Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
тмиэт / тмиэт / Документ Microsoft Word.docx
Скачиваний:
30
Добавлен:
29.04.2022
Размер:
17.69 Mб
Скачать

Как влияет давление аргона на охлаждение подложки?

чем больше давление, тем больше теплоотвод. чем меньше давление, тем меньше теплоотвод

Как влияет давление аргона на нагрев подложки?

чем больше давление, тем больше теплоотвод. чем меньше давление, тем меньше теплоотвод

Соседние файлы в папке тмиэт