Оглавление
1. Полная последовательность технологических операций (могу сделать это) 2
2. Все про термопарный вакууметр 3
3. Все про ионизационный вакууметр 4
4. Все про форвакуумный насос 5
5. Все про паромасляный насос 6
6. Что такое ядерная тормозная способность 6
7. Как меняется коэф. расп. при увеличении энергии (растет), нарисовать график (там парабола ветвями вниз, приложу фото) и почему потом убывает 10
8. Почему R уменьшается при увеличении тока. 10
9. Как коэф распыления зависит от энергии? (имеет максимум при максимальной энергии ядерного торможения) 11
11. Какое давление и напряжение было. 11
12. Как нужно изменить давление и напряжение если использовать катодное, а не магнетронное распыление(увеличить). 12
13. Какие происходили физ. процессы в вакууме в области у мишени. 12
14. Как назывался бы процесс если бы происходили хим.реакции(реактивное распыление). 13
15. Преимущества и недостатки магнетронного распыления перед катодным распылением 13
16. Влияет ли магнитное поле на ионы и почему влияет/не влияет?(ответил, что не влияет так как ионы аргона слишком тяжелые, чтобы магнитное поле сколько-нибудь значительно изменяло их траекторию, в отличии от электронов. Вроде принял) 16
18. Математическая модель 16
18. Преимущества и недостатки термического распыления 17
Концентрированные потоки энергии и анода 18
Скорость травления 19
1. Полная последовательность технологических операций (могу сделать это)
Если установка была включена
Отключаем ионизационный вакууметр ->Отсекаем камеру от насоса->Запускаем воздух
Кладем стекло, трафарет , закрываем заслонкой ( чтобы начать распыление при выходе на режим) ЗАпуск предварительной откачки форвакуумным насосом(Пластинично-роторным) откачиваем до 1.2 мВ что соответствует до 10 Па. На 10 Па включаем высоковакуумный насос ,наблюдаем рост температуры . Откачка до 10 мВ , после чего запускается Аргон .Давление другое , дальше необходимо использовать к-ф перехода от воздуха к аргону (1.4). Первый процесс происходит на о 0.6 Па .
Поднимем давление и для того чтобы проще было регулировать давление я буду использовать не вот этот натекатель а буду регулировать скорость
откачки. Для зажигания подаем напряжение 357 В , дальше перекрываем насос и загорается разряд как только цвет разряда меняется с фиолетового (это аргоновый разряд характерный для аргона не для титана.) на голубой начинается активное распыление Титана( понижаем давление с помощью надтекателя(?)). Выходим на рабочие давление до 9.5 мВ . Включаем ионизационный Вакууметр. Давление 0,5 Па ( ПО ВОЗДУХУ).Изменяем до 0.7 цвет плазмы как и . Ждем 2 минуты ,открыв затвор . Напряжение разряда 388 В Ток разряда 1 А давление 0,7 Па по воздуху . После времени 2 минут выключаем подачу газа , видим падение давления ,выключаем ионизационный вакоууметр , закрываем откачку , напускаем воздух в камеру . Дальше повторяется процесс для трех различных времени напылений.
2. Все про термопарный вакууметр
с
Преобразователь давления теплового вакуумметра представляет собой баллон, внутри которого расположен чувствительный элемент (тонкая нить из металлического сплава). Через нить пропускают ток, под влиянием которого она нагревается до температуры Т 1 . При понижении давления теплопроводность газа уменьшается, теплоотвод от нити становится меньше и она нагревается до более высокой температуры Т 2 . Изменение температуры нити фиксируют при помощи термопары - соединенных вместе двух тонких проволочек из разнородных металлов или сплавов, подключенных к электроизмерительному прибору (милливольтметру). Если температура участка, в котором они соединяются, отличается от температуры свободных концов проволочек (Т 0 ), то прибор зафиксирует возникновение термоэлектродвижущей силы (термоэдс e т ), пропорциональной разности температур
Давление внутри камеры растёт в начале из-за того, что мы не откачиваем ничего. ПРи подаче воздуха, давление резко падает.
3. Все про ионизационный вакууметр
Его выключаем в начале лабы, иначе сгорит спираль.
За счет термоэлектронной эмиссии, катод излучает электроны, они ускоряются к аноду, выполненному в виде спирали, часть электронов начинает осциллировать вокруг спирали и ионизируют газ. Часть ионов газа попадает на катод раскалённый , а большая часть из-за большой площади коллектора попадает на коллектор ионов. Измеряя ток в цепи коллектора ионов(20 микроампер), можно говорить о давлении внутри камеры. Чувствительность вакууметра в высоком вакууме падает из-за вязкости газа. Нужно помнить, что это вакууметр косвенных измерений. Для разного рода газа одно и то же давление на показателях будет разным для самих газов. Для исправления этого недостатка, нужно использовать коэфы, связывающие давление внутри камеры с давлением измеряемым по сухому воздуху. В нашем случае, это важно(2*10^-2 Па).