352 |
Глава 14 |
Рис. 14.11. АСМ-АFМ-изображение высокого разрешения атомов Ge на поверхности Si (105) подложки. Площадь изображения 4,2 х 4,2 нм. Сдвиг частот - 60 Гц. Амплитуда и частота резонанса кантилевера 3,8 нм и 280482 Гц соответственно (Yukio Hasegawa)
бражение дает информацию об изменениях электростатического потенциала меж ду свободными связями, а также обо всех свободных связях поверхностых атомов вне зависимости от электронной конфигурации. Эти результаты ясно показывают, что бесконтактный режим ACM-AFM высокого разрешения с зондом Кельвина может применяться для получения изображений атомной структуры поверхно
сти и определения ее электронных свойств. Разрешение и результаты измерений
с помощью данного метода находятся наравне или даже превосходят результаты,
полученные с помощью CTM-STM, в котором изображения атомной структуры
получаются только в зависимости от электронных состояний.
На рис. 14.12а показаны последствия присутствия воды в ходе снятия АСМ АFМ-изображений. Присутствие влаги от внешних адсорбатов на поверхности может привести к неправильным изображениям. Чтобы не сталкиваться с этой проблемой, для работы в воздушной атмосфере или в присутствии других газов используют режим прерывистого контакта (рис. 14.12б). В этом случае кантиле вер колеблется на своей резонансной частоте порядка 100-400 кГц. Зонд касается
поверхности только в течении небольшого периода времени в процессе колеба
ния для того, чтобы уменьшить влияние сил, действующих вдоль поверхности. Система обратной связи обеспечивает постоянное значение амплитуды резонанса кантилевера. С помощью этого амплитудного сигнала можно получать изобра жения, поскольку отклонения от заданной амплитуды колебания, не связанные
Сканирующая зондовая микроскопия |
553 |
а
Полученное изображение
Кангилевер
У Зонд
Капля во,ды на поверхности
ь |
Полученное изображение |
+
Рис. 14.12. (а) Схематическое изображение, показывающее последствия наличия влаги от
внешних источников в процессе АСМ-АFМ-анализа. (б) Режим прерывистого контакта позволяет избежать ложных изображений поверхности
с системой, контролирующей изменение поверхности образца, малы. Данный
режим устраняет влияние тангенциальных сил на зонд; он стал важным СТМ
SРМ-методом, поскольку с его помощью можно преодолеть ограничения контакт ного и бесконтактного режимов ACM-AFM. На рис. 14.13 приведено сравнение морфологии непосредственно осажденной и обработанной плазмой париленовых пленок в режиме прерывистого контакта. Полученные в присутствии атмосфе ры результаты ACM-AFM показали увеличение поверхностной шероховатости
вследствие влияния кислородной плазмы, что находится в согласии с результата ми анализа механической адгезии.
а) |
Ь) |
250 nm
о
о
2500 nm |
2500 nm |
Рис. 14.13. ACM-AFM изображения париленовой пленки на кремнии: (а) непосредствен но осажденная пленка, (Ь) после обработки кислородной плазмой. Оба изображения были
получены в присутствии атмосферы в режиме прерывистого контакта
354 |
Глава 14 |
14.3.4. Различные эффекты, связанные с зондом
Контраст АСМ-АFМ-изображения является следствием взаимодействия меж ду зондом и образцом. Поэтому понимание особенностей зондов существенно при интерпретации изображения. При анализе с большим увеличением и анализе поверхностей с устойчивой морфологией параметры зонда влияют на разреше ние изображения. Если то или иное свойство изображения можно сопоставить с топографической особенностью образца, то, как правило, это находится в прямой зависимости от формы зонда. Например, для того чтобы зонд надлежащим об разом взаимодействовал с отдельными атомами, необходимо, чтобы со стороны зонда в этом взаимодействии участвовало только небольшое количество атомов
на его конце. Следовательно, разрешение зависит от того, насколько зонд острый.
Коммерческие зонды, как правило, имеют радиус закругления конца порядка 1О нм. Имеются также более острые (а, значит, более хорошие) зонды. Только доста точно острый зонд способен надлежащим образом просканировать поверхность. Некоторые особенности поверхностей могут быть настолько мелкими и тонкими, что ни один зонд не сможет их разрешить без дополнительных приспособлений.
На рис. 14.14 показаны изображения поверхности, полученные с использованием
зондов с радиусами закругления 20 нм (рис. 14.14а) и 2,5 нм (рис. 14.14б). Другим
эффектом является уширение, возникающее в случае, если радиус закругления
конца зонда по порядку величины равен или больше, чем некоторые особенности
поверхности. При сканировании образца боковые поверхности зонда могут пер
выми коснуться поверхности, и в этом случае микроскоп будет снимать изобра жение собственного зонда (ложное изображение), а не изображение поверхности
(см. рис. 14.15).
(а) |
(Ь) |
Рис. 14.14. Изображения поверхности, полученные с использованием зондов с радиусами
закругления 20 нм (а) и 2,5 нм (Ь).
Сканирующая зондовая микроскопия |
355 |
Рис. 14.15. Схематичное изображение, показывающее кажущееся изменение изображения прямоугольной ямы на изображение ямы, соответствующей форме зонда
Литература
1.R. Wiesendanger, Scanning Probe Microscopy and Spectroscopy (Cambridge University Press, New York, 1994).
2.D. А. Bonnell, Ed., Scanning Tunneling Microscopy and Spectroscopy (VCH Publishers, New York, 1993).
3.С. Kittel, Introduction to Solid State Physics, 5th ed. (JohnWiley and Sons, New
York, 1976).
Приложение 1
Величина кинематического фактора ~ для ионов гелия (4Не+),
рассеиваемых на атомах с целочисленным значением массы
АТОМНАЯ |
180° |
170° |
160° |
145° |
900 |
60° |
45° |
30° |
МАССА (а.е.м.) |
||||||||
4 |
|
|
|
|
О.ООО |
0.250 |
0.500 |
0.750 |
6 |
0.040 |
0.041 |
0.043 |
0.051 |
0.200 |
0.476 |
0.659 |
0.832 |
8 |
0.111 |
0.113 |
0.118 |
0.134 |
0.333 |
0.589 |
0.738 |
0.873 |
10 |
0.184 |
0.186 |
0.193 |
0.213 |
0.429 |
0.661 |
0.787 |
0.897 |
12 |
0.250 |
0.253 |
0.260 |
0.282 |
0.500 |
0.711 |
0.820 |
0.914 |
14 |
0.309 |
0.311 |
0.319 |
0.342 |
0.556 |
0.748 |
0.844 |
0.926 |
16 |
0.360 |
0.363 |
0.371 |
0.394 |
0.600 |
0.776 |
0.863 |
0.935 |
18 |
0.405 |
0.408 |
0.416 |
0.439 |
0.636 |
0.799 |
0.877 |
0.942 |
20 |
0.444 |
0.447 |
0.455 |
0.478 |
0.660 |
0.817 |
0.889 |
0.948 |
22 |
0.479 |
0.482 |
0.490 |
0.512 |
0.692 |
0.833 |
0.899 |
0.952 |
24 |
0.510 |
0.513 |
0.521 |
0.542 |
0.714 |
0.846 |
0.907 |
0.956 |
26 |
0.538 |
0.540 |
0.548 |
0.569 |
0.733 |
0.857 |
0.914 |
0.960 |
28 |
0.563 |
0.565 |
0.572 |
0.592 |
0.750 |
0.866 |
0.920 |
0.962 |
30 |
0.585 |
0.587 |
0.594 |
0.614 |
0.765 |
0.875 |
0.925 |
0.965 |
32 |
0.605 |
0.607 |
0.614 |
0.633 |
0.778 |
0.882 |
0.929 |
0.967 |
34 |
0.623 |
0.626 |
0.632 |
0.650 |
0.789 |
0.889 |
0.933 |
0.969 |
36 |
0.640 |
0.642 |
0.649 |
0.666 |
0.800 |
0.895 |
0.937 |
0.971 |
38 |
0.655 |
0.657 |
0.664 |
0.681 |
0.810 |
0.900 |
0.940 |
0.972 |
40 |
0.669 |
0.671 |
0.678 |
0.694 |
0.818 |
0.905 |
0.943 |
0.974 |
42 |
0.682 |
0.684 |
0.690 |
0.706 |
0.826 |
0.909 |
0.946 |
0.975 |
44 |
0.694 |
0.696 |
0.702 |
0.718 |
0.833 |
0.913 |
0.948 |
0.976 |
46 |
0.706 |
0.707 |
0.713 |
0.728 |
0.840 |
0.917 |
0.950 |
0.977 |
48 |
0.716 |
0.718 |
0.723 |
0.738 |
0.846 |
0.920 |
0.952 |
0.978 |
50 |
0.726 |
0.727 |
0.733 |
0.747 |
0.852 |
0.923 |
0.954 |
0.979 |
52 |
0.735 |
0.736 |
0.742 |
0.755 |
0.857 |
0.926 |
0.956 |
0.980 |
54 |
0.743 |
0.745 |
0.750 |
0.763 |
0.862 |
0.929 |
0.958 |
0.980 |
56 |
0.751 |
0.753 |
0.758 |
0.771 |
0.867 |
0.931 |
0.959 |
0.981 |
58 |
0.759 |
0.760 |
0.765 |
0.778 |
0.871 |
0.933 |
0.960 |
0.982 |
60 |
0.766 |
0.767 |
0.772 |
0.784 |
0.875 |
0.935 |
0.962 |
0.982 |
62 |
0.772 |
0.774 |
0.778 |
0.791 |
0.879 |
0.937 |
0.963 |
0.983 |
64 |
0.779 |
0.780 |
0.784 |
0.796 |
0.882 |
0.939 |
0.964 |
0.983 |
66 |
0.784 |
0.786 |
0.790 |
0.802 |
0.886 |
0.941 |
0.965 |
0.984 |
68 |
0.790 |
0.792 |
0.796 |
0.807 |
0.889 |
0.943 |
0.966 |
0.984 |
70 |
0.795 |
0.797 |
0.801 |
0.812 |
0.892 |
0.944 |
0.967 |
0.985 |
|
|
|
Приложения |
|
|
|
357 |
|
|
|
|
|
Приложение 1 (продолжение) |
||||
АТОМНАЯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
МАССА (а.е.м.) |
180° |
170° |
160° |
145° |
900 |
60° |
45° |
30° |
72 |
0.801 |
0.802 |
0.806 |
0.817 |
0.895 |
0.946 |
0.968 |
0.985 |
74 |
0.805 |
0.807 |
0.811 |
0.821 |
0.897 |
0.947 |
0.969 |
0.986 |
76 |
0.810 |
0.811 |
0.815 |
0.826 |
0.900 |
0.949 |
0.970 |
0.986 |
78 |
0.814 |
0.816 |
0.819 |
0.830 |
0.902 |
0.950 |
0.970 |
0.986 |
80 |
0.819 |
0.820 |
0.824 |
0.834 |
0.905 |
0.951 |
0.971 |
0.987 |
82 |
0.823 |
0.824 |
0.827 |
0.837 |
0.907 |
0.952 |
0.972 |
0.987 |
84 |
0.826 |
0.828 |
0.831 |
0.841 |
0.909 |
0.953 |
0.972 |
0.987 |
86 |
0.830 |
0.831 |
0.835 |
0.844 |
0.911 |
0.955 |
0.973 |
0.988 |
88 |
0.834 |
0.835 |
0.838 |
0.847 |
0.913 |
0.956 |
0.974 |
0.988 |
90 |
0.837 |
0.838 |
0.842 |
0.851 |
0.915 |
0.957 |
0.974 |
0.988 |
92 |
0.840 |
0.841 |
0.845 |
0.854 |
0.917 |
0.957 |
0.975 |
0.988 |
94 |
0.843 |
0.844 |
0.848 |
0.856 |
0.918 |
0.958 |
0.975 |
0.989 |
96 |
0.846 |
0.847 |
0.851 |
0.859 |
0.920 |
0.959 |
0.976 |
0.989 |
98 |
0.849 |
0.850 |
0.853 |
0.862 |
0.922 |
0.960 |
0.976 |
0.989 |
100 |
0.852 |
0.853 |
0.856 |
0.864 |
0.923 |
0.961 |
0.977 |
0.989 |
102 |
0.855 |
0.856 |
0.859 |
0.867 |
0.925 |
0.962 |
0.977 |
0.990 |
104 |
0.857 |
0.858 |
0.861 |
0.869 |
0.926 |
0.962 |
0.978 |
0.990 |
106 |
0.860 |
0.861 |
0.864 |
0.872 |
0.927 |
0.963 |
0.978 |
0.990 |
108 |
0.862 |
0.863 |
0.866 |
0.874 |
0.929 |
0.964 |
0.979 |
0.990 |
110 |
0.865 |
0.866 |
0.868 |
0.876 |
0.930 |
0.964 |
0.979 |
0.990 |
112 |
0.867 |
0.868 |
0.871 |
0.878 |
0.931 |
0.965 |
0.979 |
0.990 |
114 |
0.869 |
0.870 |
0.873 |
0.880 |
0.932 |
0.966 |
0.980 |
0.991 |
116 |
0.871 |
0.872 |
0.875 |
0.882 |
0.933 |
0.966 |
0.980 |
0.991 |
118 |
0.873 |
0.874 |
0.877 |
0.884 |
0.934 |
0.967 |
0.980 |
0.991 |
120 |
0.875 |
0.876 |
0.879 |
0.886 |
0.935 |
0.967 |
0.981 |
0.991 |
122 |
0.877 |
0.878 |
0.881 |
0.888 |
0.937 |
0.968 |
0.981 |
0.991 |
124 |
0.879 |
0.880 |
0.882 |
0.889 |
0.938 |
0.968 |
0.981 |
0.991 |
126 |
0.881 |
0.882 |
0.884 |
0.891 |
0.938 |
0.969 |
0.982 |
0.992 |
128 |
0.882 |
0.883 |
0.886 |
0.892 |
0.939 |
0.969 |
0.982 |
0.992 |
130 |
0.884 |
0.885 |
0.887 |
0.894 |
0.940 |
0.970 |
0.982 |
0.992 |
132 |
0.886 |
0.887 |
0.889 |
0.896 |
0.941 |
0.970 |
0.982 |
0.992 |
134 |
0.887 |
0.888 |
0.891 |
0.897 |
0.942 |
0.971 |
0.983 |
0.992 |
136 |
0.889 |
0.890 |
0.892 |
0.898 |
0.943 |
0.971 |
0.983 |
0.992 |
138 |
0.890 |
0.891 |
0.894 |
0.900 |
0.944 |
0.971 |
0.983 |
0.992 |
140 |
0.892 |
0.893 |
0.895 |
0.901 |
0.944 |
0.972 |
0.983 |
0.992 |
142 |
0.893 |
0.894 |
0.896 |
0.903 |
0.945 |
0.972 |
0.984 |
0.992 |
144 |
0.895 |
0.896 |
0.898 |
0.904 |
0.946 |
0.973 |
0.984 |
0.993 |
146 |
0.896 |
0.897 |
0.899 |
0.905 |
0.947 |
0.973 |
0.984 |
0.993 |
148 |
0.898 |
0.898 |
0.900 |
0.906 |
0.947 |
0.973 |
0.984 |
0.993 |
150 |
0.899 |
0.900 |
0.902 |
0.908 |
0.948 |
0.974 |
0.984 |
0.993 |
152 |
0.900 |
0.901 |
0.903 |
0.909 |
0.949 |
0.974 |
0.985 |
0.993 |
154 |
0.901 |
0.902 |
0.904 |
0.910 |
0.949 |
0.974 |
0.985 |
0.993 |
156 |
0.902 |
0.903 |
0.905 |
0.911 |
0.950 |
0.975 |
0.985 |
0.993 |
158 |
0.904 |
0.904 |
0.906 |
0.912 |
0.951 |
0.975 |
0.985 |
0.993 |
160 |
0.905 |
0.906 |
0.908 |
0.913 |
0.951 |
0.975 |
0.985 |
0.993 |
162 |
0.906 |
0.907 |
0.909 |
0.914 |
0.952 |
0.976 |
0.986 |
0.993 |
164 |
0.907 |
0.908 |
0.910 |
0.915 |
0.952 |
0.976 |
0.986 |
0.993 |
166 |
0.908 |
0.909 |
0.911 |
0.916 |
0.953 |
0.976 |
0.986 |
0.994 |
168 |
0.909 |
0.910 |
0.912 |
0.917 |
0.953 |
0.976 |
0.986 |
0.994 |
170 |
0.910 |
0.911 |
0.913 |
0.918 |
0.954 |
0.977 |
0.986 |
0.994 |
172 |
0.911 |
0.912 |
0.914 |
0.919 |
0.955 |
0.977 |
0.986 |
0.994 |
358 |
|
|
Приложения |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Приложение 1 (продолжение) |
||||
АТОМНАЯ |
|
|
|
|
|
|
|
|
МАССА (а.е.м.) |
180v |
170 |
160' |
145" |
90' |
60' |
45 |
30' |
174 |
0.912 |
0.913 |
0.915 |
0.920 |
0.955 |
0.977 |
0.987 |
0.994 |
176 |
0.913 |
0.914 |
0.916 |
0.921 |
0.956 |
0.978 |
0.987 |
0.994 |
178 |
0.914 |
0.915 |
0.917 |
0.921 |
0.956 |
0.978 |
0.987 |
0.994 |
180 |
0.915 |
0.916 |
0.917 |
0.922 |
0.957 |
0.978 |
0.987 |
0.994 |
182 |
0.916 |
0.916 |
0.918 |
0.923 |
0.957 |
0.978 |
0.987 |
0.994 |
184 |
0.917 |
0.917 |
0.919 |
0.924 |
0.957 |
0.978 |
0.987 |
0.994 |
186 |
0.918 |
0.918 |
0.920 |
0.925 |
0.958 |
0.979 |
0.987 |
0.994 |
188 |
0.918 |
0.919 |
0.921 |
0.925 |
0.958 |
0.979 |
0.988 |
0.994 |
190 |
0.919 |
0.920 |
0.922 |
0.926 |
0.959 |
0.979 |
0.988 |
0.994 |
192 |
0.920 |
0.921 |
0.922 |
0.927 |
0.959 |
0.979 |
0.988 |
0.994 |
194 |
0.921 |
0.921 |
0.923 |
0.928 |
0.960 |
0.980 |
0.988 |
0.994 |
196 |
0.922 |
0.922 |
0.924 |
0.928 |
0.960 |
0.980 |
0.988 |
0.995 |
198 |
0.922 |
0.923 |
0.925 |
0.929 |
0.960 |
0.980 |
0.988 |
0.995 |
200 |
0.923 |
0.924 |
0.925 |
0.930 |
0.961 |
0.980 |
0.988 |
0.995 |
Кинематический фактор Км определяется уравнением (2.5) для ионов гелия (4Не+), рассеиваемых на атомах с целочисленным значением массы М2• Приведенные значения углов соответствуют углу рассеяния в лабораторной системе координат.
Прило.жения |
359 |
Приложение 2
Поперечные сечения рассеяния Резерфорда атомов гелия (4Не)
с энергией 1 МэВ для различных элементов
|
Атомный Средняя |
|
|
da/dQ in 10-24 сm2/стерад |
|
|
||||
Элемент |
номер |
масса |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(Z2) |
(а.е.м.) |
179.5 |
170' |
160' |
145 |
90 |
60 |
45 |
30 |
Вс |
4 |
9.01 |
0.053 |
0.055 |
0.058 |
0.069 |
0.297 |
1.294 |
3Ю6 |
18.454 |
в |
5 |
10.81 |
О.о97 |
О.о98 |
О 104 |
О. 122 |
0.482 |
2.038 |
6.001' |
28.848 |
с |
6 |
12.0l |
0.147 |
0.150 |
0.159 |
0.185 |
0.704 |
2.944 |
8.661 |
41.550 |
N |
7 |
14.01 |
0.214 |
0.218 |
0.230 |
0.266 |
0.974 |
4.023 |
1J.803 |
56.568 |
о |
8 |
16.00 |
0.291 |
0.297 |
0.312 |
0.360 |
1.285 |
5.207 |
15.429 |
73.89/i |
1"' |
9 |
19.00 |
().384 |
0.390 |
0.410 |
0.471 |
1.642 |
6.681 |
19.542 |
93.540 |
Ne |
10 |
20.18 |
0.478 |
0.486 |
0.5 l I |
0.586 |
2.032 |
8.254 |
24.131 |
115.486 |
№ |
11 |
22.99 |
0.590 |
0.599 |
0.629 |
о.720 |
2.471 |
9.998 |
29.210 |
139.749 |
Mg |
12 |
24.31 |
0.707 |
0.718 |
0.754 |
0.862 |
2.945 |
l l.903 |
34.767 |
166.318 |
AI |
13 |
26.98 |
0.838 |
0.85 l |
0.893 |
].()21 |
3.466 |
13.979 |
40.812 |
195.201 |
Si |
14 |
28.09 |
0.974 |
0.991 |
1.039 |
1.187 |
4.023 |
16.216 |
47.335 |
226.391 |
р |
15 |
30.97 |
1.129 |
1.146 |
1.201 |
1.371 |
4.626 |
18.623 |
54.348 |
259.896 |
s |
16 |
32.06 |
1.285 |
1.306 |
1 370 |
1.563 |
5.267 |
21.192 |
61.838 |
295.707 |
С1 |
17 |
35.45 |
1.460 |
l.483 |
1.555 |
1.773 |
5.954 |
23.933 |
69.818 |
333.833 |
Аг |
18 |
39.95 |
l.647 |
1.672 |
1. 752 |
1.997 |
6.685 |
26.840 |
78.283 |
374.272 |
к |
19 |
39.1() |
1.835 |
1.861 |
1.951 |
2.223 |
7.446 |
29.904 |
87.221 |
417.011 |
Са |
20 |
40.08 |
2.033 |
2.064 |
2.163 |
2.465 |
8.253 |
33.136 |
96.646 |
462.065 |
Sc |
21 |
44.96 |
2.249 |
2.285 |
2. 394 |
2.727 |
9.108 |
36.542 |
106.561 |
509.435 |
Ti |
22 |
47.90 |
2.476 |
2.513 |
2.633 |
2.998 |
10.001 |
40.110 |
116.956 |
559.113 |
у |
23 |
50.94 |
2.706 |
2.751 |
2.882 |
3.281 |
10.935 |
43.844 |
127.835 |
611.101 |
Cr |
24 |
52.(Ю |
2.947 |
2.997 |
3.139 |
3.574 |
11.909 |
47.740 |
139.194 |
665.397 |
Mn |
25 |
54.94 |
3.208 |
3.255 |
3.410 |
3.882 |
12.926 |
51.806 |
151.039 |
722.()(Jб |
Fc |
26 |
55.85 |
3.469 |
3.522 |
3.690 |
4.200 |
13.982 |
56.034 |
163.365 |
780.923 |
Со |
27 |
58.93 |
3.741 |
3.802 |
3.983 |
4.533 |
15.082 |
60.431 |
176.177 |
842.153 |
Ni |
28 |
58.71 |
4.024 |
4.089 |
4.283 |
4.875 |
J6.2J9 |
64.990 |
189.469 |
905.690 |
Cu |
29 |
63.54 |
4.330 |
4.392 |
4.601 |
5.235 |
17.404 |
69.721 |
203.250 |
971.543 |
Zn |
30 |
65.37 |
4.633 |
4.702 |
4.925 |
5.604 |
18.627 |
74.615 |
217.511 |
1039.703 |
Ga |
31 |
69.72 |
4.947 |
5.D26 |
5.264 |
5.989 |
19.894 |
79.677 |
232.258 |
1110.176 |
Ge |
32 |
72.59 |
5.272 |
5.358 |
5.611 |
6.384 |
21.201 |
84.903 |
247.486 |
1182.958 |
As |
33 |
74.92 |
5.606 |
5.700 |
5.970 |
6.791 |
22.549 |
90.294 |
263.198 |
1258.051 |
Se |
34 |
78.96 |
5.970 |
6.054 |
6.340 |
7.213 |
23.940 |
95.853 |
279.394 |
1335.455 |
Br |
35 |
79.91 |
6.326 |
б.416 |
6.720 |
7.644 |
25.370 |
\01.575 |
296072 |
1415.167 |
Kr |
36 |
83.80 |
6.693 |
6.791 |
7.112 |
8.090 |
26.843 |
107.465 |
з 13.235 |
1497.192 |
Rb |
37 |
85.47 |
7.070 |
7.175 |
7.514 |
8.547 |
28.357 |
113.520 |
330.880 |
1581.526 |
Sr |
38 |
87.62 |
7.457 |
7.569 |
7.927 |
9.017 |
29.912 |
119.740 |
349.009 |
1668.171 |
у |
39 |
88.91 |
7.855 |
7.974 |
8.351 |
9.499 |
31.508 |
126.126 |
367.620 |
1757.125 |
Zr |
4() |
91.22 |
8.263 |
8.390 |
8.786 |
9.994 |
33.146 |
132.679 |
386.716 |
1848.391 |
NЬ |
41 |
92.91 |
8.681 |
8.816 |
9.232 |
10.501 |
34.825 |
139.397 |
406.294 |
1941.967 |