
Методические указания к выполнению лабораторных работ по дисциплине «Технология материалов электронной техники». Винокуров А.А., Плотникова Е.Ю
.pdf
Рис. 2.1. Схема выбора полей зрения
5.Обработка результатов
5.1.По результатам измерений вычисляют среднее значение количества ямок травления в поле зрения
= |
∙ |
, |
(2.1) |
где Ni – количество ямок в поле зрения; n – количество полей зрения.
5.2. Плотность дислокаций рассчитывают по формуле
Д = ∙ , |
(2.2) |
где К – пересчетный коэффициент, определяемый увеличением микроскопа.
5.3. Пересчетный коэффициент определяют по формуле
29

= |
|
, |
(2.3) |
|
где S – площадь поля зрения, определяемая увеличением микроскопа, см2.
5.4. Площадь поля зрения определяется с помощью объектмикрометра, прилагаемого к микроскопу.
6.Оформление результатов измерений
6.1.Результатом измерения плотности дислокаций является величина, вычисленная по формуле (2).
6.2.Погрешность результатов измерений составляет ±50 % при доверительной вероятности Р = 0,95.
6.3.Результат измерений представляют двумя знача-
щими цифрами, умноженными на порядок определяемого значения плотности дислокаций (например, 2,2·103 см-2).
а) б)
Рис. 2.2. Дислокационные ямки травления; увеличение 225: а – плоскость (111); б – плоскость (100)
30
Контрольные вопросы
1.Физическая природа дислокаций.
2.Виды дислокаций.
3.Влияние дислокаций на электрические характеристики материала.
4.Методы обнаружения дислокаций.
5.Методы снижения числа дислокаций в кристаллах.
31
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК
1.ГОСТ Р 16153-80. Германий монокристаллический в слитках. Технические условия. – М.: Госстандарт: Издательство стандартов, 1981. – 50 с.
2.ГОСТ Р 19658-81. Цветные металлы. Кремний, магний, кадмий, титан. Технические условия. Марки. – М.: ИПК Издательство стандартов, 2001. – 50 с.
СОДЕРЖАНИЕ |
|
Лабораторная работа № 1 |
1 |
Лабораторная работа № 2 |
21 |
Библиографический список |
31 |
32
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ
к выполнению лабораторных работ № 1 - 2 по дисциплине «Технология материалов электронной техники»
для студентов направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника»
(направленность «Микроэлектроника и твердотельная электроника»)
очной формы обучения
Составители: Винокуров Александр Александрович
Плотникова Екатерина Юрьевна
В авторской редакции
Подписано к изданию 18.09.2017. Уч.-изд. л. 1,5.
ФГБОУ ВО «Воронежский государственный технический университет»
394026 Воронеж, Московский просп., 14