Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Современные проблемы науки и производства в области электронной техники

..pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
10.04 Mб
Скачать

,

.

.2.5. .

41

3.

3.1

.

. ,

, ,

.

.

5 10

,

, .

, .

.

XX .

. ,

, , ,

. .

. , ,

, [16].

42

3.2.

1963 . .

GaAs InSb

. 1966

, International Semiconductor Inc. -

.

1969 Bell Laboratories

.

. ,

,

. ,

.

.

,

, ,

/

( ) ( ) .

,

, ,

.

43

,

.

,

,

.

,

,

, .

,

,

, ,

, ,

, ,

. .

. ,

.

,

. , - ,

, ( )

,

. ,

.

44

,

.

- ,

.

,

, , .

« »,

, .

,

, .

.

. ,

( );

; ( )

. .

,

, ,

. .

, .

.

-

.

45

,

,

. ,

, -

.

, ,

.

-

.

.

.

, ,

.

.

.

, ,

,

- ,

,

.

46

, ,

,

,

.

47

3.4.

. . . . .

,

. 1958 [17, 18]. B [19] , ,

[18],

, - [20, 21].

[22]

, [23]

.

[19] . . . .

[17]. [24],

[25]. -

,

(screw , helical) [23, 24],

. 1991

[26]. . .

-

« » ,

,

[27]. .

48

, ,

[28].

- . . . .

( ) [17] . . [29]

.

,

,

[30 35].

.

- ,

- ,

,

[36 40].

- ,

, ,

.

,

, .

,

[34].

, ,

.

, ,

.

49

SiOx (x 1,2), ,

.

,

[36 38].

, .

,

,

.

90- . ,

.

,

. (10-14)

77 [41, 42, 43].

[44, 45],

14 .

,

,

.

, , ,

,

.

50