2281

Здесь партии А, Б, В, Г характеризуются следующими данными:

Таблица 5.2 Влияние времени ЭТТ на ИС серии 134 с различными процентами выхода годных на пластине

отбраковочных испытаний, например, по статистическим параметрам перед ЭТТ, приводит к увеличению процента забракования по данному виду дефектов в процессе отбраковочных испытаний

(рис. 5.3).

Эксперименты показали также, что влияние выхода годных кристаллов на пластине на качество ИС в партии проявляется на ЭТТ и оказывается тем сильнее, чем больше продолжительность ЭТТ

(табл.5.2).

Рис. 5.2. Поле корреляции процента выхода годных кристаллов

и ИС серии 106 по статическим параметрам:

1 – выход годных ИС; 2 – уровень отказов ИС по статическим параметрам

5.3.2. Разработка метода выравнивающей технологии для серийного производства транзисторов и интегральных схем

Метод выравнивающей технологии целесообразно применять тогда, когда процент выхода годных ниже планового значения на данной операции более чем на утроенное среднеквадратичное отклонение. C целью выравнивания надежности выпускаемых партий изделий выбор дополнительных технологических отбраковочных операций производится исходя из результатов анализа причин снижения процента выхода годных.

Рис. 5.3. Поле корреляции уровней отказов до и после ЭТТ ИС серии 106

окажется, что процент выхода годных ниже, чем значение Ai < A0i – 3 i, где i – среднеквадратич-

ное отклонение, то снижается категория качества этой партии. Для случая изготовления изделий широкого применения технологический маршрут c применением выравнивающей технологии показан на рис. 5.4. В сопроводительном листе на партию, в которой Ai < A0i – 3 i, технолог после анализа бракованных изделий записывает объем дополнительных испытаний.

На примере выпуска ИС серии 106 проанализируем возможность применения метода выравнивающей технологии.

При анализе 55 технологических сборочных операций выбрано четыре следующие операции, которые являются определяющими для качества и надежности ИС: проверка внешнего вида арматур перед герметизацией (обозначим операцией 1), первая классификация (2), вторая классификация (проверка статистических параметров после проведения ЭТТ (3)), третья классификация (4).

В табл. 5.3 указаны проценты выхода 33 партий ИС серии 106, выбранных методом случайной

Просматривая пооперационные проценты выходов по 33 партиям ИС, находим, что партия № 13 на операции (1), партия № 31 на операции (2), партия № 33 на операции (3) и партия № 22 на операции (4) имеют фактические проценты выходов ниже установленного допустимого значения. На рис. 5.5 (распределение Парето) для партии № 13 видно, что основной брак связан с операцией "Приварка внутренних выводов" и составляет 14,12 % из 16,61 % брака. Для обеспечения надежности партии № 13 не ниже надежности партий ИС, прошедших операцию (1) с процентом выхода годных не хуже установленного нижнего значения, ИС этой партии подвергли дополнительным испытаниям "на обдув арматур" и повторному контролю внешнего вида арматур.

В партиях 31, 33, 22 основной вид брака приходился на электрические параметры (нестабильность и выход за нормы технических условий). Для обеспечения надежности этих партий не ниже надежности партий ИС, прошедших операции (2), (3), (4) с процентом выхода не хуже установленного нижнего значения, ИС этих партий подвергли дополнительным испытаниям на воздействие смены

температур (10 термоциклов –60 С – +125 С), электротренировке (96 ч в динамическом режиме при +125 С) и проверке электрических параметров.

Рис. 5.5. Гистограмма распределения по видам брака партии № 13 на операции (1) (распределение Парето):

1 – отслоение сварной точки на кристалле; 2 – обрыв сварной точки; 3 – смещение сварной точки; 4 – отслоение сварной точки на траверсе; 5 – некачественная сварная точка; 6 – загрязнение

кристалла; 7 – дефект корпуса

Доля дополнительно отбракованных интегральных схем представлена в табл. 5.5 Подтверждением того, что действительно надежность ИС партий 13, 22, 31, 33 после примене-

ния метода выравнивающей технологии не хуже надежности остальных партий, являются результаты следующего эксперимента, суть которого представлена в табл. 5.6.

Таблица 5.5

Результаты дополнительных испытаний партий ИС