Доцент Резчикова Е.В.
Лекция №
02
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
удаление |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
модификация |
|
|
|
материалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
нанесение |
|
|
материалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|||||||
|
|
|
|
материалов |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
получение заданной конфигурации технологических структурных элементов
ИНТЕНСИФИКАЦИЯ ПРОЦЕССОВ ОЧИСТКИ
Для повышения эффективности очистки используют различные методы интенсификации. При этом ускоряются
более медленные стадии процесса
(например, подвод свежего реагента в зону обработки, отвод продуктов химической реакции от обрабатываемой поверхности), обеспечивается десорбция
атомов или ионов с поверхности изделия. Используются и другие полезные ресурсы технологии.
Методы форсирования технологий очистки деталей
Физические
методы
интенсификации
Нагрев, кипячение, обработка струёй, гидроциркуляция, проток, гидромеханическая очистка, центрифугирование, ультразвуковая обработка, вибрация промышленной частоты, плазменная очистка
Химические |
методы |
интенсификации |
Очистка поверхностно- активными веществами, комплексообразователями.
Комбинированные методы интенсификации объединяют физические и химические методы (обработка горячей струёй, подогрев ультразвуковой ванны
ИНТЕНСИФИКАЦИЯ ПРОЦЕССОВ ОЧИСТКИ
Загрязнения |
Загрязнения |
Загрязнения |
|
|
|
|
Деталь |
|
Гидромеханическая очистка (отмывка пластин кремния)
3
2
1
4
Схема 5
гидромеханическо й очистки
1 - линия подачи деионизованной воды, 2 - щетка, 3 - валик,
4 - пластина,
5 - вакуумный столик.
Интенсификация процесса обеспечивается за счет контакта с рабочей поверхностью вращающейся пластины, закрепленной на вакуумном столике, мягких нейлоновых щеток, надетых на валик, ось вращения которого перпендикулярна оси пластины.
Участок
гидромеханическ ой очистки