
- •Электрофизические и электрохимические основы технологии ЭВС
- •Что такое «чистая» поверхность?
- •Условия надсистемы атмосферы
- •Седиментационный
- •Контроль азота
- •Контроль воды
- •Реактивы и растворители
- •Идеальный конечный результат:
- •Основными методами контроля чистоты поверхности являются
- •Контроль чистоты поверхности после жидкостной обработки
- •Методы, основанные на отражении света («косым» пучком осветителя)
- •Схема фотоэлектрического метода контроля
- •Чистоту поверхности пластин по смачиваемости проверяют:
- •Метод окунания в чистую воду
- •Метод распылении чистой воды на сухую поверхность очищенной пластины
- •Метод запотевания
- •Метод конденсации
- •Метод измерения угла смачивания
- •Измерение краевых углов смачивания методом проектирования капли на экран.
- •В случае окуляра, снабженного линейной шкалой, краевые углы можно рассчитать с помощью линейных
- •ИНДИКАТОР ИЧП-1 ДЛЯ ЭКСПРЕСС- КОНТРОЛЯ
- •Трибометрические методы
- •Фотометрические методы контроля
- •Приборы экспресс-контроля чистоты поверхности
- •Метод радиоактивных изотопов
- •Кондуктометрические
- •По контактному электрическому сопротивлению
- •Прибор «Поверхность – контроль чистоты поверхности»
- •Спектральный анализ сухого остатка
- •Коррозионный метод
- •Сравнительные характеристики чувствительности различных методов контроля качества очистки поверхности весьма относительны. Можно привести
- •Эксплуатационные методы контроля очистки

В случае окуляра, снабженного линейной шкалой, краевые углы можно рассчитать с помощью линейных параметров капли. Для этого с помощью шкалы определяют диаметр основания капли d и ее высоту h и по формуле рассчитывают значение cos :
При d/2 < h можно использовать более простое выражение: cosθ =(d/2h) - 1.
•22

ИНДИКАТОР ИЧП-1 ДЛЯ ЭКСПРЕСС- КОНТРОЛЯ
ЧИСТОТЫ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ
•Используемая жидкость - дистиллированная вода.
•Время измерения в режиме индикатора - не более 30 с.
0,00 |
0,005 |
0,01 |
0,1 |
0,5 |
Процент
масла
Краевой 61 |
63 |
66 |
74 |
78 |
угол |
|
|
|
|
Пример
зависимости краевого угла от толщины масляной
пленки
•23

Трибометрические методы
• Измеряют усилия Р, |
|
необходимые для |
|
перемещения |
Р |
металлической иглы |
|
специальной установки |
|
по поверхности пластины. |
|
•Разновидностью этого метода является трение образцов друг об друга – наличие загрязнений изменяет коэффициент трения.
•24

Фотометрические методы контроля
•Используется
явление
флуоресценции некоторых веществ под действием
ультрафиолетового облучения. Такими веществами являются масла, ПАВ.
В1
+поле
П |
• |
Для обнаружения |
|
других загрязнений |
|
|
|
в состав |
|
В |
технологических |
|
сред вводят |
|
|
2 |
|
|
|
люминесцентные |
|
|
добавки |
|
|
(измерительный |
|
|
веполь). |
+ вещество
Светящиеся загрязнения определяют визуально, фотографированием, с помощью фотоэлементов
•25

Приборы экспресс-контроля чистоты поверхности
Люминометр |
Люминометр |
«Бертольд» |
«Бертольд Джуниор» |
•26

1 |
2 |
3 |
•1- на исследуемую поверхность распыляют экстрагент, затем протирают ее чистым тампоном;
•2 – переносят тампон в детекторную пробирку, в которой начинается биолюминесцентная реакция;
•3 – измеряют интенсивность люминесценции.
•27

Метод радиоактивных изотопов
•Применяют в научных исследованиях процессов очистки.
•Метод радиоактивных изотопов обладает наибольшей чувствительностью.
•Изотопы искусственно вводят в состав загрязнений. После очистки поверхность контролируют с помощью счетчика Гейгера
Счетчик
Гейгера
•28 |

Кондуктометрические
Методы основаны на удалении с поверхности загрязнений растворителями или стравливании их вместе с тонким поверхностным слоем. Измеряют удельное сопротивление раствора или травителя до и после погружения в него контролируемой детали.
До
После
•29

По контактному электрическому сопротивлению
|
|
Высокое сопротивление |
• |
Обнаружить остатки |
|
|
продуктов коррозии можно |
|
|
измерением контактного |
|
|
электрического |
|
|
сопротивления. Для |
|
|
очищенной поверхности оно |
|
|
может составить 0,014 Ом, в |
|
|
то время, как коррозионная |
|
|
пленка повышает |
|
|
переходное сопротивление |
|
|
до 2000 Ом. |
|
• |
Аналогичным является метод |
|
|
измерения контактной |
Низкое сопротивление |
|
термо-ЭДС поверхности. |
|
•30

Прибор «Поверхность – контроль чистоты поверхности»
Прибор позволяет оценивать степень очистки от оксидов в диапазоне толщин 5,0-300 Å и адсорбированных загрязнений поверхности стехиометрического состава, состоящей из металла, углеродсодержащих соединений и кислорода.
Действие прибора основано на измерении величины поверхностного потенциала исследуемого образца.
•31