Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Технология кремниевой наноэлектроники.-3

.pdf
Скачиваний:
11
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
1.39 Mб
Скачать

Материал

Mg

Al

Si

Ti

V

Cr

Fe

Ni

Cu

Ge

Nb

Mo

Ag

Ta

W

Pt

Au

C

GaAs

SiO2

61

ПРИЛОЖЕНИЕ 3

Параметры металлов и полупроводников

Плотность

Атомная плот-

 

 

материала,

Энергия

Пороговая

ность

 

 

 

сублимации,

энергия,

г

N0 , 1022 , атом см3

Есуб., эВ

Епор., эВ

см3

 

 

 

1,74

4,31

1,59

6,8

2,7

6,04

3,26

13,5(13)

2,42

5,04

3,91

16,1

4,52

5,66

4,34

17,5(20)

6,11

6,63

3,7

14(23)

7,19

7,64

3,68

15(22)

7,87

8,48

4,15

17,1(14-20)

8,9

9,03

4,41

18,3(7-21)

8,96

8,52

3,56

15(12-17)

5,32

4,53

3,77

16,5(25)

8,57

5,45

7,5

35,6(27)

10,2

6,39

6,9

33,2(24)

10,5

5,85

2,7

13,7(15)

16,6

5,52

8,7

58,7(26)

19,3

6,09

8,76

59,5(35)

21,6

6,61

5,56

3,9(27)

19,32

2,90

3,92

28(20)

 

11,3

7,41

10

5,3

2,18

2,35

 

2,65

3,68