Учебное пособие 800408
.pdf14.Пасынков В.В. Полупроводниковые приборы [Текст]: учебник для вузов / В.В. Пасынков, Л.К. Чиркин. – СПб.: Лань, 2003. – 480 с.
15.Прянишников, В. А. Электроника: полный курс лекций [Текст]: учеб. для вузов / В. А. Прянишников. – СПб.: Ко-
рона-Принт, 2004. – 416 с.
16.Пул Ч. Нанотехнологии [Текст] / Ч. Пул, Ф. Оуэнс. –
М.: Техносфера, 2005. – 336 с.
17.Рамбиди Н.Г. Нанотехнологии и молекулярные компьютеры [Текст] / Н.Г. Рамбиди. – М.: Физматлит, 2007. – 256 с.
18.Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника [Текст] / Л. Росадо. – М.: Высш. шк., 1991. – 351 с.
19.Светцов В.И. Физическая электроника и электронные приборы [Текст]: учеб. пособие / В.И. Светцов, И.В. Холодков.
–М.: ИГХГУ им. Менделеева, 2008. – 494 с.
20.Степаненко И.П. Основы микроэлектроники [Текст]: учеб. пособие для вузов / И.П. Степаненко. – М.: Лаборатория базовых знаний, 2000. – 488 с.
21.Сушков А.Д. Вакуумная электроника: физико-техни- ческие основы [Текст]: учеб. пособие / А.Д. Сушков. – СПб:
Лань, 2004. – 464 с.
22.Физика низкоразмерных систем [Текст] / А.Я. Шик, Л.Г. Бакуева, С.Ф. Мусихин и др. – СПб.: Наука, 2001. – 160 с.
23.Щука А.А. Электроника [Текст]: учеб. пособие / А.А. Щука; под ред. А.С. Ситова. – СПб: БХВ-Петербург, 2005. – 800 с.
24.Щука А.А. Наноэлектроника [Текст] / А.А. Щука; под ред. Ю.В. Гуляева. – М: Физматкнига, 2007. – 464 с.
25.Электронные приборы / под ред. Г.Г. Шишкина. – М.: Энергоатомиздат, 1989. – 496 с.
140
ОГЛАВЛЕНИЕ |
|
Введение |
3 |
1. Основные понятия и определения микроэлектро- |
|
ники |
5 |
1.1. Исторический обзор |
5 |
1.2. Основные элементы ламповой радиотехники |
|
и микроэлектроники |
11 |
1.2.1. Устройство и работа диодной радио- |
|
лампы |
13 |
1.2.2. Устройство и работа вакуумного триода |
16 |
1.3. Основные сведения о полупроводниковых |
|
материалах |
21 |
1.4. Контакт электронного и дырочного полупро- |
|
водников (p-n переход) |
28 |
1.4.1. Полупроводниковый диод с p-n перехо- |
|
дом |
28 |
1.4.2. Полупроводниковый транзистор n-p-n |
30 |
2. Общая характеристика технологического процес- |
|
са изготовления полупроводниковых приборов |
36 |
2.1. Основные этапы технологии ИМС |
36 |
2.2. Выбор полупроводникового материала |
36 |
2.3. Получение полупроводникового материала |
37 |
2.4. Получение полупроводниковых пластин |
40 |
2.5. Шлифовка, полировка и травление пластин |
41 |
2.6. Получение эпитаксиальных структур |
44 |
2.7. Методы формирования элементов ИМС |
45 |
2.8. Общая характеристика технологического |
|
процесса производства ИМС |
47 |
2.9. Типы структур ИМС |
49 |
2.10. Требования к кремниевым пластинам |
61 |
2.11. Схема технологического процесса |
63 |
2.12. Микроклимат и производственная гигиена |
65 |
3. Основные технологические операции планарной |
|
технологии |
69 |
141
3.1. Термическое окисление. Свойства пленки |
|
двуокиси кремния |
69 |
3.2. Травление |
71 |
3.3. Термическая диффузия примесей |
76 |
3.4. Ионное легирование |
81 |
3.5. Эпитаксия |
85 |
3.6. Нанесение тонких пленок |
88 |
3.7. Проводники соединений и контакты в полу- |
|
проводниковых ИМС |
94 |
3.8. Литография |
98 |
4. Основы наноэлектроники |
103 |
4.1. Структура и физические свойства точечных, |
|
линейных и двумерных нанообъектов |
103 |
4.1.1. Фундаментальные явления |
104 |
4.1.2. Квантовое ограничение |
105 |
4.1.3. Баллистический транспорт носителей |
|
заряда |
111 |
4.1.4. Туннелирование носителей заряда |
112 |
4.2. Приборы наноэлектроники |
114 |
4.2.1. Нанотранзисторы |
118 |
4.2.2. Политроника |
127 |
4.2.3. Наноэлектроника без транзисторов |
132 |
Заключение |
138 |
Библиографический список |
139 |
142
Учебное издание
Рембеза Станислав Иванович Рембеза Екатерина Станиславовна
ВВЕДЕНИЕ В МИКРОЭЛЕКТРОНИКУ
ИНАНОЭЛЕКТРОНИКУ
Вавторской редакции Компьютерная верстка О.А. Ивановой
Подписано к изданию 28.11.2017. Объем данных 2,2 Мб.
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14
143