Обладнання для електронно-променевої обробки

Генерування, фокусування та прискорення електронів здійснюється за допомогою електронної пушки.

Електронний промінь фокусується в умовах високого вакууму. В комплект оснащення входять два насоси:

• форвакуумний насос – створює вакуум 10^-4-10^-5 Па;

• дифузійний насос - 10^-6-10^-8 Па

Тривалість створення високого вакууму – 7 -15 хв.

Обладнання для електронно-променевої обробки поділяється:

• універсальне;

• спеціальне.

Є два види обладнання:

ЛУЧ – 2;

ЕЛУРО – установка виготовлена і розроблена на Україні в Сумах (завод ім. Фрунзе).

При роботі в установках необхідно врахувати рівень рентгенівського випромінення. Бажано, щоб управління установок було дистанційним. Через певний час оператор повинен проходити дозиметричний контроль.

Технологічні характеристики ЕЛУРО:

Призначення:

• розмірна обробка мікро отворів;

• вирізання дрібних деталей;

• мікро зварювання;

• пайка;

• обробка важкообробляємих матеріалів (рубін, алмаз та ін.).

Технічна характеристика:

• максимальний діаметр обробленого отвору – 0,01 мм;

• ширина пазу – 0,01 мм;

• максимальна глибина отвору – 2 мм;

• максимальне відхилення проміню – 2 мм;

• частота слідування імпульсів – 1-2300;

• тривалість імпульсу – 14-85 мкс;

• тривалість одержання вакууму – 10 хв.;

• площа, яку займає установка – 12 м²

Область використання електронно-променевої обробки

Область використання електронно-променевої обробки залежить від

прискорюючої напруги:

Таблиця 13 – Область використання електронно-променевої обробки в залежності від прискорюючої напруги

Прискорюючи напруга	Область використання
15-30	Плавлення, зварювання
50-80	Обробка отворів, зварювання
100-200	Різання, обробка отворів, мікрозварювання

1. основною областю використання являється розмірна обробка:

• це обробка наскрізних отворів;

• обробка глухих отворів.

Існує три режими обробки:

• моноімпульсний – коли отвір отримують під дією одного імпульсу;

• багато імпульсний;

• з переміщуванням електронного променя по поверхні заготовки;

Якщо необхідно обробити порожнини працюють в режимі багатоімпульсної обробки.

Широко використовують

електронно-променеву обробку

для одержання порожнин в

філь’єрах штучних волокон.

Рисунок 39 – Форма пазу філь’єри

Використовується також установки для обробки алмазних отворів. Ці отвори оброблюються на установці ЛУЧ – 2 , на цій установці можна отримувати

отвори діаметром до 70 мкм.

2. Термічна обробка:

• закалка;

• відпалення;

3. Електронно-променева плавка – для одержання сплавів з дуже точним вмістом легуючих елементів.

4. Електронно-променеве зварювання.