Современные проблемы науки и производства в области электронной техники
..pdf
,
.
.2.5. .
41
3.
3.1
.
. ,
, ,
.
.
5 10
,
, .
, .
.
XX .
. ,
, , ,
. .
. , ,
, [16].
42
3.2.
1963 . .
GaAs InSb
. 1966
, International Semiconductor Inc. -
.
1969 Bell Laboratories
.
. ,
,
. ,
.
.
,
, ,
/
( ) ( ) .
,
, ,
.
43
,
.
,
,
.
,
,
, .
,
,
, ,
, ,
, ,
. .
. ,
.
,
. , - ,
, ( )
,
. ,
.
44
,
.
- ,
.
,
, , .
« »,
, .
,
, .
.
. ,
( );
; ( )
. .
,
, ,
. .
, .
.
-
.
45
,
,
. ,
, -
.
, ,
.
-
.
.
.
, ,
.
.
.
, ,
,
- ,
,
.
46
, ,
,
,
.
47
3.4.
. . . . .
,
. 1958 [17, 18]. B [19] , ,
[18],
, - [20, 21].
[22]
, [23]
.
[19] . . . .
[17]. [24],
[25]. -
,
(screw , helical) [23, 24],
. 1991
[26]. . .
-
« » ,
,
[27]. .
48
, ,
[28].
- . . . .
( ) [17] . . [29]
.
,
,
[30 35].
.
- ,
- ,
,
[36 40].
- ,
, ,
.
,
, .
,
[34].
, ,
.
, ,
.
49
SiOx (x 1,2), ,
.
,
[36 38].
, .
,
,
.
90- . ,
.
,
. (10-14)
77 [41, 42, 43].
[44, 45],
14 .
,
,
.
, , ,
,
.
50