

 

 

(кривая

4) от давления

ю-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10~i

Ю'8

10''

10'"

Ю'у^мрт.ст,

 

 

 

 

 

 

бодной поверхности платины ( б < 0 , 1 ) , скорость откачки насоса лимитируется в основном объемной скоростью подвода газа к адсорбенту и очень стабильна во време­ ни (рис. 44, кривая 1). Сильная зависимость скорости откачки от предадсорбции водорода 60 и натекания объясняется [15] очень резким уменьшением адсорбируе­ мости водорода на платине (рис. 45). Для случая хемо-

сорбции относительная адсорбируемость газа Г =

др

не зависит от предельной величины адсорбции as и оп­ ределяется изотермой адсорбции

124

Относительная адсорбируемость однозначно опреде­ ляет скорость увеличения давления по мере возрастания коэффициента заполнения поверхности адсорбции. В квазистационарном режиме непрерывной адсорбции ли­ нейное увеличение давления Ар за время постоянного натекания газа At определяется динамической адсорби­ руемостью

Да QM а 5 Г д

Динамическая адсорбируемость, рассчитанная по тангенсу угла наклона кинетических кривых в конце постоянного натекания, резко снижается с увеличением давления (адсорбции); она в 3—5 раз ниже'статической адсорбируемое™ (рис. 45, кривые 2, 3). Очень высокое значение относительной адсорбируемое™ в области сверхвысокого вакуума на чистой поверхности платины позволяет при малых натеканиях водорода (давление 10- 9 мм рт. ст.) поддерживать высокую скорость откач­ ки, в основном ограниченную условиями подвода газа к адсорбенту.

Поглощение водорода при 78°К определяется процес­ сом поверхностной хемосорбции, которая является неак­ тивированной. При этой температуре активированная хемосорбция, связанная с диффузией водорода внутрь зерен платаны, отсутствует. При повышении температу-

1,00

 

о-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0,75

 

 

 

 

 

 

0.50

 

 

 

 

 

 

0,25

 

 

 

2 ^

 

 

 

 

 

 

 

 

О

 

 

 

ю

 

 

10'L

10'

10"

10'

10'

W'J р.ммрт.ст.

Рис. 46. Изотермы адсорбции водорода платинированным углем при 78°К (кривая / ) и 293°К (кривая 2)

125

ры до комнатной активированная адсорбция протекает быстро, и общая величина адсорбции возрастает.

Активированная адсорбция водорода на платиниро­ ванном угле (рис. 46) оказалась ощутимой при комнат­ ной температуре. Изотерма при 78°К получена после окончания процесса адсорбции водорода при комнатной температуре и последующего охлаждения жидким азо­ том. Равновесное давление водорода на платине при активированной адсорбции (кривая 1) остаемся чрезвы­ чайно низким до 0 « 1 ; затем давление резко возрастает. При давлении Ю - 4 мм рт. ст. и выше становится замет­ ной физическая адсорбция водорода на платинирован­ ном угле СКТ. Адсорбнруемость водорода 12—15 л/г в этой области давлений лишь немного превосходит зна­ чение Г (около 5 л/г) для чистого угля СКТ.

Температура регенерации специальных адсорбентов составляет 300—350°С, если носителем является сили­ кагель, и 400—450°С, если в качестве носителя исполь­ зуют активный уголь. Для ускорения процесса удаления хемосорбированного кислорода и активирования адсор­ бента в процессе регенерации на 40—60 мин вводят во­ дород (давление несколько мм рт. ст.). Адсорбционная способность платины восстанавливается [15] после от­ качки в течение 6—10 ч форвакуумным насосом через азотную ловушку при 300—350°С, причем увеличение температуры лишь ускоряет регенерацию. Для быстрой регенерации платинированного угля после образования

монослоя водорода (давление Ю - 5 — Ю - 4 мм

рт.

ст.)

оказывается достаточным отогрев адсорбента

до

ком­

натной температуры, при которой водород диффундиру­ ет в глубь кристаллов платины вследствие активирован­ ной адсорбции. Последующее охлаждение жидким азо­

том

понижает давление водорода до Ю - 9

— Ю - 1 0 мм

рт. ст., но предельная адсорбция уменьшается

примерно

на

30%.

 

О. С. Лысогоров и Л. И. Евсеева [43] показали, что при использовании пористого титана, получаемого прес­ сованием порошка, обеспечивается высокая объемная скорость откачки водорода. Этот процесс протекает с высокой скоростью при температурах, близких или не­ сколько превышающих комнатную, причем скорость ад­ сорбции мало зависит от температуры в условиях, когда адсорбция значительно меньше предельной. При малых количествах поглощенного газа активность пористого

126

титана несколько возрастает по мере насыщения его во­ дородом. Авторы работы [43] рекомендуют применение пористого титана для создания высокопроизводительных адсорбционных насосов для откачки водорода.

При использовании специальных адсорбентов можно достичь высокие скорости откачки водорода насосом, охлаждаемым жидким азотом. Такие насосы имеют ус­ тойчивую скорость откачки в области ультравакуума, когда относительная адсорбируемость водорода макси­ мальна, а количество поглощенного газа составляет (0,1-7-0,2) а..

Заметного поглощения водорода криогенным насосом (не имеющим адсорбента) можно достичь, конденсируя в насосе азот, аргон или углекислоту при температурах 2—20°К- Количественные характеристики адсорбции и удельные скорости откачки при использовании этого ме­ тода указаны в работе [54].

Адсорбционные насосы обладают низким предельным давлением и стабильной скоростью откачки при темпе­ ратуре 20°К и ниже. В технике низких температур раз­ рабатываются способы получения температур 12—20°К с помощью установки типа машины Филипс, применение которых позволяет создать высокопроизводительные криогенные откачные системы [78, 79]. Использование та­ ких машин, обладающих очень высоким ресурсом рабо­ ты (порядка нескольких тысяч часов), позволит в бу­

дущем

создавать автономные

криогенные

откачные

системы

производительностью

в десятки и

сотни ты­

сяч л/с.

 

 

 

Г л а в а VII. КОНСТРУКЦИЯ И ЭКСПЛУАТАЦИЯ АДСОРБЦИОННЫХ НАСОСОВ

КОНСТРУКЦИЯ

Откачивающее действие адсорбционных насосов оп­ ределяется относительной адсорбционной способностью применяемого адсорбента. Рациональная конструкция насоса должна обеспечить наиболее полное использова­ ние возможностей адсорбента.

Основные требования к конструкции адсорбционного насоса можно сформулировать следующим образом:

1)полное охлаждение адсорбента (вплоть до тем- ' пературы хладагента);

2)минимальное сопротивление элементов насоса

подводу откачиваемого газа к адсорбенту; 3) небольшой эксплуатационный расход хладагента,

обеспечивающий длительную работу

насоса

без обслу­

живания (например, в течение суток

и более);

4)

быстрота

регенерации и охлаждения

адсорбента;

5)

простота

и технологичность конструкции;

6)возможность переохлаждения хладагента;

7)размещение возможно большего количества ад­ сорбента;

8)защита адсорбента от загрязнения легко конден­

сирующими парами.

Наиболее просты по конструкции адсорбционные насосы предвари­ тельного разрежения (рис. 47). Ци­ линдрическая колба, являющаяся корпусом насоса, заполнена адсор­ бентом (как правило, цеолит). Сет­ чатый патрон небольшого диаметра предназначен для улучшения под­ вода газа к адсорбенту в удаленной части насоса. Наличие внешнего сосуда ' для жидкого азота сильно

Рис. 47. Адсорбционный насос:

1 — корпус; 2

адсорбент;

3 — сетчатый патрон;

4 — с о с у д

Д ь ю а р а для

жидкого азота

упрощает конструкцию, но создает некоторые эксплуа­ тационные неудобства, связанные с необходимостью поочередной замены сосуда для хладагента и печи для регенерации, а также с изменением температуры по мере расходования жидкого азота. Большая толщина

Рис. 48. Насос предвари-

Рис. 49.

Многолотковый

тельного

разрежения

с

насос [75]:

3-

«Двусторонним»

ОХЛЭЖ-

/-корпус;

г - лотки;

дением

адсорбента (45]:

сетка;

4 —фланец

 

/ — корпус; 2 — азотный

ба­

 

 

 

чок;

3 — адсорбент;

4 — сет­

 

 

 

ка;

5 —экран; 6 — предохра­

 

 

 

нительный

штуцер с резино­

 

 

 

 

вой пробкой

 

 

 

 

 

слоя адсорбента приводит к возникновению заметных градиентов концентрации откачиваемого газа и темпе­ ратуры, что в значительной степени определяет время достижения предельного давления.

В другой конструкции [45] условия охлаждения слоя адсорбента, помещенного в концентрические полости, значительно улучшены, но путь для адсорбирующегося газа остался очень большим (рис. 48). Более удачна конструкция многолоткового насоса [75], в котором ад­ сорбент расположен на кольцевых лотках тонким слоем (рис. 49). Доступность газа к адсорбенту и хорошие ус­ ловия охлаждения обеспечивают значительное ускорение достижения предельного давления по сравнению с рас­ смотренными конструкциями.

9—1547

129

Для повышения эффективности охлаждения адсор­ бента в насосах предварительного разрежения применя­ ют [56, 57, 70] ребра, металлические шарики, выполняют конструктивные элементы из материалов с высокой теп­ лопроводностью и т. д.

Насосы предварительного разрежения способны сни­ зить давление в откачиваемом объеме от атмосферного

до Ю - 4 — Ю - 5 мм рт. ст., но не пригодны для

обеспече­

ния низкого динамического давления в области

высокого

вакуума. Для получения высокой и устойчивой скорости откачки высоковакуумного насоса необходимо обеспе­ чить беспрепятственный подвод откачиваемого газа к адсорбенту, который для этой цели располагают слоем толщиной в несколько зерен. Наименьшим сопротивле­ нием подводу газа обладает насос с. адсорбентом, рас­

положенным

на внешней

поверхности

сосуда

с хлад­

агентом. Это

приводит к

нарушению

самого

важного

требования к

адсорбционному насосу

— полноты ох­

лаждения адсорбента. Лучистое тепло от стенок уста­ новки, а в области давлений выше Ю - 5 мм рт. ст. и мо­ лекулярная теплопроводность газа приводят к сильному нагреву адсорбента и соответственно — к резкому сни­ жению адсорбционной способности. Конструкция адсорб­ ционного насоса должна обеспечить в первую очередь полное охлаждение адсорбента, так как стабильность скоростной характеристики насоса обеспечивается дина­ мической адсорбируемостыо газа.

Эффективного охлаждения адсорбента можно до­ биться обеспечением хорошего теплового контакта меж­ ду адсорбентом и охлажденной поверхностью (что ха­ рактерно для криопанелей) или размещением слоя ад : сорбента внутри охлаждаемой полости, причем входное

отверстие можно закрывать

жалюзной

ловушкой. По­

следнее

конструктивное решение

наиболее.характерно

для высоковакуумных адсорбционных

насосов, охлаж­

даемых жидким азотом.

 

 

 

 

Одна

из первых

конструкций

насосов

такого типа

[38] изображена на рис. 50. Отсутствие

радиационной

защиты

(жалюзная

ловушка)

на

входе

приводит к за­

метному нагреву адсорбента и соответственно к умень­ шению адсорбируемое™.

Достаточно прост по конструкции вертикальный на­ сос, входной фланец которого обращен вниз. Насос та­ кого тина [4] имеет большой запас жидкого азота, до-

130

статочный для работы (рис. 51) в течение 1—2 суток. Нагреватель, встроенный в азотный бачок, упрощает и ускоряет температурную регенерацию адсорбента непо­ средственно в насосе. Тщательная полировка поверхно­ стей и установка отражающих экранов вокруг азотного

Рис. 50. Высоковакуумный горизонтальный адсорбцион­ ный насос: [38]:

1 — корпус; 2 — азотный

бачок;

3 —-.слой

адсорбента;

4 — нагре­

ватель;

5 — вентиль

к

насосу

предварительного разрежения

Рис. '51.

Вертикальный

на­

 

 

сос [4]:

 

 

1 — корпус;

2 — азотный бачок;

3 — слой

адсорбента; 4 — радиа­

ционные

экраны;

5 — нагрева­

тель; 6

— входная

ловушка

с

 

 

упорами

 

 

9*

1-31

Соседние файлы в папке книги из ГПНТБ