2980

СОДЕРЖАНИЕ

ВВЕДЕНИЕ

3

1. ДИАГНОСТИКА СОСТАВА

4

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР

1.1. Просвечивающая электронная микроскопия

4

1.2. Энергодисперсионная рентгеновская

6

спектроскопия

1.3. Спектроскопия электронных потерь

9

1.4. Томография в просвечивающем электронном

12

микроскопе

1.5. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия с

13

нанозондом (наноЭСХА)

1.6. Статическая вторичная ионная масс-

15

спектроскопия

1.7. Ближнепольная сканирующая оптическая

16

микроскопия

2. МЕТОД ЭЛЕКТРОННОЙ ОЖЕ-

19

СПЕКТРОСКОПИИ

2.1. Физические основы метода Оже-электронной

19

спектроскопии

2.2. Аппаратура и методика измерений Оже-спектра

36

2.3. Методика подготовки образцов

40

2.4. Качественный и количественный анализ

42

2.5. Описание экспериментальной установки

49

2.6. Растровая Оже-электронная спектроскопия

55

2.7. Применение Оже-спектроскопии

57

3. МЕТОДЫ ДИАГНОСТИКИ НАНОСТРУКТУР С

58

ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СЗМ И АСМ

3.1. Принципы работы сканирующих зондовых

60

микроскопов

3.2.Сканирующие элементы (сканеры) зондовых

63

микроскопов

3.3. Сканирующая туннельная микроскопия

67

3.4. Атомно-силовая микроскопия

73

3.5 Контактная атомно-силовая микроскопия

79

3.6. Наномодификация поверхности с помощью СЗМ

85

4. БЛИЖНЕПОЛЬНАЯ ОПТИЧЕСКАЯ

86

МИКРОСКОПИЯ

5. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ В УСТАНОВКАХ

89

МОЛЕКУЛЯРНО - ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

98

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

99