
Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология кремниевой наноэлектроники.-3
.pdf
Материал
Mg
Al
Si
Ti
V
Cr
Fe
Ni
Cu
Ge
Nb
Mo
Ag
Ta
W
Pt
Au
C
GaAs
SiO2
61
ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Параметры металлов и полупроводников
Плотность |
Атомная плот- |
|
|
материала, |
Энергия |
Пороговая |
|
ность |
|
|
|
|
сублимации, |
энергия, |
|
г |
N0 , 1022 , атом см3 |
Есуб., эВ |
Епор., эВ |
см3 |
|
|
|
1,74 |
4,31 |
1,59 |
6,8 |
2,7 |
6,04 |
3,26 |
13,5(13) |
2,42 |
5,04 |
3,91 |
16,1 |
4,52 |
5,66 |
4,34 |
17,5(20) |
6,11 |
6,63 |
3,7 |
14(23) |
7,19 |
7,64 |
3,68 |
15(22) |
7,87 |
8,48 |
4,15 |
17,1(14-20) |
8,9 |
9,03 |
4,41 |
18,3(7-21) |
8,96 |
8,52 |
3,56 |
15(12-17) |
5,32 |
4,53 |
3,77 |
16,5(25) |
8,57 |
5,45 |
7,5 |
35,6(27) |
10,2 |
6,39 |
6,9 |
33,2(24) |
10,5 |
5,85 |
2,7 |
13,7(15) |
16,6 |
5,52 |
8,7 |
58,7(26) |
19,3 |
6,09 |
8,76 |
59,5(35) |
21,6 |
6,61 |
5,56 |
3,9(27) |
19,32 |
2,90 |
3,92 |
28(20) |
|
11,3 |
7,41 |
10 |
5,3 |
2,18 |
2,35 |
|
2,65 |
3,68 |
|
|
|
|
|
|
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]