
- •Критерий Кнудсена- мера разрежённости газа (режимы течения газа)
- •Требования к маслу
- •Этапы получения низкого и высокого вакуума
- •Элементы управления вакуумной установкой
- •Почему тепловой вакуумметр нельзя использовать для измерения давления в высоком вакууме?
- •Почему падает чувствительность в термопарном вакуумметре
- •Ионизационный вакуумметр(высокий вакуум)
- •Сравнить два вакуумтера термопарный и пирани
- •Тлеющий разряд
- •Распыление
- •В связи с чем происходит рассеяние потока распыляемого вещества мишени?
- •Магнетронное распыление
- •Термическое распыление
- •Как зависит скорость роста пленки от тока испарителя?
- •Как влияет давление аргона на охлаждение подложки?
- •Как влияет давление аргона на нагрев подложки?
Сравнить два вакуумтера термопарный и пирани
Работа вакуумметров Пирани основана на изменении сопротивления металлов. Такой вакуумметр состоит из металлической нити, подвешенной в трубе и соединенной с системой, которая подвергается измерению. Давление снимается с нити накала, которая, в свою очередь подсоединена к электрической цепи. Нить накала помещена в вакууме с газом. При ударении молекул газа с нитью, она начинает остывать. Данная установка способна измерять в диапазоне 05,5 – 10-5 Торр.
Тепловые вакуумметры улавливают зависимость теплопроводности от концентрации газов. Принцип таких вакуумметров основан на изменении температуры нагревателя, который пропускает ток. Существуют термопарные вакуумметры, и вакуумметры сопротивления. Термопарные вакуумметры оснащены термо-ЭДС термопарой, которая и производит измерение давления.
Особую группу тепловых вакуумметров составляют термопарные вакуумметры (ВТ), отличающиеся от вакуумметров Пирани тем, что температуру нити измеряют термопарой.
Вакуумметры, основанные на принципе измерения теплопроводности газов. Имеется два типа таких приборов вакуумметр Пирани и вакуумметр с термопарой.
Разница между вакуумметром Пирани и вакуумметром с тер мопарой заключается в способе измерения температуры нити В вакуумметре Пирани используется одна платиновая прово лока. При повышении ее температуры повышается также ее со противление, поэтому температура определяется по величине сопротивления проволоки.
Термонарные вакуумметры работанл по аналогичному принципу, но в качестве сенсора используется термопара, соединенная с платиновой проволокой. Э. д. с. термопары измеряется гальванометром или потенциостатом. Такие приборы обычно работают в пределах 10 —10 торр, а во всем остальном их характеристики сходны с таковыми вакуумметров Пирани,
https://chem21.info/info/1233645/
Тлеющий разряд
Тлеющий разряд ФАЙЛ ВИПЭ
Тле́ющий разря́д — один из видов стационарного самостоятельного электрического разряда в газах. Формируется, как правило, при низком давлении газа и малом токе. При увеличении проходящего тока переходит в дуговой разряд.
Простейшим прибором для моделирования газового разряда является запаянная стеклянная трубка, в торцы которой впаяны электроды. Трубка имеет отвод, присоединенный к вакуумному насосу. Электроды подключены к источнику постоянного тока с напряжением несколько тысяч вольт. После включения источника напряжения и пуска вакуумного насоса происходят следующие явления:
1. При атмосферном давлении газ внутри трубки остаётся тёмным, так как приложенного напряжения в несколько тысяч вольт недостаточно для того, чтобы пробить длинный газовый промежуток.
2. Когда давление газа достаточно понизится, в трубке вспыхивает светящийся дуговой разряд. Он имеет вид тонкого шнура (в воздухе — малинового цвета, в других газах — других цветов), соединяющего оба электрода. В этом состоянии газовый столб хорошо проводит ток.
3. При дальнейшей откачке газа светящийся шнур размывается и расширяется, и свечение заполняет почти всю трубку. Это тлеющий разряд. При давлении газа в несколько десятых миллиметра ртутного столба (сотни Па) разряд заполняет почти весь объем трубки. Свечение разряда распределено неравномерно. У катода находится темное катодное пространство, у анода — светящийся положительный столб, длина которого прямо зависит от давления.
Плазма это ионизованный газ, состоящий из положительно и отри- цательно заряженных частиц, находящихся в среде нейтральных частиц, в котором электрические кулоновские силы притяжения, действующие между электронами и положительными ионами, препятствуют заметному про- странственному разделению зарядов.