10. Технологическое оборудование для промышленного изготовления толстопленочных имс.

10.1 УСТАНОВКИ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СЕТЧАТЫХ ТРАФАРЕТОВ.

Основой для трафаретов, как было указано ранее, являются стандартные стальные сетки, которые натягиваются на специальную раму. При установке сетки в специальной раме производят ее натяжение. Натяжение сетки должно быть таким, чтобы не было ее прогиба, а все образующие ячеек были параллельны сторонам рамы. Для этого применяют специальное устройство, которое состоит из рамы и системы микровинтов. С помощью винтов производят натяжение. Установка имеет устройство для контроля натяжения. Дальнейшее изготовление трафаретов производят на оборудовании для фотолитографии.

Для нанесения трафаретной печати используют устройства, которые состоят из следующих основных узлов: подачи пасты, перемещения ракеля, крепления подложек и трафарета, рабочего столика с системой микрометрических винтов, вакуумной системы, пульта управления.

Наиболее широко применяют следующие установки :

Установка трафаретной печати ГГ-2323 используется в серийном производстве для изготовления толстопленочной ИМС.

Она предназначена для нанесения проводниковых, диэлектрических и рези-

стивных паст на подложки из керамики путем продавливания через сетчатый

трафарет движущимся ракелем.

• Размеры подложек 17Х13 мм и 17Х20,5 мм.

• Скорость движения ракеля можно регулировать в пределах 50 - 150 мм/с.

• Зазор между трафаретом и рабочей плоскостью подложки и плоскостью подложки регулируют в пределах 0 - 1 мм.

Установка трафаретной печати ГТ-25-34 предназначена для нанесения

проводниковых, диэлектрических и резистивных паст на подложки из стекла

22 ХС и ситалла СТ-32 (размером 60х48, 30х48, 36х24, 30х24, 17х24, 17х20,5, 17х13 мм толщиной 0,5 мм, 1, 5мм) путем продавливания через сетчатый трафарет движущимся ракелем. Скорость движения ракеля 10-100мм/с.

Полуатоматическая установка трафаретной печати ПТП-2 предназначена

для одностороннего нанесения композиционных паст на диэлектрические подложки при изготовлении толстопленочных ГИС методом сеткографии. Размеры подложек от 11х11мм до 60х88мм. Установка предназначена для эксплуатации в помещении при t 15-45 С и влажности до 90%. Наименьшая продолжительность рабочего цикла -3с, размеры трафаретной рамки- 170х170мм, режим работы - ручной или полуавтоматический.

10.2 Термическое оборудование.

Термическое оборудование применяют для сушки и вжигания пасты при

изготовлении толстопленочных ИМС. Для сушки используют различные сушильные камеры, печи, нагревателями которых обязательно должны быть инфракрасные лампы. Лучшие характеристики при сушке получают в конвейерных печах.

В промышленности для вжигания паст нашли широкое применение конвейерные печи. Конвейерная печь обычно состоит из следующих основных узлов: системы нагрева и терморегулирования, конвейерного устройства, газовой системы, пульта управления, корпуса и рабочей камеры.

Наибольшее промышленное применение нашла электропечь СК-10/16, 6-5.

Ее можно использовать для вжигания резистивных, диэлектрических и проводящих паст в керамические подложки.

• Температурный режим в печи может изменяться от 200 до 1000 С,

• Печь имеет 5 температурных зон.

• Размеры рабочего пространства 2610х160х60мм.

• Скорость конвейера может регулироваться в пределах 15х150 мм/мин.