тмиэт / Экзамен Тмеет / по 53
.pdf
Существует три механизма распыления
1)Самый простой –ион передает кинетическую энергию атому и этот атом за счет взаимодействия с другими атомами начинает менять свою траекторию и выходит наружу.
2)Атом из глубин за счет каскада соударений с другими атомами меняет свою траекторию и выходит.
3)Атом из глубины ,который получил энергию больше чем пороговая энергия смещения приводит к смещению других атомов(приповерхностным ) и коэффициент распыления здесь возрастает.
Наибольшее число атомов имеет энергию 3-5 эВ – половина от энергии связи.
111
Ядерной тормозной способностью
112
113
114
115
116
48-Применение ионного пучка в технологии изделий электронной техники.
117
Взаимодействие фотонов с твердым телом.
49-Механизмы поглощения фотонов.
118
.
119
120
