Деионизованную воду получают методом ионного обмена, сущность которого состоит в том, что в системе вода — ионит происходит обмен ионами. В качестве ионитов используют различные ионообменные смолы.
Na+ |
Cl- |
|
Mg+ |
|
Cu+ |
+ |
|
|
Fe++ |
|
|
|
(+) |
+ |
SO4- - |
K+ |
CO3- - |
Ca+ |
|
|
+ |
В воде всегда содержатся катионы железа, меди, кальция, магния, натрия, калия
и анионы хлоридов, сульфидов, бикарбонатов.
Виды деионизованной воды
А
А используется для промывки пластин с p-n
переходами.
Вода марки А имеет удельное сопротивление 20 Мом . см,
Б
Бприменяется для подложек ГИС, нейтральных и диэлектрических
покрытий ИС и т.п. Вода марки марки
Бимеет удельное сопротивление
около 1 Мом . см.
Для очистки воды от ионов используют катионитовые (КУ-1, КУ-2, КУ-8-4с, КБ-4П2) и анионитовые (АВ-16, АВ-17, АВ-20, АВ-
17-8-4с) смолы.
1. Исходная вода последовательно проходит параллельно работающие многослойные, угольные и барьерные фильтры
2. Вода после обработки |
|
3. Обессоленная вода |
ингибиторами для |
|
подаётся на ионообменные |
предотвращения |
|
фильтры (фильтр с |
осадкообразования на |
|
катионообменной смолой в |
поверхности мембран |
|
Н+ форме, фильтр с |
солей жёсткости подаётся |
|
анионообменной смолой в |
под давлением на |
|
OH- форме, фильтр |
мембранную установку |
|
смешанного действия) для |
ОВОД, где происходит |
|
глубокой деионизации |
обессоливание воды на |
|
|
|
|
|
обратноосмотических |
|
|
элементах серии ЭМО |
|
|
|
|
|
Методы очистки и травления поверхности изделий
Жидкостные |
Сухие |
Физическ
ие
Обезжиривание в органических растворителях
Промывка в воде
Химическ
ие
Обезжиривание в перекисно- аммиачных р-х
Удаление ионов в перекисно- аммиачных р-х
Кислотное и щелочное травление
Физические |
Химические |
Отжиг |
Газовое |
|
травление |
Плазмо- Ионное химическое
травление травление
Примеры операций очистки поверхностей:
• Неорганические |
• Органические |
загрязнения в |
загрязнения можно |
простейшем случае |
удалять путем |
удаляют тканью для |
термической |
протирки, ручной |
обработки. При этом |
щеткой, |
они разлагаются с |
гидромеханической |
образованием атомов |
очисткой или |
углерода. |
сдувают струей |
В отдельных |
сжатого воздуха, в |
случаях так удаляют |
некоторых случаях |
и физические |
струей очищенного |
загрязнения |
азота |
(выжигание |
|
металлической |
|
стружки из резьбовых |
Примеры операций очистки поверхностей
Удаление органических загрязнений в растворителях производится в таком порядке:
1. В неполярных или слабо полярных растворителях (бензоле, толуоле, четыреххлористом углероде, некоторых фреонах) отмывают неполярные загрязнения
2. В спиртах, ацетоне, трихлорэтане отмывают полярные загрязнения
Примеры операций очистки поверхностей
Химические загрязнения удаляют
в таких средах:
•кислотах, часто в смеси с сильными окислителями;
•
комплексообразова
телях
•поверхностно- активных веществах
Оборудование
Шкаф вытяжной типа 2ШВ-2Ф Состав раствора для травления подложки
Вода дистиллированная, л …… до 1.0
Гидроокись калия, кг ..…………. 0,7
Моноэтаноламин, л ………………
0,6
МЕТОДЫ ФИЗИЧЕСКОГО ОБЕЗЖИРИВАНИЯ
Физическое обезжиривание - это растворение органических загрязнений в горячих или кипящих органических растворителях.
При этом молекулы жиров, отрываясь от поверхности пластин, равномерно распределяются в объеме растворителя.
Одновременно происходит обратный процесс — адсорбция молекул жира очищенной поверхностью.
1.Унести чистую пластину в другое место
2.Прогнать человечков с комками жира прочь