Добавил:
ivanov666
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Технология кремниевой наноэлектроники.-1
.pdf
Материал
Mg
Al
Si
Ti
V
Cr
Fe
Ni
Cu
Ge
Nb
Mo
Ag
Ta
W
Pt
Au
C
GaAs
SiO2
61
ПРИЛОЖЕНИЕ 3
Параметры металлов и полупроводников
Плотность
материала,
г |
3 |
|
см |
||
|
1,74
2,7
2,42
4,52
6,11
7,19
7,87
8,9
8,96
5,32
8,57
10,2
10,5
16,6
19,3
21,6
19,32
5,3
2,65
Атомная
плотность
N |
22 |
, |
атом |
|
, 10 |
|
3 |
||
0 |
|
|
см |
|
|
|
|
|
4,31
6,04
5,04
5,66
6,63
7,64
8,48
9,03
8,52
4,53
5,45
6,39
5,85
5,52
6,09
6,61
2,90
11,3
2,18
3,68
Энергия |
Пороговая |
сублимации, |
энергия, ЕП., |
Есуб., эВ |
эВ |
1,59 |
6,8 |
3,26 |
13,5(13) |
3,91 |
16,1 |
4,34 |
17,5(20) |
3,7 |
14(23) |
3,68 |
15(22) |
4,15 |
17,1(14-20) |
4,41 |
18,3(7-21) |
3,56 |
15(12-17) |
3,77 |
16,5(25) |
7,5 |
35,6(27) |
6,9 |
33,2(24) |
2,7 |
13,7(15) |
8,7 |
58,7(26) |
8,76 |
59,5(35) |
5,56 |
3,9(27) |
3,92 |
28(20) |
7,41 |
10 |
2,35 |
|
|
|
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]