новая папка / 4006296

4006296-Desc-ru var ctx = "/emtp"; The translation is almost like a human translation. The translation is understandable and actionable, with all critical information accurately transferred. Most parts of the text are well written using a language consistent with patent literature. The translation is understandable and actionable, with most critical information accurately transferred. Some parts of the text are well written using a language consistent with patent literature. The translation is understandable and actionable to some extent, with some critical information accurately transferred. The translation is not entirely understandable and actionable, with some critical information accurately transferred, but with significant stylistic or grammatical errors. The translation is absolutely not comprehensible or little information is accurately transferred. Please first refresh the page with "CTRL-F5". (Click on the translated text to submit corrections)

Patent Translate Powered by EPO and Google

French

German

  Albanian

Bulgarian

Croatian

Czech

Danish

Dutch

Estonian

Finnish

Greek

Hungarian

Icelandic

Italian

Latvian

Lithuanian

Macedonian

Norwegian

Polish

Portuguese

Romanian

Serbian

Slovak

Slovene

Spanish

Swedish

Turkish

  Chinese

Japanese

Korean

Russian

      PDF (only translation) PDF (original and translation)

Please help us to improve the translation quality. Your opinion on this translation: Human translation

Very good

Good

Acceptable

Rather bad

Very bad

Your reason for this translation: Overall information

Patent search

Patent examination

FAQ Help Legal notice Contact УведомлениеЭтот перевод сделан компьютером. Невозможно гарантировать, что он является ясным, точным, полным, верным или отвечает конкретным целям. Важные решения, такие как относящиеся к коммерции или финансовые решения, не должны основываться на продукте машинного перевода.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ US4006296A[]

Изобретение относится к способу проверки двумерного изображения с помощью двух синхронизированных устройств захвата изображения, одно для обнаружения тестируемого изображения, а другое - для обнаружения эталонного изображения. В указанном способе сравниваются сигналы, создаваемые двумя датчиками, и различие между сигналами, которое соответствует различию между шаблонами, обеспечивает индикацию ошибки. Изобретение также относится к устройству, подходящему для осуществления способа. The invention relates to a method of testing a two-dimensional pattern by means of two synchronized pick-up devices, one for picking up the pattern to be tested and the other for picking up a reference pattern. In said method the signals produced by the two pick-up devices are compared and a difference between the signals, which corresponds to a difference between the patterns, provides an error indication. The invention also relates to an apparatus suitable for carrying out the method. Такой способ описан в патенте США No. № 3 546 377. Тестирование осуществляется путем сравнения профиля тестируемого объекта с профилем стандартного варианта осуществления, используемого в качестве эталона. Чтобы даже небольшая допустимая разница между тестируемым образцом и эталонным образцом не приводила к индикации ошибки, предусмотрено пороговое устройство, которое обеспечивает пороговое значение, которое ошибка должна превысить. Кроме того, сравнение профилей требует, по существу, идентичного сканирования растров сканирования в двух устройствах захвата. На практике такое требование совмещения паттернов вряд ли может быть выполнено. Увеличение порогового значения не дает решения, поскольку смещение положения, выходящее сразу за пределы допустимого диапазона, приводит к ошибке того же значения, что и большее смещение. Such a method is described in U.S. Pat. No. 3,546,377. Testing is effected by comparing the profile of an object to be tested with that of a standard embodiment used as a reference. To prevent even a small, permitted difference between the pattern to be tested and the reference pattern from giving rise to an error indication, a threshold device is provided which provides a threshold value which the error must exceed. Furthermore, profile comparison requires substantially identical scanning in the scanning rasters in the two pick-up devices. In practice such a requirement of pattern registration can hardly be satisfied. Increasing the threshold value does not provide a solution because a shift of position which falls just outside the tolerance range provides an error of the same value as does a greater shift. Задачей изобретения является создание способа и устройства для тестирования образов, в которых не должны удовлетворяться никакие критические требования регистрации образов. Способ согласно изобретению отличается тем, что эталонный узор принимает форму модифицированного узора, включающего по меньшей мере три типа следов узора, имеющих разные значения яркости. Ширина двух типов следов узора, каждый из которых имеет одно из двух крайних значений яркости из указанных трех значений яркости, уже, чем соответствующие ширины в тестируемом узоре. Сравнение сигналов для определения различий шаблонов производится только для двух последних типов трасс шаблонов в эталонном шаблоне. It is an object of the invention to provide a method and an apparatus for testing patterns in which no critical requirements of pattern registration have to be satisfied. The method according to the invention is characterized in that the reference pattern takes the form of a modified pattern comprising at least three types of pattern traces having different brightness values. The widths of two types of pattern traces, which each have one of the two extreme brightness values of the said three brightness values, are narrower than the corresponding widths in the pattern to be tested. Signal comparison for determining the pattern differences is effected only for the latter two types of pattern traces in the reference pattern. Устройство, пригодное для осуществления способа согласно изобретению, отличается тем, что выход приемного устройства для захвата эталонного образа соединен с двумя пороговыми цепями, одна из которых имеет полосу пропускания для сигналов, связанных с низкими значениями. значений яркости, в то время как другой имеет диапазон пропускания для сигналов, связанных с высокими значениями яркости, при этом упомянутые диапазоны пропускания перекрываются в промежуточном диапазоне. Пороговые цепи подключены к детектору ошибок, к которому также подключен через аналого-двоичный преобразователь выход измерительного устройства для захвата тестируемой последовательности. Детектор ошибок включает в себя логические схемы для сравнения одного и другого двоичных значений, связанных с тестируемым образцом, с указанными двумя крайними значениями яркости в эталонном образце. An apparatus suitable for carrying out the method according to the invention is characterized in that the output of the pick-up device for picking-up the reference pattern is connected to two threshold circuits, one of which has a pass range for signals associated with low brightness values while the other has a pass range for signals associated with high brightness values, the said pass ranges overlapping in an intermediate range. The threshold circuits are connected to an error detector to which is also connected, via an analogue-to-binary converter, the output of the pick-up device for picking up the pattern to be tested. The error detector includes logic circuits for comparing one and the other binary values associated with the pattern to be tested with the said two extreme brightness values in the reference pattern. Теперь способ и устройство согласно изобретению будут описаны в качестве примера со ссылкой на прилагаемые схематические чертежи, на которых: The method and the apparatus according to the invention will now be described, by way of example, with reference to the accompanying diagrammatic drawings, in which: ИНЖИР. 1 показан пример шаблона для тестирования, FIG. 1 shows an example of a pattern to be tested, ИНЖИР. 2 показан модифицированный эталонный шаблон, связанный с тестируемым шаблоном, показанным на фиг. 1 и FIG. 2 shows a modified reference pattern associated with the pattern to be tested shown in FIG. 1, and ИНЖИР. 3 показан вариант осуществления устройства согласно изобретению. FIG. 3 shows an embodiment of an apparatus according to the invention. ИНЖИР. 1 показан шаблон 1, подлежащий тестированию. Рисунок 1 может, например, быть частью печатной схемы, в которой металлические выводы предусмотрены на подложке из изоляционного материала. Образец 1 альтернативно может быть частью интегральной схемы, причем показанные дорожки представляют собой слои полупроводникового материала в полупроводниковом корпусе с противоположным типом проводимости. Рисунок 1 также может быть вытравлен, например, на стеклянной пластине. Точное воплощение узора 1 не указано, важен только тот факт, что на подложке есть следы узора (заштрихованы). FIG. 1 shows a pattern 1 to be tested. The pattern 1 may, for example, be part of a printed circuit in which metal leads are provided on a support of insulating material. The pattern 1 may alternatively be part of an integrated circuit, the traces shown being layers of a semiconductor material in a semiconductor body of opposite conductivity type. The pattern 1 may also be an etched pattern on, for example, a glass plate. The exact embodiment of the pattern 1 is not specified, the only relevant point being that there are pattern traces (shaded) on a support. Тестирование шаблона 1, показанного на фиг. 1 подразумевает проверку того, что показанные следы шаблона являются непрерывными, не имеют ни недопустимых узких участков, ни участков, расширенных настолько, что отдельные следы слишком близко подходят друг к другу. Другое условие состоит в том, что предписанная конкретная локальная форма трассы должна быть аппроксимирована с разумными допусками. Testing the pattern 1 shown in FIG. 1 implies checking that the pattern traces shown are continuous, without having either inadmissible narrow stretches or portions so broadened that the separate traces approach too closely to one another. Another condition is that a prescribed specific local shape of a trace must be approximated to within reasonable tolerances. Шаблон 1 на фиг. 1, который может быть правильно спроектирован, тестируется не по отношению к эталонному шаблону, который в случае правильного дизайна был бы идентичен, а тестируется по отношению к модифицированному эталонному шаблону 2, показанному на фиг. 2. Эталонный шаблон 2, показанный на фиг. 2 содержит три типа следов, а именно. узкие черные следы, узкие пустые следы и следы в виде промежуточных затемненных участков. Следы паттерна, показанные на паттерне 2 как черные, заштрихованные и пустые, имеют разные значения яркости: черный соответствует черному, пустой - пиковому белому и затененный - серому по шкале яркости. Серый находится между крайними значениями яркости черного и пикового белого, например, ровно посередине между ними. The pattern 1 of FIG. 1, which may be correctly designed, is not tested with respect to a reference pattern, which in the case of correct design would be identical, but is tested with respect to a modified reference pattern 2 shown in FIG. 2. The reference pattern 2 shown in FIG. 2 comprises three types of traces, viz. narrow black traces, narrow blank traces and traces in the form of intermediate shaded areas. The pattern traces shown in the pattern 2 as black, shaded and blank have different brightness values, black corresponding to black, blank to peak white and shaded to grey on a brightness scale. The grey lies between the extreme brightness values black and peak white, for example exactly midway between them. Следы черного узора в эталонном узоре 2 на фиг. 2 соответствуют средним линиям заштрихованных следов узора 1 на фиг. 1 для тестирования. Ширина черных следов в узоре 2 равна, например, минимально допустимой ширине следов в узоре 1. Пустые дорожки шаблона в эталонном шаблоне 2 используются в тестах для подтверждения того, что различные отдельные трассы шаблона 1 не связаны между собой, а разнесены на минимальное расстояние. В испытаниях заштрихованные участки на эталонном образце 2 как таковые не используются, но они содержат разрешенные допуски. The black pattern traces in the reference pattern 2 of FIG. 2 correspond to the median lines of the shaded pattern traces of the pattern 1 of FIG. 1 to be tested. The width of the black pattern traces in the pattern 2 is, for example, the minimum permitted width of the traces in the pattern 1. The blank pattern traces in the reference pattern 2 are used in the tests to ascertain that the various separate traces of the pattern 1 are not interconnected but are spaced apart by a minimum distance. In the tests the shaded areas in the reference pattern 2 are not used as such, but they contain the permitted tolerances. Способ согласно изобретению с использованием эталонного шаблона на фиг. 2, модифицированный по отношению к рисунку 1 на фиг. 1, теперь поясняется со ссылкой на устройство по фиг. 3. На фиг. 3 шаблоны 1 и 2 на фиг. 1 и 2 обозначены символически. Образец 1, подлежащий тестированию, улавливается записывающим устройством 3, которое может быть выполнено в виде телевизионной камеры. В приемном устройстве 3 съем информации может быть полностью электрическим или частично механическим, например, посредством движущихся зеркал и т.п. То же самое относится к устройству захвата 4, которое улавливает эталонный шаблон 2. Конкретная конструкция приемных устройств 3 и 4 не имеет значения. Единственным важным моментом является то, что каждое из устройств 3 и 4 подает электрический сигнал, представляющий шаблоны 1 и 2 соответственно, и на дисплее воспроизводится их истинное изображение. При использовании обычных телевизионных камер, управляемых с блока управления 5, который для этого подает управляющие и синхронизирующие сигналы DS1 и DS2, камеры 3 и 4 подают видеосигналы VBS1 и VBS2 соответственно. The method according to the invention, using the reference pattern of FIG. 2 modified with respect to the pattern 1 of FIG. 1, will now be explained with reference to the apparatus of FIG. 3. In FIG. 3 the patterns 1 and 2 of FIGS. 1 and 2 are indicated symbolically. The pattern 1 to be tested is picked up by a pick-up device 3 which may be in the form of a television camera. In the pick-up device 3 information pick-up may be entirely electrical or partly mechanical, for example by means of moving mirrors and the like. The same applies to a pick-up device 4 which picks up the reference pattern 2. The particular construction of the pick-up devices 3 and 4 is irrelevant. The only important point is that the devices 3 and 4 each supply an electric signal which is representative of the patterns 1 and 2 respectively and on display produces a true image thereof. When conventional television cameras are used which are controlled from a control unit 5, which for this purpose supplies control and synchronizing signals DS1 and DS2, the cameras 3 and 4 each supply a video signal VBS1 and VBS2 respectively. Блок 5 управления имеет телевизионный синхронизирующий сигнал S, подаваемый на него, который может быть, например, составным линейным и полевым синхронизирующим сигналом. Видеосигналы VBS содержат видеоинформацию, соответствующую шаблонам 1 и 2, а также гасящие и синхронизирующие импульсы, так что для отображения сигналы могут подаваться непосредственно на устройство отображения. The control unit 5 has a television synchronizing signal S supplied to it which may, for example, be a composite line and field synchronizing signal. The video signals VBS contain the video information which corresponds to the patterns 1 and 2 and blanking and synchronizing pulses so that for display the signals may be applied directly to a display device. Для снятия эталонный образец 2 помещается перед камерой 4, а тестируемый образец 1, как один из многих, помещается перед камерой 3 на заданное время. На фиг. 3 шаблон 1 перемещается в положение перед камерой 3 с помощью двух барабанов 6 и 7 и ленточного конвейера 8. Барабан 6 приводится в движение приводным узлом 9, который содержит электродвигатель. Приводной блок 9 и блок управления 5 управляются способом, который будет описан ниже, и приводной блок 9 соединен с блоком управления 5 для индикации того, что тестируемый рисунок 1 правильно расположен перед камерой 3. . For pick-up the reference pattern 2 is placed in front of the camera 4 while the pattern 1 to be tested, as one from many, is placed in front of the camera 3 for a given time. In FIG. 3 the pattern 1 is moved to a position in front of the camera 3 by way of two drums 6 and 7 and a conveyor belt 8. The drum 6 is driven by a driving unit 9 which contains an electric motor. The driving unit 9 and the control unit 5 are controlled in a manner which will be described hereinafter, and the driving unit 9 is connected to the control unit 5 to indicate that the pattern 1 to be tested is correctly positioned in front of the camera 3. Механическое позиционирование шаблона 1 перед камерой 3 вряд ли когда-либо будет настолько точным, чтобы без дополнительных шагов при отображении сигналов VBS1 и VBS2 шаблоны находились в истинном совмещении. Следовательно, сигналы VBS1 и VBS2 подаются на схему 10 сравнения фаз. Выход схемы сравнения фаз 10 подключен к камере 3, что вызывает смещение датчика при съеме образа 1 до тех пор, пока не произойдет совпадение сигналов VBS1 и VBS2, что на дисплее будет соответствовать образцам, находящимся в точное соответствие. При правильном совпадении сигналов выход схемы сравнения фаз 10 включает порогово-ограничительную схему 11, которая подключена к выходу датчика 4. В результате после механического позиционирования шаблона 1 перед съемным устройством 3 осуществляется электронное позиционирование, после чего через схему 11 можно начинать тестирование. Mechanical positioning of the pattern 1 in front of the camera 3 will hardly ever be so accurate that without further steps, on display of the signals VBS1 and VBS2, the patterns are in true register. Hence the signals VBS1 and VBS2 are supplied to a phase comparison circuit 10. The output of the phase comparison circuit 10 is connected to the camera 3 and this causes a pick-up shift when picking up the pattern 1, until there is coincidence between the signals VBS1 and VBS2, which on display would correspond to the patterns being in exact correspondence. With correct signal coincidence, the output of the phase comparison circuit 10 enables a threshold and limiter circuit 11 which is connected to the output of the pick-up device 4. As a result, after mechanical positioning of the pattern 1 in front of the pick-up device 3, electronic positioning is effected, after which, via the circuit 11, testing can commence. Схема 11 делит сигнал VBS2 на сигнал VB2, который содержит видеоинформацию и промежуточные интервалы гашения, и синхронизирующий сигнал S. Синхронизирующий сигнал S подается на генератор импульсов 12, который для каждой пары чересстрочных телевизионных полей выдает сигнал кадровой синхронизации SV в форме импульса на вход логического элемента И-НЕ 13. Сигнал VB2 подается на две схемы порогового ограничителя 14 и 15. Пороговая схема 14 имеет диапазон пропускания для сигналов, связанных с низкими значениями яркости, вплоть до порогового значения Uw, применяемого к схеме, в этом диапазоне пропускания пороговая схема 14 передает заданный высокий уровень сигнала. Пороговая схема 15 имеет диапазон пропускания для сигналов, связанных с высокими значениями яркости, превышающими пороговое значение Ub, применяемое к схеме. Поскольку пороговое значение Ub ниже порогового значения Uw, существует перекрывающийся промежуточный диапазон, в котором обе схемы 14 и 15 пропускают сигналы VB2, имеющие высокий уровень сигнала. The circuit 11 divides the signal VBS2 into a signal VB2, which comprises video information and intermediate blanking intervals, and the synchronizing signal S. The synchornizing signal S is applied to a pulse generator 12 which, for every pair of interlaced television fields, supplies a pulse-shaped frame synchronizing signal SV to an input of a NAND gate 13. The signal VB2 is applied to two threshold-limiter circuits 14 and 15. The threshold circuit 14 has a pass range for signals associated with low brightness values up to a threshold value Uw applied to the circuit, in which pass range the threshold circuit 14 carries a given high signal level. The threshold circuit 15 has a pass range for signals associated with high brightness values beyond a threshold value Ub applied to the circuit. Because the threshold value Ub is lower than the threshold value Uw, there is an overlapping intermediate range in which both circuits 14 and 15 allow the signals VB2 having a high signal level to pass. Схемы 14 и 15 порогового ограничителя позволяют видеосигналу VB2 проходить в виде двоичных сигналов b и w соответственно. Для двоичных сигналов b и w и для других двоичных сигналов, которые будут описаны ниже, применяется условие, что высокий уровень сигнала соответствует логической 1, а низкий уровень сигнала соответствует логическому 0. The threshold limiter circuits 14 and 15 allow the video signal VB2 to pass as binary signals b and w respectively. For the binary signals b and w and for further binary signals to be described hereinafter the condition applies that the high signal level corresponds to a logical 1 and the low signal level to a logical 0. Сигналы b и w подаются на детектор ошибок 16. Выход датчика 3 подключен к детектору ошибок 16 через последовательное соединение пороговой схемы 17, с помощью которой из сигнала VBS1 выводится сигнал VB1, схемы 18 улучшения крутизны фронта в сигнале VB1. и аналого-двоичный преобразователь 19, который выдает двоичный видеосигнал BV. Детектор 16 ошибок определяет, является ли в случае логической 1 в сигнале b (т.е. черный в сигнале VB2) или в сигнале w (т.е. пик белого в сигнале VB2) логическим 0 (равно черному) или логической 1 (равно белый) встречается в двоичном сигнале BV. В этом случае нет никакой разницы между тестируемым образцом 1 и эталонным образцом 2. Если, однако, в случае логической 1 в сигнале b или w соответствующие логические 0 и 1 не встречаются в сигнале BV, возникает различие, которое затем детектируется как ошибка. The signals b and w are applied to an error detector 16. The output of the pick-up device 3 is connected to the error detector 16 via a series combination of a threshold circuit 17, by which a signal VB1 is derived from the signal VBS1, a circuit 18 for improving the edge steepnesses in the signal VB1, and an analogue-to-binary converter 19 which supplies a binary video signal BV. The error detector 16 determines whether in the case of a logical 1 in the signal b (i.e. black in the signal VB2) or in the signal w (i.e. peak white in the signal VB2) logical 0 (equals black) or logical 1 (equals white) occurs in the binary signal BV. If this is the case, there is no difference between the pattern 1 to be tested and the reference pattern 2. If, however, in the case of logical 1 in the signal b or w the corresponding logical 0 and 1 does not occur in the signal BV, there is a difference which then is detected as an error. ИНЖИР. 3 показан возможный вариант детектора ошибок 16. Сигналы b и w подаются на входы логического элемента И-НЕ 20. На выходе логического элемента 20 появляется сигнал g, для которого выполняется условие наличия в нем логического 0 для значений яркости, находящихся в указанном промежуточном диапазоне, при наличии логической 1 в обоих сигналах b и w. Выход вентиля 20 соединен с одним входом вентиля И-НЕ 21. Сигнал w также подается на один вход логического элемента И-НЕ 22, на другой вход которого подается сигнал BV. Сигнал b также подается на один вход логического элемента И-НЕ 23, на другой вход которого подается сигнал BV через инвертор 24 сигналов. Выходы логических элементов 22 и 23, которые несут сигналы Pw и Pb соответственно, подключены ко входу логического элемента И-НЕ 25. Выход вентиля 25 несет сигнал Р и подключен через инвертор сигналов 26 к другому входу вентиля 21. Выход вентиля 21 формирует выходной сигнал детектора 16 ошибок, который несет сигнал F. Возможны и другие варианты выполнения детектора 16 ошибок, содержащего логические схемы 20-26. FIG. 3 shows a possible embodiment of the error detector 16. The signals b and w are supplied to inputs of a NAND gate 20. At the output of the gate 20 a signal g appears for which the condition holds that it contains logical 0 for brightness values situated in the said intermediate range in the case of logical 1 in both signals b and w. The output of the gate 20 is connected to one input of a NAND gate 21. The signal w is also applied to one input of a NAND gate 22, to the other input of which the signal BV is applied. The signal b is also applied to one input of a NAND gate 23 to the other input of which the signal BV is applied via a signal inverter 24. The outputs of the gates 22 and 23, which carry signals Pw and Pb respectively, are each connected to an input of a NAND gate 25. The output of the gate 25 carries a signal P and is connected via a signal inverter 26 to the other input of the gate 21. The output of the gate 21 forms the output of the error detector 16 which carries a signal F. Other embodiments of the error detector 16 comprising the logic circuits 20 to 26 are possible. Работу детектора ошибок 16 видно из следующей таблицы с учетом логических функций НЕ-И: 1,1 = 0 и 0,0 = 0,1 = 1 ТАБЛИЦА___________________________________________VB2 w b g BV Pw Pb P F< tb>______________________________________U< Ub 0 1 1 1 1 1 0 0Ub U Uw 1 0 1 0 1 1Ub< U<Uw 1 1 0 1 0 1 1 1<tb > 0 1 0 1 1U> Uw 1 0 1 1 0 1 1 11 0 1 1 0 0________________________________________________________ The operation of the error detector 16 will be seen from the following Table, taking into account the NAND logical functions: 1.1 = 0 and 0.0 = 0.1 = 1 TABLE______________________________________VB2 w b g BV Pw Pb P F______________________________________U< Ub 0 1 1 1 1 1 0 0Ub U Uw 1 0 1 0 1 1Ub< U<Uw 1 1 0 1 0 1 1 1 0 1 0 1 1U> Uw 1 0 1 1 0 1 1 11 0 1 1 0 0______________________________________ Таблица показывает, что когда значение сигнала U в сигнале VB2 лежит ниже порогового значения Ub (т.е. черный), логическая 1, соответствующая белому цвету в сигнале BV, дает логический 0 в сигнале F. Это также применимо, когда значение сигнала U в сигнале VB2 лежит выше порогового значения Uw (т.е. белого цвета), и в этом случае в сигнале F встречается логический 0, который соответствует черному цвету в сигнале BV. Установлено, что логический 0 в сигнале F является индикация ошибки. The Table shows that when the signal value U in the signal VB2 lies below the threshold value Ub (i.e. black) the logical 1, which corresponds to white in the signal BV, gives a logical 0 in the signal F. This also applies when the signal value U in the signal VB2 lies above the threshold value Uw (i.e. white), in which case logical 0, which corresponds to black in the signal BV, occurs in the signal F. It is found that logical 0 in the signal F is the error indication. Когда значение сигнала U в сигнале VB2 меньше Ub (черный) или больше Uw (белый), а сигнал BV содержит логический 0 (черный) или логическую 1 (белый) соответственно, сигнал F содержит логическую 1, что означает что ошибки нет. Для промежуточного диапазона, в котором значение сигнала U в сигнале VB2 лежит между пороговыми значениями Ub и Uw, сравнения сигналов не происходит. Сигнал g в сочетании с логическим 0 закрывает вентиль 21, так что сигнал F содержит логическую 1. When the signal value U in the signal VB2 is smaller than Ub (black) or greater than Uw (white) and the signal BV contains logical 0 (black) or logical 1 (white) respectively, the signal F contains logical 1, which means that there is no error. For the intermediate range, in which the signal value U in the signal VB2 lies between the threshold values Ub and Uw, no signal comparison takes place. The signal g in conjunction with logical 0 closes the gate 21 so that the signal F contains a logical 1. Обнаружено, что эталонный шаблон 2 на фиг. 2, используется для выполнения измерения узких черных трасс и узких пустых трасс в детекторе ошибок 16 по фиг. 3, чтобы определить, является ли шаблон 1 по фиг. 1, подлежащий тестированию, соответствует эталонному шаблону. Такое измерение не выполняется в тех следах шаблона эталонного шаблона 2 на фиг. 2, которые показаны заштрихованными. В результате не возникает критичных проблем по точному позиционированию и сканированию рисунков 1 и 2 в съемных устройствах 3 и 4. It is found that the reference pattern 2 of FIG. 2 is used to perform a measurement on the narrow black pattern traces and the narrow blank pattern traces in the error detector 16 of FIG. 3 to determine whether the pattern 1 of FIG. 1 to be tested corresponds to the reference pattern. Such a measurement is not effected in those pattern traces of the reference pattern 2 of FIG. 2 which are shown shaded. As a result, there are no critical problems with respect to accurate positioning and scanning of the patterns 1 and 2 in the pick-up devices 3 and 4. В схеме на фиг. 3 сигнал F подается на накопитель 27, сумматор 28 и выходной контакт 29. Видеосигнал VBS1 со съемного устройства 3 также поступает на сумматор 28, а выход этого каскада 28 подключен к устройству отображения 30. Накопитель 27 имеет установочный вход, на который с помощью переключателя 31 с ручным управлением может быть подано напряжение, установленное на клемме 32 и соответствующее логической (1). Выход накопителя 27 подключен к входу затвора 13 и к входу схемы питания 33, подключенной к сигнальной лампе 34. Выход вентиля 13 подключен к входам блока возбуждения 9 и блока управления 5. На фиг. 3 показан сигнал F, имеющий форму волны, которая заставляет хранилище 27 выдавать сигнал MF, как показано. In the circuit of FIG. 3 the signal F is applied to a store 27, an adder stage 28 and an output terminal 29. The video signal VBS1 from the pick-up device 3 is also supplied to the adder stage 28, and the output of this stage 28 is connected to a display device 30. The store 27 has a setting input to which, via a manually operable switch 31, a voltage which is set up at a terminal 32 and corresponds to logical (1) can be applied. The output of the store 27 is connected to an input of the gate 13 and to the input of a supply circuit 33 connected to a signal lamp 34. The output of the gate 13 is connected to inputs of the driving unit 9 and the control unit 5. In FIG. 3 the signal F is shown having a waveform which causes the store 27 to deliver a signal MF as shown. Устройство согласно изобретению работает следующим образом. Образец 1, подлежащий испытанию, помещается перед захватным устройством 3 с помощью привода 9 и конвейерной ленты 8. При правильном расположении приводной блок 9 подает соответствующий сигнал на блок управления 5. Затем блок 5 управления подает управляющие и синхронизирующие сигналы DS1 и DS2 на приемные устройства 3 и 4, соответственно, которые затем генерируют видеосигналы VBS1 и VBS2 соответственно. С помощью схемы сравнения фаз 10 сигнал VBS1 совмещается с сигналом VBS2, при этом цепь 11 отключается. При совпадении сигналов VBS1 и VBS2 включается схема 11. При очередном сканировании картин 1 и 2 в двух телевизионных полях, составляющих вместе чересстрочную телевизионную картинку, в детекторе ошибок 16 происходит измерение сигнала, т.е. сравнение сигналов. Если в шаблоне 1 нет ошибки, то в течение двух периодов поля сигнал F всегда будет содержать логическую 1, которая также присутствует в сигнале MF. По окончании двух периодов поля генератор импульсов 12 подает импульсный сигнал SV на затвор 13. The apparatus according to the invention operates as follows. A pattern 1 to be tested is placed in front of the pick-up device 3 by means of the drive unit 9 and the conveyor belt 8. When it is correctly positioned the drive unit 9 sends a corresponding signal to the control unit 5. The control unit 5 then supplies the control and synchronizing signals DS1 and DS2 to the pick-up devices 3 and 4 respectively which thereupon generate the video signals VBS1 and VBS2 respectively. Via the phase comparison circuit 10 the signal VBS1 is made to coincide with the signal VBS2, the circuit 11 being cut off. Upon coincidence of the signals VBS1 and VBS2 the circuit 11 is enabled. At the next scan of the patterns 1 and 2 in two television fields which together constitute an interlaced television picture, the signal measurement, i.e. the signal comparison, takes place in the error detector 16. If there is no error in the pattern 1, during the two field periods the signal F will always contain a logical 1, which is also present in the signal MF. At the end of the two field periods the pulse generator 12 supplies the pulse signal SV to the gate 13. Затвор 13 открывается логической 1 в сигнале MF, так что импульс, содержащий логическую 1 в сигнале SV, приводит к логическому 0 на выходе затвора 13, что является указанием для блока управления 5 и блока привода 9. что тестирование шаблона 1 завершено. Затем приводной блок 9 помещает другой шаблон 1 для проверки перед устройством захвата g, после чего описанный цикл повторяется. The gate 13 is opened by the logical 1 in the signal MF so that the pulse containing logical 1 in the signal SV results in logical 0 at the output of the gate 13, which is an indication to the control unit 5 and the drive unit 9 that testing of the pattern 1 has been completed. The drive unit 9 then places another pattern 1 to be tested in front of the pick-up device g, after which the cycle described repeats. Однако если в тестируемом образце 1 имеется ошибка, то в упомянутых двух периодах поля для тестирования в сигнале F появляется логический 0, как показано на фиг. 3. Логический 0, который появляется в сигнале F в момент или в месте ошибки, является индикацией ошибки. Эта индикация ошибки может быть получена от выходного терминала 29 и использоваться для отклонения шаблона 1. Отбраковка имеет место, например, в том случае, когда рисунок 1 удаляется с ленты 8 или на нем ставится отметка об отбраковке. Кроме того, индикация ошибки может использоваться при переходе к следующему тестируемому образцу 1. If, however, there is an error in the pattern 1 to be tested, in the said two field periods for testing a logical 0 occurs in the signal F, as is shown in FIG. 3. The logical 0 which occurs in the signal F at the instant, or location, of the error is the error indication. This error indication can be derived from the output terminal 29 to be utilized for rejecting the pattern 1. Rejection takes place, for example, in that the pattern 1 is removed from the belt 8 or is provided with a rejection mark. Furthermore, the error indication can be used when passing to the next pattern 1 to be tested. Магазин 27, устройство индикации 30 и сигнальная лампа 34 служат для визуального контроля бракованного образца 1. Ошибка, возникающая в двух периодах тестового поля и приводящая к кратковременному логическому 0 в сигнале F, приводит после сохранения в памяти 27 к логическому 0 в сигнале MF. Следовательно, затвор 13 закрывается, так что сигнал SV, включая импульс в конце второго периода тестового поля, не становится доступным для приводного блока 9 и блока управления 5. Вместо перехода к следующему шаблону 1 дефектный шаблон 1 теперь непрерывно подбирается. На это обращает внимание сигнальная лампа 34. Видеосигнал VBS1 отображается на устройстве 30 отображения, в то время как сигнал F указывает место дефекта на изображении шаблона 1, отображаемого за счет локального ослабления или усиления сигнала, что приводит к появлению темного или яркого пятна соответственно. В случае нескольких дефектов возникает несколько пятен. Преимущество такого визуального контроля состоит в том, что места, в которых возникают дефекты, могут быть немедленно определены, что позволяет принять меры в отношении изготовления модели. The store 27, the display device 30 and the signal lamp 34 are used for performing visual inspection of a defective pattern 1. The error which occurs in the two test field periods and gives rise to a short-duration logical 0 in the signal F results, after storage in the store 27, in logical 0 in the signal MF. Consequently the gate 13 is closed so that the signal SV including the pulse at the end of the second test field period does not become available to drive unit 9 and the control unit 5. Instead of passing to the next pattern 1, the defective pattern 1 now is continuously being picked-up. The signalling lamp 34 draws attention thereto. The video signal VBS1 is displayed on the display device 30, while the signal F indicates the location of the defect in the picture of the pattern 1 displayed by a local signal attenuation or amplification, resulting in a dark or bright spot respectively. In the case of several defects several spots occur. The advantage of such visual inspection is that the locations at which the defects occur can immediately be determined so that measures can be taken with regard to the pattern manufacture. После визуального осмотра переключатель 31 может быть замкнут, например, на минимальное время, равное двум периодам поля. В результате на выходе накопителя 27 появляется логическая 1 независимо от наличия дефекта в сигнале F. Таким образом, вентиль 13 открывается в течение указанного минимального времени, чтобы по сигналу SV в конце двух периодов поля тестировать начнется следующий шаблон 1. After the visual inspection the switch 31 can be closed for, for example, a minimum time of two field periods. As a result a logical 1 appears at the output of the store 27 irrespective of any defect in the signal F. Thus the gate 13 is opened during the said minimum time so that via the signal SV at the end of two field periods testing of the next pattern 1 will commence.

Please, introduce the following text in the box below Correction Editorclose Original text: English Translation: Russian

Select words from original text Provide better translation for these words

Correct the proposed translation (optional) SubmitCancel