
Приборы и устройства СВЧ, КВЧ и ГВЧ диапазонов
..pdf
241
L = τЛ |
2I0a/ |
(9.27) |
Л |
|
представляет эквивалентную индуктивность лавинной области. Полный ток в слое умножения равен сумме тока смещения и
тока конвекционного (лавинного)
IП = Iл + Iсм,
где Iсм = Sεε0 (∂E / ∂t) = jωCЛU Л , ток лавины (9.26), тогда |
|
||||||||||||||
|
|
|
U |
Л |
[1 - w2C |
L ] |
|
|
|
|
w2 |
|
|
||
I |
П |
= |
|
|
|
Л Л |
|
= I |
Л |
1 |
- |
|
, |
(9.28) |
|
|
|
|
jwLЛ |
|
w2Л |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где СЛ и ωЛ — емкость области умножения и лавинная частота, которые определяются выражениями
|
|
|
CЛ |
= εr ε0 S ; |
|
|
(9.29) |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
lЛ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
2I V |
a/ |
|
|||
wЛ |
= |
|
|
|
|
|
|
|
= |
0 н |
н |
. |
(9.30) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
С |
Л |
L |
|
|
e0er S |
|
|||||
|
|
|
|
Л |
|
|
|
|
|
|
|
|||
Отношение лавинного тока к полному току обозначим |
|
|||||||||||||
|
g = |
I Л |
= |
|
1 |
|
. |
|
|
(9.31) |
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
I П |
1 |
- w2 |
w2Л |
|
|
|
Конвекционный ток в пространстве дрейфа, где движение носителей происходит с постоянной скоростью, отстает на угол
ωx от тока в слое умножения, в комплексной форме записывает- vн
|
x |
|
jω t − |
|
|
|
||
ся Iдр (x,t) = IЛ е |
Vн и позволяет определить наведенный ток |
|
|
|
|
|
|
|
lдр |
v |
|
|
|
|
|
|
|
|
по (1.29), представив его в виде Iн = ∫ |
н |
dq . В этом соотношении |
||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
0 |
|
l |
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
др |
|
|
|
|
|
|||||
vнdq = vн ρ Sdx = Iдр dx ; ωlдр |
vн = τдрω = θдр , тогда |
|
|
|||||||||||||
|
|
lдр |
|
− jω x |
V |
|
|
|
|
jωt |
(1 - e |
|
). (9.32) |
|||
|
|
e |
|
|
I Лe |
|
||||||||||
& |
jωt |
vн ∫ |
|
Н dxw |
|
|
− jθдр |
|||||||||
Iн = I Л × e |
|
|
l |
|
|
v w |
|
= |
|
jq |
др |
|
||||
|
|
0 |
|
др |
|
|
н |
|
|
|
|
|
|

242
|
Полный ток во внешней цепи области дрейфа равен сумме |
||||||||||||||||||||||||||
емкостного и наведенного токов I& |
|
= I& |
|
|
|
|
+ I& |
= jwC U |
др |
e jωt + I& . |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
емк |
|
|
|
|
н |
|
|
др |
н |
||||||
После подстановки в полный ток выражения (9.32) получим |
|||||||||||||||||||||||||||
|
I&п = j |
|
|
ωCдрUдр |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
. |
|
|
|
|
(9.33) |
||||||||
|
|
|
|
|
− j |
θд р |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
1 - g 1 - e |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
jqдр |
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
Сопротивление области дрейфа диода определяется выра- |
||||||||||||||||||||||||||
жением |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
& |
|
& |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(9.34) |
||||
|
|
Zдр = Uдр In = rдр + jX др , |
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
где |
r |
= |
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
× |
1 |
− cos θ |
др |
; |
|
(9.35) |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
др |
|
w× С |
|
1 - w2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qдр |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
др |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
wЛ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
sin q |
др |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
X |
|
= |
|
|
|
g |
|
|
|
|
|
-1 . |
|
|
|
|
(9.36) |
||||||||
|
|
|
|
w×С |
|
q |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
др |
|
|
|
|
др |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
др |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Эквивалентная |
схема |
|
ЛПД |
|
для режима |
малых |
амплитуд |
представлена на рис. 9.25, а, причем в точках а-а следует подключить вместо rn и Хn схему рис. 9.25, б. На схеме: Cк, Lк — статические параметры корпуса диода; rs — статическое сопротивление потерь; СЛ и LЛ определяются формулами (9.27) и (9.29); rn и Хn — активное и реактивное сопротивления полупроводниковой структуры (рис. 9.25, б), без учета потерь в контактах и в p+- и n+-областях.
а |
б |
Рис. 9.25 — Эквивалентная схема ЛПД (а) и пролетного пространства (б)

243
Эквивалентные активное rдр и реактивное сопротивления диода для области дрейфа jХдр определяются углом пролета пространства дрейфа θдр и рабочей частотой. График зависимостей
rдр( θдр ) и Хдр(ω) на рисунке 9.26.
Рис. 9.26 — Зависимость активных и реактивных составляющих сопротивления ЛПД в пролетном режиме от угла пролета
в области дрейфа (а) и частоты (б)
При ω > ωЛ (рис. 9.26,а,б) сопротивление rn = rдр будет отрицательным и максимальной величины при θдр ≈ 2, 4 рад (или
0,77π), а реактивное сопротивление диода носит емкостной характер (рис. 9.26, б). Область отрицательных сопротивлений наблюдается в широком диапазоне частот.
При ω < ωЛ активное сопротивление диода положительное,
а реактивное — имеет индуктивный характер (рис. 9.26, б). Пусковой ток определяется из условия rдр ≥ Rпот, т.е. когда
отрицательное сопротивление диода будет несколько больше или равно сопротивлению потерь в диоде, нагрузке и контуре — Rn.
В случае rдр < Rп, (но │rдр│ > Rпот,) наступает устойчивая генерация. Из (9.35) после подстановки ωЛ (9.30) и некоторых
преобразований получим выражение пускового тока
Iпуск = |
p |
× |
(w× Сd )2 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
или |
||
a/ |
|
|
1 |
|
|
||||
|
|
w× Сd |
+ |
- cos qдр |
|||||
|
|
|
|
|
qдр × Rп |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|

244
|
|
w2e0erU0 |
|
|
|
|
||||||
Iпуск = |
|
|
|
|
2vн |
|
|
|
|
|
, |
(9.37) |
|
|
- cos qдр |
|
|||||||||
1 |
|
|
|
|
||||||||
1 + |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
q |
др |
w× С |
d |
SR |
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
п |
|
|||||
где S — площадь перехода; Cd — |
|
|
емкость перехода; U0 — |
напря- |
жение смещения. Пусковой ток увеличивается с ростом рабочей частоты ω, обычно он составляет десятки и сотни миллиампер.
Выходную мощность и электронный КПД генераторов на ЛПД можно оценить, если наведенный ток прямоугольной формы с длительностью θдр (рис. 9.23, г) разложить в гармонический ряд Фурье. Выражение для постоянной составляющей и первой гармоники тока с частотой ω получается в виде [1]
|
|
|
|
|
|
|
1 |
T |
Imaxθдр |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
I0 |
= |
∫ I (t)¶t = |
; |
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
T |
2p |
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
T |
T |
|
|
|
1− cos θ |
sin θ |
|||||
I1 |
= |
|
|
∫ I (t)sin wt¶t + j∫ I (t) cos wtdwt |
= Imax |
|
др |
+ jImax |
др |
. |
||||
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
T |
0 |
0 |
|
|
|
|
|
p |
p |
Откуда для оптимального режима, когда θдр = π, получаем
I0 ≈ Imax/2; I1 = 4I0 /π. |
(9.38) |
Величина Imax — допустимый ток при допустимом максимальном Um.
Выходная мощность и КПД определяются соотношениями
Рвых= 0,5UmI1; h = |
Pвых |
. Подставив I1 для случая оптимального |
||||
|
||||||
U0 I0 |
|
|
||||
режима (9.31), получим |
|
|
||||
|
|
Pвых = 2Um I0 |
π; |
(9.39) |
||
|
|
h = |
2Um |
. |
|
(9.40) |
|
|
|
|
|||
|
|
|
pU0 |
|
|
|
Амплитуда переменного напряжения меньше постоянного |
||||||
напряжения в области дрейфа в статическом режиме |
|
|||||
Um < U0 ; U0 = Uдр + U Л ; |
Um ≤ (0,25÷ 0,5)U0. |
|
Поэтому КПДmах ≈ 30 %.
В генераторах на ЛПД выходная мощность ограничена тепловыми и электрическими эффектами. Увеличение напряжения U0 ограничено допустимой мощностью рассеяния, а малый объем

245
и малая площадь поперечного сечения плохо отводят выделяемое тепло.
Предельная выходная максимальная мощность с учетом тепловых ограничений определяется соотношением [1]
P × f = |
DT lТП |
× |
X min |
|
, |
|
(9.41) |
|
h−1 -1 |
|
|||||
вых |
er e0 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|||
где f — рабочая частота; ∆Т — |
допустимый |
перегрев по- |
|||||
лупроводниковой структуры; λТП |
|
— |
коэффициент |
теп- |
|||
лопроводности материала структуры; Xmin = (ωС)–1 — |
минимально |
||||||
допустимое значение реактивного сопротивления диода; η — |
КПД |
диодного генератора. Величина произведения (∆Т·λТП) максимальная у диодов из Si и GaAs.
Найдем предельные ограничения по электрическому режиму. Запишем выходную мощность ГЛПД в виде
|
|
|
|
|
|
|
|
|
= |
1 U |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
P |
|
|
|
|
m |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(9.42) |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
2 R |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
вых |
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Н |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где R/ |
— |
эквивалентное сопротивление нагрузки, пересчитанное |
|||||||||||||||||||||||||
Н |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
к зажимам подключения диода. Так как U |
|
< E |
|
× |
lK |
, |
то мощ- |
||||||||||||||||||||
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
(8R¢ |
) , |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
m |
проб |
2 |
|
|
|
|||
ность |
P |
|
E |
2 |
l2 |
и так как |
l |
др |
= v |
/(2f), l |
к |
> l |
др |
, |
то если |
||||||||||||
вых < |
|
проб к |
н |
|
|
|
|
н |
|
|
|
|
|||||||||||||||
вместо lк подставить lдр, неравенство сохранится |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
P f |
2 < E |
2 |
|
v2 |
(8R¢ ). |
|
|
|
|
|
|
|
(9.43) |
||||||||
|
|
|
|
|
|
вых |
|
проб |
|
н |
|
|
|
|
н |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Сравнивая (9.43) и (9.41), видим, что ограничение по электрическому режиму вызывает более резкое падение Рвых с ростом частоты. На частотах до 30—50 ГГц рассеяние больших тепловых мощностей является основной трудностью, на частотах более 50 ГГц малые размеры структуры не позволяют повышать рабочие напряжения.
Конструкция автогенераторов на ЛПД с широким диапа-
зоном рабочих частот (приложение Ж) может быть коаксиальноволноводной с механической настройкой (рис. 9.27), при фиксированной рабочей частоте можно использовать полосковую конструкцию электродинамической системы генератора (рис. 9.28) или резонаторную систему с перестройкой частоты варисторами.

246
В коаксиально-волноводной конструкции генератора (рис. 9.27) диод (1) включен в разрыв центрального проводника (3) коаксиальной линии (2), проходящей через волновод шириной а. На
другом |
конце коаксиальной |
|
||
линии |
расположена |
погло- |
|
|
щающая нагрузка 4. Про- |
|
|||
ходной |
волноводный резо- |
|
||
натор 7 образован индуктив- |
|
|||
ной диафрагмой 8 и может |
|
|||
перестраиваться по |
частоте |
|
||
путем погружения в волно- |
|
|||
вод диэлектрического стерж- |
|
|||
ня 6. Диапазон механиче- |
|
|||
ской перестройки |
частоты |
|
||
при этом составляет 10÷20 %. |
|
|||
Эквивалентная |
схема |
|
||
генератора изображена |
на |
Рис. 9.27 — Общий вид коаксиально- |
||
рис. 9.27, б. Эта схема может |
||||
быть преобразована (рис. 9.27, |
волноводного генератора на ЛПД (а) |
|||
в), если сопротивление |
на- |
и эквивалентные схемы (б, в) |
||
|
грузки ZН и проходного ре-
зонатора 7 трансформировать в коаксиальную линию. На резонансной частоте сопротивление параллельного контура велико и СВЧ-мощность в поглощающей нагрузке Zn не рассеивается. На других частотах нагрузка подавляет самовозбуждение генератора. Резистор 5 в цепи подачи
смещения на ЛПД ограничи- |
|
||
вает постоянный ток. Авто- |
|
||
генератор на ЛПД (рис. 9.28) |
|
||
выполнен на МКПЛ и рабо- |
|
||
тает в диапазоне 20 ГГц. Пи- |
|
||
тание к диоду 1 подводится |
|
||
через фильтр 3, предотвра- |
|
||
щающий |
попадание |
СВЧ- |
|
сигнала в источник питания. |
|
||
Цепь блокировки — конден- |
Рис. 9.28 — Топология автогенератора |
||
сатор СР — |
разделяет |
цепи |
|
диода и выходного тракта по |
на ЛПД в микроволновом исполнении |

247
постоянному току; настройка генератора на рабочую частоту осуществляется изменением расстояния от неоднородности 2 до диода 1.
Основные характеристики генераторов на ЛПД зависят от параметров колебательной системы, температуры, которая сказывается на зависимости среднего тока в режиме генерации диода при изменении величины напряжения смещения U0. На рис. 9.29 изображена перевернутая вольтамперная характеристика ЛПД. Автоколебательный режим реализуется при значениях
тока, лежащих в пределах i0 min ≤ i0 ≤ i0 max (i0 min — пусковой ток). На ВАХ пунктиром нанесены изотермические зависимости, соответствующие различным температурам p-n-перехода. Увеличение постоянного напряжения смещения на диоде сопровождается ростом лавинного тока, что, в свою очередь, ведет к повышению температуры p-n-перехода и увеличению напряжения ионизации Ui. В результате, реальная зависимость i0(U0) в области i0 > i0min оказывается более пологой, чем изотермические. Кроме того, рост температуры p-n-перехода диода с увеличением среднего тока i0 ограничивает максимум допустимого рабочего тока ГЛПД и максимальную колебательную мощность.
Рис. 9.29 — Перевернутая обратная |
Рис. 9.30 — Основные характери- |
ветвь ВАХ ЛПД |
стики ГЛПД в режиме генерации |
Зависимость колебательной мощности от среднего тока (рис. 9.30) имеет насыщение, которое может быть связано с температурным изменением временного сдвига между переменным током и колебательным напряжением на резонаторе. На появле-

248
ние такого сдвига указывает зависимость частоты колебаний от величины среднего тока при I0 > I0 (рис. 9.30).
Напомним, что частота колебаний определяется временем
пролета носителей в рабочей области и равна: fпp vH , поэтому
2lк
в первом приближении частота колебаний ГЛПД в линейном режиме не должна зависеть от тока. Однако с ростом тока i0 растет температура в слое лавинного умножения и растет Ui, уменьшается временной сдвиг между максимумами переменного напряжения и лавинного тока p-n-перехода (нелинейный режим), а это сопровождается возрастанием частоты колебаний (изменение реактивной и активной величины электронной проводимости) и насыщением величины колебательной мощности. Максимальный КПД в пролетном режиме обычно реализуется при умеренных значениях среднего тока. Характеристики ГЛПД (рис. 9.30) можно строить в зависимости от напряжения смещения U0, т. к., согласно (рис. 9.29), ток диода изменяется при изменении напряжения.
9.2.3 Диоды Ганна
Диоды Ганна в режиме генерации работают в диапазоне частот от 4 до 200 ГГц. В непрерывном режиме диапазона СМВ от одного диода можно получить мощность 1 – 2 Вт при КПД до 14%; на частотах 60 – 100 ГГц
– до 100мВт при КПД единицы процентов. Генераторы на диодах Ганна (ГДГ) применяются в модулях устройств ММВ. КПД генераторов в среднем составляет 1—5 %.
Изготавливаются диоды Ганна из арсенида галлия(Ga As) или фосфида индия (InP).
Диод Ганна (ДГ) не со- |
Рис. 9.31 — |
Структура диода Ганна |
держит р-n-переходов, пред- |
ставляет кристалл однородно |
и распределение концентрации |
|

249
легированного арсенида галлия электронной проводимости с
двумя омическими контактами на противоположных |
гранях |
(рис. 9.31). |
|
Активная часть диода Ганна имеет длину d = 1—100 |
мкм и |
концентрацию легирующих донорных примесей n = 2·1014 —
2·1016 см−3 . Слои ∆х, с концентрацией примесей n+ = 1018 ÷ 1019 см−3 , являются омическими контактами.
Отрицательные дифференциальные подвижность и про-
водимость диода Ганна. Если подать на диод постоянное напряжение U0, то через него будет протекать ток переноса с плотностью
|
|
|
R |
|
|
|
R |
|
|
|
|
|
|
j0 = ρv |
= env = μE n e = σE , |
(9.44) |
|||||||||
где n — концентрация электронов; |
v = μE — |
средняя дрейфовая |
||||||||||
скорость электронов; µ — подвижность электронов; Е — |
напря- |
|||||||||||
женность поля в диоде ( E = |
U0 |
); е — |
|
заряд электрона, σ — |
про- |
|||||||
|
|
|||||||||||
водимость материала. |
|
|
d |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
Дифференциальная проводимость из (9.44) |
|
|||||||||||
|
σ |
|
= |
dj |
= en |
dv |
. |
|
(9.45) |
|||
|
d |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
dE |
|
dE |
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Когда |
подвижность |
|
носителей не |
зависит от |
поля |
|||||||
(μ = const) , то dv dE = μ , |
а σd = σ . Дифференциальная проводи- |
|||||||||||
мость в |
(9.45) будет |
|
|
отрицательной |
величиной, |
когда |
dv = d (μE) < 0 , т.е. когда дрейфовая скорость будет уменьшаться с
dE dE
ростом напряжения. При этом предполагается, что подвижность зависит от поля
μ + E (dμ) (dE) < 0 |
|
или |
dE E + dμ μ < 0 |
(9.46) |
||
и будет отрицательной величиной: |
|
|
||||
μ |
|
= |
dv |
< 0 . |
(9.47) |
|
d |
dE |
|||||
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
Рассмотрим особенности арсенида галлия, для которого впервые была обоснована возможность получения отрицательной дифференциальной проводимости. На рис. 9.32 показана связь энергии электронов в валентной зоне (в.з.) и в зоне проводимости (з.п.) GaAs с волновым числом k (з.з. — запрещенная зона). Зави-

250
симость энергии ε от k в зоне проводимости имеет два минимума, которые называли долинами: — нижняя (или центральная) и верхняя (или боковая). Энергия и эффективная масса в верхней долине (2) больше, чем в нижней (1): mэф2 = 1,2m, а mэф1 = 0,07m, m — масса свободного электрона.
Подвижность «тяжелых» носителей в верхней долине μ2
много меньше подвижности «легких» носителей в нижней долине: μ1 = 5000 ; μ2 = 100 см2/(В·с). Интервалы энергий между до-
линами ε = 0,36эВ и между зонами В.З. и З.П. Δε0 = 1, 4 эВ.
Рис. 9.32 — Зависимость энергии ε от волнового числа k в зонах
Вероятность перехода электронов из нижней в верхнюю долину при заданной температуре Т определяется величиной exp(−Δε /(kT )) . Поэтому соотношение концентрации электронов в долинах равно
n2 |
= |
N2 |
exp |
− Δε , |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
n1 |
|
N1 |
|
где N1 и N2 — плотности энергетических состояний в долинах, связанные с эффективными массами соотношением
N |
N |
= (m |
/ m |
3 |
≈ 70 . |
) 2 |
|||||
|
2 1 |
эф 2 |
эф1 |
|
|
В отсутствии поля все электроны находятся в нижней долине n1>>n2. Однако соотношение n1 и n2 резко изменится, если в полупроводнике создано сильное электрическое поле. При напряженности в полупроводнике более некоторой пороговой величины (Е > Еп) основная часть электронов переходит из нижней долины в верхнюю, становится n2>>n1. Этот переход сопровождается