- •Физика полупроводников
- •Плотность квантовых состояний
- •Плотность квантовых состояний
- •Плотность квантовых состояний
- •Плотность квантовых состояний
- •Плотность квантовых состояний
- •Примесные состояния
- •Примесные состояния
- •Примесные состояния
- •Примесные состояния
- •Функция распределения Ферми-
- •Степень заполнения примесных уровней
- •Концентрации электронов и дырок в зонах
- •Концентрации электронов и дырок в зонах
- •Концентрации электронов и дырок на примесных уровнях
- •Собственный полупроводник
- •Собственный полупроводник
- •Примесный полупроводник. Невырожденный случай.
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации примеси и температуры для невырожденного полупроводника
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации примеси и температуры для невырожденного полупроводника
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации примеси и температуры для невырожденного полупроводника
- •Зависимость уровня Ферми от концентрации примеси и температуры для невырожденного полупроводника
Функция распределения Ферми-
Дирака
В условиях термодинамического равновесия для частиц с полуцелым спином |
||||||||||
вероятность заполнения состояния с энергией E определяется функцией |
||||||||||
Ферми-Дирака |
f0 E |
|
|
1 |
|
|
|
|
||
T 0 |
|
e E |
F k BT 1 |
|
|
|||||
|
|
|
|
|
||||||
|
|
Все квантовые состояния с энергией, меньшей |
||||||||
f0 1, 0 |
E F |
|||||||||
энергии Ферми, заняты электронами, а уровни, |
||||||||||
f0 0, |
E F |
лежащие выше уровня Ферми, свободны. |
||||||||
T 0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
E F kT |
f0 1 e 1 |
0,27 и f0 |
1 1 e 1 0,73 |
|
||||||
E F 2kT |
f0 |
1 e2 1 |
0,118 и |
f0 1 1 e2 1 |
0,882 |
|||||
E F 3kT |
f0 |
1 e3 1 |
0,047 и |
f0 1 1 e3 1 |
0,953 |
|||||
Вероятность заполнения состояний заметно отличается от единицы или нуля в пределах (2÷3)kT вблизи значения E=F
Функция распределения |
f0 p E 1 |
f0 E 1 |
1 |
|
|
1 |
|
|
для дырок |
e E F k BT 1 |
e F E k BT 1 |
||||||
|
|
|
||||||
Степень заполнения примесных уровней
Полупроводник n-типа, ND – |
Полупроводник p-типа, NA – |
концентрация донорных центров |
концентрация акцепторных центров |
Функция распределения электронов на донорных уровнях
f0 |
Ed |
1 |
|
|
g 1e Ed F k BT 1 |
||||
|
|
|||
Функция распределения положительных ионов донорной примеси
f0 p Ed ge F Ed1
k BT 1
nd Nd f0 Ed , |
pd Nd f0 p Ed |
Функция распределения электронов на акцепторных уровнях
f0 Ea ge Ea F1
k BT 1
Функция распределения дырок на акцепторной примеси
f0 p |
1 |
|
|
|
|
|
|
||
g 1e F Ea k BT 1 |
||||
|
||||
na NA f0 Ea , |
pa NA f0 p Ea |
|||
Концентрации электронов и дырок в зонах
Т=0 Все состояния донорной примеси и валентной зоны заняты. В зоне проводимости и на акципторных уровнях нет электронов.
Свободные носители заряда, возникающие в результате теплового возбуждения и находящиеся в термодинамическом равновесии с решеткой, называют равновесными или тепловыми, процесс их образования носит название тепловой генерации.
Равновесная концентрация электронов в зоне проводимости
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 2mn* |
h2 3 2 E Ec 1 2 dE |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
n0 f0 E N E dE |
|
|
|
E F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
Ec |
|
|
|
|
|
Ec |
|
|
|
|
e kT |
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
Введем |
E Ec |
; |
F |
|
E |
c |
- приведенный уровень Ферми |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
kT |
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
2m* |
3 2 |
kT |
3 2 |
1 2d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
n |
4 |
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
N F |
|
|
Интеграл Ферми- |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
0 e |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
0 |
|
|
h |
2 |
|
|
|
1 |
|
c 1 2 |
|
|
|
|
Дирака с индексом 1/2 |
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 m*kT |
3 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 1 2d |
||||||||||||
N |
|
2 |
|
|
n |
|
|
Эффективная плотность |
|
|
|
|
F |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
c |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 2 |
|
|
|
|
|
|
1 |
||||
|
|
|
h |
|
состояний в зоне проводимости |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 e |
|
||||||||||||||||
Концентрации электронов и дырок в зонах
Концентрация дырок в валентной зоне |
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
Ev |
|
|
|
|
|
|
Ev 4 2m*p |
h2 3 2 Ev E 1 2 dE |
||||||||||
p0 f0 p E |
N E dE |
|
|
|
|
|
F E |
|
|
|||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
e kT 1 |
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
Ev E |
|
p ; |
|
Ec |
Ev |
|
Eg |
|
i ; |
F E |
i p |
|||||||||||
kT |
|
|
|
|
|
|
kT |
|
kT |
kT |
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
* |
|
|
3 2 |
|
1 2 |
d p |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
2 mp kT |
|
|
p |
Nv F1 2 i |
|
|||||||||||||
p0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
p i |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
h |
|
|
1 |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
0 |
e |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
2 m*p kT 3 2 |
|
Nv 2 |
|
|
|
||
|
h2 |
|
|
|
|
Эффективная плотность состояний в валентной зоне
F1 2 |
i |
2 |
|
1p |
2d p |
|
Интеграл Ферми-Дирака |
|
|
|
0 e p i 1 |
для валентной зоны |
|||||
|
|
|||||||
|
|
|
||||||
Концентрации электронов и дырок на примесных уровнях
Донорная примесь |
|
|
Обозначим |
Ec Ed |
d ; |
|
kT |
|
Концентрация электронов на уровне донорной примеси (нейтральные доноры)
nd f0 |
Ed ND |
ND |
|
|
g 1e d 1 |
||||
|
|
|||
Концентрация положительных ионов донорной примеси
Акцепторная примесь
Обозначим |
Ec |
Ea a ; |
|
kT |
|
Концентрация электронов на уровне акцепторной примеси
na f0 |
Ea N A |
N A |
|
|
ge a 1 |
||||
|
|
|||
Концентрация «дырок» (нейтральных акцепторов)
|
|
|
ND |
|
|
|
N A |
|
|
pd f0 p Ed ND |
ge |
d |
1 |
pa f0 p Ea N A |
|||||
g 1e a 1 |
|||||||||
|
|
|
|
||||||
Собственный полупроводник
Полупроводник является собственным, если влияние примесей для него пренебрежимо мало.
Свободные носители заряда образуются только за счет разрыва валентных связей и перехода из валентной зоны в зону проводимости при тепловом возбуждении.
n0 p0 |
фундаментальный принцип электронейтральности |
|
|
Nc F1
2 Nv F1
2 i
Невырожденный собственный полупроводник.
Невырожденный – для всех состояний с энергией E выполняется условие |E-F|>>kT Это означает, что уровень Ферми лежит в запрещённой зоне и отстоит от ее границ на расстояние не меньше kT. Тогда функция распределения электронов совпадает с функцией распределения Больцмана.
|
; |
F1 2 i e |
i |
Интегралы Ферми-Дирака берутся аналитически F1 2 e |
|
Собственный полупроводник
|
|
|
i |
|
|
|
|
||
Nce Nve |
|
|
|
|
|
|
|
||
Отсюда получим для уровня Ферми |
|
|
|||||||
F E |
c |
1 E |
g |
kT ln |
Nv |
Ec Ev kT ln |
Nv |
||
|
2 |
|
2 |
Nc |
2 |
2 |
Nc |
||
Если подставить значения Nc и Nv, получим
F |
E |
c |
E |
v |
3 |
kT ln |
m*p |
|
2 |
4 |
m* |
||||
|
|
|
|
|
|
|
n |
При температуре T=0 уровень Ферми для собственного полупроводника располагается посередине между дном зоны проводимости и потолком валентной зоны
Собственная концентрация носителей заряда
ni n0 p0 |
1 2 |
Nc Nv |
1 2 |
e |
Ec Ev 2kT |
2 k 3 2 |
* * |
3 4 |
T |
3 2 |
e |
Eg 2kT |
|||
|
|
|
2 |
h |
2 |
|
mnmp |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Концентрация носителей заряда в невырожденном собственном полупроводнике зависит от температуры, ширины запрещённой зоны, значений эффективных масс и не зависит от положения уровня Ферми.
|
|
Примесный полупроводник. |
|||
|
|
|
Невырожденный случай. |
||
|
|
|
|
||
1 |
|
|
Такие приближения соответствуют статистике |
||
F |
e |
|
|
Больцмана, а полупроводник является |
|
|
|
невырожденным. |
|||
1 2 |
|
|
|
Если оба условия выполняются одновременно, |
|
i 1 |
|||||
уровень Ферми находится в запрещенной зоне и |
|||||
F1 2 i |
e |
i |
отстоит от дна зоны проводимости и потолка |
||
|
|
|
|
валентной зоны на расстояние > kT |
|
|
|
|
|
Ev kT F Ec kT |
|
В этом случае |
|
|
|
||
|
|
|
|||
n0 Nc F1
2 Nce Nce ( Ec F )
kT ;
p0 Nv F1
2 i Nve i Nve( Ev F )
kT
В невырожденном примесном полупроводнике концентрация электронов в зоне проводимости такая, какая бы была на Nc уровнях с энергией Ec, а количество
свободных дырок такое, как если бы вместо валентной зоны было Nv уровней с энергией Ev
Примесный полупроводник. Невырожденный случай.
Закон действующих масс
Для невырожденного собственного |
n N |
|
e i |
N |
|
e i i |
полупроводника |
i |
c |
|
|
v |
|
С учётом этих соотношений концентрации носителей заряда в невырожденном примесном полупроводнике:
n N |
e n e i ; |
|
|
|||
0 |
c |
|
i |
|
n0 p0 ni2 |
|
p |
0 |
N |
|
e i n e i |
||
|
v |
i |
|
|
||
В невырожденном примесном полупроводнике произведение концентраций свободных электронов и дырок при термодинамическом равновесии есть постоянная величина, равная квадрату концентрации носителей заряда в собственном полупроводнике при данной температуре
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Примесный полупроводник. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вырожденный случай. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Эти приближения справедливы для случая |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
F1 2 |
|
|
|
|
3 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
сильного вырождения донорного и |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
акцепторного полупроводников |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
5 i |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
соответственно. Выполняется только одно из |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
этих условий – уровень Ферми либо в зоне |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
F1 2 i |
|
|
|
|
|
i |
3 2 |
|
|
|
проводимости, либо в валентной зоне |
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
Ec |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
Сильно вырожденный примесный полупроводник. T->0 |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Знаменатель в интеграле Ферми-Дирака равен единице, тогда |
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
0 |
1 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
3 2 |
|
|
|
4 |
|
|
|
|
F E |
c |
|
3 2 8 |
2mn* |
3 2 |
|
|
|
3 2 |
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F |
E |
|
|
|
|||||||||
n N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
|
|
|
|
N |
|
|
|
|
|
N |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
c |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
c |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
0 |
c |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
c |
|
|
3 |
|
|
|
kT |
|
|
|
3 |
|
h |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 2 |
|
|
8 2m*p |
3 2 |
Ev F0 |
3 2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
p |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||
|
3 |
|
|
|
|
|
|
v |
|
|
|
|
|
|
|
i |
|
|
|
|
|
3 |
|
h |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Уровень Ферми при T=0 |
|
|
|
F0 Ec |
h2 |
|
3n0 |
2 3 |
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
для полупроводника n-типа |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2mn* 8 |
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||
