Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Вакуумные, плазменные приборы и устройства

..pdf
Скачиваний:
19
Добавлен:
05.02.2023
Размер:
371.98 Кб
Скачать

41

Учебное пособие

Аксенов А.И.

Методические указания по самостоятельной работе по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства»

Усл. печ. л. ______ . Препринт Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники 634050, г.Томск, пр.Ленина, 40