 
        
        Исследование влияния подтрава, ошибок угловой ориентации и технологических процессов на частотные характеристики фильтров и резонаторов. Андреев И.В., Андреев А.И
.pdfТогда после подстановки t = tn = nT0 в формулу (2.4) получаем выражение для весовых коэффициентов
An = h(tn) = h(nT0), (12)
которые представляют выборки импульсного отклика комбинации трансверсального с идеальным полосовым фильтром.
Для импульсного отклика следует, что
| An s nT cos2 f0nT0 | (13) | 
и временного интервала между выборками можно записать
| T0 | Tv | 
 | 1 | , | (14) | 
| Nv | Nv fv | 
 | |||
где Nv – число выборок за период; fv = 1/Tv – частота выборок.
Тогда для предельной частоты можно записать fm = 1/T0. При умножении импульсной характеристики на некоторую весовую функцию W(t) имеем с ее подстановкой
при t = tn
| An = h0(tn)W(tn). | (15) | 
| Согласно методу преобразования Фурье /2/ для | |
| симметричной АЧХ имеем передаточную функцию | 
 | 
| H( jf ) H ( j(2f f0 ), | (16) | 
где H*(j(2f – f0)) – представляет комплексносопряженную величину. Тогда импульсный отклик в соответствии с обратным преобразованием Фурье равен
| 
 | f0 | t dt, | 
 | ||
| h t 2e j2 f0t | Re H jf e j2 f f0 | (17) | |||
| f0 | 
 | F | 
 | 
 | 
 | 
| 
 | 
 | 
 | |||
| Амплитуда | 2 | импульсного | отклика | является | |
| 
 | 
 | ||||
действительной величиной, а положение электродов определяется формулой:
| 
 | n | 
 | n | (18) | |
| tn n T0 Nv fv | 
 | 2 f0 | |||
| 
 | |||||
19
в данном случае период дискретизации T0 =1/2f0, который получается при числе выборок Nv = 2 и fv = f0. В этом случае весовые коэффициенты с учетом умножения на весовую функцию принимают вид
| A | c h | t | n | W t | n | cos2 f | t c 1 n h | t | n | W t | n | , (19) | 
| n | 0 | 
 | 
 | v | 0 | 
 | 
 | 
 | 
где c – нормировочный множитель. При другом числе выборок величина An не является действительной величиной. Таким образом. влияние подтрава bпроявляется в изменении положения значений импульсной характеристики для каждого электрода, что изменяет передаточную характеристику отдельного преобразователя
3.ВОПРОСЫ К ДОМАШНЕМУ ЗАДАНИЮ
1.Как влияет дифракция на параметры частотных характеристики фильтров?
2.Чем определяется технология изготовления фотошаблонов?
3. Как связаны компоненты передаточной характеристики ВШП с отклоненнями размеров электродов из-
| за подтрава? | 
 | 
 | |
| 4. | От чего | зависит | коэффициенты импульсной | 
| характеристики | при отклонении в процессе технологии | ||
| изготовлении фильтра ? | 
 | ||
| 5. | Чем определяется квадрат коэффициента | ||
| электромеха- | нической связи и его влияние на | ||
основные параметры фильтра?
6. От чего зависит перекрытие электродов и как влияет на нее технология?
20
4. ЛАБОРАТОРНЫЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ
Задание № 1. Определить будет ли влиять дифракции на параметры фильтра, содержащего два ВШП –аподизованный и неподизованный нацентральную частоту f=57.2 МГц с апертурами, равными 2 мм.
Методические указания по выполнению первого задания
При выполнении задания следует считать, что для полосового фильтра ПАВ общая АЧХ равна произведению АЧХ отдельных преобразователей
H( f ) H1( f ) H2( f ),
где H1( f ) и H2( f )- аплитудно-частотные характеристики отдельных преобразователей. Если один преобразователь сделать широкополосным и считать, что для негоH2( f )=1, тогда общая АЧХ фильтра будет олределяться характеристикой входного преобразователя. Для выполнения задания выбрать аподизованный преобразователь с оконной функцией Хемминга. По формуле (1) выполнить расчет F и определить соответствует значение F зоне Френеля, если расстояние между преобразователями равно 2 мм или 10 мм, а качестве подложки используется кварц STсреза. Найденные значения занести в отчет
Задание № 2. Определить отклонение амплитудночастотной характеристики полосового фильтра, содержащего аподизованный и неаподизованный преобразователи с учетом технологических отклонений при подтраве.
Методические указания по выполнению второго задания
При выполнении задания учесть, что на частотную харатеристику влияет отклонение длины электродов при травлении и отклонение ширины электродов при травлении..
21
Для нахождения реальных значений воспользоваться соотношениями (1-5) и по программе провести расчет для разных значений величины подтрава и апертур. В заготовку отчета занести файлы, учитывающие влиянме подтрава на частотные характеристики фильтров на кварце STсреза.
УКАЗАНИЯ ПО ОФОРМЛЕНИЮ ОТЧЕТА
| Отчет оформляется в соответствии с требованиями к | |||
| лабораторной работе № 1. Заготовка должна содержать | все | ||
| пункты домашних | заданий | и результаты их выполнения, | |
| цель и содержание работы, все пункты лабораторных заданий | |||
| и свободные места | для их | выполнения. Титульный | лист | 
| выполняется | в | виде отдельной | обложки, | приведенной в | 
| приложении | к | лабораторной | работе № | 1, в которую | 
| вкладывается настоящий отчет. | 
 | 
 | ||
5. КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ К ЛАБОРАТОРНЫМ ЗАДАНИЯМ
1.Какие выбираются акустопоглощающие материалы и чем они характеризуются при изготовлении фильтров ПАВ?
2.Охарактеризуйте основные технологические
процессы, используемые при изготовлении фильтров на ПАВ?
3. Как производится корпусирование фильтров и какие при этом используются корпуса представляется с учетом технологии их изготовления?
4.Охарактеризуйте методы изготовления встречноштыревых структур для фильтров ПАВ.
5.Чему равны координаты левого и правого краев электродов с учетом травления?
6.Как изменяется АЧХ фильтра при уменьшении апертуры до значения одной длины волны?
22
7. Каким образом изменяются длина, ширина, положение электродов, скорость ПАВ и коэффициент электромеханической связи с учетом травления?
8. Чем характеризуется технологический процесс подготовки материалов звукопровода для изготовления фильтров на поверхностных акустических волнах?
ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 4 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ВЗАИМНОЙ
ОРИЕНТАЦИИ ВСТРЕЧНО-ШТЫРЕВЫХ ПРЕОЬРАЗОВАТЕЛЕЙ И ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОШИБОК ПАВ-СТРУКТУР ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФИЛЬТРОВ
1. ОБЩИЕ УКАЗАНИЯ ПО ВЫПОЛНЕНИЮ РАБОТЫ
1.1.Цель работы
| Изучить влияние | ошибок | угловой | ориентации | 
| взаимного расположения | преобразователей | на частотные | |
характеристики фильтров и резонаторов, рассмотреть влияние технологических ошибок ПАВ-структур, связанных с
| изготовлением | фильтров на поверхностных акустических | 
| волнах на их частотные характеристики. | |
| 1.2. Общая характеристика работы | |
Основным содержанием практической части работы является изучение отклонения заданных технических
| характеристик фильтров, | связанных | с влиянием | ошибок | |||
| взаимного | расположения | преобразователей | из-за | их | ||
| изменений по углу. Исследование | изменения | структур | ||||
| преобразователей, | обусловленных | технологическими | ||||
| ошибками | изготовления | на частотные характеристики | ||||
фильтров на поверхностных акустических волнах.
23
В работе рассматривается методика определения отдельных параметров фильтров с учетом технологических особенностей их изготовления, рассматривается изменение емкости преобразователя от. ошибок изготовления. В процессе работы необходимо соблюдать общие правила по технике безопасности при работе с электроустановками с напряжением до 1000 В.
2. ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЯ И МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ ПО ИХ ВЫПОЛНЕНИЮ
Задание № 1. Изучить влияние взаимного расположения преобразователей на частотные характеристики фильтров на поверхностных акустических волнах. и их связь с основными параметрами. В заготовку отчета занести основные расчетные соотношения.
Методические указания по выполнению первого задания
При выполнении задания изучить материал [1, с. 43-53; 2, c. 248-265]. При проработке материала следует учитывать, что кроме разооринтации срезов звукопроводов искажения частотных характеристик вызывают погрешности, определяемые взаимным расположением преобразователей. Эти погрешности могут возникать при мультиплицировании преобразователей фильтров или резонаторов с различных парциальных шаблонов, и приводит к изкажению фронта излучаемых ПАВ, а также к энергетическим потерям. На рис.1 показано расположение приемного ВШП2, повернутого на угол β и смещенного на величину g cosβ относительно фронта однородной ПАВ, излученной ВШП1. Для анализа удобно использовать новую систему координат X1O1Y1, повернутую на угол β относительно основной системы XOY. В новой системе координат набег фазы в y1 –й точке ВШП2 составляет:
(y1) (2 / )(y1 y)sin
24
 
В результате АЧХ фильтра с двумя преобразователями, один из которых повернут на угол β принимает вид
H( ) 2H1 ( ) H2 ( ) cos( ) c2 (W1/W2)( 1c2 (1 cos c ))(1)
| где | H1 ( ), | H2 ( ) ,W1 | и W2- | соответственно АЧХ | и | |||||
| апертуры преобразователей 1 и 2, | 
 | 
 | ||||||||
| c | 1 | 
 | g | , | g | – часть | апертуры | ВШП2, погруженный | в | |
| 
 | 
 | |||||||||
| 
 | W1 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |||
| акустический луч | ширина W1, а угол | 
 | ||||||||
| c | 2 | c W1 | sin . | 
 | (2) | 
 | ||||
| 
 | 
 | 
 | ||||||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
Рис. 4. Расположение преобразователей ВШП1 и повернутого приемного ВШП2
Анализ этого выражения показывает, что множитель W1/W2 определяет потери, связанные с различием апертур передающего и приемного преобразователей. множитель W1cosβ является эффективной апертурой преобразователя ВШП2 и характеризует потери, вызванные угловой
| разоориентацией последнего, множитель | c | 1 | g | 
 | 
| 
 | ||||
| 
 | 
 | W1 | ||
определяет потери, обусловленные, смещением ВШП2 относительно центральной оси излучения ПАВ, функция
| E | 2 | (1 cos c ), | (3) | 
| 
 | |||
| 
 | c | 
 | |
25
 
график которой, показан на рис. 2 и обращается в нуль приc 2 m, m=1, 2, 3…n и связана с фазовыми ошибками,
вызванными разворотом ВШП2 относительно фронта принимаемой волны.
Рис. 5. Зависимость функции E от угла φс
Задание № 2. Изучить влияние погрешности ПАВструктур преобразователей на выходные параметры фильтров ПАВ с использованием вероятностного метода и определить отклонения частотных характеристик фильтров. В заготовку отчета занести основные расчетные соотношения.
Методические указания по выполнению второго задания
При выполнении задания изучить материал /1 с. 43-53; 2 c. 248-256/. При проработке материала следует учитывать, что вероятностный метод дает несколько расширенное поле допуска, но позволяет определить характер влияния частных погрешностей.
Поэтому для обобщения рассмотрим основные расчеты допусков по вероятностному методу. С учетом
26
технологических погрешностей передаточная функция фильтра ПАВ, состоящего из двух преобразователей: одного широкополосного и другого полосозадающего (аподизованного) ВШП, записывается в виде
| 
 | An | 
 | 
 | 2 | 
 | 
 | |
| H( j ) H1( ) qn (Ф(n) Ф(n)) exp(-j | (xn | xn )) | |||||
| 
 | |||||||
| 
 | n 1 | 
 | 
 | Vf V | 
 | ||
| где | H1( )-передаточная функция широкополосного | ||||||
| преобразователя,qn - | коэффициент определяющий | число | |||||
| дефектных электродов | An | в топологии полосозадающего | |||||
| ВШП, | Ф(n), xn , V | - | погрешности | длины, периода | |||
(расположения) электродов и скорости ПАВ соответственно. Длина электродов yn изменялась пропорционально функции аподизации Ф(n) h(tn ) w(tn ), полученной по методу прямой свертки импульсной характеристики h(tn ) преобразователя с различными весовыми коэффициентами w(tn ) . Считая, что
передаточная функция фильтра определяется аподизованным ВШП, получим
| An | xn | An | xn | 
 | |
| H( j ) Hп ( ) (Ф(n)cos( | ) j (Ф(n)sin( | ) (4) | |||
| Vf | 
 | ||||
| n 1 | n 1 | Vf | |||
получаем уравнение функции влияния скорости ПАВ на АЧХ фильтра
| 
 | 2A Ln | An An | xm | 
 | 
 | |
| TV ( ) | (Ф(n)(Ф(m)sin( | xn | ) | (5) | ||
| 2 | 
 | 
 | ||||
| 
 | A ( ) Vf | n 1 m 1 | Vf | 
 | ||
Для функции влияния периода электрода 2Ln ПАВ-
структур, т.е. положения xn электродов
27
| 
 | 
 | Ф(n) xn | An An | 
 | 
 | xn | xm | 
 | |||
| Tx | ( ,n) | (Ф(n)(Ф(m)sin( | ). (6) | ||||||||
| 2 | 
 | 
 | 
 | ||||||||
| 
 | 
 | A ( ) Vf n 1 m 1 | 
 | 
 | 
 | Vf | |||||
| Для функции влияния длины электродов ПАВ-структур | |||||||||||
| 
 | 
 | Ф(n) | An An | xm | 
 | 
 | 
 | 
 | |||
| Ty | ( ,n) | (Ф(n) cos( | xn | ), | (7) | ||||||
| 2 | 
 | 
 | |||||||||
| 
 | 
 | A ( ) n 1 m 1 | Vf | 
 | 
 | ||||||
где 2Ln -номинальное значение периода, Ф(m)соответствует при ихменении индекса n на m. Расчет производственных допусков производится вероятностным методом и получается уравнение для расчета половины поля допуска для АЧХ фильтра при условии отсутствия корреляционных связей
| 
 | 
 | A( ) | 
 | 1 | 
 | 
 | 
 | 
 | V | 
 | A | 
 | 
 | xn | 
 | 
 | 
 | |||
| ( | 
 | 
 | (TV ( )KV ( | ) ((Tx | ( ,n)Kx ( | ))2 | ||||||||||||||
| 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||||||||||||||
| 
 | 
 | A( ) | 
 | Kn | 
 | V | n 1 | 
 | 
 | xn | ||||||||||
| 
 | 
 | A | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | yn | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | A | ||||||
| ((Ty | ( ,n)Ky ( | ))2 )1/2 t0 (TV ( ) f | l ((Tx( ,n)+ | |||||||||||||||||
| yn | ||||||||||||||||||||
| n 1 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | n 1 | |||||||||
| 
 | 
 | A | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| l Ty ( ,n)) | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | (8) | 
 | |||||||||||||
| 
 | 
 | n 1 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | ||
| где Kn | = коэффициент относительного рассеяния выходных | |||||||||||||||||||
| параметров,KV , Kx , | Ky - коэффициенты относительного | |||||||||||||||||||
| рассеяния параметров | конструктивных | элементов ( | xn | ), | ||||||||||||||||
| 
 | ||||||||||||||||||||
| 
 | 
 | yn | 
 | 
 | 
 | V | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | xn | |||
| ( | ), | ( | ) - | половина | поля | допуска параметров | ||||||||||||||
| 
 | ||||||||||||||||||||
| 
 | 
 | yn | 
 | 
 | V | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | 
 | |||||
конструктивных элементов.
Действительные значения АЧХ фильтра с учетом влияния производственных погрешностей по вероятностному закону.
28
