Скачиваний:
18
Добавлен:
29.04.2022
Размер:
1.22 Mб
Скачать

1) Средняя длина свободного пробега частицы:

С-коэф Сёзерленда

Сигма- эффективное сечение рассеяния

2) Критерий Кнудсена- мера разрежённости газа:

3)

,ге ех- рад вектор

Коэф вязкости:

Осн ур вак тех:

УР откач:

Закон Пуазейля:

Вязкостный: d*p >0.63

1) l/d > 100

2) l/d < 0.1

Молекуляр: dp < 6.3*10-3

ДМ:

ОМ:

Вак насосы

По принц. действ:

Тепловой вакууметр:

Термопарн вакууметр:

Лямда- теплопроводность

Ионизиц вакуумтр

Соседние файлы в папке Защита 2