9.2. Методы получения толстых пленок.

В настоящее время в толстопленочной технологии наиболее широкое

применение нашли два метода изготовления: ТРАФАРЕТНОЙЙ ПЕЧАТИ элементов и КОНТАКТНОЙ ПЕЧАТИ. Метод трафаретной печати состоит в продавливании пасты через отверстия трафарета на подложку, которая удерживается с помощью вакуумного насоса. Толщина осаждаемого материала зависит от толщины применяемого трафарета и характера заполнения пустот.

На процесс печати влияют состав пасты, качество, конструкция и тип

трафарета и ряд других факторов. По мере продвижения ракеля паста заполняет открытые участки трафарета, если их нет, то паста с него стирается.

После прохождения ракелем места нанесения пасты, трафарет отходит от

поверхности подложки. Паста под действием давления входит в контакт с

подложкой и прилипает к ней. Получается отпечатанная через трафарет

схема. Расстояние между сеткой трафарета и подложкой зависит от размеров

подложки, типа трафарета и состава пасты и обычно составляет 0,25- 1,27 мм.

Давление на пасту, возникающее при перемещении ракеля, зависит от

скорости перемещения ракеля, угла его наклона Q, поверхности трафарета

и плотности прилегания ракеля ракеля к трафарету. От сочетания указанных факторов зависят: толщина печатных элементов, их четкость и воспроизводимость. По мере увеличения скорости возрастает давление, под

действием которого за меньшее время через отверстия продавливается

большее количество пасты. Оптимальной считается скорость 12,7 мм/с при

давлении ракеля 6,8 кПа и угле между рабочей плоскостью ракеля и трафаретом 45 - 60 градусов.

В процессе трафаретной печати толщина толстопленочного элемента в

значительной степени определяется типом трафарета и топологией схемы.

Объем пасты, наносимой на подложку, зависит от конструкции трафарета и

в первую очередь от размера ячейки и толщины. Размеры ячейки стандартизированы.

Наибольшее распространение получили сетки 42,66,80,130,160 ячеек/см.

При этом для точного воспроизведения геометрии линий рекомендуется применять более мелкую сетку (например, 130 ячеек), а для получения однородной толщины пленок - более крупную (42 ячейки/см).

9.2.1. Метод контактной печати.

Этот метод является разновидностью трафаретной печати, в

основу которого легли некоторые уже известные данные. В роцессе печати

трафарет изображения контактирует с верхней плоскостью подложки, а от-

деление трафарета от подложки происходит по окончании одного прохода

ракеля. В этом случае трафарет под действием ракеля растягивается го-

раздо меньше, чем обычно, поскольку расстояние между трафаретом и под-

ложкой не более 0,1 мкм. Метод контактной печати разработан в основном

для использования металлических масок, которые изготавливаются одним из

известных методов. Эти маски представляют собой жесткие элементы, поз-

воляющие наносить пасту почти без сдвига отпечатка. Использование масок

значительно увеличивает срок службы ракеля, улучшает четкость элементов.

Толщину масок можно поддерживать с высокой точностью, поэтому толщина

печатного слоя в процессе печати постоянна. Но у масок есть и недостатки: засорение изображения, трудность очистки, хрупкость, высокая стоимость.