Методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Технология материалов электронной техники». Винокуров А.А., Плотникова Е.Ю

Рис. 2.1. Схема выбора полей зрения

5.Обработка результатов

5.1.По результатам измерений вычисляют среднее значение количества ямок травления в поле зрения

где Ni – количество ямок в поле зрения; n – количество полей зрения.

5.2. Плотность дислокаций рассчитывают по формуле

где К – пересчетный коэффициент, определяемый увеличением микроскопа.

5.3. Пересчетный коэффициент определяют по формуле

29

где S – площадь поля зрения, определяемая увеличением микроскопа, см2.

5.4. Площадь поля зрения определяется с помощью объектмикрометра, прилагаемого к микроскопу.

6.Оформление результатов измерений

6.1.Результатом измерения плотности дислокаций является величина, вычисленная по формуле (2).

6.2.Погрешность результатов измерений составляет ±50 % при доверительной вероятности Р = 0,95.

6.3.Результат измерений представляют двумя знача-

щими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций (например, 2,2·103 см-2).

а) б)

Рис. 2.2. Дислокационные ямки травления; увеличение 225: а – плоскость (111); б – плоскость (100)

30

Контрольные вопросы

1.Физическая природа дислокаций.

2.Виды дислокаций.

3.Влияние дислокаций на электрические характеристики материала.

4.Методы обнаружения дислокаций.

5.Методы снижения числа дислокаций в кристаллах.

31