Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

sb000008

.pdf
Скачиваний:
2
Добавлен:
13.02.2021
Размер:
690.57 Кб
Скачать

10

В данном примере система автоматически создала 207 узлов и 360 треугольников. Если полученное разбиение окажется неудовлетворительным с точки зрения точности результата, степень дискретизации можно увеличить с помощью команды Mesh | Refine Mesh (кнопка с четырьмя маленькими треугольниками либо комбинация клавиш – Ctrl+I).

11

Решение задачи на построенной таким образом сетке с заданными граничными условиями производится командой Solve | Solve PDE при нажатии кнопки с изображением знака “=”, либо комбинации клавиш Ctrl+E.

Найденное решение отображается в окне среды PDE Toolbox.

1.3.Порядок выполнения работы

1.По заданию, выданному преподавателем, построить сеточную и расчётную области для определения диффузионного профиля.

2.Задать граничные условия.

3.Произвести триангуляцию области и расчёт для различных триангуляций и сравнить полученные результаты.

4.Изобразить двумерный график профиля легирования.

5.Построить трёхмерный график зависимости концентрации от координат x и y.

1.4.Содержание отчёта

1.Программы для расчёта формы крышек, создающих простые, с точки зрения их аналитического представления, поля в декартовой и цилиндрической системах координат.

2.Графики эквипотенциальных линий.

3.Трехмерные графики зависимостей концентрации в координатах xy.

4.Зависимости точности решения от количества треугольников.

12

2. Исследование карбидокремниевого полупроводникового диода

Цель работы – исследование основных физических процессов, определяющих вольт-амперную характеристику (ВАХ) карбидокремниевого диода и процесс его восстановления, а также моделирование методики измерения времени жизни носителей заряда.

2.1. Основные теоретические положения

Карбидокремниевая силовая электроника интенсивно развивается. Наиболее привлекают такие свойства карбида кремния, как высокая напряжён-

ность

электрического поля, при которой наступает

лавинный пробой

(2…5

МВ/см ), высокая теплопроводность (3…5 Вт · см–1

· К–1 ) (почти как у

Cu), высокое значение скорости электронов в сильных электрических полях (2·107 см/с). Уже созданы силовые диоды, транзисторы, тиристоры, которые демонстрируют значительное превосходство над приборами из Si и GaAs по таким важным параметрам, как прямое падение напряжения при высоких плотностях токов, высокая рабочая температура, высокая скорость переключения.

2.2.Программа работы и указания по ее выполнению

1.По заданию, выданному преподавателем, построить профиль леги-

рования силового диода со структурой p+nn+ из карбида кремния.

2.Рассчитать прямую ветвь ВАХ диода, включив все эффекты сильного легирования, инжекции и неполной ионизации акцепторной примеси в p+-эмиттере.

3.Определить ток насыщения и построить на том же графике ВАХ идеального диода.

4.Включая и отключая вышеуказанные эффекты, построить ряд ВАХ

исравнить их с ВАХ, в которой учтены все эффекты. Проанализировать их влияние на ВАХ.

5.Выбрать на ВАХ значение тока, соответствующего среднему уровню инжекции, и рассчитать изменения напряжения и тока диода при воздействии прямого импульса от генератора тока (рис. П1,а). Амплитуда тока в импульсе при этом должна соответствовать выбранному из ВАХ значению.

13

По наклону спада импульса напряжения оценить время жизни носителей заряда в базе диода.

6. Выбрать на ВАХ значение напряжения, соответствующего среднему уровню инжекции, и рассчитать изменения напряжения и тока диода при воздействии прямого импульса от генератора напряжения (рис. П1,б). Амплитуда напряжения в импульсе должна соответствовать выбранному из ВАХ значению. По длительности “ плато” импульса тока после момента переключения напряжения оценить время жизни носителей заряда в базе диода.

3.Исследование биполярного транзистора

всхеме с общей базой

Цель работы – исследование основных физических эффектов, определяющих процессы переноса носителей заряда в биполярном транзисторе (БТ) (сужение запрещённой зоны в сильнолегированных областях, рекомбинация Шокли– Рида– Холла, Оже-рекомбинация, эффекты Эрли и Кирка, влияние

+

 

IE

 

 

 

 

IC

 

 

 

 

 

IC

 

 

 

 

IE

+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

IB

 

 

 

 

 

IB

 

 

 

VEB

 

 

 

 

 

 

 

 

VCB

 

 

 

VCE

 

VEC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

VBE

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

IB

 

 

IE

 

 

 

 

 

VBC

 

IC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

+

 

 

 

 

 

 

+

+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

a

 

 

 

 

 

 

 

 

 

б

 

 

 

 

в

 

 

 

 

 

 

Рис. 3.1. Схемы включения p—n—p-транзистора:

 

 

 

а

с общей базой; б

с общим эмиттером; в

с общим коллектором

пассивного сопротивления базы), их влияние на статические и переходные характеристики транзистора.

3.1. Основные теоретические положения

При анализе процессов в БТ, включённом по схеме с общей базой, удобно рассматривать БТ, условно состоящим из двух частей: инжектирующей – перехода “ эмиттер – база” и перехода “ база – коллектор”, где происходит взаимодействие инжектированных носителей заряда с электрическим полем.

Статические характеристики транзистора можно получить из теории pn-перехода. Будем считать, что ВАХ эмиттерного и коллекторного переходов подчиняются уравнениям идеального диода, т. е. можно пренебречь эффек-

14

тами, обусловленными поверхностной рекомбинацией-генерацией, последовательным сопротивлением и высоким уровнем инжекции.

При условии, что весь потенциал падает на обеднённой области pn- перехода (рис. 3.2, б), из уравнения непрерывности и уравнения для плотно-

 

 

 

Эмиттер

 

 

 

База

 

 

 

 

 

 

Коллектор

 

 

IE

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

IC

 

 

 

 

IpE

 

 

 

 

 

 

 

 

IpC

 

 

 

 

Вход

 

 

 

p

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

InE

 

 

 

 

 

 

 

 

InC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Выход

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

IB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

VEB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

VCB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

a

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N

+

N

WE

 

 

 

 

WB

 

 

WC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

D

 

A

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

xE

 

 

 

 

 

 

 

xC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x

б

EC

EV

VEB

VCB

 

в

Рис. 3.2. Биполярный транзистор pnp-типа, включённый по схеме с общей базой (а), профиль легирования транзистора со ступенчатым распределением примесей (б)

и зонная диаграмма при нормальной работе (в)

сти токов определяются равновесные характеристики. Для нейтральной области базы уравнения имеют вид

0 = −

p pB

+ D 2p

;

(3.1)

 

 

 

 

 

 

τB

 

B x2

 

 

 

 

J

 

 

= −qD p ;

 

(3.2)

 

 

 

p

 

 

 

B x

 

 

J

 

= J

 

+ qD p ,

 

(3.3)

 

n

 

 

 

 

tot

 

B x

 

 

где рB – равновесная плотность неосновных носителей в базе; Jtot

полная

15

плотность токов проводимости; τВ – время жизни неосновных носителей;

DB – коэффициент диффузии в базе. Условия для концентрации избыточных носителей на границе обеднённой области эмиттера можно записать сле-

дующим образом:

p(0) p(0) pB = pB[exp(qVEB kT) 1]; n(xE ) n(xE ) nE = nE[exp(qVEB kT) 1],

где nЕ – равновесная плотность неосновных носителей (электронов) в эмит-

тере. Аналогично для коллекторного перехода:

p(W) p(W) pB = pB[exp(qVCB kT) 1]; n(xC ) n(xC ) nC = nC[exp(qVCB kT) 1].

Решения уравнения (3.1), описывающие распределение неосновных носителей, т. е. дырок в базе и электронов в эмиттере и коллекторе, имеют вид

 

W LB

 

x

 

W LB

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p(x) = pB +

p (W) p (0)e

 

eLB

p (W) p (0)e

 

e

 

LB ; (3.4)

 

 

 

 

 

 

2 sh(W LB )

 

 

 

 

2 sh(W LB )

 

 

 

 

n(x) = nE + n(xE )exp[(x + xE )LE ], x < −xE ;

n(x) = nC + n(xC )exp[(x xC )LC ], x > xC,

где LB = τBDB – диффузионная длина дырок в базе; LE и LC – диффузион-

ные длины электронов в эмиттере и коллекторе. Особенное значение имеет выражение (3.4), так как оно связывает ширину базы W с распределением не-

основных носителей. Если W → ∞ или W/LB >> 1, то из (3.4) получим p(x) = pB + p(0)exLB ,

т. е. распределение носителей в базе аналогично распределению в pn- переходе. В этом случае отсутствует связь между эмиттерным и коллекторным токами, которые определяются градиентами плотности носителей в точ-

ках x = 0 и x = W соответственно. Таким образом, здесь отсутствует «транзисторный» эффект. Из формул (3.2) и (3.3) можно получить зависимость полного эмиттерного тока от приложенного напряжения

IE = AJp (x =

 

 

 

 

 

 

 

p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qDB

 

 

 

+ A

 

qDE

 

 

 

 

 

=

0) + AJn (x = −xE ) = A

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x

 

 

 

 

 

 

 

 

ch(W L

 

 

 

 

 

x=0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

x= −xE

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

D p

B

 

B

)(eqVEB kT 1)(eqVCB kT 1)

 

D n

E

 

qV

kT

 

 

= Aq

B

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+

 

 

E

 

(e

1)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

EB

 

L

 

 

 

 

sh(W L

 

)

 

 

 

 

 

 

L

E

 

 

 

B

 

 

 

 

B

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

16

и зависимость полного коллекторного тока

IC = AJp (x = W) + AJn

 

qDB

p

 

+

 

 

(x = xC ) = A

x

 

 

 

 

 

(eqVEB kT

 

 

x=W

 

D p

 

 

1)ch(W L

)(eqVCB kT 1)

 

= Aq

B

B

 

B

 

 

 

L

 

 

 

sh(W L

)

 

 

 

 

B

 

 

 

B

 

 

 

 

 

 

qD

n

 

 

=

 

A

 

 

 

 

C

x

 

 

 

 

 

 

 

x=xC

 

 

 

 

 

DEnE

(eqVEB kT 1) ,

 

LE

 

 

 

 

где А – площадь поперечного сечения транзистора. Разность этих двух токов невелика и равна току базы

IB = IE IC .

(3.5)

Изменим теперь распределение примеси в базе (рис. 3.2, б) и рассмотрим бо-

 

 

 

лее

общее

распределение

примеси

 

 

 

(рис. 3.3). Транзистор с подобным

 

 

 

распределением

примеси

называют

 

 

 

дрейфовым

транзистором,

так как в

 

 

 

 

 

 

 

 

A

 

 

его базу встроено электрическое поле,

N

 

 

 

 

ускоряющее дрейф дырок. Концентра-

+ D

 

 

N

 

 

ция доноров N и плотность электронов

xE

xC

 

 

в базе при

N >> ni определяются вы-

 

W

x

0

ражением

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

n N = ni exp[q(ψ − ϕ) kT],

(3.6)

Эмиттер

База Коллектор

 

где

ni – концентрация носителей в

 

собственном полупроводнике; ϕ –

по-

Рис. 3.3. Профиль легирования

 

 

тенциал Ферми; ψ – потенциал Ферми

транзистора с градиентом

 

 

 

 

 

 

 

 

концентрации примеси в базе

 

в собственном

полупроводнике.

Из

выражения (3.6) получим величину встроенного электрического поля:

E = −

∂ψ = −

kT

 

1

 

dN

.

 

 

 

 

x

q N dx

Плотность дырочного тока определяется выражением

Jp = qμBpE qDB dp . dx

Подставив (3.7) в (3.8), получим:

 

= −qD

p dN

+

dp

J

 

 

 

 

 

.

 

 

 

p

B N dx

 

dx

(3.7)

(3.8)

(3.9)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

17

Решение уравнения (3.9) для равновесного состояния с граничными условия-

ми р = 0 при х = W имеет вид

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

J

1

 

W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

B

 

 

N(x)dx .

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p(x) = qD N(x)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

B

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Концентрация дырок при х = 0 записывается в виде

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

p(x = 0) =

J

 

 

1

 

W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qV

 

 

 

 

 

 

 

 

B

 

 

 

N(x)dx

pB0 exp

 

EB

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qDB nB0 0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

где nB0 определяется из концентрации доноров при х = 0; рB0 – равновесная

концентрация дырок при х = 0 (поэтому n

 

p

B0

= n 2). Ток I

p

= AJ

(где А

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

B0

 

 

 

i

 

 

 

 

p

 

площадь) определяется как

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I

 

=

qAD n2

 

 

qV

 

 

 

 

 

 

 

 

qV

 

 

 

 

 

 

 

 

p

W

B

i

exp

EB

= I

 

exp

 

EB

.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

kT

 

 

1

 

 

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

N(x)dx

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Полный ток коллектора

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

I

 

= I

 

 

qV

 

 

 

+ I

 

,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

C

 

exp

EB

 

2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

где I2

ток насыщения. Типичные экспериментальные результаты приведены

10– 2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

на рис. 3.4. Отметим, что экс-

 

 

 

qVEB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

поненциальный закон хорошо

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

~exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

выполняется во всем диапа-

10– 4

 

 

 

2kT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

IC

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

зоне

токов, за

исключением

10– 6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

очень высоких токов, при ко-

 

qVEB

 

 

IB

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

торых

плотность

инжекти-

 

 

 

~exp

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10– 8

 

 

kT

 

 

 

 

 

Средний уровень инжекции

Высокий уровень инжекции

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

руемых

носителей

сравнима

10– 10

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

или

превосходит концентра-

 

 

 

~exp qVEB

 

 

 

 

 

 

 

цию примесей на коллекторе.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Постоянная I1

находится пу-

 

– 12

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

mkT

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тем

экстраполяции

тока

при

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10– 14

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

VEB = 0.

Количество примеси

ТокА,10– 16

Малыетоки

 

 

 

I2

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

на

единицу

площади

базы

I1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

можно получить из выраже-

 

 

0

0,2

 

0,4

0,6

 

0,8

 

1,0

1,2

 

 

ния

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

VEB, В

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 3.4. Зависимость эмиттерного и коллекторного

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

тока от напряжения эмиттер– база

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

18

 

 

W

 

q

 

 

QB

N(x)dx =

ADBni2 ,

 

 

 

 

0

 

I1

и для

кремниевых биполярных

транзисторов оно лежит в диапазоне

1012…10

13 см–2 .

 

 

 

 

3.2. Программа работы и указания по ее выполнению

1. По заданию, выданному преподавателем, построить профиль легирования кремниевого биполярного транзистора.

2. Рассчитать выходные характеристики транзистора IC = IC(UCB) в схеме с общей базой (рис. 3.1, а) при сопротивлении базы равном нулю. Вывести в книгу отчётов распределения концентраций электронов, дырок и напряжённости электрического поля, иллюстрирующие эффекты Эрли, Кирка, фотовольтаический эффект.

3. Для двух зависимостей IC = IC(UCB) исследовать влияние эффектов сильного легирования, последовательно отключая их и комбинируя. Оценить степень влияния на коэффициент передачи по току.

4. Для одной из зависимостей IC = IC(UCB) провести расчёт, меняя значение сопротивления базы.

5. Выбрать рабочее напряжение и сопротивление нагрузки. Задать ди-

намический режим работы транзистора, напряжение UЕB – видеоимпульс.

Изменяя амплитуду напряжения UЕB, добиться насыщения выходного на-

пряжения UCB. Объяснить причины ограничения амплитуды выходного импульса, расширения его длительности, изменения фронта.

19

4. Исследование кремниевого и гетероструктурного на основе GaAlAs биполярных транзисторов

в схеме с общим эмиттером

Цель работы – сравнительный анализ усилительных свойств кремниевого транзистора (БТ) и гетероструктурного биполярного транзистора на основе GaAlAs (ГБТ) и детальный анализ факторов, их определяющих.

4.1. Основные теоретические положения

Использование гетероперехода в биполярных транзисторах позволяет значительно улучшить выходные энергетические и частотные характеристики прибора.

4.2.Программа работы и указания по ее выполнению

1.По заданию, выданному преподавателем, построить профиль легирования кремниевого биполярного транзистора.

2.Рассчитать выходные характеристики БТ, построить зависимость коэффициента усиления по току от тока коллектора.

3.Изменяя профиль легирования, попытаться увеличить коэффициент усиления БТ по току.

4.По заданию, выданному преподавателем, построить профиль легирования и структуру зон ГБТ.

5.Рассчитать выходные характеристики для ГБТ с плавным гетеропереходом и варизонной базой для разной толщины гетероперехода. Построить зависимости граничной частоты и коэффициента усиления по току от тока коллектора.

5. Исследование диода Ганна

Цель работы – исследование работы диода Ганна (ДГ) в различных режимах его работы и разных профилях легирования.

5.1. Основные теоретические положения

Принцип действия диода Ганна основан на использовании эффекта отрицательной дифференциальной подвижности (ОДП). Образование и пере-

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]