тмиэт / Экзамен Тмеет / с 28 по 80

28Основы физики вакуума. Электронный ионизационный вакуумметр.

Верхний предел измеряемых давлений ограничен перегреванием накаленного катода и нарушением линнейной характеристики преобразователя ,когла средняя длина пробега элеткрона в приборе становится меньше пути пути электрона между электродами .Для расширения верхнего предела можно уменьшить расстоняие между электродами .Что бы не сгорел при выскоком давлении его изготавливаюст из оксидов редкоземельных металлов.

29Основы физики вакуума. Магнитный вакуумметр.

Электронный вылетевшие из катода в результате автоэлектронный

эмиссии движутся в скрещивающихся полях по циклоиде. Положительные ионы образовавшийся в результате столкновения с электродами движутся к катоду .Так как их масса больше массы электронов на них меньше влияет магнитное поле . Соударение положительных ионов с катодам приводит к появлению вторичных электронов, ток которых пропорционален ионному току.

− фоновый ток автоэлектронной эмисии

б − фоновый ток вторичноэлектронной эмисии

Ii -ток ионов

Для уменьшения фонового тока применяется специальные экраны в промежутке между катодами и анодам где напряженность эл.поле максимальна .Большая часть фонового тока в этом с переходит на корпус минуя микроамперметр ,который измеряется разрядный ток .

Автоэлектронная эмиссия (также – полевая эмиссия, электростатическая эмиссия, туннельная эмиссия) – испускание электронов проводящими твердыми и жидкими телами под действием внешнего электрического поля высокой напряженности.

30Основы физики вакуума. Измерение парциального давления.

Ионизационный метод основан на ионизации и разделении положительных ионов в зависимоси от отнощения массы иона к его заряду. Можно измерять составляющие йонного тока соотвествующие парциальным давлениям различных газов ,присутсвующих в вакуумной системе .

Для разделения ионного тока на состовляющие используется различие скоростей ионов различных газов прощедших через одинаковубю разность патенциалов

Чувствительность ионизационных газоанализаторов определяется как отношения изменения ионного тока в цепи коллектора к вызвающему его изменению парциального давления газа выражается в А/Па и зависит от рода газа.

Верхний предел определяется отклонением от линнейнной зависимости между ионном током и соотвестсвеюствующим ему прациальным давлением вследтсвии рассеиванием ионов .Предельное допустимое отклонения -10%. Максимальное рабочие давления -10^(-3).. 10^(-2) Па

Нижним пределам измеряемым парциальнных давлений считается минимальное абсолютное давление ,измеряемое приборо юВ зависимости от характера используемых электрических или магнитных полей можно классифицировть на динамические и статические.

31Основы физики вакуума. Магнитный газоанализатор.

Статические магнитые газоаналисзаторы основаны на пространтсвенном разделении моноэнергетическа пучка ионов в однородном поперечном магнитном поле .

Процесс газовго анализа состоит из ионообразования ,ускорения ионов и формирования ионного пучка ,разделенеи ионов по массовым числам и измерения интенсивности инного тока .

Ионообразование осуществляется электронной м бомбордировкой нейтйтральных атомов газовых молекул в ионном источнике 1 за счет тока эмиссии .Ионный источник находится под отрицательным потенциалом относительно земли .( -1кВ),выиалкивающий эллектронный пучок в пространство дрейфа.Положительные ионы пройдя одинакове ускорящие напряжения напряжение ,входят в пространстра дрэйфа со скоростями

В пространстве дрэйфа где действует поперечное магнитное поле под

действием силы Лоренца положительные ионы движутся в направлени определяемом правилом левой руки. ,по окружности радиусов

R .

Центробежная сила равна силе Лоренца

В результате взаимодействия с магнитным полем на коллектро 2 попадает только те ионы радиус траектории которых соотвествент положению щели в дифрагме перед коллектором.

32Основы физики вакуума. Квадрупольный газоанализатор.

33Взаимодействие ускоренных электронов с твердым телом.

Вторичные эффекты.

Процессы происходящие при облучении электронного потока

В вакууме

1)Имеется электронно оптическая сиситема котора обеспечивает фокусировку потока электронов с помощью системы магнитных и элеектрических линз

2)Внутри этой облости присуствует остаточный газ ->ионизация и возбуждения остаточных газов и паров ( потока атомов которые будут испускатся с поверхностьи )

Процессы в мишение

1)Электронны теряют свою энергию за счет торможения внутри мишени . А) Упрогое рассеивание Б) Непрогое рассеивание

Упрогое –перераспределение кинитической энергии ( возбуждение фононных колебани)

НЕупрогое –кинитическая энергия переходит в изменение внутренней энергии ( ионизация внутренних энергетических уровней )

Возбуждение фонноных колебаний приводит к нагреву мешени .

Ионизаци приводит к появлению вторичной электронной эмисии неупрого и упрого отраженных электроннов .Если внутри тела рпроисходит ионихация и возбуждение то могут происходить химические измененмия за счет перестройки связи.

Неупркгое рассеяние также обееспечивает тормозное и характеристическое ренгоновское излучение и разложение химмических связей .Нагрев обеспечивает испарение .

,

Длинна ломанной траектории R- длинна траекторного пробега .Нормаль сдреднего траекторного пробега на ось в глуб материала –проекцеонный пробег.

К.Л.-Котода –иллюминстенция

Р.И.-Ренгеновское излучение (ТРИ и ХРИ – тормозное и характериссчтическо РИ)

У.О.-упрогое отражение

В.Э.-Вторичноэлектронная эмиссия