
Физ.Полупр.(для студ) / ФТТ_Садыков_13-14 / FTT_Sadykov_3
.pdf
3.Статистика электронных состояний.
Вразделе 2 были определены возможные в кристалле электронные состояния:
блоховские состояния, волновые функции и закон дисперсии для них, зоны разрешенных энергий, а также примесные состояния. Далее мы будем говорить о том, как заполняются эти состояния. При этом мы должны соблюдать два правила. Согласно принципу Паули каждое электронное состояние может быть занято не более чем двумя электронами
(различающимися по проекции спина) и в первую очередь заполняются состояния с минимальной энергией.
Функция плотности состояний.
Концентрация электронов и дырок в зонах.
Прежде всего, введем функцию плотности состояний в пределах зоны разрешенных
энергий. |
Вблизи дна зоны проводимости, с законом дисперсии E k Ec |
|
2k 2 |
2m , эта |
|
функция, |
g E , определяется соотношением: |
|
|
|
|
|
dz g E dE , |
(3.1) |
|
|
|
где dz |
- число электронных состояний, энергии которых |
заключены |
в |
интервале |
E E dE . С другой стороны, это число равно удвоенному (спиновое вырождение!) числу блоховских состояний в объеме k - пространства, заключенного между двумя сферическими
изоэнергетическими поверхностями с энергиями E и E dE и радиусами |
k и k dk , |
||
соответственно. С учетом того, что на |
одно блоховское состояние в k - |
пространстве |
|
приходится объем 2 3 V , получим |
dz 2 4 k 2Vdk 2 3 . |
Переходя |
в последнем |
выражении к переменным энергии, и сопоставив полученный результат с (3.1), получим: |
|||
g E 4 V 2m* |
h2 3\2 E Eс 1\2 . |
(3.2) |
|
Для определения концентрации электронов (их числа в единице объема) необходимо функцию плотности (при V 1) интегрировать по энергии в пределах зоны проводимости с учетом вероятности заселения электронных состояний согласно равновесной функции распределения Ферми

|
Emax |
|
|
n |
c |
g E f0 E dE Nc F1\2 , |
(3.3) |
Ec
Функция f0 E определяет вероятность заполнения уровня энергии E при температуре T ,
|
|
1 |
. |
(3.4) |
f0 E exp E F |
kT 1 |
|
F - уровень Ферми, символ k перед T впредь будет определять постоянную Больцмана.
1 f0 (E)
kT
1/2
|
|
F |
Ec |
E |
|
|||
Интегрирование в (3.3) от дна зоны проводимости |
|
|
E |
до ее максимальной энергии Emax , |
||||
|
|
|
|
|
|
c |
|
c |
которую мы заменим на , поскольку значение |
f |
0 |
E при E Emax |
практически равно |
||||
|
|
|
|
|
c |
|
||
нулю. Интеграл Ферми-Дирака F1\2 , введенный в (3.3), имеет вид: |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
1 1\2d , (3.5) |
|
F |
2 1 2 |
exp |
1 |
|
||||
1/ 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
где переменной интегрирования является приведенная энергия E Ec kT и введен
F Ec kT - приведенный уровень Ферми. Постоянную |
Nc |
называют приведенной |
|||||||||||
плотностью состояний, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nc 2 |
|
2 m*kT 3\2 |
2,5 1019 |
m* 3\2 |
T |
3\2 |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
(3.6) |
||
h |
2 |
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
m0 |
|
300 |
|
|
Интеграл Ферми-Дирака может быть упрощен для значений 1 . В этом случае под
интегралом в (3.5), в квадратных скобках, можно пренебречь единицей во всем интервале
|
|
|
|
|
|
интегрирования. Интеграл 2 1\2 exp 1\2d 1 - табличный, и поэтому: |
|||||
|
0 |
|
|
|
|
n |
Nc exp Nc e |
Ec F |
/ kT |
. |
(3.7) |
|
|
||||
Условие F Ec |
kT 1 означает, что уровень Ферми F лежит в запрещенной |
зоне, ниже дна зоны проводимости Ec , по крайней мере, на величину kT (см. Рис.3.1). Этот

случай известен как невырожденное распределение электронов в зоне проводимости.
Концентрация дырок (электронных вакансий в валентной зоне) определяется по аналогии с
(3.3) и (3.5):
E |
|
|
|
|
p v |
g p E 1 f0 |
E dE Nv F1/ 2 i , |
(3.8) |
|
|
|
|
|
|
здесь введена функция распределения дырок |
|
|
||
|
|
1 |
|
1 |
f p E 1 f0 E exp F |
E kT 1 |
exp p |
i 1 |
с p Ev E kT , i Ec Ev
kT ,
и функция плотности дырочных состояний с mv* - эффективной массой дырок:
g p E 4 V |
2mv |
|
h2 3/ 2 Ev E 1/ 2 . |
|
|
|
(3.9) |
||||||
При условии i 1 |
или F Ev |
kT (невырожденное распределение дырок) (3.8) |
|||||||||||
сводится: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p Nv exp i Nv exp F Ev |
kT . |
|
|
|
(3.10) |
||||||||
|
|
2 mv*kT 3\2 |
19 |
mv* 3\2 |
T |
3\2 |
|||||||
Nv 2 |
|
|
|
|
|
2,5 10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
h |
2 |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
m0 |
|
300 |
|
|||
В полупроводнике, находящемся в состоянии равновесия, оба выражения (3.7) и (3.10) |
|||||||||||||
контролируются одним и тем же уровнем Ферми |
F . Поэтому, если полупроводник слабо |
легированный, произведение (3.7) и (3.10) сводится к выражению (закон действующих масс):
n p N |
e N |
e i N |
N |
e i . |
(3.11) |
c |
v |
c |
v |
|
|
Т.е. это произведение концентраций электронов и дырок (при выполнении условия слабого легирования) зависит только от ширины запрещенной зоны и не зависит от степени легирования и характера легирования (донорами или акцепторами) полупроводника.
Выражения (3.3), (3.7) и (3.8), (3.10) показывают, что положение уровня Ферми относительно дна зоны проводимости и потолка валентной зоны является своего рода индикатором значения концентрации носителей в зонах. Это будет использовано нами в Разд. 7 при формулировке концепции квазиуровней Ферми.
Статистика примесных состояний.
Доноры, как мы видели в разделе 2, приводят к образованию примесных уровней Ed .
При абсолютном нуле все электроны находятся на этом уровне, т.е. концентрация связанных

на уровне Ed электронов равна nd Nd (случай однократной ионизации доноров), где Nd -
концентрация донорной примеси. С повышением температуры происходит ионизация
примесного уровня, т.е. становится отличной от нуля концентрация дырок pd |
на примесном |
||||||
уровне. При произвольной температуре должно выполняться соотношение |
Nd pd |
nd . |
|||||
Отношение концентраций |
pd |
и nd определяется соотношением: |
|
|
|||
n |
p |
g exp E |
F / kT . |
(3.12) |
|
|
|
d |
d |
|
d |
|
|
|
|
Коэффициент вырождения g связан с тем, что состояние |
Ed , занятое электроном, |
имеет |
двукратное вырождение по спину, тогда как дырочное состояние (отсутствие электрона) не вырождено. Далее находим:
|
|
|
n ge Ed F / kT N |
d |
n |
, |
|
|
|
|
d |
|
d |
|
|
|
nd |
Nd |
g 1 exp Ed |
F kT 1 |
(3.13) |
||
|
|
Nd |
g 1 exp d |
1 , |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
и pd |
Nd |
g exp d 1 , |
|
|
(3.14) |
|
где d |
Ec Ed kT . |
|
|
|
|
|
Акцепторная примесь порождает примесный уровень Ea (связанная дырка). Степень заполнения этого уровня характеризуется концентрациями pa и na , при этом na pa Na
- концентрация акцепторных примесей.
Зависимость уровня Ферми от температуры в полупроводниках.
Условие термодинамического равновесия в электронной подсистеме полупроводника выражается в том, что все концентрации n, p, pd ,na , полученные ранее, контролируются одним и тем же уровнем Ферми F . Следовательно, равновесное значение этого параметра может быть определено из условия электронейтральности среды, n na p pd . В случае собственного полупроводника имеем n p или:
Nc exp Nv exp i ,
откуда следует: |
|
|
|
|
F Ec Ev |
2 kT |
2 ln Nv |
Nc . |
(3.15) |
Перепишем электронную концентрацию с учетом (3.15):

n Nc exp Ec F kT Nc Nv 1 2 exp EA
kT ,
где введена энергия активации EA Ec Ev 2 , характеризующая экспоненциальную зависимость концентрации n от обратной температуры.
Рассмотрим теперь примесный (донорный) полупроводник. При достаточно низких температурах межзонная генерация неэффективна и электроны в зоне проводимости появляются благодаря ионизации доноров. Электронейтральность в этих условиях выражается условием
1 1 . (3.16)
А) Рассмотрим это выражение при таких низких температурах, когда лишь небольшая часть доноров ионизована, т. е. когда exp d 1. Тогда в знаменателе правой части
(3.16) единицу можно отбросить
exp 2 N |
d |
gN |
c |
1 exp |
d |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
откуда легко получить поведение уровня Ферми для рассматриваемых температур: |
||||||||
FdA Ec Ed 2 kT |
2 ln Nd gNc 1 . |
(3.17) |
||||||
Выражение под логарифмом обычно меньше |
единицы, |
т.е. |
F A |
убывает линейно с |
||||
|
|
|
|
|
|
|
d |
|
температурой. Этот режим известен как режим ионизации примесей. Зависимость концентрации электронов от температуры равна:
n Nc exp Ec FdA |
kT Nc Nd g 1 |
1 2 exp EAd |
kT , |
||
т.е. она определяется энергией активации Ed |
E E |
|
2 . |
|
|
|
A |
c d |
|
|
|
B) Температура выше, чем в случае А), но в то же время достаточно низкая; при этом все доноры ионизованы, но межзонная генерация все еще не эффективна. В этом случае n Nd , т.е. знаменатель в правой части (3.16) равен единице. Находим:
n N |
exp N |
, |
F B E kT ln N |
d |
N |
. (3.18) |
c |
d |
|
d c |
c |
|
Это опять линейно убывающая функция температуры и, легко показать, энергия активации равна нулю.
n Nc exp Ec FdB kT Nd .
Данный температурный диапазон называется областью истощения примесей.
Таким образом, в области температур 0 T TS идет ионизация примесей (зависимость

(3.17)), а при TS T Ti - |
ионизация примесей |
прекращается (истощение примесей) - |
зависимость (3.18). При |
температурах T Ti |
становится эффективным межзонное |
возбуждение носителей и система далее ведет себя как собственный полупроводник.
Характеристические температуры TS , Ti определяются приравниванием (3.17), (3.18), и (3.18), (3.15), соответственно.
Ec Ed |
|
1 |
|
|
Nd |
|
Ec |
kTS |
|
Nd |
|
|
kTS |
ln |
|
ln |
, |
||||||||
|
|
|
|
|||||||||
2 |
|
2 |
|
gNc |
|
|
|
Nc |
|
|
|
Nd |
1/ 2 |
|
Nc |
|
|
Ec Ed |
|
|
|
|
|
|
|
|
Ec Ed |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
kTS |
ln |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, TS |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
gNc |
|
Nd |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1/ 2 |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nc |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2k ln |
|
Nd |
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
gNc |
|
|
|
Nd |
|
||||||||
|
|
|
|
Ec Ev |
|
|
|
kTi |
|
|
Nv |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nd |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
ln |
|
|
Ec kTi ln |
, |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nc |
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
Nc |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
Nv |
1/ 2 |
|
Nc |
|
Ec Ev |
|
|
|
|
|
|
Ec Ev |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
kTi ln |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, Ti |
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
||||||||||||||||
N |
|
|
N |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1/ 2 |
|
|||||||||||||||||||||
|
|
c |
|
d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nv |
|
|
|
Nc |
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2k ln |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Nc |
|
|
Nd |
|
; (3.19)
(3.20)
Температура TS , при которой доноры уже истощены, а ионизация валентной зоны еще не эффективна, равна 30 К и 40 К для Ge и Si, соответственно. В то же время Ti -
температура, при которой электронная концентрация начинает возрастать благодаря ионизации валентной зоны, равна 450 К и 680 К для Ge и Si. Таким образом, мы видим, что в указанных полупроводниках экспоненциальная зависимость концентрации носителей от температуры не имеет места в широком диапазоне температур. Схематически зависимость концентрации электронов в зоне проводимости донорного полупроводника показано на Рис.
3.2.

Электронная концентрация в металлах. Зависимость уровня Ферми от температуры.
При анализе концентрации электронов в металле мы считаем, что концентрация электронов в зоне проводимости постоянная, т.е. она от температуры не зависит (в случае полупроводников это не так). Для концентрации электронов справедливо выражение (3.3),
которое мы перепишем положив Ec |
0 : |
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
n g E f0 |
E dE . |
(3.21) |
||
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F 0 |
При T 0 |
это выражение может быть переписано |
как n |
g E dE . Последним |
||
|
|
|
|
|
0 |
равенством |
определяется F 0 |
- |
уровень Ферми при |
T 0 , |
соответствующий данной |
концентрации n . При T 0 (3.21) |
перепишем, пользуясь формулой интегрирования по |
|||||
частям: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n g E f0 |
E dE G E |
f0 E |
|
0 G E f0 |
E |
E dE , (3.22) |
|
||||||
0 |
|
0 |
|
|
E
где G E g(E)dE , а f0 E E - обладает свойством дельта функции (Рис.3.3).
0
Дальше используется разложение G E в ряд Тейлора в точке F : |
|
|||||
G E G F E F G E F |
|
1 |
E F 2 |
G E F |
, (3.23) |
|
2 |
||||||
|
|
|
|
|
и полученный ряд подставляется в (3.22), под интеграл. Результат имеет вид:
n G F 1 2 kT 2 g
6 E
F , |
(3.24) |
где принято во внимание, что линейный член разложения (3.23) при интегрировании дает нуль, а квадратичный член, приводит к результату:
dgdE F 1 2 E F 2 f0 E
E 2 kT 2
6 dg
dE F .
0
Перепишем (3.24), вводя F 0 :

F 0 |
|
|
F |
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
g |
|
|
|
|
|
|
g E dE g E dE |
2 |
kT 2 |
|
|
F |
|||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||
6 |
E |
|||||||||||||||||||
0 |
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
F 0 |
E F F 0 F |
1 |
|
|
|
|
|
g |
|
|||||||||||
g E dE g |
2 kT 2 |
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
E F |
||||||||||||||||
F |
|
|
|
|
|
|
|
6 |
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
F F 0 |
1 |
kT |
2 ln g E |
|
|
|
F . (3.25) |
|||||||||||||
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
6 |
|
E |
|
|
|
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Изменение уровня Ферми с температурой в металлах не связано с изменением концентрации электронов. Это есть результат расширения переходной (от 1 к 0) области функции распределения Ферми (Рис.3.4).
g(E)
g(E)
Электронная теплоемкость.
Средняя энергия электронов проводимости равна:
|
|
|
E el Eg E f0 |
E dE g, E f0 |
E dE . (3.26) |
0 |
0 |
|
Этот интеграл можно вычислить тем же методом, что был использован выше, заменив g E g, E Eg E :
|
|
|
|
F |
|
1 |
|
|
|
|
d g E E |
|
|
|
|||||||
|
|
E el Eg E dE |
2k 2T 2 |
. |
(3.27) |
||||||||||||||||
|
|
6 |
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
dE |
|
|
|
E F |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Отсюда можно получить электронную теплоемкость: |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
d E |
el |
|
|
|
dF |
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
dg E |
|
||||
|
|
CVel Fg F |
|
|
|
|
|
2 2k 2T F |
|
|
|
|
|
g F , |
|||||||
|
dT |
dT |
|
6 |
|
|
dE E F |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
* 3 / 2 |
|
||||||
|
|
CVel |
2k 2Tg F |
|
|
|
2k 2T 4 |
2m |
|
|
F1/ 2 . |
(3.28) |
|||||||||
|
|
|
|
|
2 |
|
|||||||||||||||
|
|
|
3 |
|
3 |
|
|
|
h |
|
|
|
|
|
|

Сравним эту величину с теплоемкостью, записанной на основе классических
соображений, т.е. энергия единицы объема классического электронного газа равна концентрации n умноженной на 3kT2 , откуда:
CVel |
classic |
3kn 2 3k 2 4 2m 3 2 F 3 2 2 3h3 , |
|
n 4 2m 3 2 F 3 2 2 3h3 . |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Найдем отношение |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
Cel |
|
kT |
|
|
||
|
|
|
V |
|
2 |
|
10 2 . |
|
|
|
|
|
CVel |
3F |
|
|
|||
|
|
|
classic |
|
|
|
|
|
|
Отличие |
теплоемкости электронов |
в металле Cel |
от |
классически ожидаемого ее |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
значения объясняется вырождением электронного газа. Это означает, что в процессах обмена энергией участвуют только электроны, энергии которых расположены вблизи уровня Ферми в пределах kT , тогда как электроны, расположенные достаточно далеко от F (более чем на kT ), в этих процессах не участвуют (см. рис.3.4).
Интересно также сравнить электронную теплоемкость с решеточной теплоемкостью
при низких температурах , что будет сделано в Разд.5.

1 f0 (E)
kT
1/2
F |
Ec |
E |
Рис. 3.1.
Рис. 3.2.
g(E)
Рис. 3.3.
g(E)
Рис. 3.4.