146

ЛИТЕРАТУРА

1. Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и диэлек-

трических материалов: Учебник для студентов вузов специальностей«Полу-

проводники и диэлектрики» и «Полупроводниковые и микроэлектронные при-

боры». — М.: Высшая школа, 1983. — 271 с.: ил.

2. Соколов И.А. Расчеты полупроводниковой технологии.: Учебное посо-

бие для вузов. – М.: Металлургия, 1994. – 176 с.

3. Пичугин И.Г., Таиров Ю.М. Технология полупроводниковых приборов:

Учебное пособие для вузов по специальности «Полупроводники и диэлектрики»,

«Полупроводниковые и микроэлектронные приборы». — М.: Высшая школа, 1984. — 288 с.: ил.

4. Крапухин В.В., Соколов И.А., Кузнецов Г.Д. Физико-химические осно-

вы технологии полупроводниковых материалов: Учебник для вузов. — М.: Ме-

таллургия, 1982. — 352 с.

5. Нашельский А.Я. Технология полупроводниковых материалов: Учеб-

ное пособие. — М.: Металлургия, 1987. — 336 с.

6. Киселёва Е.В. и др. Сборник примеров и задач по физической химии:

Учебное пособие для химико-технологич. вузов. — 4-е изд., доп. и перер. — М.:

Высшая школа, 1976. — 381 с.