Современные проблемы науки и производства в области электронной техники
..pdf( , )
;
;
6), , , ;
, ,
, ,
;
1.5..
.
,
10 %.
,
.
,
, .
,
.
( )
( .1.2).
. . ,
11
:
12
) |
) |
) |
) |
.1.2. , ; , :
Si,
; .
13
«
».
.
( .
) ,
, -
( ) . ,
, [2].
(
) ( 2- )
(200 400
) [2].
,
,
, , , .
( , , )
.
,
, ,
, , .
« » [2].
150 1
( .1.2, ).
:
5000 · , 1400
2/ , 2 ,
14
1012 3,
1016 3 ( .1.3).
.1.3. .
15
16
1.6..
. ,
, : «
. , , ,
, (
) « » [3].
, ,
,
MoS2, : Molybdenite.
. ,
, ,
PbS, |
|
. |
|
.1.4. .
( ), « ».
.
, , , 18
17
. , 1778
« » ,
« » (Mo), .
(Pb).
(« ») (« »), MoS
.
,
Re Se,
.
. :
,
. ,
, .
2011 ,
(Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL))
,
, ,
, .
, , 1,8 [4].
, :
,
« », .
: « ,
,
, , ,
, » [5].
,
.
18
6,5 Å (0,65 ),
200 2 1 1
2 [4].
,
.
, .
, .
MoS2 , .
,
« » , ,
, , , ,
.
,
,
,
, .
19
.1.5. : «source» « », «drain» « », «top gate» « », HfO2 .
.1.5
, ,
100 ,
.
.
.
2004 Science,
,
(Department of Physics, University of Manchester)
, ,
( ,
) [6].
, , ,
.
, 2004 [6]
2010
[7].
,
, ,
.
20