Скачиваний:
90
Добавлен:
29.04.2022
Размер:
15.4 Mб
Скачать

Существует три механизма распыления

1)Самый простой –ион передает кинетическую энергию атому и этот атом за счет взаимодействия с другими атомами начинает менять свою траекторию и выходит наружу.

2)Атом из глубин за счет каскада соударений с другими атомами меняет свою траекторию и выходит.

3)Атом из глубины ,который получил энергию больше чем пороговая энергия смещения приводит к смещению других атомов(приповерхностным ) и коэффициент распыления здесь возрастает.

Наибольшее число атомов имеет энергию 3-5 эВ – половина от энергии связи.

111

Ядерной тормозной способностью

112

113

114

115

116

48-Применение ионного пучка в технологии изделий электронной техники.

117

Взаимодействие фотонов с твердым телом.

49-Механизмы поглощения фотонов.

118

.

119

120

Соседние файлы в папке Экзамен Тмеет