
книги из ГПНТБ / Григоришин, И. Л. Моделирование электроннооптических систем на сетках сопротивлений
.pdfа <7, представляет собой заряд в элементе объема
—— |
(hk -|- hk+1) (hm -р hm+i) (hn -|- An+1), |
|
о |
|
|
связанном с |
рассматриваемой узловой точкой |
(к, т, п). |
При этом |
|
|
P h , m , n |
Ч к , т , п |
|
1 |
|
|
|
у (Ah -I- Aft+i) (hm + /ini+i) (An + |
An+i) |
означает среднюю плотность заряда в данном элементе объема.
Уравнение (1.20), являющееся конечно-разностной аппроксимацией дифференциального уравнения (1.11), может быть также получено путем применения теоремы Гаусса
(J) DrfS = q s
к элементарному объему, окружающему узел (k, т, п) . В этом легко убедиться, если выполнить интегрирование по граням этого элементарного объема, используя ап проксимацию первой производной потенциала для выра жения нормальной составляющей напряженности поля.
Возможность решения уравнения для потенциала в неоднородной среде на сетке омических сопротивлений основано на аналогии конечно-разностных уравнений и уравнений Кирхгофа для баланса токов в узле {к, т, п)
цепочки сопротивлений, |
изображенной на рис. 1.2, б. |
|||
^ h + l , m , n |
^ h , m , n |
, |
^ h - 1 , m , n |
|
Mi+1 |
|
R ,t |
|
|
+ |
, in, n |
|
|
|
^ h , m , n + l |
^ It,77i,71 |
V k , m , n -1 |
— Ik , m , r r |
|
Rn+1 |
|
|
R„ |
|
|
|
(1.27) |
||
|
|
|
|
Из сравнения уравнений (1.27) и (1.20) видно, что элек трической моделью уравнения (1.20) является сетка, со
20
противления которой пропорциональны соответствующим коэффициентам В (1,21) — (1,26);
Riui -К в В к+1, Rk = K a Bk |
(1.28) |
и т. д., а потенциалы V и вводимый в узел ток h,m,n про порциональны соответственно потенциалам ф и заряду
Cjh,m ,n, T . С.
^Kqs-\h K,fl
Коэффициенты К <f, Кв > K q должны быть связаны соотно шением К if!Кв — К,г
Если область, соответствующая исследуемому про странству электроннооптической системы, покрыта гео метрической сеткой, отдельный элемент которой изобра жен на рис. 1.2, а, то для каждой узловой точки, включая граничные, должно быть записано уравнение вида (1.20). Следовательно, нахождение распределения потенциала на основе коиечно-разиостной аппроксимации сводится к составлению и решению системы линейных алгебраиче ских уравнений, число которых равно числу узловых то чек разностной сетки. Именно такой алгоритм обычно используется при решении задачи о распределении потен циала на ЭЦВЛ'1 [47, 105].
Рассмотрим сетку сопротивлений, собранную в соот ветствии с упомянутой пространственной разностной сет кой. Каждой узловой точке сетки сопротивлений соответ ствует уравнение (1.27). Если в точках на границах сетки сопротивлений заданы условия, пропорциональные усло виям на граничном контуре исследуемой системы, а в узловые точки (k, т, п), находящиеся в области, где имеется пространственный заряд, введены токи, пропор циональные величине заряда qu,m,n, то на сетке сопротив лений устанавливаются значения потенциала, пропорцио нальные искомым.
Для электроннооптических систем нехарактерно нали чие среды с непрерывно изменяющейся диэлектрической проницаемостью. Обычно рассматривается только ваку умный промежуток (e = eo = const). Однако, как уже упо
миналось, иногда необходимо учитывать наличие в кон струкции электроннооптической системы деталей из мате риалов с высокой диэлектрической проницаемостью. В этом случае должна моделироваться кусочно-однород ная среда. Полагая в выражениях (1.21) — (1.26) е =
21
= const и выбирая шаги сетки постоянными в каждом из направлении
h-k — hk+1 = ■•• = hx,
hm h m+1 |
• _ hy, |
К= An+1 = • • = hz>
получаем с учетом (1.28)
|
|
|
Rk — Rk+i — Rx= |
|
K B К |
|
|
|
||||
|
|
|
|
ehyhz |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Rm = Rm+1~ Ry |
|
K Bhy |
|
|
(1.29) |
||||
|
|
|
|
Ehxhz |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Rn — Rn+i — Rz— |
Кв К |
|
|
|
|||||
|
|
|
Ehxhu |
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
При |
одинаковых |
шагах |
(кубическая сетка) все со |
|||||||||
противления равны: |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
R = |
ей |
. |
|
|
(1.30) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Из выражений |
|
(1.29) и |
(1.30) непосредственно |
сле |
||||||||
дует, что при переходе от среды с диэлектрической |
про |
|||||||||||
ницаемостью |
ei |
к |
|
среде с ег сопротивления сеточной |
||||||||
модели изменяются в отношении ег : еь |
|
|
|
|||||||||
Задача о потенциале в электроннооптических |
систе |
|||||||||||
мах в ряде случаев |
|
может рассматриваться как двумер |
||||||||||
ная. |
Если поверхности электродов на значительном про |
|||||||||||
тяжении |
представляют собой цилиндрические поверхно |
|||||||||||
сти, |
образующие которых параллельны, |
например, осп |
||||||||||
г, то потенциал не зависит |
от координаты г. Иными сло |
|||||||||||
вами, картина поля в любой |
плоскости, |
перпендикуляр |
||||||||||
ной оси, одинакова, |
|
и поле, |
обладающее такой плоско |
|||||||||
параллельной симметрией, описывается уравнением |
|
|||||||||||
|
д2ср |
, |
д2ср |
\ |
| |
дер |
де |
х |
йср |
де |
(1.31) |
|
|
дх2 |
|
ду2 |
J |
' |
дх |
дх |
' |
ду |
|
р. |
|
|
|
ду |
|
Этим уравнением, где р(х, у) означает плотность заряда, отнесенную к единице длины вдоль оси г, можно пользо-
22
ваться, в частности, при расчете всех элсктроннооптических систем с ленточными пучками, исключая области, где сказываются краевые эффекты. Конечно-разностная форма уравнения (1.31) не содержит членов, учитываю щих приращения в направлении г, и для прямоугольной разностной сетки имеет следующий вид:
Ф/|+1,7)1 Ф/|'(,7П |
Ф/1-1,7П |
Ф/1,7П j |
|
Ф/l,7)1+1 |
Фli,771 |
|
В * |
В х |
|
|
в„ |
|
|
Ф/1,771-1 |
Ф/цт; |
— Ф/щ: |
(1.32) |
|||
“ |
ж |
= |
||||
|
|
|
|
|
||
где |
|
|
|
|
|
|
М е+ —2" |
дг |
|
|
|
||
д х |
|
j f(tin |
(1.33) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
В,= |
|
|
ае |
|
|
|
М * + - ^ - |
) к. |
|
||||
|
|
2 |
ду |
|
|
a Qh,m представляет собой заряд,в элементарном объеме с площадью основания hxhv и высотой, равной единице длины по оси z.
Аналоговым устройством для решения конечно-разно стного уравнения (1.32) является плоская электрическая сетка, сопротивления которой пропорциональны величи
нам Вх, Ву, определяемым выражениями |
(1.33). Если |
|
среда кусочно-однородная, то |
|
|
Rx = ■Кв, >1х |
, |
(1.34) |
ehy |
|
|
Ry= |
• |
(1-35) |
ehx |
|
|
Сравнивая (1.34) и (1.35), получаем
R J R v = h y h * .
Чаще всего на практике используют квадратные разност ные сетки. Вследствие равенства шагов такой сетки hx—
23
= hy — h сопротивления адекватной |
ей омической сетки |
также равны: |
|
R0 = Rx = Ra = |
(1.36) |
Такая сетка показана на рис. 1.3. Целесообразность при менения квадратных сеток вытекает, с одной стороны, из того, что они просты в изготовлении, а с другой — в свя зи со значительным упрощением вычислений, связанных
Рис. 1.3. Плоская сетка сопротивлении с квад ратной ячейкой
с использованием полученных на сетке данных о распре делении потенциала (расчет траекторий, построение пото ка заряженных частиц и т. п.).
Рассмотрим на примере квадратной сетки построение сетки омических сопротивлений для сред с различными значениями диэлектрической проницаемости. Если для области вакуумного промежутка набрана сетка из одина ковых сопротивлений Ro, то, согласно (1.36), для области диэлектрика с относительной проницаемостью ei сетка должна набираться из сопротивлений (рис. 1.4)
Ri = R q/^i -
Для вычисления сопротивлений на границе раздела в принципе можно воспользоваться формулами (1.33),
24
представляя в конечных разностях производные от е. Но
в этом нет необходимости, |
так |
как проще представить, |
||||
что |
линией раздела |
соответствующие сопротивления |
||||
(рис. 1.4, |
б) «разрезаются» |
в |
том же отношении, что и |
|||
стороны /г элементарного |
квадрата |
(рис. 1.4, а). Если, |
||||
например, |
сторона h «разрезается» |
в отношении а : Ь = |
||||
= р, то |
|
I |
|
|
|
|
|
R |
aRo |
frfli |
|
ffoO ^i+l) |
|
|
01 |
h (a + b) |
h(a + b) |
(p + 1 ) |
||
|
|
|
|
|
|
(1.37) |
Если |
же |
граница раздела проходит по линии узлов, то |
||||
R*0l |
находим как сопротивление параллельного соедине- |
а
|
) |
— |
— |
|
|
||
h |
/ |
|
|
to |
а / ь |
|
|
/
'
/ь
/
/
Рис. 1.4. Сетка сопротивлений для сред с раз личными значениями диэлектрической прони цаемости
25
ния 2R0 и 2R\, относящихся к областям с е0 и ei соответ ственно
|
|
До*1 |
= |
2 R aR , |
2i?0 |
|
(1.38) |
|
|
|
Ro + |
R i |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
||
Конечно-разностные аппроксимации и соответствую |
||||||||
щие им сетки |
сопротивлении |
могут быть построены на |
||||||
основе других |
систем координат как на плоскости, |
так и |
||||||
в пространстве. В электронной |
оптике наиболее употре |
|||||||
бительна |
цилиндрическая |
система координат (г, |
0, z), |
|||||
в которой |
уравнение |
потенциала для однородной среды |
||||||
имеет вид |
|
|
|
|
|
|
|
|
е I д2Ф |
, J__ _ |
dcp |
_L |
д2ср |
J _ _ |
д2(р \ = |
|
|
\ дг2 |
|
г |
dr |
' |
дг2 |
г2 |
д02 I |
(1.39) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Для разностной сетки, изображенной в проекциях на |
||||||||
плоскости 0 = const |
(рис. 1.5, а) |
и z= co n st (рис. 1.5, б), |
введем нумерацию узлов (/г, т, п) соответственно вдоль направлений г, 0, г. Для простоты принимаем постоянны ми шаги в направлениях г и г , а также приращения А0, соответствующие шагам (отрезкам дуг) вдоль направ ления 0, т. е.
Лл = hk+1 = К = const, hn= hn+l = hz = const, hm= rA0 = khrД0,- A0— const.
Используя для таких шагов аппроксимации (1.14), (1.15), приходим к следующей конечно-разностной форме уравнения (1.39):
|
Фа+ 1 ,m ,n |
ФЛ,771,71 |
, |
Ф/1-1,771,71 |
Ф/7,777, 71 |
|
B h + l |
1 |
в „ |
|
|
, |
ФА,711+ 1,71. _ _ ФА ,771,71 |
, |
Ф а ,771- 1,71 |
Фа, 7)1,: |
|
1 |
В т+1 |
1 |
в т |
||
4 |
Фа, 771,71+ 1 |
Ф/i,771,71 |
Фа,771, 71-1 Фа, 771,71 |
||
5 П+ 1 |
|
|
к |
|
|
|
|
|
|
(1.40)
где qii,m,n — заряд в элементарном объеме k h r2hzД0, свя
занном с узлом (k, т, п) |
сетки; |
|
Bh+1 = 2 /(2k i- 1) &0hzAQ; |
|
|
Bn = |
2/(2k — 1) eo/zzA0; |
4 |
Bm+1 = |
Bm = M 0/soft2; |
|
Bn+1 = B n = hzfr0kh?r A0.
Уравнения (1.40) решаются иа сетке, сопротивления которой пропорциональны коэффициентам (1.41). Опре деленные затруднения вызывает расчет сопротивлений
Рис. 1.5. Цилиндрическая разностная сетка в сечениях 0=const (а) и 2 =const (б)
27
на оси г. Рассматривая выражения для В , видим, что в их числителях стоит высота элементарного объема, а в знаменателях — площадь основания. Если принять, что элементарный объем для приосевоп области представляет собой цилиндр радиуса Лг/2, то для оси получим
4К
^0,71 ~
G0n h r
а конечно-разностные уравнения z преобразуются к виду
м
2 ( Ф 1, т ,.1 — Ф о , . . )
Ш=1
ВЬп
Фо,,,-1 Фо,
в.П,п
(1.40) для узлов на осп
Фо,п +1 |
Фо,„ |
В„
С1о,?]>
где М — число интервалов разбиения сетки по азимуту: Д0 = 2л/М. Умножая коэффициенты В па коэффициент пропорциональности получаем значения сопротивле ний для сетки, построенной в цилиндрической системе координат. Такая сетка представлена па рис. 1.6 в проек циях, соответствующих разностной сетке рис. 1.5. Если через первое радиальное сопротивление
„К в М
^ 1 “ |
и |
|
n e0hz |
выразить все остальные, то получим следующие значения для сопротивлений, соединяющих узел (k, т, п) с сосед ними:
Rh = R1l ( 2 k - 1), |
|
(1.42) |
|
Rh+1= R J ( 2 k + 1), |
|
||
|
|
||
2пЧ |
> |
(1.43) |
|
Кщ — Кт Ы““ ^1 |
|||
hi |
|
(1.44) |
|
* ■ - * - - * ■ |
■ |
||
|
28
Сопротивления на оси z |
|
•^0,71 ^0,П+1 |
(1.45) |
|
Mh2r |
В электронной оптике наиболее распространены осе симметричные системы, в которых потенциал не зависит от азимутальной координаты и описывается двумерным уравнением
д2ср |
, |
1 |
дер |
д2ф |
р |
дг2 |
' |
г |
dr |
' дг1 |
е„ |
Рис. 1.6. Цилиндрическая сетка сопротивлений в сечениях 0=const (а) и z —const (6)
29