Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

тмиэт / тмиэт / Alford Terri M. _Fundamentalnye osnovy analiza nanoplenok (1)

.pdf
Скачиваний:
70
Добавлен:
29.04.2022
Размер:
17.79 Mб
Скачать

280

Глава 11

цах. Флуоресцентный поправочный коэффициент F отвечает за возбуждение вто­ ричного рентгеновского излучения элемента А, возникающего из-за возбуждения флуоресценции рентгеновским излучением от другого элемента (рис. 11.1 О). Дан­ ный эффект наиболее сильно проявляется, когда возбуждающее излучение имеет

энергию, несколько превышающую энергию связи, соответствующую измеряе­

мой линии, т. е. вблизи максимума поперечного сечения поглощения. Например, в

ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОАНАЛИЗ

ЭЛЕКТРОНЫ

ГЕНОБСКОЕ

 

 

ЗЛУЧЕНИЕ,

 

ГИСТРИРУЕМ

 

СПЕКТРОМЕТ М

 

Лд

ЗОНА ПЕРВОНАЧАЛЬНОГО ВОЗБУЖДЕНИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ

Рис. 11.10. Схематическое изображение генерации вторичного излучения в результате возбуждения флуоресценции первичным излучением

образце, содержащем Fe и Ni, Рентгеновское К-излучение никеля может возбуж­ дать рентгеновское К-излучение железа, а в образце Си-Аи линии Аи L могут воз­ буждать линии Си Ка. Поправка на флуоресценцию от характеристических линий зависит от атомного флуоресцентного выхода тх и доли возбуждающего элемента в образце. Для рентгеновских линий с энергиями менее 3 кэВ значения тх малы и флуоресценцией можно пренебречь.

11.8. Рентгеновская эмиссия, возбуждаемая частицами (РЭВЧ-РIХЕ)

Ионизация внутренних оболочек происходит под действием зависящего от времени электрического поля, которое возникает при прохождении заряда вблизи атома. В классическом понимании поле протона является точно таким же (за ис­ ключением знака), как и поле электрона, двигающегося с той же скоростью. Если

говорить в терминах кинетической энергии, такая скорость движения соответ-

Излучательные переходы и электронный микроанализ

281

ствует энергии иона (М/т )Е, где Ми т - массы иона и электрона соответственно,

ее

аЕ - кинетическая энергия электрона. Таким образом, чтобы иметь равенство

скоростей, требуются протоны с энергией 1836Е, что соответствует протонам с

энергией в диапазоне МэВ, в то время как такое же поле создается электронами с энергией в диапазоне кэВ.

Зависимость сечения ионизации К-оболочки протонами от энергии показана на рис. 11.11 в логарифмическом масштабе. По горизонтальной оси отложена ве­ личина отношения энергии иона к энергии связи К-оболочки Ек8• По вертикаль­

ной оси отложена величина (E\;Z)2CJ, представляющая собой произведение ква­

драта энергии связи К-оболочки и приведенного поперечного сечения ионизации

(J/Z2. Такое масштабирование позволяет построить универсальную зависимоt.ть для сечения ионизации. На рис. 11.11 отношение М/М1 представляет собой мас­ штабирование для тяжелых частиц. Для протонов М/М1 = 1 и Z = 1; для ионов гелия Не+ М/М1 = 114 и Z = 2 и т. д. Зависимость поперечного сечения возбуж­

дения рентгеновского излучения от энергии протонов в явном виде показана на

рис. 11.12. Сечение возбуждения Рентгеновского излучения CJка связано с попереч­ ным сечением ионизации CJ (рис. 11.11) через величину выхода флуоресценции:

ака = т,11. Выход флуоресценции есть вероятность радиационных переходов по

отношению ко всем возможным переходам (излучательным и безызлучательным). Максимальная величина поперечного сечения убывает с ростом атомного номера или энергии связи. Далее, сечение ионизации для более тяжелых элементов дости-

Рис.

11.11. Зависимость сечения

ио­

 

10-19

 

 

 

низации К-оболочки при соударении с

 

 

 

 

 

 

 

 

 

протоном. Е!Е/ - отношение энергии

 

 

 

 

 

налетающей частицы к энергии связи

 

 

 

 

 

К-оболочки. М/МР - отношение

мас­

fJ

 

 

 

 

 

 

 

Е

10-20

 

 

 

сы падающей частицы к массе прото­

()

 

 

 

 

"'>

 

 

 

на.

Сплошной линией

приведен

рас­

 

 

 

!

 

 

Ионизация

 

чет

методом бинарных

столкновений

 

 

 

1:;>

10-21

К-оболочки

 

[J.D.Garcia, 1970]

 

 

 

при соударении

 

 

 

 

 

~

 

с протоном

 

 

 

 

 

>o::<XJI

-

&

Ni

 

 

 

 

 

ш

N

 

 

 

 

 

'-..-1

д с

 

 

 

 

 

00

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10-22

о

Ма

 

 

 

 

 

 

х

А!

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Са

 

 

 

 

 

 

 

Ti

 

 

 

 

 

 

 

-

РЕЗУЛЬТАТРАСЧЕТА

 

 

 

 

 

 

 

ДЛЯ БИНАРНОГО

 

 

 

 

 

 

 

 

СШ!АВА

 

 

 

 

 

 

1о-2з ~~~~~~~~~~~~

 

 

 

 

 

10

102

103

104

 

 

 

 

 

 

..§

...~

 

Е~ М1

282

Глава 11

гает максимума при более высоких энергиях, что отвечает принципу согласования

скоростей, подобного тому, который имеет место для электронов, где максимум наблюдается при энергиях, в три-четыре раза превышающих энергию связи Е8.

Метод, основанный на анализе рентгеновской эмиссии, возбуждаемой части­

цами (РЭВЧ) (PIXE от англ. Particle Induced X-ray Emission), применяется при

исследовании материалов с помощью ускорителей с энергией в МэВ диапазоне.

Главным преимуществом этого метода по сравнению с электронным является уменьшение фона, приводящее к повышению чувствительности при обнаружении

следов элементов. Фон в рентгеновском спектре при электронном микроанализе

возникает за счет тормозного излучения электронов (см. раздел 6.11 ). Тормозное

излучение имеет непрерывное спектральное распределение, связанное с замедле­

нием электрона по мере продвижения в твердом теле. Квантовая интерпретация

процесса тормозного излучения показывает, что вероятность испускания фотона быстро уменьшается с возрастанием массы заряженной частицы. Таким образом,

протоны и электроны, обладающие одной и той же скоростью, имеют приблизи­ тельно одну и ту же вероятность возбуждения характеристического рентгенов­ ского излучения, но огромно различие в величине фона, вызванного тормозным

излучением. Возбуждения рентгеновского излучения частицами можно сочетать с формированием пучков небольших размеров (порядка 10 мкм) для получения вы­

сокоточных карт распределения по поверхности ничтожно малых концентраций

элементов. Такие пучки могут быть использованы для исследования на воздухе биологических и деградирующих в вакууме образцов (Cahill, 1980).

 

4000

 

 

 

 

 

 

 

Рис.

11.12. Зависимость сечения

 

1000

 

AI

 

 

 

 

 

(O"ffix)

возбуждения рентгеновского

 

 

 

 

 

 

 

ка излучения ОТ энергии протонов Е

 

 

Са

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

[Cahill, 1980]

 

400

 

 

 

 

 

 

 

~ 100

 

 

 

 

 

 

 

 

 

\.О

40

 

 

 

 

 

 

 

 

 

\:)"

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

2

3

4

5

6

7

8

9

10

 

ЭНЕРГИЯ ПРОТОНОВ. м~в

!

Излучательные переходы и электронный микроанализ

283

1

 

11.9. Вывод формулы вероятности излучательных переходов

В этом разделе приводится подробная оценка вероятности излучательных пе­ реходов и, в первую очередь, величины дипольного момента <!ff)rl\I?·В качестве !ff,

и !f11будем использовать водородоподобные функции (см. табл: 9.1):

 

Фr = 1/J1s,

(11.20)

 

(11.21)

где

(11.22)

ар = rZ/a0 = r/a;

(11.23)

где R = [1/4(2п)112]·(1/а312)ре-Р12, а сферические гармоники У представлены в табл.

11.1. 21Множитель 11"13 обеспечивает нормировку <!ff2Plr\!ff2P> = 1.

Матричный элемент для r выражается как <!f!)xl!ff,> + <!ff)Yl!ff,> + <!ff)Zl!ff,> или в

сферических координатах

(11.24)

Таблица 11.1

Сферические гармоники.

 

т

У1,,,

 

 

 

о

о

Уоо= Jrir

 

 

 

 

 

4ir

 

 

 

У11 = -(8~)112 sineexp(iф)

 

о

 

(

3 )1/2

 

 

У10 =

 

'ir

cos е

 

 

 

 

4

 

-l

2 2

2

2 о

2 -1

2 -2

У1-1 = (8~)112 sin8exp(-iф) У22 = ( зi;)112 sin2 еехр(2iВ)

У21 = -(J;)112 cos0sineexp(iф)

У20 = - CJir) 112 (3 cos2 е - 1)

У2-1 = u;)112 cosesineexp(-iф)

У2-2 = ( 3i:) 112 sin2 eexp(-2ie)

284 Глава 11

 

 

 

 

(11.25)

и

 

 

 

 

 

 

 

 

(11.26)

Все слагаемые допускают разделения переменных:

1

1

0

 

1

 

(ФrlzlФi) = ~{JR21 (r) · r · R10 (r)r2 dr х J[(Уц + У,_

 

+ У,

 

) Уо,о] (11.27)

· cos (} sin (} d(} dф}.

Рассмотрим зависимость интегралов от <р:

JY1,-1(8,ф)Y0,0(8,ф)sin8d8dф= fu(B1 п3 )1/2 Jsin2 8 d(} Jе-~.Фdф,

где YL-I = (3/8n)112sinBe-i'I'. В общем случае любой интеграл вида

JYz,m (8,ф)Y11,m1(8,ф)sin8d(} dф

приводится к множителю вида

2л:

Jе-i(т-т')Фdф.

о

Второй интеграл всегда обращается в нуль, за исключением случая т = т ', определяя, таким образом, правило отбора. Это означает, что матричный элемент,

а значит и вероятность перехода, равны нулю всегда, за исключением случая

т = т'. Для компоненты z правило отбора сводится кт;= mf' Для х- и у-компонент

интеграл имеет вид

Jsinф е-i(т-т')Фdф,

или

Jсоsфе-i(т-т')Фdф,

что приводит к правилу отбора т' = т ± 1, или т1= т; ± 1. Эти дипольные правила отбора определяют наблюдаемые спектры.

Z-компонента матричного элемента перехода между водородоподобными функциями 2р и ls упрощается до вида

1

= О,248а.

 

3(Ф100 /r cos В IФ21о)

(11.28)

Аналогичным образом можно показать, что

Излучательные переходы и электронный микроанализ

где

285

(11.29)

 

Dz',Z±l

= 1 если l'

= l ± 1

(11.30)

 

 

= О в остальных случаях.,

Следовательно, <!/f P\r\!/f P> сводится к

 

 

 

 

2

2

 

 

 

 

 

 

= 2

1 Jе-зr/2а -r dr,

(11.31)

 

з{24а3

 

а

 

 

или

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(11.32)

и

 

 

 

 

 

 

 

 

81

1/2

 

 

Наконец

(lyl) = ( 54)

 

(lzl).

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(lxl) +(\у\)+ (lzl) = (lrl),

(11.33)

поэтому для 2р __,. 1s имеем

 

 

 

 

 

 

 

 

 

81

1/2]

 

 

(lrl) = О,248а[1 + 2 ( 54)

 

,

 

 

{/r/)2 = О,74а2 .

 

(11.34)

Используя (11.5), находим вероятность перехода в никеле равной

1,2 эВ

W= -- h '

что в 2 раза превышает общепринятое значение 0,55 эВ/n.

11.10. Вычисление отношения К/Ка

В качестве еще одного примера использования формулы для вероятности

перехода рассчитаем отношение интенсивностей линий к~ и ка для водородопо­

добных атомов. Используем следующее выражение для скорости излучательного перехода W:

286

Глава 11

Отношение R равно

11

wJl<Ф1oolrlФз1>12

(11.35)

R =-- =-------

Wка

w~l(Ф1oolrl1/J21)l2'

 

где

и

(11.36)

1

Ф21 = .,;з СФ210 + Ф211 + 1/121-1).

Эти выражения представляют собой волновые функции, которые должным об­

разом нормированы и отражают статистические веса вырожденных подуровней, т. е.

Также мы использовали правило отбора Л/ = ± 1, рассматривая только пере­

ходы р~s.

Рассмотрим z-компоненту, z = rcosB:

которая сводится к величине~ 0,1 а.

Для переходов n = 2 ~ 1 величина <!f1100lr cosBllf/21 > сводится к величине 1/3 <lfl100 lr cosBllf/210 >, которая является матричным элементом перехода Ка (= О,25а) (11.28), который был получен в предыдущем разделе. Отношение интенсивностей

К~!Ка. равно

wk13 (0,1) 2

R = wka . (О,25)2"

В водородоподобных атомах

поэтому

Излучательные переходы и электронный микроанализ

287

8)3

0,1

2

 

 

9

 

(11.37)

R = (~

·(o,zs)

 

= o,zs

 

 

Измеренные величины отношения интенсивностей КР/Ка показаны на рис.

11.13, а для спектра Mn - на рис. 11.5. Кроме случаев малых значений Z, это от­

ношение почти независимо от Z, а расчеты, приведенные выше, дают хорошую

оценку для Z::::: 40. При малых Z на результат расчетов влияет просто число элек­

тронов, участвующих в переходе (т. е. R =О при Z ~ 10, когда нет электронов на

М-оболочке).

0.3

1(Кр) 0.2

1(Ка)

0.1

о

 

 

 

 

 

 

 

0'--"'--

~~~~

--'----

'~~-'---

'-~~~__,____,

20

30

40

50

60

70

80

90

АТОМНЫЙ НОМЕР, Z

Рис. 11.13. Измеренные отношения интенсивностей линий К/Ка как функция атомного номера. Теоретическая кривая отражает более точный расчет, в котором включены все волновые функции электронов. Для модели водородоподобного атома I(K/З)II(K) = 0,25

[Bambynek et al., 1972]

Задачи

11.1.Сравнить энергии излучения Lа-линии, приведенные на рис. 11.4, со значе­ ниями, предсказываемыми теорией Бора для элементов с Z = 30, 40, 50 и 60. Дает ли теория Бора приемлемую оценку (с точностью 10%)?

11.2.Рассмотрим Рентгеновское излучение, испускаемое образцом CuTa, при об­

лучении электронами с энергией 15 кэВ. Привести значения соответствую­

щих энергий связи для линий Ка.1, К~1, Lal' L~1• Какое требуется разрешение по энергии для разделения сигналов Си К излучения н Та L излучения?

11.3.Энергетическая ширина состояния атома кальция с вакансией в К-оболочке

примерно равна 1 эВ. Оценить отношение вероятностей излучательных и

безызлучательных переходов.

288

Глава 11

11.4.Рассчитать сечение выбивания электрона из К-оболочки никеля электронами с энергией 20 кэВ и протонами с энергией 6,5 МэВ. Сравнить скорость про­ тона с боровской скоростью электрона в К-оболочке никеля.

11.5.Пусть имеются тонкие пленки HgxCd,_xTe, состав которых необходимо опре­ делить для создания инфракрасных детекторов. Желая определить соотно­ шение Hg и Cd, вы подозреваете, что образец может содержать 1% атомного состава меди в качестве примеси. Вы устанавливаете пленку толщиной 100 нм в электронный микроскоп (энергия электронов 125 кэВ), который имеет

спектрометр с дисперсией по энергии для измерения с энергетическим раз­ решением 200 эВ.

(а) При заданном составе х = 0,2 для HgxCd1_x оценить отношение рентге­ новских интенсивностей Hg и Cd Ка по отношению сечений и выходов

флуоресценции (Приложение 11 ).

(б) Ожидается ли перекрывание рентгеновских линий К, La и Мот Hg, Cd и Те?

(в) С помощью рис. 9.6 оценить коэффициент массового поглощения рентге­ новского излучения от Hg и Cd в CdTe (взять значения для Sn). Будет ли

поглощение иметь определяющее влияние на отношение интенсивностей?

(г) Оценить отношение интенсивностей Cu/Cd К-линий при 1 ат. % меди.

Будет ли оказывать влияние перекрывание на поглощение?

11.6. Сравнить сечение резерфордовского рассеяния с сечением возбуждения рентгеновского Ка излучения при облучении Ag протонами с энергией 4 кэВ. Сравнить разрешение по массам и по глубине этих двух методик.

11.7. Сравнить процессы испускания электронов и рентгеновского излучения при

падении рентгеновского излучения и электронов с энергией 4 кэВ на алю­ миний.

(а) Какова глубина пробега электронов Rx при возбуждении рентгеновского излучения К-оболочек и какова глубина поглощения, на которой поток падающего рентгеновского излучения уменьшается в е раз (использовать

рис. 9.6)?

(б) Каково сечение ионизации К-оболочки электронами и Рентгеновским из­ лучением?

(в) Какова глубина выхода фотоэлектронов К-оболочки и глубина поглоще­ ния (ослабления в е раз) для рентгеновского Al Ка излучения?

(г) Каково отношение выходов фотоэлектронов и возбуждаемого электрона­

ми рентгеновского излучения для пленок толщиной 3 нм и 300 нм?

Литература

1. W. Bambynek, В. Craseman, R. W. Fink, H.-U. Freund, Н. Mark, С. D. Swift, R. Е. Price, and Venugopala Rao, "X-ray Fluorescence Yields, Auger and Coster-Кronig Transition ProbaЬilities," Rev. Mod Phys. 44, 716 (1972).

 

Излучательные переходы и электронный микроанализ

289

2.

L. S. Birks, Electron Probe Microanalysis (R. Е. Кrieger, New York, 1979).

 

3.

Т. А. Cahill, Аппи. Rev. Nucl. Part. Sci. 30 (1980).

 

4.

J. D. Garcia, Phys. Rev. А 1, 1402 (1970).

 

5.

J. 1. Goldstein, D. Е. Newbury, Р. Echlin, D. С. Joy, С. Fiori, and Е. Lifshin, Scanning

 

Electron Microscopy and X-ray Microanalysis (Plenum Press, New York, 1981 ).

6.

S. А. Е. Johansson and Т. В. Johansson, Nucl. Instrum. Meth. 137, 473 (1976).

 

7.

J. W. Mayer and Е. Rimini, Eds., !оп Веат Handbookfor Material Analysis (Aca-

 

demic Press, New York, 1977).

 

8. J. McGervey, Introduction to Modern Physics (Academic Press, New York, 1971 ). 9. F. Н. Read, Electromagnetic Radiation (John Wiley and Sons, New York, 1980).

1О. Р. К. Richtmyer, E.Н.Кennard, and J. N. Cooper, Introduction to Modern Physics

(McGraw-Hill Book Со., New York, 1969).

11.L. Schiff, Quantum Mechanics (McGraw-Hill Book Со., New York., 1968).

12.J. Р. Thomas and А. Cachard, Eds., Material Characterization Using !оп Beams

(Plenum Press, New York, 1978).

13.D. В. Williams, Practical Analytical Electron Microscopy in Materials Science

(Verlag Chemie International, Weinheim, 1984).

14.J. С. Willmott, Atomic Physics (John Wiley and Sons, New York, 1975).

15.R. Woldseth, X-ray Energy Spectrometry (Kevex Corp., 1973).

Соседние файлы в папке тмиэт