Лекция_8
.pdf
•1) Благодаря большой глубине рисок (40 – 50 мкм) повышается процент выхода годных структур после разламывания
•2) Благодаря отсутствию механического воздействия отсутствуют микросколы и микротрещины. Кристаллографическая ориентация не оказывает влияния на качество разделения и форму кристаллов
•1) Высокая стоимость и сложность оборудования
•2) Загрязнение поверхности структур продуктами испарения и расплавления
•3) Возникновение зоны со структурными нарушениями и дефектной зоны, в которой происходят изменения свойств материала под действием лазерной обработки
Достоинства Недостатки
11
План лекции:
1.Резка пластин и подложек
2.Герметизация МЭУ
3.Испытания МЭУ
12
Корпусная
Герметизация Комбинированная
Бескорпусная
13
Корпусная герметизация
Корпусная герметизация предполагает предварительное изготовление элементов корпуса – основания с изолированными выводами, крышки и вспомогательных деталей. После монтажа кристалла (подложки) на основание и присоединения выводов устанавливают крышку, в результате чего образуют полый замкнутый объем.
14
Бескорпусная герметизация
При бескорпусной герметизации предварительно изготавливают лишь минимально необходимую арматуру – систему внешних выводов, а изготовление корпуса совмещают с процессом герметизации. Кристалл (подложку), соединенный с выводами, в этом случае заливают полимерными компаундами. При этом компаунд заполняет все конструктивные промежутки.
15
Комбинированная
герметизация
При комбинированной герметизации предварительно изготавливают капсулу в виде металлического колпачка, в котором устанавливают сборку подложки с выводами и заливают герметизирующим компаундом.
16
Пайка
Методы герметизации |
Склеивание |
Сварка
17
Наиболее широко используют методы пайки и сварки, т.к. они обеспечивают вакуум-плотные герметичные соединения.
Склеивание – один из самых простых и экономичных методов, однако применяется в отдельных случаях, без требований герметичного соединения.
Герметизация пайкой заключается в соединении металлических и металлических поверхностей узлов корпусов с помощью припоя. Применяют различные способы нагрева. Достоинства пайки для герметизации является отсутствие значительных давлений при герметизации и специального инструмента, к недостаткам относятся необходимость нагрева всего МЭУ до значительной температуры (2004200С), вредное влияние флюсов и высокие требования по плоскопараллельности соединяемых поверхностей; если же пайка ведется без флюса, то необходимо работать в атмосфере инертного газа.
Для герметизации используют припои с температурой пайки от 80…850С (сплав Розе) до 400…420 0С (ПрСр-3) и выше. Особенно распространенным является припой ПОС-61 (тем-ра пайки 210 0С) и ПСр- 2.5 (тем-ра пайки 340 0С).
18
Шовная импульсная сварка энергией лазерного излучения
Сплошной шов формируется путем наложения сварных точек друг на друга с некоторым перекрытием, характеризуемым коэффициентом перекрытия
P ld,
где l – длина перекрытия сварных точек на поверхности детали; d – диаметр лазерного луча.
19
20