ИДЗ_2_Зикратова_31

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра МНЭ

ИДЗ №2

по дисциплине «Методы анализа структур электроники и микросистемной техники»

Тема: ПРОВЕДЕНИЕ АНАЛИЗА МЕТОДОМ РСМА И МОДЕЛИРОВАНИЕ СПЕКТРА ВЫДАННОГО ОБРАЗЦА

Вариант 31

Студентка гр. 9282		Зикратова А. А.
Преподаватель		Андреева Н. В.

Санкт-Петербург

2023

Цель работы: проведение анализа методом РСМА и моделирование спектра TlIn_0,94Yb_0,06Te₂.

Моделирование спектра образца

Пусть энергия электронного пучка E₀ = 40 кэВ, разрешение детектора Δ ≈ 150…200 эВ

1) Качественный спектр TlIn_0,94Yb_0,06Te₂

XK_α = E_св(K) - E_св(L₃) XK_β = E_св(K) - E_св(M₃)

XL_α = E_св(L₃) - E_св(M₅) XL_β = E_св(L₂) - E_св(M₄)

XM_α = E_св(M₅) - E_св(N₇) XM_β = E_св(M₄) - E_св(N₆)

Пример расчёта:

YbK_α = E_св(K) - E_св(L₃) = 61332 – 8943 = 52389 эВ

TeL_β = E_св(L₂) - E_св(M₄) = 4612 – 582 = 4030 эВ

TlM_α = E_св(M₅) - E_св(N₇) = 2390 – 118 = 2272 эВ

Значения энергий переходов для K, L, M – серий для элементов, входящих в исследуемый образец, сведены в таблицу 1:

Рис. 1 – Качественный спектр излучения образца для α- и β-линий

2) Количественный спектр TlIn_0,94Yb_0,06Te₂

Расчёт атомных процентов (долей):

= = = 0,25

= = = 0,235

= = = 0,015

= = = 0,5

Пример расчёта сечений ударной ионизации, размера области генерации и интенсивности:

σ(InK) = = ≈ 5,82*10^-7 А²

σ(YbL₃) = = ≈ 1,82*10^-6 А²

R_хри(TlM₅) = * ( = * ( ≈ 4 мкм

Y(TlM_α) = N(Tl)* σ(TlM₅)*ω(TlM₅)* R_хри(TlM₅) = 0,25*6,81*10^-6*0,021*3,99*

*10⁴ ≈ 0,001429

Параметры для построения спектра сведены в таблицу 2:

Глубина проникновения электронного пучка:

R = * = * ≈ 4,03 мкм

На основании таблицы 2 построен спектр излучения образца:

Рис. 2 – Количественный спектр излучения образца для α-линий

Вывод: в ходе данной работы были смоделированы качественный и количественный спектры образца TlIn_0,94Yb_0,06Te₂