Скачиваний:
12
Добавлен:
06.08.2022
Размер:
1.34 Mб
Скачать

ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ

Тема 1. Электронно-дырочный переход

Смирнов В.И.

кафедра ПиТЭС, УлГТУ

Лекции

16

Лабораторные

16

практические (семинарские)

16

Литература

Основная:

1. Пасынков В.В., Чиркин Л. К.; Полупроводниковые приборы: учебное пособие для вузов. - 9-e изд.. - Санкт-Петербург: Лань, 2009. - 479 с.

2.Гуртов В. А. Твердотельная электроника: учебное пособие для вузов - Москва: Техносфера, 2008. - 511 с.

Дополнительная:

3. Лебедев А. И.. Физика полупроводниковых приборов: учебное пособие для вузов. - М.: Физматлит, 2008. - 487 с.

4.Зи С.М. Физика полупроводниковых приборов: В 2 кн. – М.:

Мир, 1984.

5.Тугов Н.М., Чарыков Н. А. Полупроводниковые приборы: учебник для вузов. – М.: Энергоатомиздат, 1990. – 576 с

6.Шур М.С. Физика полупроводниковых приборов. В 2 кн. – М.:

Мир, 1992

1.1

Контактные явления в полупроводниках

 

Способы формирования электронно-дырочных переходов

Электронно-дырочный переход (р-n-переход) — это переходный слой между двумя областями полупроводника с разной электропроводностью, в области которого существует внутреннее электрическое поле.

Методы формирования p-n-перехода:

-диффузии;

-с помощью ионной имплантации;

-с помощью эпитаксиального наращивания. Исторически первым методом был сплавной метод.

1.2

Способы формирования p-n переходов

 

 

Формирование p-n-перехода диффузионным методом

Формирование p-n-перехода методом ионной имплантации

Формирование p-n-перехода методом эпитаксии

1.3

Электрические процессы в p-n-переходе при U

= 0

 

 

внеш

 

P-n-переход в равновесном состоянии:

 

а) распределение концентрации

NdиNaпримесных атомов;

б) распределение концентрации

основных(nnиpp) и неосновных (pnи np)носителей заряда;

в) распределение плотности заряда ρ ионов примеси;

г) распределение напряженности внутреннего электрического поля;

д) зонная диаграмма p-n-перехода

 

 

 

 

 

ni – концентрация

к

k T

ln

Na Nd

 

 

собственных

q

2

 

 

 

ni

 

носителей заряда

 

 

 

 

1.4

Электрические процессы в p-n-переходе при U

= 0

 

 

внеш

Величина потенциального барьера φк зависит от концентрации примеси, типа полупроводника (∆Eg ) и температуры.

Толщина p-n-перехода (толщина области пространственного заряда ОПЗ определяется выражением:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

1

 

 

 

 

δ δ

 

δ

 

 

2εεo

 

 

 

 

 

n

p

q

 

Nd

 

 

к

 

 

 

 

 

 

 

 

Na

 

 

 

ε – диэлектрическая проницаемость полупроводника,

εo – диэлектрическая постоянная.

Если p-n-переход является несимметричным, например, Nd >> Na, то:

 

 

 

 

 

 

 

В случае несимметричного p-n-перехода,

 

 

 

 

 

 

 

δ δn δp

2εεo

 

1

к

δp

он в основном сосредоточен в слабо

 

 

 

 

q

Na

 

легированной области полупроводника.

 

 

 

 

 

 

 

Важной особенностью p-n-перехода является то, что ОПЗ обеднена свободными носителями заряда, т. е. является высокоомной. Поэтому, если к полупроводниковому прибору, содержащему p-n-переход, прикладывается внешнее напряжение, то все оно в основном падает на p-n-переходе.

1.5

Выпрямляющие свойства p-n-перехода.

 

ВАХ идеального p-n-перехода (формула Шокли)

При отсутствии внешнего напряжения диффузионный jдиф и дрейфовый jдр токи компенсирую друг друга, поэтому суммарный ток равен 0.

При Uвнеш > 0 (прямое напряжение) jдиф возрастает (~ экспоненциально), а jдр остается примерно постоянным. Общий ток увеличивается.

При Uвнеш < 0 (обратное напряжение) jдиф уменьшается до нуля, а jдр остается примерно постоянным. Общий ток примерно постоянный.

Данная особенность определяет выпрямляющие свойства p-n-перехода.

1.6ВАХ идеального p-n-перехода (формула Шокли)

а)

б)

в)

Зонные диаграммы p-n-перехода: а) при U = 0; б) при U > 0; в) при U < 0

ВАХ идеального р-n-перехода (формула Шокли):

 

qU

 

где js – плотность тока насыщения, определяемая

j js exp

 

 

1 ,

выражением:

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

qLnnp

 

qLppn

 

 

 

 

 

 

j

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

s

τn

 

τp

 

 

 

 

 

 

 

где τnи τp – времена жизни электронов и дырок.

1.7ВАХ идеального p-n-перехода (формула Шокли)

При прямом напряжении и условии qU >> kT плотность тока jпр зависит от напряжения U экспоненциально.

При обратном напряжении и условии |qU |>> kT плотность тока jпр примерно

График ВАХ p-n-перехода постоянна и jобр ≈ js.

а)

б)

Прямые ветви ВАХр-n-перехода: а)для полупроводников с различной ∆Eg; б) при различной температуре полупроводника

1.8

ВАХ реального р-n-перехода

При выводе формулы для ВАХ p-n-перехода Шокли использовал несколько допущений, а именно:

-переход является тонким, поэтому носители заряда (электроны и дырки) проходят ОПЗ без рекомбинации друг с другом, при этом процессами генерации электронно-дырочных пар в ОПЗ можно также пренебречь;

-все внешнее напряжение, приложенное к полупроводнику, в котором сформирован переход, падает на ОПЗ, а падением напряжения на остальной части полупроводника можно пренебречь.

а)

б)

Возникновение дополнительных составляющих тока через p-n-переход: а) генерационная составляющая jген; б) рекомбинационная составляющая jрек